JPS6183029U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6183029U JPS6183029U JP16832784U JP16832784U JPS6183029U JP S6183029 U JPS6183029 U JP S6183029U JP 16832784 U JP16832784 U JP 16832784U JP 16832784 U JP16832784 U JP 16832784U JP S6183029 U JPS6183029 U JP S6183029U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- irradiator
- vapor phase
- phase growth
- reactant gas
- gas supply
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２
図は従来の気相成長装置を示す断面図である。 １…ステンレス鋼製ベルジヤ、２…加熱台、３
，３′…サセプタ、４…半導体ウエハ、５…反応
ガス供給管、６…ＵＶ光源ランプ、７，７′…照
射体、８…排気管、９…キヤリヤガス供給ノズル
。
図は従来の気相成長装置を示す断面図である。 １…ステンレス鋼製ベルジヤ、２…加熱台、３
，３′…サセプタ、４…半導体ウエハ、５…反応
ガス供給管、６…ＵＶ光源ランプ、７，７′…照
射体、８…排気管、９…キヤリヤガス供給ノズル
。
Claims (1)
- ステンレス鋼製ベルジヤ内のサセプタに載置さ
れて加熱された半導体ウエハへ反応ガス供給管よ
り反応ガスを供給し、該反応ガスにある特定の波
長の光を照射体に通して照射することにより光化
学反応させ気相成長せしめるようにした気相成長
装置において、回転可能な円板型のサセプタと、
中央部が上方に向けて凸状に彎曲した照射体と、
該照射体の中心部に垂直に下方からキヤリアガス
を吹き付けるキヤリアガス供給ノズルとを有する
ことを特徴とする気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16832784U JPS6183029U (ja) | 1984-11-06 | 1984-11-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16832784U JPS6183029U (ja) | 1984-11-06 | 1984-11-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6183029U true JPS6183029U (ja) | 1986-06-02 |
Family
ID=30726103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16832784U Pending JPS6183029U (ja) | 1984-11-06 | 1984-11-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6183029U (ja) |
-
1984
- 1984-11-06 JP JP16832784U patent/JPS6183029U/ja active Pending