JPS61945A - 光デイスク溝形状測定装置 - Google Patents
光デイスク溝形状測定装置Info
- Publication number
- JPS61945A JPS61945A JP59122367A JP12236784A JPS61945A JP S61945 A JPS61945 A JP S61945A JP 59122367 A JP59122367 A JP 59122367A JP 12236784 A JP12236784 A JP 12236784A JP S61945 A JPS61945 A JP S61945A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- optical disc
- light
- order
- groove shape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
- G11B33/10—Indicating arrangements; Warning arrangements
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は元ディスクの溝形状を測定する装置に関するも
のである。
のである。
従来例の構成とその問題点
高密度大容量の情報記録として期待されている光ディス
クには、記録・再生時のトラッキングを容易にするため
、あらかじめ光ディスク記録面にトラッキング用の溝を
設けている。その断面形状はトラッキング信号、再生信
号と強い関係をもっており、高品質の光ディスクを得る
うえで、光ディスクの溝形状を正確に測定する方法及び
装置の開発が望まれている０以下に従来の元ディスク溝
形状測定装置について説明する。第１図は従来の光ディ
スク溝形状測定装置のレーザー照射部を示す説明図であ
る。Ｈｅ −Ｎ ｏレーザーより発光された波長λの光
ビームはその波面法線の光ディスクトラック溝直交断面
上の方向成分が光ディスク記録面法線２とψの角度をな
してディスク表面３に入射し、その反射光は記録面上の
溝により０次元４．１次元５．２次元６等に回折される
０第２図は従来の元ディスク溝形状測定装置のレーザー
受元部を示す説明図である。平行光はトラック溝直交断
面上でψの入射角でディスク表面７に入射し、屈折率ｎ
の基材部８を経て溝幅ａ、溝深ａ、溝ピッチｂの矩形波
形状の溝をもつ光ディスク記録面９により反射し、その
反射回折光は再び基材部８を経て、元ディスク表面７よ
り出射する。その０次、１次、２次の回折元軸上にそれ
ぞれ集光レンズ１０．’１１．１２を配設し、その焦点
位置付近にそれぞれ光電素子１３，１４．１５を配置す
る。
クには、記録・再生時のトラッキングを容易にするため
、あらかじめ光ディスク記録面にトラッキング用の溝を
設けている。その断面形状はトラッキング信号、再生信
号と強い関係をもっており、高品質の光ディスクを得る
うえで、光ディスクの溝形状を正確に測定する方法及び
装置の開発が望まれている０以下に従来の元ディスク溝
形状測定装置について説明する。第１図は従来の光ディ
スク溝形状測定装置のレーザー照射部を示す説明図であ
る。Ｈｅ −Ｎ ｏレーザーより発光された波長λの光
ビームはその波面法線の光ディスクトラック溝直交断面
上の方向成分が光ディスク記録面法線２とψの角度をな
してディスク表面３に入射し、その反射光は記録面上の
溝により０次元４．１次元５．２次元６等に回折される
０第２図は従来の元ディスク溝形状測定装置のレーザー
受元部を示す説明図である。平行光はトラック溝直交断
