JPS6381969A - 半導体集積回路装置 - Google Patents

半導体集積回路装置

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Publication number
JPS6381969A
JPS6381969A JP61225977A JP22597786A JPS6381969A JP S6381969 A JPS6381969 A JP S6381969A JP 61225977 A JP61225977 A JP 61225977A JP 22597786 A JP22597786 A JP 22597786A JP S6381969 A JPS6381969 A JP S6381969A
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JP
Japan
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wiring
wirings
area
signal
layouts
Prior art date
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Pending
Application number
JP61225977A
Other languages
English (en)
Inventor
Makoto Takechi
武智 真
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS6381969A publication Critical patent/JPS6381969A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D89/00Aspects of integrated devices not covered by groups H10D84/00 - H10D88/00
    • H10D89/10Integrated device layouts

Landscapes

  • Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体集積回路装置に関するものであり、特
に、一つの半導体基板に論理回路、メモリ等を構成する
半導体集積回路装置に適用して有効な技術に関するもの
である。
〔従来の技術〕
半導体基板上に複数の論理領域とメモリを構成する技術
が1例えば日経マグロウヒル社発行、「日経エレクトロ
ニクスJ、1985年9月9日号、p165〜p192
に記載されている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明者は前記技術を検討した結果、次の問題点を見出
した。
前記メモリが構成される領域は、マクロセルと呼ばれる
。マクロセルには電源電位配線、接地電位配線及び信号
配線等の種々の配線が接続される。
これらの配線のレイアウト設計は、まず固定パターンで
ある電源電位配線及び接地電位配線からなされる。この
後、集積回路の構成によって様々に変化する信号配線の
レイアウト設計がなされる。
配線領域にレイアウトされる信号配線の配線密度は、配
線領域によって異る。許容される配線密度以上の信号配
線は、レイアウトの修正をする。このため、配線設計に
要する時間が増大する。
本発明の目的は、配線設計に要する時間を低減すること
にある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は1本
明繕番の記述及び添付図面によって明らかになるであろ
う。
〔問題点を解決するための手段〕
本願において開示される発明のうち1代表的なものの撰
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
すなわち、所定の電位を供給する配線のレイアウト設計
を信号配線のレイアウト設計の後に行う。
〔作用〕
上記した手段によれば、信号配線の配線密度の高い配線
領域に電源電位配線及び接地電位配線を配線しないよう
にすることができるので、レイアウトのイσ正を要する
信号配線の本数が低減され、配線設計に要する時間を低
減することができる。
以下1本発明を実施例とともに説明する。
〔実施例〕
第1図は、半導体チップの概略図である。
第1図において、1はi型車結晶シリコンからなる半導
体基板(チップ)であり1周辺にアルミニウム膜からな
るポンディングパッド2が配置されている。3は人出力
バッファであり、例えばPチャネルM I S FET
とNチャネルMISFETとからなる相補型M I S
 FETによって構成している。4はti*電位Vee
例えば5v配線であり。
例えば第1層目のアルミニウム膜からなっている。
5は回路の接地電位Vss例えばOv配線であり。
例えば第15目のアルミニウム膜からなっている。
配線4,5は入出力バッファ回路3上を延在しているが
、第1図では便宜的に入出力バッファ回路3の内側に示
している。配線4,5によって囲まれている領域内に複
数の回路ブロック6が設けられている8回路ブロック6
にはNAND回路、NOR回路等の論理回路が構成され
ている。配線4゜5によって囲まれている領域の一部に
マクロセルフが構成されている。マクロセルフは例えば
ROM、RAM、ALU (算術論理ユニット)が構成
されている。
前記回路ブロック6の平面図を第2図及び第3図に示す
一点鎖線で囲んだ領域内が1つの回路ブロック6である
。回路ブロック6内が複数の小さな領域(ブロック)8
及び9に分割されている。1つの領域8に1例えばPチ
ャネルMISFETを3個構成している。この3個のP
チャネルMISFETは、隣り合うMISFETのソー
