JPS62212268A - β−サイアロン焼結体の製造方法 - Google Patents
β−サイアロン焼結体の製造方法Info
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- JPS62212268A JPS62212268A JP61051472A JP5147286A JPS62212268A JP S62212268 A JPS62212268 A JP S62212268A JP 61051472 A JP61051472 A JP 61051472A JP 5147286 A JP5147286 A JP 5147286A JP S62212268 A JPS62212268 A JP S62212268A
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- sialon
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はβ−サイアロン粉末から焼結体を製造する方法
に関する。
に関する。
（従来技術及びその問題点）
β−サイアロンはβ−窒化珪素中のＳｉ位置をＡｌで、
Ｎ位置を０で一部置換固熔したところの、式Ｓｉ６−ｚ
Ａ１１ｚ Ｏｚ Ｎ６−ｚ （０＜ｚ≦４．２）で表
される物質である。
Ｎ位置を０で一部置換固熔したところの、式Ｓｉ６−ｚ
Ａ１１ｚ Ｏｚ Ｎ６−ｚ （０＜ｚ≦４．２）で表
される物質である。
β−サイアロンの焼結体は、窒化珪素焼結体に比較して
、耐酸化性、溶融金属に対する耐蝕性、高温での機械的
特性が優れており、さらに本来粒界相を有しないため、
透光性も示すという、高温機能材料として注目を集めて
いる。
、耐酸化性、溶融金属に対する耐蝕性、高温での機械的
特性が優れており、さらに本来粒界相を有しないため、
透光性も示すという、高温機能材料として注目を集めて
いる。
β−サイアロン焼結体を得る一般的な方法は、結晶質窒
化珪素、アルミナ及び窒化アルミニウムの各粉末を所望
の焼結体組成になるように混合して焼結する方法である
。この方法で得られる焼結体は、異常粒の存在、微構造
及び構成元素の不均一性のために、充分な機械的特性及
び透光性を有さない。
化珪素、アルミナ及び窒化アルミニウムの各粉末を所望
の焼結体組成になるように混合して焼結する方法である
。この方法で得られる焼結体は、異常粒の存在、微構造
及び構成元素の不均一性のために、充分な機械的特性及
び透光性を有さない。
上記欠点を解消する目的でそれ自身がβ−サイアロンで
ある粉末を合成し、この粉末を成形し焼結する方法が検
討されている。
ある粉末を合成し、この粉末を成形し焼結する方法が検
討されている。
特開昭６０−１４５９０２号公報には、シリコンアルコ
キシドとアルミニウムアルコキシドの混合液を加水分解
して得たシリカとアルミナの混合物に炭素を加え、窒素
雰囲気中で加熱し、還元窒化することによりβ−サイア
ロン粉末を製造する方法が記載されている。窯業製会誌
、第９３巻第２号第６９〜７２ページ（１９８５年）に
は、上記公報に記載の方法で得られるβ−サイアロン粉
末を空気中で加熱して残留炭素を除去した後に焼結する
方法が開示されている。この方法で得られる焼結体は、
上記報文にも見られるように気孔が多く硬度が低く、充
分な機械的特性を有していないことがわかる。
キシドとアルミニウムアルコキシドの混合液を加水分解
して得たシリカとアルミナの混合物に炭素を加え、窒素
雰囲気中で加熱し、還元窒化することによりβ−サイア
ロン粉末を製造する方法が記載されている。窯業製会誌
、第９３巻第２号第６９〜７２ページ（１９８５年）に
は、上記公報に記載の方法で得られるβ−サイアロン粉
末を空気中で加熱して残留炭素を除去した後に焼結する
方法が開示されている。この方法で得られる焼結体は、
