JPS6144550A - 回転装置 - Google Patents
回転装置Info
- Publication number
- JPS6144550A JPS6144550A JP60105741A JP10574185A JPS6144550A JP S6144550 A JPS6144550 A JP S6144550A JP 60105741 A JP60105741 A JP 60105741A JP 10574185 A JP10574185 A JP 10574185A JP S6144550 A JPS6144550 A JP S6144550A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tire
- support member
- track
- diameter side
- bearing device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H10P72/3202—Mechanical details, e.g. rollers or belts
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H10P72/3206—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrate being handled substantially vertically
Landscapes
- Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Rolling Contact Bearings (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の背景
本発明は、例えばホルダあるいはポートに半導体のウェ
ハを置くための装置に使用するローラに関する。
ハを置くための装置に使用するローラに関する。
半導体ウェハをプラスチック貯蔵ポートからクォーツ処
理ポートへ、あるいはその反対へ移送するための装置は
、１９８２年５月２４日登録の合衆国特許第３８１２９
２号に記述されている。この装置においては、プラスチ
ックポート及びクォーツポートは、該装置の中でトラッ
クに沿って動いて、金属ローラを経てピックアップアー
ムを通過してウェハを移動させるトロリに支えられてい
る。ウェハがポートの間を移動する場合において、ウェ
ハの表面が汚染されるのを避けることが好ましい、その
ような汚染は、移動させるために使用される装置の内部
の部品でのひっかきゃすべりから生ずる可能性がある。
理ポートへ、あるいはその反対へ移送するための装置は
、１９８２年５月２４日登録の合衆国特許第３８１２９
２号に記述されている。この装置においては、プラスチ
ックポート及びクォーツポートは、該装置の中でトラッ
クに沿って動いて、金属ローラを経てピックアップアー
ムを通過してウェハを移動させるトロリに支えられてい
る。ウェハがポートの間を移動する場合において、ウェ
ハの表面が汚染されるのを避けることが好ましい、その
ような汚染は、移動させるために使用される装置の内部
の部品でのひっかきゃすべりから生ずる可能性がある。
本発明の要約
一般に、本発明は、ウェハを配置する装置にあるトロリ
に回転を与えるために、例えば次のような特徴を備えて
いる。即ち、該回転装置は、支持部材、前記支持部材に
対し相対的に回転するように支持部材に連結されたベア
リング部材、ベアリング装置の円周に取付けられたベア
リング装置よりも柔らかい材質のタイヤを備えて成り、
前記タイヤは小さな円周側面から大きな円周側面へと増
大する円周と、タイヤの大きな側面にリップとを有し、
それにより、柔らかいタイヤが１回転するにつれて小さ
な直径の側部へと押つけられ、ベアリングがその両側面
から外れるのを防いでいる。
に回転を与えるために、例えば次のような特徴を備えて
いる。即ち、該回転装置は、支持部材、前記支持部材に
対し相対的に回転するように支持部材に連結されたベア
リング部材、ベアリング装置の円周に取付けられたベア
リング装置よりも柔らかい材質のタイヤを備えて成り、
前記タイヤは小さな円周側面から大きな円周側面へと増
大する円周と、タイヤの大きな側面にリップとを有し、
それにより、柔らかいタイヤが１回転するにつれて小さ
な直径の側部へと押つけられ、ベアリングがその両側面
から外れるのを防いでいる。
好ましい実施′例においては、該タイヤはプラスチック
からで′・きており−（最も好ましいのはポリフォルム
アルデヒド）、該タイヤはトラックに沿って回転する。
からで′・きており−（最も好ましいのはポリフォルム
アルデヒド）、該タイヤはトラックに沿って回転する。
トラックは水平面に対し傾斜した２つの表面を有し、そ
こに２つのタイヤがあり、それぞれが異なる傾斜した表
面に係合している。該トラックは２つの上部の傾斜した
表面と２つの底部の傾斜した表面を有し、各傾斜した表
面に係合したタイヤがあり、タイヤの円周は支持部材か
ら離れるにつれて増大する。