ス、ドレインを一体化して構成している。1つの領域9
に9例えば3個のNチャネルMISFETを構成してい
る。この3個のNチャネルMISFETは、隣り合うM
ISFETのソース、ドレインを一体化して構成してい
る。1つの領域8と1つの領域9で1つの基本セルが構
成される。この基本セルが繰り返えして配置されて基本
セル列(符号は付していない)を構成している。基本セ
ル列と基本セル列の間、あるいは基本セル列の周囲は配
線領域12である。1つの領域8及び9の中のMISF
ETは、例えば第1層目のアルミニウム配線によって接
続されてNAND回路、NOR回路等の論理回路を構成
する。これらの論理回路を配線領域12に設けられるア
ルミニウム膜からなる信号配線によって1つの回路ブロ
ック6内で色々に接続して、さらに複雑な論理回路を構
成する。第2図に示している回路ブロック6は、1つの
基本セル列からなり、これが2つ示されている。第3図
に示している回路ブロック6は、2つの基本セル列から
なっている。第1図に示しているそれぞれの回路ブロッ
ク6は、1つ又は2つあるいはそれ以上の基本セル列か
らなっている。集積回路の回路形成においては、まず回
路ブロック6内を設計し。
この後回路ブロック6間を接続するようにしている。
基本セル列において、PチャネルM I S FET領
域8上を例えば第1層目のアルミニウム膜からなる電源
電位配線lOが延在している。配線lOから領域8内の
PチャネルMISFETに電源電位Vccを供給する。
NチャネルMISFET領域9上を、例えば第1層目の
アルミニウム膜からなる回路の接地電位V s s例え
ばOv配線11が延在している。配線11から領域9内
のNチャネルMISFETに接地電位Vssを供給する
次に、第1図に示しているマクロセルフの構成の一例を
第4図に示す、第4図は、ROM、RAM等のメモリを
構成している。7Aはデコーダ領域、7Bはメモリセル
アレイ領域、7Cはセンスアンプ領域である。マクロセ
ルフ内に構成されるトランジスタは、ROMあるいはR
AMを構成するのに適したものが配置しである。マクロ
セルフ領域の周辺部つまり、本実施例ではメモリセルア
レイ領域7B及びデコーダ領域7Aより外側に、例えば
第2層目のアルミニウム膜からなる電源電位Vcc配線
13及び接地電位Vss配線14が設けである。配線1
3は、マクロセルフ内の各回路にmgf!!位Vccを
供給するための幹線である。
配線14は、マクロセルフ内に接地電位Vssを供給す
るための幹線である。すなわち、マクロセルフに給電さ
れる電源電位Vcc及び接地電位Vssは、配線13及
び14が受電端となり、この配線13.14からマクロ
セルフ内の種々の回路に電源電位Vcc及び接地電位V
ssを供給するようになっている。配49113は、例
えば第1層目のアルミニウム膜からなる配線17.さら
に例えば第2層目のアルミニウム膜からなる配線15を
通して配線4に接続している。配線14は、例えば第1
層目のアルミニウム膜からなる配線18゜さらに例えば
第2層目のアルミニウム膜からなる配線16を通して配
線5に接続している。
なお、回路ブロック6と回路ブロック6の間。
回路ブロック6とマクロセルフの間、回路ブロック6及
びマクロセルフと入出力バッファ3の間は。
図示していない信号配線によって接続される。これらの
(3号配線は、配線領域12を延在する。
半導体チップ1上の配線のレイアウト設計において、第
2図、第3図に示した配線10.11゜チップlの周辺
に設けられる配線4,5及びマクロセルフの配線13.
14(第4図)は、固定パターンである。すなわち、配
線領域12に設けられる信号配線のレイアウトが回路設
計に伴って変るのに対して、前記配線10.11.4.
5.13.14は変更されることがない。
一方、マクロセルフと半導体チップ1周辺の配線4,5
を接続するための配線15.16.17及び18(第5
図)は、半導体チップ1上のそれぞれの配線領域12を
延在する信号配線のレイアウト設計の後に行うようにし
ている。配線15〜18のレイアウトは、配線領域12
における配線密度に伴って様々に変更される。つまり、
第5図に示したように、例えば配線領域121にレイア
ウトされる信号配線の密度が高く、電源電位VcC配線
15!及び接地電位Vss配線161を配置すると配線
領域12が狭くなって、信号配線の配線密度が許容値以
上になる場合には、配線15+、16+は例えば配線領
域122に配線152.162としてレイアウトされる
。また、配線領域122の配線密度が高く、配線152
,162を配置すると、信号配線の配線密度が許容値を
越えてしまうようであれば、配線152、l 62は。
例えば配線領域12 sに配線15t、16tとして配
線される。さらに、配線領域121及び122の配線密
度がいずれも高く、配線15*、16z、15a、16
2を配置すると信号配線のレイアウトに修正が必要とな
る場合には1例えば配線13を配線領域123にまで延
在させて配線4に接続される。なお、13Aは配線13
と同一層のアルミニウム膜を配線領域123にまで延長
した部分であり、配線13と4を接続するための配線で
ある。同様に、14Aは配線14を配線領域123にま
で延長した部分、13Bは配線13を配線領域121に
まで延長した部分、14Bは配線14を配線領域12 
Kにまで延長した部分である。
このように、マクロセルフに所定電位を供給するための
配線15.16のレイアウトが信号配線の配線密度に伴
って種々変更されるので、配線13上(7)配a17.
13A、13Bが接続サレル箇所及び配し&14上の配
線18.14A、14Bが接続される箇所を複数設けて
いる。
第6@に示すように、配線13Aによって配線13と4
を接続する場合には、マクロセルフと配線領域12との
境界上が、配線レイアウトにおける配線13と13Aと
