JPS6379302A - 抵抗体のトリミング方法 - Google Patents
抵抗体のトリミング方法Info
- Publication number
- JPS6379302A JPS6379302A JP61224437A JP22443786A JPS6379302A JP S6379302 A JPS6379302 A JP S6379302A JP 61224437 A JP61224437 A JP 61224437A JP 22443786 A JP22443786 A JP 22443786A JP S6379302 A JPS6379302 A JP S6379302A
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- Japan
- Prior art keywords
- trimming
- resistor
- point
- laser
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- Pending
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- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はセラミック基板上などに作製された厚膜抵抗体
素子等の抵抗体のトリミング方法に関するものである。
素子等の抵抗体のトリミング方法に関するものである。
従来の技術
近年、機器の小型化が進むにつれ、電子部品の実装も高
密度化の（中間がある。その実装方法の１つにハイブリ
ッドＩＣがある。このハイブリッドＩＣに用いられる抵
抗体の製造方法は、通常セラミンク基板上に抵抗体電極
ならびに配線パターン形成後、印刷または描画法により
抵抗体を形成する。この抵抗体の調整には抵抗体の抵抗
値そのものを所定値にする素子トリミングと、回路裁板
に半導体素子、コンデンサ等の外付部品を実装した混成
集積回路を動作状態（ｉｌｌ電状態）にしたうえで、前
記回路の特性値が所定値になるように、前記抵抗体をト
リミングする機能トリミングとがある。近年、抵抗体実
装の高密度化および抵抗体の小型化の傾向にあるため、
ますますトリミングの重要性かましつつある。
密度化の（中間がある。その実装方法の１つにハイブリ
ッドＩＣがある。このハイブリッドＩＣに用いられる抵
抗体の製造方法は、通常セラミンク基板上に抵抗体電極
ならびに配線パターン形成後、印刷または描画法により
抵抗体を形成する。この抵抗体の調整には抵抗体の抵抗
値そのものを所定値にする素子トリミングと、回路裁板
に半導体素子、コンデンサ等の外付部品を実装した混成
集積回路を動作状態（ｉｌｌ電状態）にしたうえで、前
記回路の特性値が所定値になるように、前記抵抗体をト
リミングする機能トリミングとがある。近年、抵抗体実
装の高密度化および抵抗体の小型化の傾向にあるため、
ますますトリミングの重要性かましつつある。
以下、図面を参照しながら、従来のトリミング方法につ
いて説明する。従来より、トリミングは高速及び微細加
工のできるレーザを用いるレーザトリミング法が用いら
れている。第３図は従来の抵抗体のトリミング方法を説
明するための説明図であり、１は電極、２は厚膜抵抗体
、３はレーザの集光点、４はレーザ光、８はレーザ光に
より形成されたトリミング溝である。第４図は従来のト
リミング装置を示すブロック図であり、５は制御ココ手
段、６はトリミング手段、７は計測手段である。
いて説明する。従来より、トリミングは高速及び微細加
工のできるレーザを用いるレーザトリミング法が用いら
れている。第３図は従来の抵抗体のトリミング方法を説
明するための説明図であり、１は電極、２は厚膜抵抗体
、３はレーザの集光点、４はレーザ光、８はレーザ光に
より形成されたトリミング溝である。第４図は従来のト
リミング装置を示すブロック図であり、５は制御ココ手
段、６はトリミング手段、７は計測手段である。
まず、制御手段はトリミング手段にレーザ集光点の移動
先座標を与える０次にトリミング手段は前記移動先座標
に向ってレーザ集光点を移動させる。移動中に所定特性
値になればトリミング手段の内部コンパレータが働き、
レーザ光は停止し、トリミングは終了する。もし、与え
られたレーザ集光点の移動先座標までレーザ光集光点を
移動させても所定特性値が得られない場合、あらたなレ
ーザ集光点の移動先座標がトリミング手段にあたえられ
、トリミング手段はレーザ集光点を前回のトリミング終
了座標よりレーザ集光点の移動先座標に向って移動を開
始する。以上の動作を所定特性値が得られるまでくりか
えしトリミングをおこない所定特性値を得ていた。また
、以上のようなトリミング方法は主として機能トリミン
グの場合おこなわれる。この理由は以下のとおりである
。
先座標を与える０次にトリミング手段は前記移動先座標
に向ってレーザ集光点を移動させる。移動中に所定特性