面上でψの入射角でディスク表面７に入射し、屈折率ｎ
の基材部８を経て溝幅ａ、溝深ａ、溝ピッチｂの矩形波
形状の溝をもつ光ディスク記録面９により反射し、その
反射回折光は再び基材部８を経て、元ディスク表面７よ
り出射する。その０次、１次、２次の回折元軸上にそれ
ぞれ集光レンズ１０．’１１．１２を配設し、その焦点
位置付近にそれぞれ光電素子１３，１４．１５を配置す
る。
以上のように構成された従来の光ディスク溝形状測定装
置について、以下その測定原理について説明する。第２
図に示すようにトラック溝直交断面とディスク表面７の
一交線をＵ軸とし、トラック溝直交断面とディスク記録
面９との交線をＸ軸とする。ディスク表面入射前での入
射光の振幅分布からディスク記録面に至るまでの入射光
の振幅分布ｑ２ （”）は次式で与えられる。
置について、以下その測定原理について説明する。第２
図に示すようにトラック溝直交断面とディスク表面７の
一交線をＵ軸とし、トラック溝直交断面とディスク記録
面９との交線をＸ軸とする。ディスク表面入射前での入
射光の振幅分布からディスク記録面に至るまでの入射光
の振幅分布ｑ２ （”）は次式で与えられる。
ｃｙ２（ｕ）＝Ｔ （÷）ｅｌ９づ
ディスク記録面９での反射光の振幅分布ｑ ３Ｃｘ）は
次式で与えられる。
次式で与えられる。
ｑ３＜ｘ＞−１１＜％＞ｅ−５争グ申■（÷）＊ＴＩＴ
（佃この反射光のディスク表面７出射直後の振幅分布ｃ
ｙ４（ｕ）は次式で与えられる。
（佃この反射光のディスク表面７出射直後の振幅分布ｃ
ｙ４（ｕ）は次式で与えられる。
ＣＪ （ｕ）−Ｔ（’）ｅ−’ ＴｕＳ１１ψ［：’１
７（’ｌ＊Ｔｌ’ｒ（Ｈ） １４ ｃ
ｂ ａこのディスク表面出
射後の反射光のフラウンホーファ領域での振幅分布Ｇ（
ｆ）は次式で与えられる。
７（’ｌ＊Ｔｌ’ｒ（Ｈ） １４ ｃ
ｂ ａこのディスク表面出
射後の反射光のフラウンホーファ領域での振幅分布Ｇ（
ｆ）は次式で与えられる。
ここにに１ は比例定数、Ｆはフーリエ変換記号、θは
ディスク表面法線からの見込み角である。
ディスク表面法線からの見込み角である。
式（１）を計算し
Ｇ（ｆ沖に、（ａ ｃ （ｃｊ＋ｎｃ （ｏｆ ）■（
ｂｆ ） ｌ＊！５ｉｎｃ（ｃｆ ）４πｎｄ ＋ｃ（ｂ−ａ）ｅ−’ Ａ ｌｅ−””５ｉｎＣ（
ｂ−ａ）ｆＴＩＴ（ｂｆ）１ｃ ）） ｂの時には Ｇ（ｆ）＃に、Ｃ［：ＩＮ（ｂｆ）＊５ｉｎｃ（ｃｆ）
ｌｌａｓｉｎｃ（ａｆ）以下簡単のため、ε＝ ａ ／
ｂ δ＝２πｎｄ／λとおく。
ｂｆ ） ｌ＊！５ｉｎｃ（ｃｆ ）４πｎｄ ＋ｃ（ｂ−ａ）ｅ−’ Ａ ｌｅ−””５ｉｎＣ（
ｂ−ａ）ｆＴＩＴ（ｂｆ）１ｃ ）） ｂの時には Ｇ（ｆ）＃に、Ｃ［：ＩＮ（ｂｆ）＊５ｉｎｃ（ｃｆ）
ｌｌａｓｉｎｃ（ａｆ）以下簡単のため、ε＝ ａ ／
ｂ δ＝２πｎｄ／λとおく。
ｆ ＝ｏ 、 −、、−、の時、Ｇ（ｆ）はピーク値を
とり、それぞれ０次、１次、２次の回折光の振幅値を与
える。０次、１次、２次の回折光強度を工。、Ｉ、、Ｉ
２とすると、 Ｉｄ＝に２ＩＱ（０）ｌ ２＝に７に２ｂ２ｂ２ｃ２（
＋２ｇ、（１−ｔ）ＣＯＳ２δ＋（１−ｇ）ハＩ、、４
．＝ ｃｏｓ２ｒｔｔ −・−
−−−（３）る。よって、１次回折元６０波面法線とＯ
次回折光４０波面法線のなす角をθ。１とすると■ｏ、
Ｉ４．Ｉ２のパワー値を光電素子１３，１４゜１５で検
出し、１次回折光と０次回折元のなす角θｏ１を光電素
子１３．１４の位置関係により測定することで、Ｉ、／
Ｉｏ、 Ｉ２／１１．θ。１等は測定出来る。
とり、それぞれ０次、１次、２次の回折光の振幅値を与
える。０次、１次、２次の回折光強度を工。、Ｉ、、Ｉ
