JPS6393117A - キヤリアプレ−トの乾燥機 - Google Patents
キヤリアプレ−トの乾燥機Info
- Publication number
- JPS6393117A JPS6393117A JP23879586A JP23879586A JPS6393117A JP S6393117 A JPS6393117 A JP S6393117A JP 23879586 A JP23879586 A JP 23879586A JP 23879586 A JP23879586 A JP 23879586A JP S6393117 A JPS6393117 A JP S6393117A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier plate
- rotary table
- plate
- splash
- net
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野廖
本発明は、研摩後のウェーハを貼り付けたキャリアプレ
ートの水切り乾燥を行なうキャリアプレートの乾燥機に
関する。
ートの水切り乾燥を行なうキャリアプレートの乾燥機に
関する。
「従来の技術」
従来、研摩後のウェーハを貼り付けたキャリアプレート
の水切り乾燥を行なう装置としては、該キャリアプレー
トを回転テーブル上に載置して高速回転させ、キャリア
プレートから水滴を外方に跳ね飛ばす遠心乾燥機か用い
られている。
の水切り乾燥を行なう装置としては、該キャリアプレー
トを回転テーブル上に載置して高速回転させ、キャリア
プレートから水滴を外方に跳ね飛ばす遠心乾燥機か用い
られている。
「発明が解決しようとする問題点」
しかしながら、上記従来の遠心乾燥機にあっては、キャ
リアプレートか高速回転した場合に、キャリアプレート
から外方にはイ〕飛ばされた水滴が、回転テーブルの外
方に設けられた容器の周壁に当ｆこって跳ね返り、再び
キャリアプレート上に付着して、十分に水切り乾燥かで
きないという問題がある。
リアプレートか高速回転した場合に、キャリアプレート
から外方にはイ〕飛ばされた水滴が、回転テーブルの外
方に設けられた容器の周壁に当ｆこって跳ね返り、再び
キャリアプレート上に付着して、十分に水切り乾燥かで
きないという問題がある。
本発明は、上記事情に鑑みてなされｌこ乙ので、その目
的とするところは、キャリアプレートから跳ね飛ばさイ
また水滴が再ひキャリアプレートに付着ずろのを防止で
き、円滑に水切り乾燥を行なうごとができるキャリアプ
レートの乾燥機を提供ずろことにある。
的とするところは、キャリアプレートから跳ね飛ばさイ
また水滴が再ひキャリアプレートに付着ずろのを防止で
き、円滑に水切り乾燥を行なうごとができるキャリアプ
レートの乾燥機を提供ずろことにある。
「問題点を解決ずろためυ）手段」
上記目的を達成するために、本発明は、キャリアプレー
トを載置して回転させる回転テーブルの外方に、該回転
テーブルを囲繞して、跳ね返り防止網を配置しｌこ乙の
である。
トを載置して回転させる回転テーブルの外方に、該回転
テーブルを囲繞して、跳ね返り防止網を配置しｌこ乙の
である。
「作用Ｊ
本発明のキャリアプレートの乾燥機にあっては、キャリ
アプレートを載置した回転テーブルを高速回転して、キ
ャリアプレートに付着した水滴を外方に跳ね飛ばすと共
に、回転プレートの外方に配置した跳ね返り防止網によ
って、上記水滴を捕捉して再びキャリアプレートに該水
滴が付着するのを防止する。
アプレートを載置した回転テーブルを高速回転して、キ
ャリアプレートに付着した水滴を外方に跳ね飛ばすと共
に、回転プレートの外方に配置した跳ね返り防止網によ
って、上記水滴を捕捉して再びキャリアプレートに該水
滴が付着するのを防止する。
［実施例」
以丁、第１図と第２図に仄づいて本発明の一実施例を説
明する。
明する。
図中符号１は、箱状の容器であり、この容器Ｉの底部１
ａを貫通して該底部１ａに回転機構２が設（さｖされ、
かつ回転機（Ｉ■２の回転軸には、回転テーブル３が装
置されている。そして、この回転テーブル３は、研摩後
のウェーハを貼り付けたキャリアプレートを載置して回
転させるものであり、その外周部にあ、等間隔に４箇所
に半円状の切欠部３ａが形成されていると共に、上記外
周部の、上記各切欠部３ａに隣接する部位に、それぞれ
８側の突起３ｂが形成されている。また、上記容器Ｉの
一端上部に上下方向に回動自在に取付けた支持アーム４
には、中央部に穴５ａを有する薄い円盤状の水切りプレ
ート５が固定されている。そして、この水切りプレート
５は、水平状態を維持することにより、上記回転テーブ
ル３の」二方に所定間隔離間して配置されるようになっ
ている。さらに、上記木毛状態の水切りプレート５の上
面に装置の外部から清浄な気体を供給する送風管６が、
上記容器１の底部１ａを貫通した状態で、かつ水平方向
に回動自在に容器１に取付けられている。そして、上記
容器ｌの底部１ａには、水回収用のポース７か連結され
ている。さらにまた、上記容器Ｉ内の、上記回転テーブ
ル３と側壁１ｂとの間には、円筒状のナイロン網（跳ね
返り防止網）８か配置されている。
ａを貫通して該底部１ａに回転機構２が設（さｖされ、
かつ回転機（Ｉ■２の回転軸には、回転テーブル３が装