上記報文にも見られるように気孔が多く硬度が低く、充
分な機械的特性を有していないことがわかる。
このように、β−サイアロン粉末の焼結体の製法につい
ては報告された例が極めて少なく、また報告された方法
によっても実用上満足しうる特性を有するβ−サイアロ
ン焼結体は得られていないのが実情である。
ては報告された例が極めて少なく、また報告された方法
によっても実用上満足しうる特性を有するβ−サイアロ
ン焼結体は得られていないのが実情である。
（発明の目的）
本発明の目的は、非晶質窒化珪素から得られるβ−サイ
アロン粉末をホットプレス焼結、又は常圧あるいは加圧
で焼結し、任意形状の緻密な焼結体の製造方法を提供す
ることにある。
アロン粉末をホットプレス焼結、又は常圧あるいは加圧
で焼結し、任意形状の緻密な焼結体の製造方法を提供す
ることにある。
（発明の要旨）
本発明は、
ａ）非晶質窒化珪素粉末、
ｂ）珪素又はアルミニウムの酸素含有化合物（以下物質
すという）、及び Ｃ）金属アルミニウム、窒化アルミニウム又は珪素（以
下物質Ｃという） を所望のβ−サイアロン組成になるように混合し、混合
物を窒素含有雰囲気下に１３００〜１８００℃の範囲の
温度に加熱して得られる、式Ｓ ｉ ６−ｚ Ａ ｌｚ
Ｏｚ Ｎ６−ｚ（式中２は０より太き（４，２以下の
数である。）で表されるβ−サイアロンを主たる相とす
る原料粉末を加熱焼結することを特徴とするβ−サイア
ロン焼結体の製造方法に関する。
すという）、及び Ｃ）金属アルミニウム、窒化アルミニウム又は珪素（以
下物質Ｃという） を所望のβ−サイアロン組成になるように混合し、混合
物を窒素含有雰囲気下に１３００〜１８００℃の範囲の
温度に加熱して得られる、式Ｓ ｉ ６−ｚ Ａ ｌｚ
Ｏｚ Ｎ６−ｚ（式中２は０より太き（４，２以下の
数である。）で表されるβ−サイアロンを主たる相とす
る原料粉末を加熱焼結することを特徴とするβ−サイア
ロン焼結体の製造方法に関する。
また、本発明は、上記のβ−サイアロンを主たる相とす
る粉末を酸素含有雰囲気下に加熱して得られる過剰の酸
素を含有する原料粉末を加熱焼結することを特徴とする
β−サイアロン焼結体の製造方法に関する。
る粉末を酸素含有雰囲気下に加熱して得られる過剰の酸
素を含有する原料粉末を加熱焼結することを特徴とする
β−サイアロン焼結体の製造方法に関する。
（発明の詳細な説明）
本発明で使用されるβ−サイアロン粉末は、本願出願人
が先に提案した特願昭６０−２１２６７１号の発明によ
って調製することができる。
が先に提案した特願昭６０−２１２６７１号の発明によ
って調製することができる。
非晶質窒化珪素粉末とは、公知の方法、例えば四ハロゲ
ン化珪素とアンモニアとを液相又は気相で反応させた反
応生成物をさらに加熱処理して得られる物質であり、通
常のＸ線回折によって明確な回折現象が現れない、いわ
ゆる非晶質の粉末である。上記反応生成物の加熱処理の
条件によっては、Ｘ線回折でわずかに回折現象が現れる
粉末を得られるが、このような粉末も本発明における非
晶質窒化珪素粉末に包含される。
ン化珪素とアンモニアとを液相又は気相で反応させた反
応生成物をさらに加熱処理して得られる物質であり、通
常のＸ線回折によって明確な回折現象が現れない、いわ
ゆる非晶質の粉末である。上記反応生成物の加熱処理の
条件によっては、Ｘ線回折でわずかに回折現象が現れる
粉末を得られるが、このような粉末も本発明における非
晶質窒化珪素粉末に包含される。
珪素の酸素含有化合物の例としては、シリカ、シリカ含
有物、シリカ前駆体、例えばシリコンアルコキシドが挙
げられ、中でも非晶質のシリカが好ましく使用される。
有物、シリカ前駆体、例えばシリコンアルコキシドが挙
げられ、中でも非晶質のシリカが好ましく使用される。
アルミニウムの酸素含有化合物の例としては、アルミナ
、アルミナ含有物、アルミナ前駆体、例えば水酸化アル