２とすると、 Ｉｄ＝に２ＩＱ（０）ｌ ２＝に７に２ｂ２ｂ２ｃ２（
＋２ｇ、（１−ｔ）ＣＯＳ２δ＋（１−ｇ）ハＩ、、４
．＝ ｃｏｓ２ｒｔｔ −・−
−−−（３）る。よって、１次回折元６０波面法線とＯ
次回折光４０波面法線のなす角をθ。１とすると■ｏ、
Ｉ４．Ｉ２のパワー値を光電素子１３，１４゜１５で検
出し、１次回折光と０次回折元のなす角θｏ１を光電素
子１３．１４の位置関係により測定することで、Ｉ、／
Ｉｏ、 Ｉ２／１１．θ。１等は測定出来る。
よって（２） 、 （３） 、 （４）の関係式を連立
させることにより、溝幅ａ、溝深ａ、溝ピッチｂは測定
できる。
させることにより、溝幅ａ、溝深ａ、溝ピッチｂは測定
できる。
しかしながら、上記の構成では溝端の傾斜部すなわち溝
のだれを含んだ台形状の溝を測定することが出来ない。
のだれを含んだ台形状の溝を測定することが出来ない。
発明の目的
本発明は上記従来の問題点を解消するもので、溝端に傾
斜すなわち溝のだれを含んだ台形状の溝形状を測定する
ことのできる元ディスク溝形状測定装置を提供すること
を目的とする。
斜すなわち溝のだれを含んだ台形状の溝形状を測定する
ことのできる元ディスク溝形状測定装置を提供すること
を目的とする。
発明の構成
本発明は屈折率ｎの基材におおわれた、溝幅ａ。
溝深ａ、溝ビｙチを、溝端での傾斜部の幅ｅの台形状の
溝をもつ光ディスク記録面に波長λの平行光を照射し、
平行光の波面法線の元ディスクトラック溝直交断面上の
方向成分が光ディスク記録面法線とψの角度をなし、平
行光の０次、１次、２次及びｍ次の反射もしくは回折光
の光軸上に光電素子を配設させて、それぞれの元強度工
。、１１．Ｉ、。
溝をもつ光ディスク記録面に波長λの平行光を照射し、
平行光の波面法線の元ディスクトラック溝直交断面上の
方向成分が光ディスク記録面法線とψの角度をなし、平
行光の０次、１次、２次及びｍ次の反射もしくは回折光
の光軸上に光電素子を配設させて、それぞれの元強度工
。、１１．Ｉ、。
Ｉｒｎを検出し、素子間の位置関係により０次と１次の
反射もしくは透過回折光の光軸のなす角θを検出し、ａ
／ｂ＝ｇ 、 （ｂ−ａ−２ｅ ）／ｂ＝ｇ 、 ２
πｎｄ／λ−δとして、 ｂ−λ／［５ｉｎ（θ＋ψ）−ｓｉｎ ｒｐ ｌの４式
を連立して溝形状を測定することのできるものである。
反射もしくは透過回折光の光軸のなす角θを検出し、ａ
／ｂ＝ｇ 、 （ｂ−ａ−２ｅ ）／ｂ＝ｇ 、 ２
πｎｄ／λ−δとして、 ｂ−λ／［５ｉｎ（θ＋ψ）−ｓｉｎ ｒｐ ｌの４式
を連立して溝形状を測定することのできるものである。
実施例の説明
第３図は本発明の実施例における元ディスク溝形状測定
装置のレーザー受光部を示す説明図である。平行光はト
ランク溝直交断面上でψの入射角でディスク表面７に入
射し、屈折率ｎの基材部８を経て、溝幅ａ、溝深ａ、溝
ピッチを、溝端での傾斜部の幅ｅの台形状の溝をもつ光
ディスク記録面９′により反射し、その反射回折光は再
び基材部８を経て元ディスク表面７より出射する。その
０次、１次、２次及びｍ次の回折元軸上にそれぞれ集光
レンズ１０，１１，１２．１１’を配設し、その焦点位
置付近にそれぞれ光電素子１３，１４゜１５ 、１４’
を設置する。以上のように構成された本実施例の元ディ
スク溝形状測定装置について、以下その測定原理につい
て説明する。
装置のレーザー受光部を示す説明図である。平行光はト
ランク溝直交断面上でψの入射角でディスク表面７に入
射し、屈折率ｎの基材部８を経て、溝幅ａ、溝深ａ、溝
ピッチを、溝端での傾斜部の幅ｅの台形状の溝をもつ光
ディスク記録面９′により反射し、その反射回折光は再