の接続部側である。配線14Aと14の接続においても
、マクロセルフと配線領域123の境界上が接続部側で
ある。同様に。
第5図に示した配a13Bと13との接続箇所及び配線
14Bと14の接続箇所は、マクロセルフと配線領域1
21の境界上である。第6図に示すように、配線17及
び配線18は、配線13,14の一端から他端までの間
に、それぞれ所定の間隔ごとに複数接続できるようにし
ている。第6図では、配置!a17t 、172.17
g =17n及び配線18+ 、182.18s ”’
18nが示されているにのうち、配線17及び18を1
本ずつ設けて配線13を配線15に、配814を配線1
6接続してもよい、あるいは、複数の配線17によって
配線13を配線15に、複数の配線18によって配線1
4を配線16に接続するようにしてもよい、また、所定
電位を供給するための配線である配線17.18は、線
幅を信号配線より太く形成されるが、夫々の配線17.
18を信号配線程度に細くしてかつそれぞ九複数本設け
て配線13と15あるいは配置s14と16を接続する
ようにしてもよい。
このように、配線13上の接続箇所及び配、i$14上
の接続箇所をそれらの配線の一端から他端までの間に複
数設けることにより、配線17又は18を配線13又は
14上の任意の点で接続できるようにしている。ただし
、配線13A、13Bは配線13の端部のみに接続する
ことができ、配線14Δ、14Bは配線14の端部のみ
に接続できる。
以とのようにして、配線13及び14上に、配線領域1
2を延在する所定電位配線13A、13B、14A、1
4B、15.16.17.18のレイアウト後に行える
ようにしている。
本実施例によれば、以下の効果を得ることができる、 (1)マクロセルフの所定電位配線13.14に複数の
接続部側を設けていることにより、配線領域12に配置
される所定電位配線のレイアウトを種々変更することが
できるので、配線領域12の所定電位配線のレイアウト
を信号配線のレイアウト後に行うことができる。
(2)前記(1)により、信号配線の配線密度が高い配
線領域12を避けて、配線密度の低い配線領域12に所
定電位配線をレイアウトすることができるので、レイア
ウトの修正を必要とする信号配線を減らすことができる
。したがって、配線レイアウトに要する時間を低減する
ことができる。
(3)所定電位配線によってマクロセルフのレイアウト
が制限されなくなるので、マクロセルフのレイアウトの
自由度を高めることができる。
(4)配線領域12の所定電位配線を種々変更できるの
で、マクロセルフを最短距離でチップ1周辺の所定電位
配線4,5とを接続することかできる。
以上1本発明を実施例にもとすき具体的に説明したが、
本発明は前記実施例に限定されるものではなく、その要
旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは
いうまでもない。
〔発明の効果〕
本願によって開示された発明のうち、代表的なものによ
って得られる効果を簡単に説明すれば、次のとおりであ
る。
すなわち、配線領域の所定電位配線を信号配線のレイア
ウト後に行うことにより、レイアウトの修正を要する信
号配線が減るので、配線レイアウトに要する時間を短縮
することができる。
【図面の簡単な説明】 第1図は、半導体チップの平面図。 第2図、第3図は、回路ブロックの平面図、第4図は、
マクロセルの平面図、 第5図及び第6図は、マクロセル周辺の平面図、1・・
・半導体基板(チップ)、2・・・ポンディングパッド
、3・・・人出力バッファ、4.5,10.1f13.
13A、13B、14−14A、、14B。 15.16.17.1B・・・配線(Vcc又はVsS
)、6・・・回路ブロック、7・・・マクロセル、7A
・・・デコーダ、7B・・・メモリセルアレイ、7C・
・・センスアンプ、8・・・PチャネルM I S F
ET領域、9・・・NチャネルM I S FET領域
、12・・・配線領域。 第  1  = 嬶4図 第  6  図 1(Pす

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、半導体基板上を複数に区画し、該区画ごとに回路を
    構成し、該構成されたそれぞれの回路を区画と区画の間
    の配線領域を延在する信号配線によって接続して集積回
    路を構成する半導体集積回路装置であって、前記複数の
    区画のうち少なくとも1つの区画内に、該区画専用の所
    定電位配線を設け、該所定電位配線と前記配線領域を延
    在する所定電位配線との接続部分を前記信号配線のレイ
    アウトに応じて変えたことを特徴とする半導体集積回路
    装置。 2、前記複数の区画のうち前記所定電位配線が設けられ
    る区画は、メモリ、ALU等を構成するマクロセルであ
    り、その他の区画はNAND、NOR等の論理回路を構
    成した回路ブロックであることを特徴とする特許請求の
    範囲第1項記載の半導体集積回路装置。
JP61225977A 1986-09-26 1986-09-26 半導体集積回路装置 Pending JPS6381969A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0389536A (ja) * 1989-08-31 1991-04-15 Fujitsu Ltd 半導体装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0389536A (ja) * 1989-08-31 1991-04-15 Fujitsu Ltd 半導体装置

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