JPS632110A - 消去用磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、ＶＴＲ等の磁気記録再生装置に装備される消
去用磁気ヘッドに関するものである。

（従来の技術） ヘリカルスキャン方式のＶＴＲに於いて、つなぎ撮り、
画像の挿入記録等の捏作を行なう際、回転消去ヘッドを
装備することが有効であり、特に、高岩度記録が可能な
高抗磁力メタル塗布テープ（ＭＰテープ）を使用する８
　ｍｍＶ　Ｔ　Ｒに於いては、複合型の回転消去ヘッド
が装備される。

斯ａ複合型消去ヘッドとして、ｆｊＳ５図に示す如き磁
気ヘッド（８）が提案されている（例えば特開昭６Ｏ−
９５７０５）。

該磁気へラド（８）は、略５　＞１０３Ｇの飽和磁束密
度を有するＭ　ｎ　−Ｚ　ｎ　７エライト製の一対のコ
ア半体（１０）：２０）の接合部に、略１０Ｘ　１０３
Ｇの飽和磁束密度を有するセンダスト製磁性層（８３）
と、Ｓｉ０２層からなるギャップ部（８４）とを兵えて
いる。

該ギャップ部（８４）の両端は、ガラス部（５１）（５
１）によって規制される。

ギャップ部（８４）が形成されているコア牛体（２ｏ）
には、磁性層（８３）が形成されているコア牛体（ｉｏ
）に而して、電気コイルを巻装する為のコイル窓（８１
）が開設され、又、コア牛体（１０）の後方端部には、
該磁気ヘッドの製造工程にて開設されたガラス挿入溝の
一部が四部（８２）として残っている。

磁気テープは、磁気ヘッド（８）に対し第１図中の矢印
Ｂで示す方向に走行し、磁気ヘッド（８）から発生する
消去磁場により、記録信号の消去が施される。

この際、高磁束密度の磁性層（８３）は、テープに対す
るヘッド摺動方向の進み側に配設された第１コア牛体（
１０）側に形成され、然もコイル窓（８１）は、ヘッド
摺動方向の遅れ側に配設されたｆ５２コア牛体（２０）
に開設されているから、磁気へラド（８）から発生する
磁界は、第１コア牛体（１０）よりもｆ５２コア牛体（
２０）側が緩やかな分布となり、この結果、磁気ヘッド
（８）の走査に伴って、磁気テープ上の残存磁場は零に
収束し、磁気テープに記録されている信号の交流消去が
効率的に行なわれるのである。

上記磁気ヘッド（８）は、従来よ’）ＰｔＳ４図に示す
工程を経て製造されている。

先ず、第４図（ａ）（ｃ）に示す如く、接合固定すべき
一対のウェハ（１）（２）の両接合面に、多数のトラン
ク幅規制溝（１１）（２１）を夫々一定のピッチで凹設
する。

次に、第４図（１〕）に示す如く、第１ウエハ（１）の
接合面に、センダスト膜と５ｉｏ２膜とがＣ）なる中間
膜（４）を所定厚さに形成する。

又第４図（ｄ）に示す如く、ｆｊＳ２ウェハ（２）の接
合面には、前記トラ／り幅規制溝（２１）と直交する方
向に、巻線溝（２２）及びガラス挿入溝（２３）を所定
の間隔で凹設する。

その後、第４図（ｅ）に示す如く前記両ウェハ（１）（
２）を重ね合わせ、ガラス挿入溝（２３）にガラス棒（
５）を挿入すると共に、両ウェハに挟圧力をかけた状態
で、これらに熱処理を施す。これによってガラス棒（５
）を溶融せしめ、ガラスを前記トラック幅規制溝（１１
）（２１）に充填（５０）することにより、両ウェハ（
１）（２）を互いに固定し、結合体（３）を形成するの
である（接合工程）。

該結合体（３）をガラス挿入溝（２３）にて破＃ａＣに
沿って切断し、第４図（ｆ）に示すブロック（６）を製
造する（切断工程）。

更に、該ブロック（６）の表面（６０）を円曲面に研磨
加工し、第４図（ｇ）に示すブロック（７）を形成する
。

最後に、該ブロック（７）をスライスして、第５図に示
す磁気へラド（８）を完成するのである。

（解決しようとする問題点） ところが、上記磁気ヘッド（８）の製造方法には、次の
２つの問題があった。　。

■　第・を図（ｅ）に示す接合工程にて、溶Ｆ１１１ｆ
ラスがトラック幅規制溝（１１）（２１）に充分に流れ
込まず、固化したガラスに空洞が残り易い。

■　ｆ５４図（ｅ）から（ｆ）へ至る切断工程、及びそ
の後の機械加工の段階で、第６図に示す如く、センゲス
ト膜（４１）が形成された第１ウエハ（１）に、第２ウ
エハ（２）との接合面に沿って、連続するヒビ（９）が
発生することがあり、これが主因で製造歩留まりが低下
する。