値になればトリミング手段の内部コンパレータが働き、
レーザ光は停止し、トリミングは終了する。もし、与え
られたレーザ集光点の移動先座標までレーザ光集光点を
移動させても所定特性値が得られない場合、あらたなレ
ーザ集光点の移動先座標がトリミング手段にあたえられ
、トリミング手段はレーザ集光点を前回のトリミング終
了座標よりレーザ集光点の移動先座標に向って移動を開
始する。以上の動作を所定特性値が得られるまでくりか
えしトリミングをおこない所定特性値を得ていた。また
、以上のようなトリミング方法は主として機能トリミン
グの場合おこなわれる。この理由は以下のとおりである
。
機能トリミングは回路の動作状態を所定闇値にするもの
であり、各々の動作状態は互いに関係しあうことが多い
、たとえばＡ項目を調整し、次にＢ項目を調整すれば、
Ｂ項目を調整したことにより、Ａ項目の特性値が変化す
る。そのため、再度Ａ項目を調整しなければならない。
であり、各々の動作状態は互いに関係しあうことが多い
、たとえばＡ項目を調整し、次にＢ項目を調整すれば、
Ｂ項目を調整したことにより、Ａ項目の特性値が変化す
る。そのため、再度Ａ項目を調整しなければならない。
そこで通常、互いに関係しあう項目の抵抗体を各々、粗
調トリミングをおこない、回路の動作状態を所定特性値
近傍まで調整し、次に微調整をおこなって、所定特性値
を得るというトリミング方法がとられている。
調トリミングをおこない、回路の動作状態を所定特性値
近傍まで調整し、次に微調整をおこなって、所定特性値
を得るというトリミング方法がとられている。
また、上記の微調整工程は数回におよぶ場合も多い。以
上のように互いに関係しあう項目がある場合は、−回の
トリミングで所定特性値を得ることはできず、複数回の
トリミングをおこなわなければならない。
上のように互いに関係しあう項目がある場合は、−回の
トリミングで所定特性値を得ることはできず、複数回の
トリミングをおこなわなければならない。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、従来のトリミング方法では、前回のトリ
ミング終了点から次のトリミングを開始するが、トリミ
ング速度が高速になると、第５図に示すように、前回の
トリミング終了点と次のトリミング開始点が連続しない
という現象が生じることがある。この原因は以下のため
と思われる。
ミング終了点から次のトリミングを開始するが、トリミ
ング速度が高速になると、第５図に示すように、前回の
トリミング終了点と次のトリミング開始点が連続しない
という現象が生じることがある。この原因は以下のため
と思われる。
通常、レーザ集光点はガルバノメータを制御し移動おこ
なっている。しかしレーザ集光点が移動先座標に達し、
ガルバノメータ停止信号が制御部よりおくられても、ガ
ルバノメータは慣性運動により動作をつづけてしまう、
したがって、所定座標を通りすぎたところで停止するこ
とになる。そのため次回のトリミング開始点は従来の方
法では前回のトリミング終了点を通りすぎた位置となる
。
なっている。しかしレーザ集光点が移動先座標に達し、
ガルバノメータ停止信号が制御部よりおくられても、ガ
ルバノメータは慣性運動により動作をつづけてしまう、
したがって、所定座標を通りすぎたところで停止するこ
とになる。そのため次回のトリミング開始点は従来の方
法では前回のトリミング終了点を通りすぎた位置となる
。
このことは特にトリミング速度が高速になるほど顕著と
なる。以上のような理由によりトリミング溝の不連続が
生じると思われるが、これらのトリミング溝の不連続点
では電気的に不安定となり、回路動作の信頼性を低下さ
せる。また、レーザパルスエネルギーはレーザ出力開始
時の第１番目のパルスが大きくなるという性質がある。
なる。以上のような理由によりトリミング溝の不連続が
生じると思われるが、これらのトリミング溝の不連続点
では電気的に不安定となり、回路動作の信頼性を低下さ
せる。また、レーザパルスエネルギーはレーザ出力開始
時の第１番目のパルスが大きくなるという性質がある。
そのため従来のトリミング方法ではこの第１パルスによ
り厚膜砥抗体が太き（えぐられやすく、第６図に示すよ
うにトリミング開始位置にマイクロクラックが生じる可
能性が高い。このマイクロクランクは経時とともに成長
し、抵抗値の変化などをもたらし、電気的特性を悪化さ
せる。以上のように従来の抵抗体のトリミング方法では
、トリミングの信頼性を悪化させ、また電気的特性の不
良をまねく。
り厚膜砥抗体が太き（えぐられやすく、第６図に示すよ
うにトリミング開始位置にマイクロクラックが生じる可
能性が高い。このマイクロクランクは経時とともに成長
し、抵抗値の変化などをもたらし、電気的特性を悪化さ
せる。以上のように従来の抵抗体のトリミング方法では
、トリミングの信頼性を悪化させ、また電気的特性の不
良をまねく。
このことは重大な問題点であった。