ミニウム、アルミニウムアルコキシドが挙げられ、中で
もアルミナが好ましく使用され、特にＴ−アルミナのよ
うに１０００℃以上の高温で加熱処理されていないアル
ミナが最も好ましく使用される。
、アルミナ含有物、アルミナ前駆体、例えば水酸化アル
ミニウム、アルミニウムアルコキシドが挙げられ、中で
もアルミナが好ましく使用され、特にＴ−アルミナのよ
うに１０００℃以上の高温で加熱処理されていないアル
ミナが最も好ましく使用される。
珪素又はアルミニウムの酸素含有化合物は粉末状である
ことが望ましい。両化合物は単独で使用してもよく、併
用してもよい。
ことが望ましい。両化合物は単独で使用してもよく、併
用してもよい。
金属アルミニウム、窒化アルミニウム又は珪素も粉末状
であることが望ましい。これらの物質は単独で使用する
こともでき、併用することもできる。
であることが望ましい。これらの物質は単独で使用する
こともでき、併用することもできる。
非晶質窒化珪素粉末、物質す及び物質Ｃの配合割合は、
混合された粉末の全珪素、全アルミニウム及び全酸素が
、目的とするサイアロン組成となるような割合であれば
よい。
混合された粉末の全珪素、全アルミニウム及び全酸素が
、目的とするサイアロン組成となるような割合であれば
よい。
非晶質窒化珪素粉末、物質す及び物質Ｃを混合する方法
については特に制限はなく、それ自体公知の方法、例え
ば、王者を乾式混合する方法、実質的に不活性な媒体中
で王者を湿式混合した後、不活性媒体を除去する方法等
を適宜採用することができる。混合装置としては、Ｖ型
混合機、ボールミル及び振動ボールミルが好ましく使用
される。王者の混合物の別の調製方法としては、非晶質
窒化珪素粉末の前駆体、例えばシリコンジイミド又はシ
リコンテトラミドに物質す及び物質Ｃを混合分散させ、
この分散物を加熱処理する方法も採用することができる
。上記各種の調製方法においては、非晶質窒化珪素粉末
あるいはその前駆体は酸素、水に対して極めて敏感であ
るので、制御された不活性雰囲気で取り扱う必要がある
。
については特に制限はなく、それ自体公知の方法、例え
ば、王者を乾式混合する方法、実質的に不活性な媒体中
で王者を湿式混合した後、不活性媒体を除去する方法等
を適宜採用することができる。混合装置としては、Ｖ型
混合機、ボールミル及び振動ボールミルが好ましく使用
される。王者の混合物の別の調製方法としては、非晶質
窒化珪素粉末の前駆体、例えばシリコンジイミド又はシ
リコンテトラミドに物質す及び物質Ｃを混合分散させ、
この分散物を加熱処理する方法も採用することができる
。上記各種の調製方法においては、非晶質窒化珪素粉末
あるいはその前駆体は酸素、水に対して極めて敏感であ
るので、制御された不活性雰囲気で取り扱う必要がある
。
非晶質窒化珪素粉末、物質す及び物質Ｃの混合物を窒素
含有雰囲気下に加熱して、結晶化されたβ−サイアロン
粉末を得る。
含有雰囲気下に加熱して、結晶化されたβ−サイアロン
粉末を得る。
窒素含有雰囲気の例としては、窒素ガス、アンモニアの
雰囲気、これらを含有するアルゴン雰囲気等がある。
雰囲気、これらを含有するアルゴン雰囲気等がある。
加熱温度は１３００〜１８００℃である。加熱温度が１
３００℃より低いと、結晶化に長時間を要して工業的で
はなく、加熱温度が１８００℃を超えると、−酸化珪素
等の分解飛散が起こり、所望のβ−サイアロン組成から
はずれた粉末が生成するので好ましくない。加熱時間は
通常２０時間以下である。
３００℃より低いと、結晶化に長時間を要して工業的で
はなく、加熱温度が１８００℃を超えると、−酸化珪素
等の分解飛散が起こり、所望のβ−サイアロン組成から
はずれた粉末が生成するので好ましくない。加熱時間は
通常２０時間以下である。
混合粉末の加熱時に使用される加熱炉については特に制
限はなく、例えば、高周波誘導加熱方式又は抵抗加熱方