又、従来の９１造工程を経て完成した磁気ヘッド（８）
には、上記切断工程で発生した微細なりラックが内部欠
陥として残存し、この結果、製品としての使用中に該内
部欠陥が進展して、ＶＴＲの寿命に影響を及ぼす虞れが
ある。

出願人は、これらの問題の原因を下記の如く究明し、本
発明の完成に至った。

前記■の問題の原因は、１４図（ｅ）に示すガラス溶着
工程にて、溶融したガラスの多くの部分がガラス挿入溝
（２３）に付着し、トラック幅規制溝（１１）（２１）
へスムースに流出しないからであると考えられる。

又、前記■の問題の原因は、犬の様に説明される。即ち
、第４図に示す従来の製造方法に於いて、センゲスト膜
とウェハ（１）との接合部に両者の熱膨張率の差に起因
する内部応力が残存することは避けられず、第４図（ｅ
）から（ｆ）への切断工程にて、該内部応力が原因して
、前記接合部に微細なりランクが発生する。ｉ４図（Ｌ
）に示す如く、トラック幅規制溝（１１）の底部に形成
されたセンダスト膜は、該溝に沿って一直線上を連続し
て伸びているから、結合体（３）の切断の際、トランク
幅規制溝（１１）底部のセンダスト膜とウェハとの接合
部に生じたクラックは、トラック幅規制溝（１１）に沿
って容易に伝播し、更に第６図に示す如く、隣合うトラ
ック幅規制溝（１１）の底部に生じたクラックが互いに
繋がるのである。

（問題点を解決する為の手段） 本発明は、製造工程中、或は製品として使用中に、８！
械加工の際に生じた内部欠陥が拡大することがなく、然
もトラック幅規制溝内のガラスに気泡が残ることのない
、消去用磁気ヘッドの構造とその製造方法を提供するこ
とを目的とする。

本発明に係る磁気ヘッドは、磁気記録娠体に対する摺動
方向に配列された一対のコア牛体（１０）（２０）の接
合部に、前記摺動方向の進み側に配設された第１コア牛
体（１０）には該コア牛体よりも高い飽和磁束密度の磁
性層（８３）を形成し、該磁性層（８３）と遅れ側に配
設された第２コア牛体（２０）との間には非磁性層を形
成している。

又、第２コア牛体（２０）にはコイル窓（８１）を凹設
し、第１フア牛体（１０）の後方端部には、ｔｊＳ２コ
ア牛体（２０）に面して四部（８２）が形成されている
。

上記磁気へ２ド（８）の製造は、一対の磁性体ウェハ（
１）（２）の両接合面に、夫々トラック幅規制溝（１１
）（２１）を一定のピッチで繰り返し凹設する。

又、一方のウェハ（１）の接合面には、トラック幅規制
溝（１１）と直交する方向に、ガラス挿入溝（１２）を
凹設した後、磁性層及び非磁性層となるべき磁性膜と非
磁性膜とを順次、所定厚さにて形成する。又、他方のウ
ェハ（２）の接合面には前記トラック幅規制溝（２１）
と直交する方向に、巻線溝（２２）を凹設する（ウェハ
加工工程）。

次に、加工工程を経た両ウェハ（１）（２）を互いのト
ラック幅規制溝（１１）（２１）を合致させて重ね合わ
せると共に、ガラス挿入溝（２３）にガラス材を装填し
た状態で、両ウェハ（１）（２）及びガラス材に加熱処
理を施し、溶融ガラスをトラック幅規制溝（１１）に充
填して、両ウェハ（１）（２）を互いに固定し、結合体
（３）を形成する（接合工程）。

該結合体（３）をガラス挿入溝（１２）の幅内で切断し
てブロック（６）を形成し、更に該ブロック（６）に１
９１械加工を施して、一対のコア牛体（ｔｏ）（２０）
の接合部に磁性層（８３）及び非磁性層を具えた磁気へ
ノドチノプを完成する（整形工程）。