こに２つのタイヤがあり、それぞれが異なる傾斜した表
面に係合している。該トラックは２つの上部の傾斜した
表面と２つの底部の傾斜した表面を有し、各傾斜した表
面に係合したタイヤがあり、タイヤの円周は支持部材か
ら離れるにつれて増大する。
汚染のない環境において作動する装置におけるローラ装
置の好ましい応用においては（最も好ましい、半導体ウ
ェハを移送する装置）、柔らかい材質を使用することで
、硬い部品相互の移動の相互作用から生じる微粒子によ
る汚染を防ぐ。
置の好ましい応用においては（最も好ましい、半導体ウ
ェハを移送する装置）、柔らかい材質を使用することで
、硬い部品相互の移動の相互作用から生じる微粒子によ
る汚染を防ぐ。
本発明の他の特徴及び利点は、後述の好ましい実施例及
び特許請求の範囲から明白である。
び特許請求の範囲から明白である。
実施例
第１図には、半導体ウェハ１１をプラスチックポート１
２とクォーツポート１４の間で移送する、ウェハを扱う
装置１０が示しである。装置１０は、カバー１８がその
上に載っているベース１６と、ポートを移送するトロリ
２０．２２と、′ウェハ運搬アーム３２とを有している
。トロリ２０．２２はそれぞれカバー１８のスロット２
４．２６を通して延びている。トロリ２０はその上端を
プラットフォーム２５に接合され、プラットフォーム２
５はクォーツポー）１４を支持している。トロリ２２は
その上端をプラットフォーム３０に接合され、プラット
フォーム３０はプラスチックボー）１２を支持している
。アーム３２は真空係合によりウェハを把持するために
アルミのウェハパドル３４に連結されている。
２とクォーツポート１４の間で移送する、ウェハを扱う
装置１０が示しである。装置１０は、カバー１８がその
上に載っているベース１６と、ポートを移送するトロリ
２０．２２と、′ウェハ運搬アーム３２とを有している
。トロリ２０．２２はそれぞれカバー１８のスロット２
４．２６を通して延びている。トロリ２０はその上端を
プラットフォーム２５に接合され、プラットフォーム２
５はクォーツポー）１４を支持している。トロリ２２は
その上端をプラットフォーム３０に接合され、プラット
フォーム３０はプラスチックボー）１２を支持している
。アーム３２は真空係合によりウェハを把持するために
アルミのウェハパドル３４に連結されている。
第２図によれば、トロリ２２のためのローラとトラック
機構が見られる。（これに類似したローラとトラック機
構がトロリ２０に使用されている）アルミトラック４６
は、水平面と４５°の角度でそれの頂部と底部の長手方
向に沿って傾斜する傾斜表面５０を有している。トロリ
２２はローラバー４４によりトラック４６の上に支持さ
れ、ローラバー４４．はそれぞれ表面５０の上に係合す
る一対のロー゛、う２８を有している。各ローラ２８は
、ローラバーに押付けられ止め螺子により取付けられた
固定軸の上で回転する。固定軸の上にあるスペーサが、
ローラ２８とローラバー４４との＋１ＪＩの接触を防ぎ
、また、スナップリングが同軸の上にローラを保持して
いる。
機構が見られる。（これに類似したローラとトラック機
構がトロリ２０に使用されている）アルミトラック４６
は、水平面と４５°の角度でそれの頂部と底部の長手方
向に沿って傾斜する傾斜表面５０を有している。トロリ
２２はローラバー４４によりトラック４６の上に支持さ
れ、ローラバー４４．はそれぞれ表面５０の上に係合す
る一対のロー゛、う２８を有している。各ローラ２８は
、ローラバーに押付けられ止め螺子により取付けられた
固定軸の上で回転する。固定軸の上にあるスペーサが、
ローラ２８とローラバー４４との＋１ＪＩの接触を防ぎ
、また、スナップリングが同軸の上にローラを保持して
いる。
第３図によれば、ローラ２８はベアリング４２（Ｒ４ベ
アリング、ＡＢＥＣ５許容度による、５７８”外径１ハ
”口径、０．１９５”幅）に取付けられたプラスチック
タイヤ４０（井１５０デルリンポリフォルムアルデヒド
、デュポン製）を有している。
アリング、ＡＢＥＣ５許容度による、５７８”外径１ハ
”口径、０．１９５”幅）に取付けられたプラスチック
タイヤ４０（井１５０デルリンポリフォルムアルデヒド
、デュポン製）を有している。
第４図によれば、タイヤ４０の外周はローラバー４４か
ら離れるに従って（第３図と第４図においては左から右
へ向かうに従って）、角度ｌ。
ら離れるに従って（第３図と第４図においては左から右
へ向かうに従って）、角度ｌ。
５度±０．５度で増加しており、エツジ６２において０
．５７４１０．８７３で、エツジ５８において０．６８
７となる。リップ５２は０．０２５″の幅である。
．５７４１０．８７３で、エツジ５８において０．６８
７となる。リップ５２は０．０２５″の幅である。
リップ開口部５４は直径０．５８２”である、内部表面
５６は直径０．１３２４１０．８２３″である。
５６は直径０．１３２４１０．８２３″である。
タイヤの左側の開口部６０は直径０．６１１±０．０１
”である、内側コーナー６４は内側表面６０に対して４
０度の角度である。タイヤ４０の幅は、エツジ５８から
エツジ６２まで０．２４０”であり、内側表面５６に沿
って０．１８９１０．１９２″である。