式によるバッチ式炉、ロータリー炉、流動他炉、プッシ
ャー炉等を使用することができる。
限はなく、例えば、高周波誘導加熱方式又は抵抗加熱方
式によるバッチ式炉、ロータリー炉、流動他炉、プッシ
ャー炉等を使用することができる。
こうして得られるβ−サイアロン粉末は一次粒子の大き
さが０．２〜２μで微細かつ均一粒度の粉末であって、
遊離炭素及び金属不純物を殆ど含有していないので、ボ
イドや異常粒生長のない焼結体を与える原料粉末として
好適である。
さが０．２〜２μで微細かつ均一粒度の粉末であって、
遊離炭素及び金属不純物を殆ど含有していないので、ボ
イドや異常粒生長のない焼結体を与える原料粉末として
好適である。
本発明においては、上記β−サイアロンを主たる相とす
る粉末を直接焼結することによって、焼結体を得ること
ができる。
る粉末を直接焼結することによって、焼結体を得ること
ができる。
β−サイアロン粉末の焼結性を高めると同時に高強度の
β−サイアロン焼結体を得るためには、焼結原料のβ−
サイアロン粉末が式［１Ｆで規定される理論量の酸素に
対して８重量％以下の過剰酸素を含有していることが好
ましい。β−サイアロン粉末に過剰の酸素を含有させる
方法としては、β−サイアロン粉末の調製段階で非晶質
窒化珪素に物質すを過剰量添加する方法、β−サイアロ
ン粉末を酸素含有雰囲気中で加熱する方法などを採用す
ることができる。
β−サイアロン焼結体を得るためには、焼結原料のβ−
サイアロン粉末が式［１Ｆで規定される理論量の酸素に
対して８重量％以下の過剰酸素を含有していることが好
ましい。β−サイアロン粉末に過剰の酸素を含有させる
方法としては、β−サイアロン粉末の調製段階で非晶質
窒化珪素に物質すを過剰量添加する方法、β−サイアロ
ン粉末を酸素含有雰囲気中で加熱する方法などを採用す
ることができる。
後者の方法においては、β−サイアロン粉末を酸素含有
雰囲気中で８００〜１２００℃の範囲の温度に加熱して
、理論量より過剰の酸素をβ−サイアロン粉末に含有さ
せる前処理を施す。加熱時間は通常０．５〜５時間であ
る。β−サイアロン粉末の前処理は、例えばβ−サイア
ロン粉末を保持板上に薄（乗せて酸素含有雰囲気中に放
置する方法、β−サイアロン粉末を酸素含有雰囲気中で
流動化させる方法等によって行うことができる。
雰囲気中で８００〜１２００℃の範囲の温度に加熱して
、理論量より過剰の酸素をβ−サイアロン粉末に含有さ
せる前処理を施す。加熱時間は通常０．５〜５時間であ
る。β−サイアロン粉末の前処理は、例えばβ−サイア
ロン粉末を保持板上に薄（乗せて酸素含有雰囲気中に放
置する方法、β−サイアロン粉末を酸素含有雰囲気中で
流動化させる方法等によって行うことができる。
過剰酸素量は８重量％以下、特に６．５重量％以下であ
ることが必要である。過度に多いと焼結体中に融点の低
い相が多く残留し、高温での機械的特性が損なわれる。
ることが必要である。過度に多いと焼結体中に融点の低
い相が多く残留し、高温での機械的特性が損なわれる。
原料粉末の加熱焼結はそれ自体公知の方法に従って行う
ことができる。即ち、原料粉末をそのまま乾式あるいは
湿式で所定の形状に成形し、常圧下又は加圧下に窒素含
有雰囲気中で焼結する方法、原料粉末をそのまま所定の
形状のダイスに充填し、ホットプレス焼結する方法を採
用することができる。緻密で良好な特性を具備した焼結
体を得るためには、原料粉末を湿式でミリングして粉末
粒子間の凝集あるいは融着をほぐした後、上記の手順に
より焼結することが好ましい。湿式ミリングする際の媒
体としては、原料粉末と実質的に反応を起こさないもの
で容易に蒸発除去し得るものであればどのようなもので
あっても良いが、通常、水、メタノール、エタノール、
アセトン、トルエン等が使用される。ミリング装置とし
ては、ボールミル、振動ミルなどが便利に使用される。