び基材部８を経て元ディスク表面７より出射する。その
０次、１次、２次及びｍ次の回折元軸上にそれぞれ集光
レンズ１０，１１，１２．１１’を配設し、その焦点位
置付近にそれぞれ光電素子１３，１４゜１５ 、１４’
を設置する。以上のように構成された本実施例の元ディ
スク溝形状測定装置について、以下その測定原理につい
て説明する。
第３図に示すように、トラック溝直交断面とディスク表
面７の交線をＵ軸とし、トラック溝直交断面とディスク
記録面９′との交線をＸ軸とする〇ディスク表面入射前
での入射光の振幅分布ｃｒ１（ｕ）、入射直後からディ
スク記録面に至るまでの入射光の振幅分布ｑ２（ｘ）は
前述のとうりである。ディスク記録面９′での反射光の
振幅成分ｑ讐ｘ）は次式で与えられる。
面７の交線をＵ軸とし、トラック溝直交断面とディスク
記録面９′との交線をＸ軸とする〇ディスク表面入射前
での入射光の振幅分布ｃｒ１（ｕ）、入射直後からディ
スク記録面に至るまでの入射光の振幅分布ｑ２（ｘ）は
前述のとうりである。ディスク記録面９′での反射光の
振幅成分ｑ讐ｘ）は次式で与えられる。
この反射光のディスク表面７出射直後の振幅分布 ｑ
’（ｕ）は次式で与えられる。
’（ｕ）は次式で与えられる。
このディスク出射後の反射光のフラウンホーファ領域で
の振幅分布Ｇ’（ｆ）は次式で与えられる。
の振幅分布Ｇ’（ｆ）は次式で与えられる。
Ｇ／（１） ＝ Ｋ 、Ｆ Ｃｃｒ／４（ｕ） ）
−・−＝ ・（５）式β〕を計算し、 Ｇ’（量）＝ Ｋ、［ａｃｌｓｉｎｃ （ａｆ ）
Ｈ（ｂｆ ）ｌ＊５ｉｎｃ（ｃｆ ）ｎ５ｉｎ２α ただしＩｏ７ λ ｃ））ｂの時には Ｇτｆ）Ｌ：に、Ｃ（［１■「（ｂｆ）＊５ｉｎｃ （
ｃｆ）ｌ （ａｓｉｎｃ（ａｆ）以下簡単のためｔ＝ａ
／を、τ−（ｂ −ａ −２ｅ）／ｂ 。
−・−＝ ・（５）式β〕を計算し、 Ｇ’（量）＝ Ｋ、［ａｃｌｓｉｎｃ （ａｆ ）
Ｈ（ｂｆ ）ｌ＊５ｉｎｃ（ｃｆ ）ｎ５ｉｎ２α ただしＩｏ７ λ ｃ））ｂの時には Ｇτｆ）Ｌ：に、Ｃ（［１■「（ｂｆ）＊５ｉｎｃ （
ｃｆ）ｌ （ａｓｉｎｃ（ａｆ）以下簡単のためｔ＝ａ
／を、τ−（ｂ −ａ −２ｅ）／ｂ 。
δ＝２ｙｒｎｄ／λ とおく。’＝０．ｂ ’ −ｂ
’ −ｂ ”時Ｇ’（ｆ）Ｉ／′ｉピーク値をと９、
それぞ扛０次、１次、２次及びｍ次の回折光の振幅値を
与える。０次、１次、２次及びｍ次の回折光強度をＩ。
’ −ｂ ”時Ｇ’（ｆ）Ｉ／′ｉピーク値をと９、
それぞ扛０次、１次、２次及びｍ次の回折光の振幅値を
与える。０次、１次、２次及びｍ次の回折光強度をＩ。
、Ｉ、、Ｉ２゜Ｉｍとすると、Ｉｏ、Ｉ、、Ｉ２．Ｉｍ
は次式で与えられる。
は次式で与えられる。
ｌｏ−ＩＯ２ゆ）Ｉ２−にイに２ｂ２Ｃ２（ε２＋２ε
ＥＣ０Ｓ２δ→ε）（＝ｎ２ｙｒｔ −２ｓｉｎｙｒｔ
ｓｉｎｙｒ ｅｃｏｓ２δ＋５ｉｎ２ｙｒＪ（Ｓｉｎ２
２ｙｒｖ＋２Ｓｉｎ２πｇＳｉｎ２πｇ℃ｏｓ２δ＋Ｓ
ｉｎ２２ｙｒＪ（ｓｉｎ２ｍｙｒ ε＋２ （−１）−
ｉｎｎ ｙｒ Ｅ Ｓｉｎｍｙｒ ｔ ＣＯ５２δ＋ｓ
ｉｎ２ｍｙｒｇ ）よって以下の（６） 、 （力、
（８）式が求まる。
ＥＣ０Ｓ２δ→ε）（＝ｎ２ｙｒｔ −２ｓｉｎｙｒｔ
ｓｉｎｙｒ ｅｃｏｓ２δ＋５ｉｎ２ｙｒＪ（Ｓｉｎ２
２ｙｒｖ＋２Ｓｉｎ２πｇＳｉｎ２πｇ℃ｏｓ２δ＋Ｓ
ｉｎ２２ｙｒＪ（ｓｉｎ２ｍｙｒ ε＋２ （−１）−
ｉｎｎ ｙｒ Ｅ Ｓｉｎｍｙｒ ｔ ＣＯ５２δ＋ｓ
ｉｎ２ｍｙｒｇ ）よって以下の（６） 、 （力、
（８）式が求まる。
・・・・・（８）
また溝幅すは０次と１次の回折光波面法線のなす角θ。
１を使って、前述の（４）式で与えられる。
Ｉｏ、１１．Ｉ２．Ｉ、、のパワー値を光電素子１３．