置されている。そして、この回転テーブル３は、研摩後
のウェーハを貼り付けたキャリアプレートを載置して回
転させるものであり、その外周部にあ、等間隔に４箇所
に半円状の切欠部３ａが形成されていると共に、上記外
周部の、上記各切欠部３ａに隣接する部位に、それぞれ
８側の突起３ｂが形成されている。また、上記容器Ｉの
一端上部に上下方向に回動自在に取付けた支持アーム４
には、中央部に穴５ａを有する薄い円盤状の水切りプレ
ート５が固定されている。そして、この水切りプレート
５は、水平状態を維持することにより、上記回転テーブ
ル３の」二方に所定間隔離間して配置されるようになっ
ている。さらに、上記木毛状態の水切りプレート５の上
面に装置の外部から清浄な気体を供給する送風管６が、
上記容器１の底部１ａを貫通した状態で、かつ水平方向
に回動自在に容器１に取付けられている。そして、上記
容器ｌの底部１ａには、水回収用のポース７か連結され
ている。さらにまた、上記容器Ｉ内の、上記回転テーブ
ル３と側壁１ｂとの間には、円筒状のナイロン網（跳ね
返り防止網）８か配置されている。
上記のように構成された乾燥機において、キャリアプレ
ートの水切り乾燥を行なう場合には、まず、支持アーム
４を上方に回動さ仕て、水切りプレート５を起立させる
と共に、送風管６を水平方向に回動させて、回転テーブ
ル３上から離脱さけた状態において、回転テーブル３上
に、乾燥させるためのキャリアプレートを載置する。次
いで、水切りプレート５を倒した後に、送風管６を回動
させて、水切りプし・−ト５の上方に位置させる。
ートの水切り乾燥を行なう場合には、まず、支持アーム
４を上方に回動さ仕て、水切りプレート５を起立させる
と共に、送風管６を水平方向に回動させて、回転テーブ
ル３上から離脱さけた状態において、回転テーブル３上
に、乾燥させるためのキャリアプレートを載置する。次
いで、水切りプレート５を倒した後に、送風管６を回動
させて、水切りプし・−ト５の上方に位置させる。
そして、回転機構２によって回転テーブル３を回転さＵ
ろと共に、送風管６によって水切りプレー ｈ ５ Ｊ
〕に空気を供給する。この場合、回転テーブル３０回転
によって、水切りプレート５の中央部の穴５ａがら空気
が吸い込まれ、しから送風管６によ−）で強制的に水切
りプレー１−５の穴５ａに老′へが供給されるから、回
転テーブル３上においζ：」、その中央部から外周部に
向かって流れろ層流か形成され、キャリアプレー１・に
付ｎしていた水が円滑に＋滴となってキャリアプレート
から離れ、この離れた水滴は、再びキャリアプレートに
付着することなく、キャリアプレートの外方に確実に飛
ばされるっ さらに、このギヤリアプレートから飛ばされた水油は、
ナイロン網８に捕捉されて、集められて容２：；ｌの底
部１ａのポース７を介して円滑に排出され、従来のよう
に、容２１） １の側壁１１）等に衝突することにより
、跳ね返って再びキャリアプレートに付着するようなこ
とかない。
ろと共に、送風管６によって水切りプレー ｈ ５ Ｊ
〕に空気を供給する。この場合、回転テーブル３０回転
によって、水切りプレート５の中央部の穴５ａがら空気
が吸い込まれ、しから送風管６によ−）で強制的に水切
りプレー１−５の穴５ａに老′へが供給されるから、回
転テーブル３上においζ：」、その中央部から外周部に
向かって流れろ層流か形成され、キャリアプレー１・に
付ｎしていた水が円滑に＋滴となってキャリアプレート
から離れ、この離れた水滴は、再びキャリアプレートに
付着することなく、キャリアプレートの外方に確実に飛
ばされるっ さらに、このギヤリアプレートから飛ばされた水油は、
ナイロン網８に捕捉されて、集められて容２：；ｌの底
部１ａのポース７を介して円滑に排出され、従来のよう
に、容２１） １の側壁１１）等に衝突することにより
、跳ね返って再びキャリアプレートに付着するようなこ
とかない。
「発明の効果」
以上説明したように、本発明によれば、キャリアプレー
トを載置して回転させる回転テーブルの外方に、該回転
テーブルを囲繞して、跳ね返り防Ｉｌ：網を配置した乙
のでｇ５ろから、回転テーブルの高速回転により、キャ
リアプレー１・から飛ばさ、イ〕た水滴が、跳ね返り防
止網によって捕捉さイすることにより、再びキャリアプ
レートに何首することがなく、円滑に水切り乾燥を行な
うことができろという効果を何する。
トを載置して回転させる回転テーブルの外方に、該回転
テーブルを囲繞して、跳ね返り防Ｉｌ：網を配置した乙
のでｇ５ろから、回転テーブルの高速回転により、キャ
リアプレー１・から飛ばさ、イ〕た水滴が、跳ね返り防
止網によって捕捉さイすることにより、再びキャリアプ
レートに何首することがなく、円滑に水切り乾燥を行な
うことができろという効果を何する。
第１図と第２図は本発明の一実施例を示す乙ので、第１
図は正面図、第２図は平面図である。 １・・・・・・容器、３・・・・・・回転テーブル、５
・・・・・・水切りプレート、８・・・・・・ナイロン
網（跳ね返り防止網）。
図は正面図、第２図は平面図である。 １・・・・・・容器、３・・・・・・回転テーブル、５
・・・・・・水切りプレート、８・・・・・・ナイロン
網（跳ね返り防止網）。
Claims (1)
- キャリアプレートを載置して回転させる回転テーブルと
、この回転テーブルに対向して配置された水切りプレー