ことができる。即ち、原料粉末をそのまま乾式あるいは
湿式で所定の形状に成形し、常圧下又は加圧下に窒素含
有雰囲気中で焼結する方法、原料粉末をそのまま所定の
形状のダイスに充填し、ホットプレス焼結する方法を採
用することができる。緻密で良好な特性を具備した焼結
体を得るためには、原料粉末を湿式でミリングして粉末
粒子間の凝集あるいは融着をほぐした後、上記の手順に
より焼結することが好ましい。湿式ミリングする際の媒
体としては、原料粉末と実質的に反応を起こさないもの
で容易に蒸発除去し得るものであればどのようなもので
あっても良いが、通常、水、メタノール、エタノール、
アセトン、トルエン等が使用される。ミリング装置とし
ては、ボールミル、振動ミルなどが便利に使用される。
常圧又は雰囲気加圧焼結に先立つ原料粉末の成形は、公
知の方法、例えばラバープレス法、−軸成形法、鋳込成
形法、射出成形法、爆発圧縮成形法によって行うことが
できる。
知の方法、例えばラバープレス法、−軸成形法、鋳込成
形法、射出成形法、爆発圧縮成形法によって行うことが
できる。
本発明において、β−サイアロン粉末に、焼結後にβ−
サイアロン組成となる結晶質窒化珪素、アルミナ及び窒
化アルミニウムを配合することもできる。
サイアロン組成となる結晶質窒化珪素、アルミナ及び窒
化アルミニウムを配合することもできる。
焼結温度は通常１６００〜１９００℃であり、焼結時間
は一般に０．５〜５時間である。焼結温度が過度に低い
と焼結が進行せず、焼結温度が過度に高いとβ−サイア
ロンの熱分解が生じるようになる。
は一般に０．５〜５時間である。焼結温度が過度に低い
と焼結が進行せず、焼結温度が過度に高いとβ−サイア
ロンの熱分解が生じるようになる。
（発明の作用効果）
本発明によれば、後述する実施例の結果かられかるよう
に、室温強度と高温強度との差がほとんどない緻密な焼
結体が得られるという優れた効果が奏される。
に、室温強度と高温強度との差がほとんどない緻密な焼
結体が得られるという優れた効果が奏される。
（実施例）
以下に実施例を示す。
相対密度とはアルキメデス法によって測定した焼結体の
密度の理論密度に対する百分率である。
密度の理論密度に対する百分率である。
焼結体の曲げ強度はＪＩＳ Ｒ１６０１に従い、焼結
体から３Ｘ４Ｘ３５■の棒状試験片を切り出し、表面を
ダイヤモンドホイールで長軸方向に研磨した後、スパン
３０論、クロスヘッドスピード０、５ ｔｍ ／分の条
件で室温及び１２００℃で３点曲げ試験をすることによ
って測定し、硬度はビッカース法により室温で測定した
。
体から３Ｘ４Ｘ３５■の棒状試験片を切り出し、表面を
ダイヤモンドホイールで長軸方向に研磨した後、スパン
３０論、クロスヘッドスピード０、５ ｔｍ ／分の条
件で室温及び１２００℃で３点曲げ試験をすることによ
って測定し、硬度はビッカース法により室温で測定した
。
実施例１〜５
シリコンジイミドを１２００℃で熱分解して得た非晶質
窒化珪素粉末９１０．３ｇ、ｒ−アルミナ（比表面積約
１００ｒｒｒ／ｇ）２５４．４ｇ及び金属アルミニウム
粉末（比表面積０．３ ｄ／ｇ） １１９゜３ｇの混
合粉末を窒素雰囲気中で１６００℃に加熱して下記特性
を有するβ−サイアロン粉末を得た。
窒化珪素粉末９１０．３ｇ、ｒ−アルミナ（比表面積約
１００ｒｒｒ／ｇ）２５４．４ｇ及び金属アルミニウム
粉末（比表面積０．３ ｄ／ｇ） １１９゜３ｇの混
合粉末を窒素雰囲気中で１６００℃に加熱して下記特性
を有するβ−サイアロン粉末を得た。
β−サイアロン粉末の特性
２値 ２
比表面積 ４．３ｒｄ／ｇ
粒形 等軸結晶
生成相 β相のみ
組成（重量％）
Ｓｔ Ａｍ！ ＯＮ
３９．２ １９．３ １１．４ ３０．１上記β−サイ
アロン粉末を空気中で１０００℃で所定時間酸化した後
、エタノ−ルを媒体として゛ ４８時時間式ミリングし
、続いて８０℃で真空乾燥した。得られた原料粉末約２