１４’。
１４’。
１５．１４’で検出し、０次回折元と１次回折光のなす
角θ。、を光電素子１３．１４の位置間、係により測定
することで１１／工。、１２／１ｏ、Ｉｍ／′Ｉｏ、θ
。１等は測定出来る。よってに２） 、 （３） 、
（４） 、 （６）の関係式を連立させることにより台
形状の溝寸法である溝幅ａ、溝深ａ、溝ピッチを、溝端
での傾斜部の幅ｅの測定が出来る。
角θ。、を光電素子１３．１４の位置間、係により測定
することで１１／工。、１２／１ｏ、Ｉｍ／′Ｉｏ、θ
。１等は測定出来る。よってに２） 、 （３） 、
（４） 、 （６）の関係式を連立させることにより台
形状の溝寸法である溝幅ａ、溝深ａ、溝ピッチを、溝端
での傾斜部の幅ｅの測定が出来る。
以上のように、本実施例によれば０次、１次、２次及び
ｍ次の反射回折光の元軸上ＶｃＭ、電素子全素子させて
、それぞれの光強度を測定し、０次と１次の回折光の光
軸のなす角を検出することにより、光ディスク記録面の
溝幅、溝深、溝ピッチ、及び溝端の傾斜部の幅を沖」定
することのできるものである。なお上記実施例では反射
回折光の検出による測定方法を説明したが、透過回折光
の検出によっても同様の測定が可能である。さらに、デ
ィスクに照射する平行光がトラック溝断面に傾斜して入
射する元であっても溝形状を測定する算出式に変化はな
い。
ｍ次の反射回折光の元軸上ＶｃＭ、電素子全素子させて
、それぞれの光強度を測定し、０次と１次の回折光の光
軸のなす角を検出することにより、光ディスク記録面の
溝幅、溝深、溝ピッチ、及び溝端の傾斜部の幅を沖」定
することのできるものである。なお上記実施例では反射
回折光の検出による測定方法を説明したが、透過回折光
の検出によっても同様の測定が可能である。さらに、デ
ィスクに照射する平行光がトラック溝断面に傾斜して入
射する元であっても溝形状を測定する算出式に変化はな
い。
発明の効果
本発明の元ディスク溝形状測定装置は、０次。
１次、２次及びｍ次の反射もしくは透過回折光の光軸上
に光電素子を配設させて、それぞれの光強度を測定し、
０次と１次の回折光の光軸のなす角を検出することによ
り、台形状の溝形状をなす元ディスク記録面の溝幅、溝
深、溝ピッチ、及び溝端の傾斜部の幅の測定を実現する
ものであり、その実用的効果は大きい。
に光電素子を配設させて、それぞれの光強度を測定し、
０次と１次の回折光の光軸のなす角を検出することによ
り、台形状の溝形状をなす元ディスク記録面の溝幅、溝
深、溝ピッチ、及び溝端の傾斜部の幅の測定を実現する
ものであり、その実用的効果は大きい。
第１図は従来の光ディスク溝形状演１」定装置のレーザ
ー照射部を示す図、第２図は従来の元ディスク溝形状測
定装置のレーザー受元部を示す図、第３図は本発明の実
施例における光ディスク溝形状測定装置のレーザー受元
部を示す図である。 ７・・・・・・元ディスク表面、８・・・・・・基材部
、９．９′・・・・・・記録面、１０，１１．１１’、
１２・・・・・集光レンズ、１３，１４．１４’、１５
・・・・・光電素子Ｏ
ー照射部を示す図、第２図は従来の元ディスク溝形状測
定装置のレーザー受元部を示す図、第３図は本発明の実
施例における光ディスク溝形状測定装置のレーザー受元
部を示す図である。 ７・・・・・・元ディスク表面、８・・・・・・基材部
、９．９′・・・・・・記録面、１０，１１．１１’、
１２・・・・・集光レンズ、１３，１４．１４’、１５
・・・・・光電素子Ｏ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 屈折率ｎの基材におおわれた、溝幅ａ、溝深ｄ、溝ピッ