”である、内側コーナー６４は内側表面６０に対して４
０度の角度である。タイヤ４０の幅は、エツジ５８から
エツジ６２まで０．２４０”であり、内側表面５６に沿
って０．１８９１０．１９２″である。
タイヤ４０の必要な外径を保証するために、タイヤのプ
ラスチックはタイヤがベアリング４２に取付けられるま
で最終の直径に加工されていない。
ラスチックはタイヤがベアリング４２に取付けられるま
で最終の直径に加工されていない。
操作
プラスチックポート１２とクォーツポート１４での間の
ウェハ１個の移送における装置１０全全体操作は、上述
の特許の応用において記述されている。移送の操作の間
、トロリ２０．２２はそれぞれのトラックに沿って動か
され、異なるウェハと、ポート１２．１４のスロットと
をバドル３４に整合させる。カバー１８は横送りから生
ずる汚染を防ぐ。
ウェハ１個の移送における装置１０全全体操作は、上述
の特許の応用において記述されている。移送の操作の間
、トロリ２０．２２はそれぞれのトラックに沿って動か
され、異なるウェハと、ポート１２．１４のスロットと
をバドル３４に整合させる。カバー１８は横送りから生
ずる汚染を防ぐ。
精密な汚染のないトロリ２０．２２の移動は、柔らかい
プラスチックタイヤ４０の使用により行われる。タイ゛
ヤ４０は金属の摩耗により、すなわち金属トラ７゛りの
上に′硬質のローラを設計することにより生じる金属粉
による汚染を防ぐ、同時に、プラスチックタイヤ４０の
使用により、トラック４６にアルミを使用することが可
能となり、金属ローラによる汚染を防ぐためにもっと硬
い金属を使用しないですむために、より容易に加工する
ことができる。
プラスチックタイヤ４０の使用により行われる。タイ゛
ヤ４０は金属の摩耗により、すなわち金属トラ７゛りの
上に′硬質のローラを設計することにより生じる金属粉
による汚染を防ぐ、同時に、プラスチックタイヤ４０の
使用により、トラック４６にアルミを使用することが可
能となり、金属ローラによる汚染を防ぐためにもっと硬
い金属を使用しないですむために、より容易に加工する
ことができる。
タイヤ４０は傾斜表面５０においてトラック４６と係合
するので、ローラバー４４から離れるにつれて大きくな
る円周は、タイヤをローラバーへと偏圧し、柔らかいタ
イヤが外側へ移動するのを防ぎ、またタイヤリップ５２
によりタイヤがベアリングからはずれてローラバーへ動
くのを防ぐ。
するので、ローラバー４４から離れるにつれて大きくな
る円周は、タイヤをローラバーへと偏圧し、柔らかいタ
イヤが外側へ移動するのを防ぎ、またタイヤリップ５２
によりタイヤがベアリングからはずれてローラバーへ動
くのを防ぐ。
その他の実施例
本発明は上記の実施例に限定されるものではない０例え
ば、タイヤが他のプラスチックで製造され、また開口部
６０の小さなリップはタイヤ４０を定位置に保持するの
に設けないこともできる。
ば、タイヤが他のプラスチックで製造され、また開口部
６０の小さなリップはタイヤ４０を定位置に保持するの
に設けないこともできる。
ベアリングも異なる製造方法で作ることができる。ロー
ラは他の機械、とりわけ汚染のない環境を必要とされる
他の機械に関連して使用することもできる。
ラは他の機械、とりわけ汚染のない環境を必要とされる
他の機械に関連して使用することもできる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、半導体ウェハを１つのキャリアから他のキャ
リアに移動させる装置の見取図である。 第２図は、第１図の装置のローラとトラック機構の断面
図である。 第３図は、第２図の機構のローラ素子の部分的な断面の
正面図である。 第４図は、第３図のローラ素子のタイヤの拡大縦断面図
である。 １０ウェハ操作装置 、１１半導体ウェハ、１２プラス
チツクポート、１４クオーツポート、１６ベース、１８
カバー、２０トロリ、２２トロリ、２４スロツト、２５
上端のプラットフォーム、２６スロツト、２８一対のロ
ーラ、３０上端のプラットフォーム、３２ウエハ運搬ア
ーム、３４アルミウエハパｙル、４０プラスチツクタイ
ヤ、４２ベアリング、４４０−ラバー、４６アルミトラ
ツク、５０傾斜表面、５２タイヤリツプ、５４リップ開
口部、５６内側表面、５８エツジ、６０開ロ部、６０内
側表面、６２エツジ、６４内側コーナー。 図面の浄書（内容に変更なし） ＦＩＧ ３ ＦＩＧ ２ ＦＩＧ ４手続補
正書（方式） 昭和７０年 ２月１３日 特許庁長官 宇 、賀 道 部 殿 １、事件の表示 回瀬落遣 ６、補正をする者 事件との関係 出 願 人 住所 ４、代理人 左岱ｎ
リアに移動させる装置の見取図である。 第２図は、第１図の装置のローラとトラック機構の断面
図である。 第３図は、第２図の機構のローラ素子の部分的な断面の
正面図である。 第４図は、第３図のローラ素子のタイヤの拡大縦断面図
である。 １０ウェハ操作装置 、１１半導体ウェハ、１２プラス
チツクポート、１４クオーツポート、１６ベース、１８
カバー、２０トロリ、２２トロリ、２４スロツト、２５
上端のプラットフォーム、２６スロツト、２８一対のロ
