JPS6330356U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6330356U JPS6330356U JP12450586U JP12450586U JPS6330356U JP S6330356 U JPS6330356 U JP S6330356U JP 12450586 U JP12450586 U JP 12450586U JP 12450586 U JP12450586 U JP 12450586U JP S6330356 U JPS6330356 U JP S6330356U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal growth
- growth apparatus
- susceptors
- surrounding
- quartz crucible
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 5
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は本考案による一実施例の結晶成長装置
の要部を示す平面図及び斜視図、第２図は従来の
結晶成長装置の要部を示す側断面図及び斜視図で
ある。 図において、１は石英るつぼ、２は薄肉サセプ
タ、３，３３はサセプタ、４は溶融液、５はヒー
タ、６はシヤフト、である。
の要部を示す平面図及び斜視図、第２図は従来の
結晶成長装置の要部を示す側断面図及び斜視図で
ある。 図において、１は石英るつぼ、２は薄肉サセプ
タ、３，３３はサセプタ、４は溶融液、５はヒー
タ、６はシヤフト、である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 チヨコラルスキー法による結晶成長装置であつ
て、 溶融液４を保持する石英るつぼ１を包囲するサ
セプタ２，３を複数個設け、該サセプタ２，３が
該石英るつぼ１の周囲を完全に包囲することを特
徴とする結晶成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12450586U JPS6330356U (ja) | 1986-08-12 | 1986-08-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12450586U JPS6330356U (ja) | 1986-08-12 | 1986-08-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6330356U true JPS6330356U (ja) | 1988-02-27 |
Family
ID=31016578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12450586U Pending JPS6330356U (ja) | 1986-08-12 | 1986-08-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6330356U (ja) |
-
1986
- 1986-08-12 JP JP12450586U patent/JPS6330356U/ja active Pending