チを、溝端での傾斜部の幅ｅの台形状の溝をもつ光ディ
スク記録面に波長λの平行光を照射し、前記平行光の波
面法線の光ディスクトラック溝直交断面上の方向成分が
前記光ディスク記録面法線とψの角度をなし、前記平行
光の０次、１次、２波及びｍ次の反射もしくは回折光の
光軸上に光電素子を配設させて、それぞれの光強度Ｉ＿
０、Ｉ＿１、Ｉ＿２、Ｉ＿ｍを検出し、前記素子間の位
置関係により前記０次と１次の反射もしくは透過回折光
の光軸のなす角θを検出し、ａ／ｂ＝ε、（ｂ−ａ−２
ｅ）／ｂ＝＠ε＠、２πｎｄ／λ＝δとして ｂ＝λ／｛ｓｉｎ（θ＋ψ）−ｓｉｎψ｝ ▲数式、化学式、表等があります▼ の４式を連立して溝形状を測定することを特徴とする光
ディスク溝形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59122367A JPS61945A (ja) | 1984-06-14 | 1984-06-14 | 光デイスク溝形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59122367A JPS61945A (ja) | 1984-06-14 | 1984-06-14 | 光デイスク溝形状測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61945A true JPS61945A (ja) | 1986-01-06 |
| JPH0556571B2 JPH0556571B2 (ja) | 1993-08-19 |
Family
ID=14834111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59122367A Granted JPS61945A (ja) | 1984-06-14 | 1984-06-14 | 光デイスク溝形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61945A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0261511A (ja) * | 1988-08-29 | 1990-03-01 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 周期性表面構造の測定装置 |
| JPH07185360A (ja) * | 1993-10-28 | 1995-07-25 | F Hoffmann La Roche Ag | 自動ピペット採取装置 |
-
1984
- 1984-06-14 JP JP59122367A patent/JPS61945A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0261511A (ja) * | 1988-08-29 | 1990-03-01 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 周期性表面構造の測定装置 |
| JPH07185360A (ja) * | 1993-10-28 | 1995-07-25 | F Hoffmann La Roche Ag | 自動ピペット採取装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0556571B2 (ja) | 1993-08-19 |
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