ーラ、３０上端のプラットフォーム、３２ウエハ運搬ア
ーム、３４アルミウエハパｙル、４０プラスチツクタイ
ヤ、４２ベアリング、４４０−ラバー、４６アルミトラ
ツク、５０傾斜表面、５２タイヤリツプ、５４リップ開
口部、５６内側表面、５８エツジ、６０開ロ部、６０内
側表面、６２エツジ、６４内側コーナー。 図面の浄書（内容に変更なし） ＦＩＧ ３ ＦＩＧ ２ ＦＩＧ ４手続補
正書（方式） 昭和７０年 ２月１３日 特許庁長官 宇 、賀 道 部 殿 １、事件の表示 回瀬落遣 ６、補正をする者 事件との関係 出 願 人 住所 ４、代理人 左岱ｎ
Claims (15)
- （１）支持部材と、前記支持部材に対し相対的に回転で
きるように前記支持部材に連結された第一ベアリング装
置と、前記ベアリング装置の周囲に取付けられた、前記
ベアリング装置よりも柔らかい材質の第一タイヤとを備
えて成り、前記タイヤの直径が小さな直径の側部から大
きな直径の側部へと増大するようになされ、前記タイヤ
の大きい直径の側部に設けられた前記ベアリング装置の
部分を超えて半径方向に内側に延びているリップを有す
る回転装置において、前記タイヤが回転する際に前記リ
ップが前記ベアリング装置に押付けられ、前記タイヤが
前記両側部において前記ベアリング装置からはずれるの
を防止するようにしたことを特徴とする回転装置。 - （２）前記タイヤがプラスチックから成ることを特徴と
する特許請求の範囲第１項に記載の装置。 - （３）前記プラスチックがポリフォルムアルデヒドから
成ることを特徴とする特許請求の範囲第２項に記載の装
置。 - （４）トラックを備え、前記タイヤが該トラックに係合
するようになされたことを特徴とする特許請求の範囲第
１項に記載の装置。 - （５）前記トラックが水平面に対し反対側へ傾斜してい
る２個の表面を有し、更に第二のベアリング装置と、前
記支持体の上に取付けられた第二のタイヤとを備えて成
り、第二のタイヤの直径が小さな直径の側部から大きな
直径の側部へ増大するようになされ、前記タイヤの大き
い直径の側部に前記ベアリング装置の部分を超えて半径
方向へ内側に延びているリップを有し、前記各タイヤが
前記表面に係合していることを特徴とする特許請求の範
囲第４に記載の装置。 - （６）前記２個の表面が上部の２個の傾斜した表面であ
り、前記トラックが更に水平面に対し反対側に傾斜した
２個の底部表面を備えて成り、更に第三、第四のベアリ
ング装置と、前記底部の傾斜表面に係合する第三及び第
四のタイヤを備えて成り、前記各第三及び第四のタイヤ
の直径がそれぞれ小さい直径の側部から大きい直径の側
部へと増大する円周と、前記タイヤの大きい直径の側部
に前記ベアリング装置の部分を超えて半径方向に内側に
延びるリップとを有することを特徴とする特許請求の範
囲第５項に記載の装置。 - （７）前記タイヤの前記直径が前記支持部材から離れる
につれて増大することを特徴とする特許請求の範囲第５
項に記載の装置。 - （８）粒子汚染のない清浄環境においてキャリアにある
対象物を移動させるための装置において、前記装置が特
許請求の範囲第４項に記載の回転装置を含み、前記支持
部材が前記キャリアを支持するために取付けられ、更に
前記支持部材に連結された複数のベアリング装置と、前
記ベアリング装置よりも柔らかい材質のタイヤとを備え
て成り、小さい直径の側部から大きい直径の側部へと増
大する周面と、前記大きい直径の側部において前記ベア
リング装置の部分を超えて半径方向に内側に延びている
リップとを有する、粒子汚染のない清浄環境においてキ
ャリア上の対象物を移動させるための装置。 - （９）前記タイヤがプラスチックから成ることを特徴と
する特許請求の範囲第１項に記載の装置。 - （１０）前記プラスチックがポリフォルムアルデヒドか
ら成ることを特徴とする特許請求の範囲第９項に記載の
装置。 - （１１）前記トラックが水平面に対し反対側に傾斜した
２個の表面を有し、前記タイヤが前記表面に係合してい
ることを特徴とする特許請求の範囲第８項に記載の装置
。 - （１２）前記２側の表面が上部の２個の傾斜した表面で
あり、前記トラックが更に水平面に対し反対側に傾斜し
た２個の底部表面を有し、前記タイヤのいくつかが前記
底部表面と係合していることを特徴とする特許請求の範
囲第１１項に記載の装置。 - （１３）前記タイヤの直径が支持部材から離れるにつれ
て増大することを特徴とする特許請求の範囲第１１項に
記載の装置。 - （１４）前記装置が半導体ウェハを前記キャリアに配置
する機械であることを特徴とする特許請求の範囲第８項
に記載の装置。 - （１５）前記ローラとトラックがハウジングの中に内臓
されていることを特徴とする特許請求の範囲第８項に記
載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US611418 | 1984-05-17 | ||
| US06/611,418 US4601521A (en) | 1984-05-17 | 1984-05-17 | Rolling apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6144550A true JPS6144550A (ja) | 1986-03-04 |
