JPS6377533A - 減圧処理装置の圧力切り替え方法 - Google Patents
減圧処理装置の圧力切り替え方法Info
- Publication number
- JPS6377533A JPS6377533A JP22040486A JP22040486A JPS6377533A JP S6377533 A JPS6377533 A JP S6377533A JP 22040486 A JP22040486 A JP 22040486A JP 22040486 A JP22040486 A JP 22040486A JP S6377533 A JPS6377533 A JP S6377533A
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- Japan
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- pressure
- valve
- opening
- correlation
- processing chamber
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- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Control Of Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
処理ガスを供給されながらバルブを介した排気手段によ
り減圧される処理室を具えた減圧処理装置における処理
室の圧力切り替えにおいて、予め処理室の圧力とバルブ
の開度との相関を求めておき、バルブの開度を所望圧力
に対して該相関の示す開度に設定することにより、 所要時間の短縮を図ったものである。
り減圧される処理室を具えた減圧処理装置における処理
室の圧力切り替えにおいて、予め処理室の圧力とバルブ
の開度との相関を求めておき、バルブの開度を所望圧力
に対して該相関の示す開度に設定することにより、 所要時間の短縮を図ったものである。
本発明は、処理ガスを供給されながらバルブを介した排
気手段により減圧される処理室を具えた減圧処理装置に
おける処理室の圧カ切り替えの方法に関す。
気手段により減圧される処理室を具えた減圧処理装置に
おける処理室の圧カ切り替えの方法に関す。
半導体装置の製造においては、ウェーハに対する微細加
工の中にドライエツチングやアッシング（ドライのレジ
スト除去）などの処理があり、これらの処理には上記に
類した減圧処理装置が用いられている。
工の中にドライエツチングやアッシング（ドライのレジ
スト除去）などの処理があり、これらの処理には上記に
類した減圧処理装置が用いられている。
この減圧処理装置では、通常、処理を施す処理室の圧力
が処理の際とウェーハ交換などの際との間で異なって圧
力の切り替えを必要としている。
が処理の際とウェーハ交換などの際との間で異なって圧
力の切り替えを必要としている。
そしてスループット向上のため、この切り替えに要する
時間を短縮することが望まれている。
時間を短縮することが望まれている。
上述した減圧処理装置の圧力切り替えの従来方法は第３
図の構成図に示されるが如（である。
図の構成図に示されるが如（である。
同図において、処理を施す処理室１は、処理ガス２を一
定流量で供給されながらバルブ３を介した排気手段４
（例えば真空ポンプ）により減圧される。バルブ３は、
例えばバタフライ型のスロットルバルブであってバルブ
駆動回路５により駆動され、その開度が大の際には排気
力を高めて処理室１の圧力を低めるように、また小の際
には逆に作用する。
定流量で供給されながらバルブ３を介した排気手段４
（例えば真空ポンプ）により減圧される。バルブ３は、
例えばバタフライ型のスロットルバルブであってバルブ
駆動回路５により駆動され、その開度が大の際には排気
力を高めて処理室１の圧力を低めるように、また小の際
には逆に作用する。
そして処理室１の圧力を或る圧力から所望圧力に切り替
える際には、処理室１の圧力を検知する圧力センサ６か
らの信号と、所望圧力を設定した圧力設定回路７からの
信号とを比較回路８により比較し、処理室１の圧力が設
定圧力より高い場合にはバルブ３の開度を大にするよう
に、また逆の場合にはバルブ３の開度を小にするように
バルブ駆動回路５に信号を送る。
える際には、処理室１の圧力を検知する圧力センサ６か
らの信号と、所望圧力を設定した圧力設定回路７からの
信号とを比較回路８により比較し、処理室１の圧力が設
定圧力より高い場合にはバルブ３の開度を大にするよう
に、また逆の場合にはバルブ３の開度を小にするように
バルブ駆動回路５に信号を送る。
さすれば処理室１の圧力は、設定圧力に近づ（ように変
化し、ついには設定圧力に収斂する。
化し、ついには設定圧力に収斂する。
なお図示のＷは処理対象のウェーハであり、１ａはウェ
ーハＷの出入口である。
ーハＷの出入口である。
しかしながら、圧力切り替えの上記従来方法では、上記
収斂に至るまでの所要時間は、第２図の圧力特性図にお
ける破線に示す如く、処理室１の圧力が比較的速く設定
圧力に達するものの、オーバシュートによる上下の繰り
返し所謂ハンティングを伴って収斂に至るまでに時間を
要するので、所要時間が長くなる問題がある。
収斂に至るまでの所要時間は、第２図の圧力特性図にお