５ｇを表面が窒化硼素で被覆された内径５０ａの黒鉛製
治具に充填し、ホットプレス燃結装置にセットした後、
２５０ ｋｇ ／ ｃｌＫの加圧下に、室温から１７５
０℃迄２０℃／分で昇温し、同温度に１時間保持した。
アロン粉末を空気中で１０００℃で所定時間酸化した後
、エタノ−ルを媒体として゛ ４８時時間式ミリングし
、続いて８０℃で真空乾燥した。得られた原料粉末約２
５ｇを表面が窒化硼素で被覆された内径５０ａの黒鉛製
治具に充填し、ホットプレス燃結装置にセットした後、
２５０ ｋｇ ／ ｃｌＫの加圧下に、室温から１７５
０℃迄２０℃／分で昇温し、同温度に１時間保持した。
得られた焼結体の特性を第１表に示す。
実施例６
実施例３におけると同様にして得られた原料粉末１５ｇ
を、内径４０鶴の金型を用い１５０ｋｇ／−で−軸プレ
スした後、１５００ｈぎ／−でラバープレスし成形体を
得た。この成形体を黒鉛型に入れ高周波誘導炉にセット
し、常圧窒素ガス雰囲気下に、１７５０℃で１時間保持
した。
を、内径４０鶴の金型を用い１５０ｋｇ／−で−軸プレ
スした後、１５００ｈぎ／−でラバープレスし成形体を
得た。この成形体を黒鉛型に入れ高周波誘導炉にセット
し、常圧窒素ガス雰囲気下に、１７５０℃で１時間保持
した。
得られた焼結体の特性を第２表に示す。
実施例７
実施例１で得られたβ−サイアロン粉末に、窒化珪素（
宇部興産■製、Ｅ−１０）、アルミナ（住友化学■製、
ＡＫＰ−３０）及び窒化アルミニウム（シュタルク製）
の混合粉末（β−サイアロン粉末に対して２Ｑｗｔ％）
を焼結後β−サイアロン（ｚ＝２）組成になるように配
合し、この配合物を酸化処理することなく、実施例１に
おけると同様にしてホットプレス焼結した。
宇部興産■製、Ｅ−１０）、アルミナ（住友化学■製、
ＡＫＰ−３０）及び窒化アルミニウム（シュタルク製）
の混合粉末（β−サイアロン粉末に対して２Ｑｗｔ％）
を焼結後β−サイアロン（ｚ＝２）組成になるように配
合し、この配合物を酸化処理することなく、実施例１に
おけると同様にしてホットプレス焼結した。
得られた焼結体の特性を第２表に示す。
実施例８
シリコンジイミドを１２００℃で熱分解して得た非晶質
窒化珪素粉末６６．５ｇ、ｒ−アルミナ２２．６ｇ及び
金属アルミニウム粉末７．２ｇを振動ミルで混合した。
窒化珪素粉末６６．５ｇ、ｒ−アルミナ２２．６ｇ及び
金属アルミニウム粉末７．２ｇを振動ミルで混合した。
混合粉末を窒素雰囲気中で１６００℃に加熱して下記特
性を有するβ−サイアロン粉末を得た。
性を有するβ−サイアロン粉末を得た。
β−サイアロン粉末の特性
２値 ２
比表面積 ２．３ｇ／ｎ？
粒形 等軸結晶
生成相 β相のみ
組成（重量％）
Ｓｉ Ａｊ！ ＯＮ
３９．６ １８．５ １４，５ ２７．４過剰酸素量
３．２重量％ 上記原料粉末を、酸化処理することなく、実施例１にお
けると同様してホットプレス法により焼結した。
３．２重量％ 上記原料粉末を、酸化処理することなく、実施例１にお
けると同様してホットプレス法により焼結した。
得られた焼結体の特性を第２表に示す。
第１表
第２表
手、続補正書（自発）
昭和６２年３月、））７日
Claims (3)
- （１）ａ）非晶質窒化珪素粉末、 ｂ）珪素又はアルミニウムの酸素含有化合物、及び ｃ）金属アルミニウム、窒化アルミニウム又は珪素 を所望のβ−サイアロン組成になるように混合し、混合
物を窒素含有雰囲気下に１３００〜１８００℃の範囲の
温度に加熱して得られる、 式Ｓｉ＿６＿−＿ｚＡｌ＿ｚＯ＿ｚＮ＿８＿−＿ｚ（式
中ｚは０より大きく４．２以下の数である。）で表され
るβ−サイアロンを主たる相とする粉末を加熱焼結する
ことを特徴とするβ−サイアロン焼結体の製造方法。 - （２）ａ）非晶質窒化珪素粉末、 ｂ）珪素又はアルミニウムの酸素含有化合物、及び ｃ）金属アルミニウム、窒化アルミニウム又は珪素 を所望のβ−サイアロン組成になるように混合し、混合