Family
ID=24448938
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60105741A Pending JPS6144550A (ja) | 1984-05-17 | 1985-05-17 | 回転装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4601521A (ja) |
| EP (1) | EP0162676A3 (ja) |
| JP (1) | JPS6144550A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016200562A (ja) * | 2015-04-14 | 2016-12-01 | 東レエンジニアリング株式会社 | 液体試料注入方法 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3635700A1 (de) * | 1986-10-21 | 1988-04-28 | Michael Schmeller | Hubeinrichtung |
| DE19654005A1 (de) * | 1996-12-21 | 1998-06-25 | Schaeffler Waelzlager Ohg | Wälzlagerung für eine Stangenführung |
| US6553618B2 (en) | 2001-05-01 | 2003-04-29 | Overhead Door Corporation | Dual durometer roller guide member for track guided door |
| US11203907B2 (en) * | 2019-01-24 | 2021-12-21 | Vertice Oil Tools Inc. | Methods and systems for disconnecting and reconnecting casing |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3756670A (en) * | 1971-04-28 | 1973-09-04 | Gulley Co Ltd | Motorized rack and pinion actuated track mounted tool carriage |
| DE2252451C3 (de) * | 1972-10-26 | 1978-05-03 | Maschinenfabrik Reika-Werk Gmbh, 5800 Hagen | Vorrichtung zum Zuführen empfindlicher stabförmiger Werkstücke auf eine Förderbahn |
| US3929327A (en) * | 1974-04-01 | 1975-12-30 | Addressograph Multigraph | Document transport and registration apparatus |
| US4109343A (en) * | 1976-05-10 | 1978-08-29 | C. L. Frost & Son, Inc. | Trolley wheel assembly |
| GB1566124A (en) * | 1977-10-06 | 1980-04-30 | Harris C M | Conveyors |
| US4493606A (en) * | 1982-05-24 | 1985-01-15 | Proconics International, Inc. | Wafer transfer apparatus |
-
1984
- 1984-05-17 US US06/611,418 patent/US4601521A/en not_active Expired - Fee Related
-
1985
- 1985-05-17 EP EP85303487A patent/EP0162676A3/en not_active Withdrawn
- 1985-05-17 JP JP60105741A patent/JPS6144550A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016200562A (ja) * | 2015-04-14 | 2016-12-01 | 東レエンジニアリング株式会社 | 液体試料注入方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4601521A (en) | 1986-07-22 |
| EP0162676A3 (en) | 1987-09-02 |
| EP0162676A2 (en) | 1985-11-27 |
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