ける破線に示す如く、処理室１の圧力が比較的速く設定
圧力に達するものの、オーバシュートによる上下の繰り
返し所謂ハンティングを伴って収斂に至るまでに時間を
要するので、所要時間が長くなる問題がある。
上記問題点は、予め定常状態における処理室の圧力とバ
ルブの開度との相関を求めておき、処理室の圧力を或る
圧力から所望圧力に切り替える際に、バルブの開度を所
望圧力に対して該相関の示す開度に設定する本発明の圧
カ切り替え方法によって解決される。
ルブの開度との相関を求めておき、処理室の圧力を或る
圧力から所望圧力に切り替える際に、バルブの開度を所
望圧力に対して該相関の示す開度に設定する本発明の圧
カ切り替え方法によって解決される。
前述した減圧処理装置においては、処理室の圧力が或る
一定圧力に保たれている場合にバルブも或る一定の開度
に保たれている。また圧力切り替えによる収斂の際のハ
ンティングは、バルブ開度の過大および過小を伴って発
生している。
一定圧力に保たれている場合にバルブも或る一定の開度
に保たれている。また圧力切り替えによる収斂の際のハ
ンティングは、バルブ開度の過大および過小を伴って発
生している。
本発明はこの現象に着目したものである。
即ち本方法によれば、バルブの開度が処理室の圧力の変
化過程に関係なく最初から所望圧力に見合った開度に設
定されるので、圧力切り替えの所要時間を長引かせるハ
ンティングの発生が無くなり、その所要時間が従来方法
の場合より短縮される。
化過程に関係なく最初から所望圧力に見合った開度に設
定されるので、圧力切り替えの所要時間を長引かせるハ
ンティングの発生が無くなり、その所要時間が従来方法
の場合より短縮される。
以下、本発明による圧力切り替え方法の実施例について
第１図の構成図および第２図の圧力特性図を用い説明す
る。全図を通じ同一符号は同一対象物を示す。
第１図の構成図および第２図の圧力特性図を用い説明す
る。全図を通じ同一符号は同一対象物を示す。
第１図において、処理室１、処理ガス２、バルブ３、排
気手段４およびそれらの相互の関係は、第３図で説明し
たのと同様である。そして、処理室１の圧力が或る一定
圧力に保たれている場合にバルブ３も或る一定の開度に
保たれている。
気手段４およびそれらの相互の関係は、第３図で説明し
たのと同様である。そして、処理室１の圧力が或る一定
圧力に保たれている場合にバルブ３も或る一定の開度に
保たれている。
バルブ駆動回路５ａは、バルブ駆動回路５に相当するも
のであるが、パルスモータなどを用いてバルブ３を任愈
の開度に設定することが出来るようになっている。
のであるが、パルスモータなどを用いてバルブ３を任愈
の開度に設定することが出来るようになっている。
また、圧力・バルブ開度変換回路９は、定常状態におけ
る処理室１の圧力とバルブ３の開度との相関を示す式を
記憶しており、その相関式に基づいて圧力信号をバルブ
開度信号に変換することが出来る。この相関式は、予め
別途に実測したデータから求めておいたものである。
る処理室１の圧力とバルブ３の開度との相関を示す式を
記憶しており、その相関式に基づいて圧力信号をバルブ
開度信号に変換することが出来る。この相関式は、予め
別途に実測したデータから求めておいたものである。
処理室１の圧力を或る圧力から所望圧力に切り替える際
には、圧力・バルブ開度変換回路９が、所望圧力を設定
した圧力設定回路７がらの信号を上記相関式によりバル
ブ開度信号に変換してバルブ駆動回路５ａへ送り、バル
ブ駆動回路５ａがバルブ３を指定された開度に設定する
。このバルブ３の開度設定により、処理室１の圧力は上
記の設定圧力に近づくように変化してその設定圧力に収
斂する。
には、圧力・バルブ開度変換回路９が、所望圧力を設定
した圧力設定回路７がらの信号を上記相関式によりバル
ブ開度信号に変換してバルブ駆動回路５ａへ送り、バル
ブ駆動回路５ａがバルブ３を指定された開度に設定する
。このバルブ３の開度設定により、処理室１の圧力は上
記の設定圧力に近づくように変化してその設定圧力に収
斂する。
この際の収斂の状況は、第２図の実線に示すが如（であ
る。
る。
即ち、バルブ３が設定圧力に対応する開度に設定されて
いるので、処理室ｌの圧力は、初期の変化が従来方法の
場合（図示の破線）より遅くなるが、バルブ３の開度が
固定されているためハンティングすること無く収斂する
。このため、収斂するまでの時間即ち圧力切り替えの所
要時間は、従来方法の場合より短縮される。
いるので、処理室ｌの圧力は、初期の変化が従来方法の
場合（図示の破線）より遅くなるが、バルブ３の開度が
固定されているためハンティングすること無く収斂する
。このため、収斂するまでの時間即ち圧力切り替えの所
要時間は、従来方法の場合より短縮される。
例えば、反応性イオンエツチング（ＲＩ Ｅ）装置にお
いて、圧力をウェーハＷ搬入の際のｌ Ｔｏｒｒから処
理の際のＱ、３Ｔｏｒｒに切り替える所要時間が、従来
方法で約３０秒であったのが本方法で約１０秒に短縮さ
れると言った具合である。そして逆の切り替え（０，３
−Ｉ Ｔｏｒｒ）の際にも同様に短縮される。
いて、圧力をウェーハＷ搬入の際のｌ Ｔｏｒｒから処
理の際のＱ、３Ｔｏｒｒに切り替える所要時間が、従来
方法で約３０秒であったのが本方法で約１０秒に短縮さ
れると言った具合である。そして逆の切り替え（０，３
−Ｉ Ｔｏｒｒ）の際にも同様に短縮される。
処理の所要時間が１分程度であることからして、上記の