物を窒素含有雰囲気下に１３００〜１８００℃の範囲の
温度に加熱して得られる、 式Ｓｉ＿６＿−＿ｚＡｌ＿ｚＯ＿ｚＮ＿８＿−＿ｚ（式
中ｚは０より大きく４．２以下の数である。）で表され
るβ−サイアロンを主たる相とし、かつ上記式で規定さ
れる理論量の酸素に対して８重量％以下の過剰酸素を含
有する原料粉末を、加熱焼結することを特徴とするβ−
サイアロン焼結体の製造方法。 - （３）原料粉末が、β−サイアロン粉末を酸素含有雰囲
気下に８００〜１２００℃の範囲の温度に加熱して得ら
れる粉末であること特徴とする特許請求の範囲第２項に
記載のβ−サイアロン焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61051472A JPS62212268A (ja) | 1986-03-11 | 1986-03-11 | β−サイアロン焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61051472A JPS62212268A (ja) | 1986-03-11 | 1986-03-11 | β−サイアロン焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62212268A true JPS62212268A (ja) | 1987-09-18 |
| JPH0324430B2 JPH0324430B2 (ja) | 1991-04-03 |
Family
ID=12887888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61051472A Granted JPS62212268A (ja) | 1986-03-11 | 1986-03-11 | β−サイアロン焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62212268A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102017008649A1 (de) | 2016-09-20 | 2018-03-22 | Ngk Insulators, Ltd. | Sialon-sinterkörper, verfahren zu dessen herstellung, verbundsubstrat und elektronische vorrichtung |
-
1986
- 1986-03-11 JP JP61051472A patent/JPS62212268A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102017008649A1 (de) | 2016-09-20 | 2018-03-22 | Ngk Insulators, Ltd. | Sialon-sinterkörper, verfahren zu dessen herstellung, verbundsubstrat und elektronische vorrichtung |
| US10399906B2 (en) | 2016-09-20 | 2019-09-03 | Ngk Insulators, Ltd. | Sialon sintered body, method for producing the same, composite substrate, and electronic device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0324430B2 (ja) | 1991-04-03 |
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