本発明は上記問題点に鑑み、従来の問題点を排除した抵
抗体のトリミング方法を提供するものである。
抗体のトリミング方法を提供するものである。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するため本発明の抵抗体のトリミング
方法は前回のトリミング終了位置から、前回のトリミン
グ開始位置の方向に所定距離だけ移動した位置よりトリ
ミングを開始することを特徴とする抵抗体のトリミング
方法である。
方法は前回のトリミング終了位置から、前回のトリミン
グ開始位置の方向に所定距離だけ移動した位置よりトリ
ミングを開始することを特徴とする抵抗体のトリミング
方法である。
作用
本発明の抵抗体のトリミング方法は、トリミング開始位
置を補正するものであるから、ガルバノメータの慣性運
動などにより生じるトリミング溝の不連続問題を排除す
ることができ、また、トリミング溝の接続点においてマ
イクロクランクが生じることがない抵抗体のトリミング
方法である。
置を補正するものであるから、ガルバノメータの慣性運
動などにより生じるトリミング溝の不連続問題を排除す
ることができ、また、トリミング溝の接続点においてマ
イクロクランクが生じることがない抵抗体のトリミング
方法である。
実施例
以下、本発明の抵抗体のトリミング方法の一実施例につ
いて図面を参照しながら説明する。第１図は本発明の抵
抗体のトリミング方法を説明するための説明図である。
いて図面を参照しながら説明する。第１図は本発明の抵
抗体のトリミング方法を説明するための説明図である。
第２図は本発明の抵抗体のトリミング方法をおこなうた
めのトリミング装置のブロック図であり、９はトリミン
グ座標計算手段である。第１図及び第２図を参照しなが
ら、本発明の抵抗体のトリミング方法について説明する
。
めのトリミング装置のブロック図であり、９はトリミン
グ座標計算手段である。第１図及び第２図を参照しなが
ら、本発明の抵抗体のトリミング方法について説明する
。
まず、制御手段はトリミング手段にレーザ集光点の移動
先座標を与える。トリミング手段はレーザ集光点を厚膜
抵抗体上に移動させ、トリミングをおこなう。移動中に
所定特性値になればトリミング手段の内部コンパレータ
が働き、レーザ光は停止し、トリミングは終了する。以
上の動作は従来のトリミング方法と同様である。
先座標を与える。トリミング手段はレーザ集光点を厚膜
抵抗体上に移動させ、トリミングをおこなう。移動中に
所定特性値になればトリミング手段の内部コンパレータ
が働き、レーザ光は停止し、トリミングは終了する。以
上の動作は従来のトリミング方法と同様である。
今、トリミング開始点を第１図ａ点、レーザ集光点の移
動先座標をｂ点とする。ｂ点をトリミング手段に与えト
リミング手段がｂ点までレーザ集光点を移動させても、
所定特性値に達していない場合、ｂ点座標は計算手段９
におくられ、計算手段９ではトリミング速度に適合した
所定距離をトリミング開始点ａの方向へさしひいた座標
Ｃ点を計算で求め、制御手段にお（りかえず。制御手段
はまず０点をトリミング開始位置としてトリミング手段
に与え、つぎにレーザ集光点の移動先座標を与える。次
にトリミング手段はレーザ集光点を移動先座標に向って
移動をおこなう。以上のようにトリミング終了位置から
所定距離もどった位置からトリミングを開始するという
動作をくりかえす動作を所定特性値が得られるまでおこ
なう。この所定距離はトリミング速度、ガルバノメータ
の応答時間などを考慮して設定される値で、通常、５０
μｍ〜１００μｍ程度である。
動先座標をｂ点とする。ｂ点をトリミング手段に与えト
リミング手段がｂ点までレーザ集光点を移動させても、
所定特性値に達していない場合、ｂ点座標は計算手段９
におくられ、計算手段９ではトリミング速度に適合した
所定距離をトリミング開始点ａの方向へさしひいた座標
Ｃ点を計算で求め、制御手段にお（りかえず。制御手段
はまず０点をトリミング開始位置としてトリミング手段
に与え、つぎにレーザ集光点の移動先座標を与える。次
にトリミング手段はレーザ集光点を移動先座標に向って
移動をおこなう。以上のようにトリミング終了位置から
所定距離もどった位置からトリミングを開始するという
動作をくりかえす動作を所定特性値が得られるまでおこ
なう。この所定距離はトリミング速度、ガルバノメータ
の応答時間などを考慮して設定される値で、通常、５０
μｍ〜１００μｍ程度である。
発明の効果
以上の説明から明らかなように、本発明の抵抗体のトリ
ミング方法は、トリミング終了点から所定距離もどった
位置から次のトリミングを開始するものであるから、ト
リミング速度が高速になっても前回のトリミング終了点
と、次のトリミング開始位置とが連続しないという問題
点がなくなる。
ミング方法は、トリミング終了点から所定距離もどった
位置から次のトリミングを開始するものであるから、ト
リミング速度が高速になっても前回のトリミング終了点