トとを容器内に備えたキャリアプレートの乾燥機におい
て、上記回転テーブルの外方に、この回転テーブルを囲
繞して、跳ね返り防止網を配置したことを特徴とするキ
ャリアプレートの乾燥機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23879586A JPS6393117A (ja) | 1986-10-07 | 1986-10-07 | キヤリアプレ−トの乾燥機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23879586A JPS6393117A (ja) | 1986-10-07 | 1986-10-07 | キヤリアプレ−トの乾燥機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6393117A true JPS6393117A (ja) | 1988-04-23 |
Family
ID=17035394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23879586A Pending JPS6393117A (ja) | 1986-10-07 | 1986-10-07 | キヤリアプレ−トの乾燥機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6393117A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015023205A (ja) * | 2013-07-22 | 2015-02-02 | 株式会社ディスコ | 洗浄装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4918614U (ja) * | 1972-05-20 | 1974-02-16 | ||
| JPS4918613U (ja) * | 1972-05-22 | 1974-02-16 | ||
| JPS6064436A (ja) * | 1983-09-19 | 1985-04-13 | Fujitsu Ltd | スピンドライヤ |
-
1986
- 1986-10-07 JP JP23879586A patent/JPS6393117A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4918614U (ja) * | 1972-05-20 | 1974-02-16 | ||
| JPS4918613U (ja) * | 1972-05-22 | 1974-02-16 | ||
| JPS6064436A (ja) * | 1983-09-19 | 1985-04-13 | Fujitsu Ltd | スピンドライヤ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015023205A (ja) * | 2013-07-22 | 2015-02-02 | 株式会社ディスコ | 洗浄装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5829156A (en) | Spin dryer apparatus | |
| EP0338509B1 (en) | Device for cleaning vehicle wheels | |
| JP6775638B2 (ja) | 基板洗浄装置 | |
| JPH04119524A (ja) | 回転表面処理装置 | |
| JPS6393117A (ja) | キヤリアプレ−トの乾燥機 | |
| US1690974A (en) | Washing machine | |
| TW202103803A (zh) | 基板洗淨裝置 | |
| JPH06275506A (ja) | 回転塗布装置及びその方法 | |
| JP3946026B2 (ja) | スピン処理装置 | |
| JPS6393116A (ja) | キヤリアプレ−トの乾燥機 | |
| JPH07153731A (ja) | 回転式基板表面洗浄装置 | |
| JPS5850742A (ja) | ウエ−ハ洗浄乾燥装置 | |
| JPH09122560A (ja) | 回転式塗布装置 | |
| JP3893029B2 (ja) | メダル水切り装置 | |
| JPH0227116B2 (ja) | ||
| CN110993488A (zh) | 一种对称式防回附的晶圆片去胶机 | |
| JPH118219A (ja) | 減圧スピン乾燥装置 | |
| KR102406089B1 (ko) | 백노즐 이물질 제거장치 | |
| JPH06224173A (ja) | 回転式基板処理装置 | |
| JPH01139172A (ja) | 塗布装置 | |
| JP3712099B2 (ja) | 回転処理装置 | |
| JPH0766105A (ja) | 基板処理装置 | |
| JP3877969B2 (ja) | メダル水切り装置 | |
| KR960011488B1 (ko) | 곡물의 크리닝 및 폴리싱 장치 | |
| JPH06229672A (ja) | 遠心乾燥機 |