時間短縮は、スルーブツトを大きく向上させることが判
る。
時間短縮は、スルーブツトを大きく向上させることが判
る。
なお、上記方法で収斂させた圧力が設定圧力に合致しな
かった場合には、圧力が一定になったところで圧力セン
サ６および比較回路８を用いた従来方法゛に切り替えて
微調整を行うと良い。この微調整は、圧力変化が少ない
のでハンティング無しに短時間で済ますことが出来、圧
力切り替えの所要時間に及ぼす影響は少ない。
かった場合には、圧力が一定になったところで圧力セン
サ６および比較回路８を用いた従来方法゛に切り替えて
微調整を行うと良い。この微調整は、圧力変化が少ない
のでハンティング無しに短時間で済ますことが出来、圧
力切り替えの所要時間に及ぼす影響は少ない。
以上説明したように本発明の構成によれば、処理ガスを
供給されながらバルブを介した排気手段により減圧され
る処理室を具えた減圧処理装置における圧力の切り替え
において、所要時間が従来より短縮されて、当該処理装
置のスループ・ノド向上を可能にさせる効果がある。
供給されながらバルブを介した排気手段により減圧され
る処理室を具えた減圧処理装置における圧力の切り替え
において、所要時間が従来より短縮されて、当該処理装
置のスループ・ノド向上を可能にさせる効果がある。
第１図は本発明方法実施例を説明する構成図、第２図は
切り替えの際の圧力変化を示す圧力特性図、 第３図は従来方法を説明する構成図、 である。 図において、 １は処理室、 ２は処理ガス、 ３はバルブ、 ４は排気手段、 ５．５ａはバルブ駆動回路、 ６は圧力センサ、 ７は圧力設定回路、 ８は比較回路、 ９は圧力・バルブ開度変換回路、 である。 単 ２ 図
切り替えの際の圧力変化を示す圧力特性図、 第３図は従来方法を説明する構成図、 である。 図において、 １は処理室、 ２は処理ガス、 ３はバルブ、 ４は排気手段、 ５．５ａはバルブ駆動回路、 ６は圧力センサ、 ７は圧力設定回路、 ８は比較回路、 ９は圧力・バルブ開度変換回路、 である。 単 ２ 図
Claims (1)
- 処理ガスを供給されながらバルブを介した排気手段によ
り減圧される処理室を具えた減圧処理装置において、予
め定常状態における該処理室の圧力と該バルブの開度と
の相関を求めておき、該処理室の圧力を或る圧力から所
望圧力に切り替える際に、該バルブの開度を該所望圧力
に対して該相関の示す開度に設定することを特徴とする
減圧処理装置の圧力切り替え方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22040486A JPS6377533A (ja) | 1986-09-18 | 1986-09-18 | 減圧処理装置の圧力切り替え方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22040486A JPS6377533A (ja) | 1986-09-18 | 1986-09-18 | 減圧処理装置の圧力切り替え方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6377533A true JPS6377533A (ja) | 1988-04-07 |
Family
ID=16750583
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22040486A Pending JPS6377533A (ja) | 1986-09-18 | 1986-09-18 | 減圧処理装置の圧力切り替え方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6377533A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE1005704A4 (nl) * | 1992-02-04 | 1993-12-21 | Piljac Goran & Piljac Visnja | Farmaceutisch preparaat op basis van rhamnolipide. |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6080225A (ja) * | 1983-10-11 | 1985-05-08 | Hitachi Ltd | ドライプロセス処理方法及びその装置 |
-
1986
- 1986-09-18 JP JP22040486A patent/JPS6377533A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6080225A (ja) * | 1983-10-11 | 1985-05-08 | Hitachi Ltd | ドライプロセス処理方法及びその装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE1005704A4 (nl) * | 1992-02-04 | 1993-12-21 | Piljac Goran & Piljac Visnja | Farmaceutisch preparaat op basis van rhamnolipide. |
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