と、次のトリミング開始位置とが連続しないという問題
点がなくなる。
また、２回目以後のトリミング開始位置はすでにトリミ
ング終了した部分にレーザの第１パルスがでることにな
るから、厚膜抵抗体には第１パルスがあたることはなく
、したがって、厚膜抵抗体に損傷を与える心配がなく、
ゆえにマイクロクランクは生じない１以上のことがら信
転性が高く、電気的特性を悪化させないトリミングを高
速におこなえることは明らかであり、製品の信軌性向上
および製造タクトの向上に大なるものがある。
ング終了した部分にレーザの第１パルスがでることにな
るから、厚膜抵抗体には第１パルスがあたることはなく
、したがって、厚膜抵抗体に損傷を与える心配がなく、
ゆえにマイクロクランクは生じない１以上のことがら信
転性が高く、電気的特性を悪化させないトリミングを高
速におこなえることは明らかであり、製品の信軌性向上
および製造タクトの向上に大なるものがある。
第１図は本発明の抵抗体のトリミング方法を説明するだ
めの説明図、第２図は本発明の抵抗体のトリミング方法
を実施するためのトリミング装置のブロック図、第３図
は従来の抵抗体のトリミング方法を説明するための説明
図、第４図は従来の抵抗体のトリミング方法を実施する
ためのトリミング装置のブロック図、第５図、第６図は
トリミング後の厚膜抵抗体の外観図である。 ■・・・・・・電極、２・・・・・・厚膜抵抗体、３・
・・・・・レーザ集光点、４・・・・・・レーザ光、５
・・・・・・制御手段、６・・・・・・トリミング手段
、７・・・・・・計測手段、８・・・・・・トリミング
溝、９・・・・・・トリミング座標計算手段、ｌＯ・・
・・・・マイクロクランク。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 はか１名第 １ 図 ２−／ｉ欣込ｚｆト 第２図 第 ３ 図 １−・・を殊２−、’！７
］声款状ｊへ ３−ＩＬ−７表で、ε キ−−シープ犬。 第 ４ 図
めの説明図、第２図は本発明の抵抗体のトリミング方法
を実施するためのトリミング装置のブロック図、第３図
は従来の抵抗体のトリミング方法を説明するための説明
図、第４図は従来の抵抗体のトリミング方法を実施する
ためのトリミング装置のブロック図、第５図、第６図は
トリミング後の厚膜抵抗体の外観図である。 ■・・・・・・電極、２・・・・・・厚膜抵抗体、３・
・・・・・レーザ集光点、４・・・・・・レーザ光、５
・・・・・・制御手段、６・・・・・・トリミング手段
、７・・・・・・計測手段、８・・・・・・トリミング
溝、９・・・・・・トリミング座標計算手段、ｌＯ・・
・・・・マイクロクランク。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 はか１名第 １ 図 ２−／ｉ欣込ｚｆト 第２図 第 ３ 図 １−・・を殊２−、’！７
］声款状ｊへ ３−ＩＬ−７表で、ε キ−−シープ犬。 第 ４ 図
Claims (1)
- トリミングおよび特性値計測を複数回おこない所定特
性値を得るトリミング方法にあって、２回目以後のトリ
ミング開始位置は、前回のトリミング終了位置から、前
回のトリミング開始位置の方向に所定距離だけ移動した
位置より開始することを特徴とする抵抗体のトリミング
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61224437A JPS6379302A (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 | 抵抗体のトリミング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61224437A JPS6379302A (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 | 抵抗体のトリミング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6379302A true JPS6379302A (ja) | 1988-04-09 |
Family
ID=16813757
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61224437A Pending JPS6379302A (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 | 抵抗体のトリミング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6379302A (ja) |
-
1986
- 1986-09-22 JP JP61224437A patent/JPS6379302A/ja active Pending
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