（１乍　　用） 上記磁気ヘッドの製造方法に於いては、ガラス挿入溝（
１２）が凹設された０′Ｓ１ウエハ（１）に非磁性膜が
形成されており、接合工程にてガラス挿入溝（１２）内
で溶融したガラスは、−般にガラス挿入溝（１２）の表
面に形成された非磁性膜には付着しにくいから、溶融し
た大部分のガラスがトラック幅規制溝（１１）（２１）
へ流出し、該トラック幅規制溝（１１）（２１）が形成
する空間には、溶融ガラスが隙間無く充ｊｆｌ！（５０
）されることになる。従って、トラック幅規制溝（１１
）（１２）内で固化したガラスに空洞が生じることはな
い。

又、センダスト等の磁性膜は、トラック幅規制溝（１１
）とガラス挿入溝（１２）とが直交して凹設された＠１
ウェハ（１）の接合面に形成されているから、Ｙう７り
幅規制溝（１１）の底面に形成された磁性膜と、ガラス
挿入溝（１２）の底面に形成された磁性膜とは同一平面
上になく、収差部を介して不連続となっている（第２図
（Ｃ）参照）。従って、結合体（３）をガラス挿入溝（
２３）に沿って切断する際、ガラス挿入溝（１２）底部
の磁性膜とウェハとの接合部に発生する微細なりラック
は、該溝に直交する方向には進展せず、トラック幅規制
溝（１１）底部の磁性膜とウェハとの接合部に至る虞れ
はない。

従って、第６図に示す如きヒビ（９）が発生することは
なく、又、ガラス挿入溝（１２）底部の磁性膜とウェハ
との接合部に生じているクラック部分は、整形工程で除
去することが可能であるから、製品としての磁気ヘッド
に欠陥は残らない。

又、上記方法によって製造された磁気ヘッドは、従来の
磁気ヘッドと同様、記録媒体に対する摺動方向の進み側
のｆ５１コア牛体（１０）に磁性膜、遅れ側の第２フア
牛体（２０）にコイル窓（８１）を艮えているから、消
去用磁気ヘッドとしての性能に低下はない。

（’２明の効果） 本発明に係る磁気ヘッドは、前記製造方法を経て容易に
製造することが出来、該製造方法に於いて、切断工程で
生じた内部欠陥は、その後の加工工程で進展することは
ないから、製造歩留まりの大幅な改善が可能である。又
、製品としての磁気ヘッドに内部欠陥は残存しないから
、所定の寿命が達成される。

（実施例） 第１図は本発明に係る磁気ヘッドの構造を示し、該磁気
ヘッド（８）は第５図に示す磁気ヘッドと同様、第１フ
ア牛体（１０）側に磁性Ｈ７Ｊ（８３）、第２コア牛体
（２０）側にコイル窓（８１）を兵え、充分な消去性能
を発押する。尚、該磁気ヘッドが従オの磁気へラドの構
造と異なる点は、製造段階で形成されたガラス挿入溝が
第１フア牛体（１０）側に凹部（８２）として残ること
である。

該磁気ヘッドは、第２図に示す工程を経て製造される。

該製造工程は、第４図に示す従来の工程とは異なり、第
２図（ｂ）に示す工程にて、第１ウエハ（１）の接合面
に、ガラス挿入溝（１２）がトラック幅規制溝（１１）
に直交して凹設された後、第２図（ｃ）の工程で該接合
面にセンゲスト膜及び５ｉｎ２膜からなる中間膜（４）
が形成される。

一方、第２ウエハ（２）の接合面には、第２図（ｄ）及
び（ｅ）に示す如く、トラック幅規制溝（２１）及び巻
線溝（２２）は開設されるが、ガラス挿入溝（２３）は
開設されない。

その後、両ワエハ（１）（２）は、第２図（ｆ）に示す
如く重ね合わされ、ガラス挿入溝（１２）にガラス棒（
５）を挿入した状態で、加圧及び加熱が施され、結合体
（３）が製造される。この際、ガラス挿入溝（１２）内
にて１８融しなガラスは、ガラス挿入溝（１２）の表面
に形成された５ｉ０２膜には付着しにくく、この結果、
溶融したガラスの殆どがトランク１幅規制溝（１１）（
２１）へ流出して該溝を隙間無く充填（ＳＯ）する。

結合体（３）は、第３図に示す如くがラス挿大溝（１２
）の幅内のＡ線に沿って切断され、第２図（ｇ）のブロ
ック（６）を経て、同図（１１）に示すテープ対接面（
７０）を兵えたブロック（７）が形成される。

最後に、該ブロック（７）をスライスすることにより、
Ｐｔ５１図に示す磁気へラド（８）が完成する。

第３図の切断工程にて、ガラス挿入溝（１２）底部のセ
ンゲスト膜とウェハとの接合部には、微細なりラックが
発生するが、該クラックは、下記理由により、ｆｊＳ２
図に示すブロック（６）の表面（６０）に対する研磨工
程、或はブロック（７）をスライスする工程にて、テー
プ対接面（７０）にまで拡大することはない。

即ち、第３図に矢印りに示す如く、ガラス挿入溝（１２
）底部付近のクラックが、内部応力の残存しているセン
ダスト膜とウェハとの接合部に沿って、巻線溝（２２）
に向がって進展するには、ガラス挿入溝（１２）の垂直
壁を進行する必要があるが、訊垂直璧にはセンダスト膜
が殆ど形成されず、従ってこの部分には内部応力も残存
していないから、ここでクラックの伝播が停止するので
ある。

従って、上記磁気ヘッドの構造及び製造方法によれば、
内部欠陥が無く、然も充分な消去性能を発押する消去用
磁気ヘッドを、歩留まり良く製造することが出来る。

尚、本発明の各部溝成は上記実施例に限らず、特許請求
の範囲に記載の技術的範囲内で種々の変形が可能である
ことは勿論である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る磁気ヘッドの斜面図、第２図は本
発明に係る磁気ヘッド９１造方法を実施する為の一例の
工程図、第３図は切断工程に於ける結合体の斜面図、１
４図は従来の磁気ヘッドの製造方法を示す一連の工程図
、第５図は従来溝道の磁気ヘッドの斜面図、第６図は従
来の磁気ヘッド製造方法の不具合を説明するテープ対接
面の拡大図であゝる。 （１）・・・ｍｌウェハ　　　　（２）・・・［２’７
エハ（１０）・・・第１コア牛体 （１１）（２１）・・・トラック幅規制溝（２０）・・
・第２コア半体　　く２２）・・・巻線溝（２３）・・
・ガラス挿大溝　　（４）・・・中間膜（５）・・・〃
ラス棒　　　　　（８１）・・・コイル窓（８２）・・
・四　部　　　　　（８３）・・・磁性層（８４）・・
・ギャップ部

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ［１］磁気記録媒体に対する摺動方向に配列された一対
   のコア半体（１０）（２０）の接合部に、前記摺動方向
   の進み側に配設された第１コア半体（１０）には該コア
   半体よりも高い飽和磁束密度の磁性層（８３）を形成し
   、該磁性層（８３）と遅れ側に配設された第２コア牛体
   （２０）との間には非磁性層を形成すると共に、記録媒
   体に摺接すべきコア前面には前記非磁性層による磁気ギ
   ャップ部（８４）を具え、コイル巻装用のコイル窓（８
   １）は、第２コア半体（２０）に開設され、第１コア半
   体（１０）の後方端部には、第２コア半体（２０）に面
   して凹部（８２）が形成されている消去用磁気ヘッド。 ［２］一対のコア半体（１０）（２０）の接合部に、該
   コア半体よりも高い飽和磁束密度の磁性層（８３）と非
   磁性層とを介装し、何れか一方のコア半体（２０）には
   コイル窓（８１）を開設してなる消去用磁気ヘッドの製
   造方法に於いて、コア半体（１０）（２０）となるべき
   一対の磁性体ウェハ（１）（２）の両接合面に、トラッ
   ク幅規制溝（１１）（２１）を夫々一定のピッチで繰り
   返し凹設し、一方のウェハ（１）の接合面には、前記ト
   ラック幅規制溝（１１）と直交する方向にガラス挿入溝
   （１２）を凹設した後、磁性膜と非磁性膜とを順次、所
   定厚さに形成し、他方のウェハ（２）の接合面には前記
   トラック幅規制溝（２１）と直交する方向に巻線溝（２
   ２）を凹設するウェハ加工工程と、該加工工程を経た両
   ウェハ（１）（２）を互いのトラック幅規制溝（１１）
   （２１）を一致させて重ね合わせると共に、ガラス挿入
   溝（２３）にガラス材を装填した状態で、両ウェハ（１
   ）（２）及びガラス材に加熱処理を施し、ガラスをトラ
   ック幅規制溝（１１）に充填して両ウェハ（１）（２）
   を互いに固定し、結合体（３）を形成する接合工程と、
   該結合体（３）をガラス挿入溝（１２）の幅内にて切断
   してブロック（６）を形成する切断工程と、該ブロック
   （６）に機械加工を施して、一対のコア半体（１０）（
   ２０）の接合部に磁性層（８３）及び非磁性層を具えた
   磁気ヘッドチップを形成する整形工程とからなることを
   特徴とする消去用磁気ヘッドの製造方法。