TW201250979A - Package-on-package assembly with wire bonds to encapsulation surface - Google Patents

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201250979 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本申請案之標的物係關於微電子封裝及其製作方法，特 定而言’係關於併入有線接合以用於與一囊封層之一表面 上面之一元件電連接之彼等微電子封裝。 本申請案主張於2011年5月3日提出申請之韓國專利申請 案第10-20 1 1-004 1843號之優先權，該韓國專利申請案之揭 示内容特此以引用方式併入本文中。 【先前技術】 諸如半導體晶片之微電子裝置通常需要 一 7T % j 狐，卞 之諸多輸入及輸出連接。一半導體晶片或其他相當裝置之 輸入及輸出觸點通常經安置成實質上覆蓋裝置之一表面之 格栅狀圖案（通常稱作—「區域陣列」）或成可平行於且贼 鄰裝置之前表面之每一邊緣或在該前表面之中心延伸之細 長列。通常，諸如晶片之裝置必須物理安裝於諸如一印刷 電路板之-基板上，且該裝置之觸點必須電連接至該電路 板之導電元件特徵。 半導體晶片通常提供於在製造期間及在將晶片安裝於諸 如一電路板或其他電路面板之-㈣基板上«促進晶片 二f裝中。舉例而言，諸多半導體晶片係提供於適 於表面女裝之封贫 、 1:1 一般類型之眾多封裝已經提議用 =，：最通常地，此等封裝包含一電介質元件(通 或r‘㈣明片載體」’具有在該電介質上形成為經電鍍 " 金4結構之端子）。此等端子通常係藉由諸如沿 164130.doc -4- 201250979 著晶片載體自身延伸之薄跡線之特徵及藉由在晶片之觸點 與端子或跡線之間延伸的細引線或線連接至晶片自身之觸 Z。在-表面安裝操作中，將封裝放置至—電路板上以使 得1封裝上之I ^子係、與該電路板上之—對應接觸概塾 對準。將料或其他接合材料提供於料與接觸概塾之 間。可藉由加熱總成以便炫化或「溶鲜」焊料或以其他方 式活化接合材料而將封裝永久地接合於適當位置中。 諸多封裝包含附接至封裝之端子之呈焊料球（通常直經 約（M mm及約0.8 _ (5及3〇密耳））形式之焊料塊。具有自 其底表面&出之-焊料球陣列之—封裝通f稱作—球拇陣 列或BGA」封裝。其他封裝（稱作平台格栅陣列或 LGA」封裝）係藉由由焊料形成之薄層或平台固定至基 板。此類型之封裝可_係相當緊密。某些封裝（通常稱作 「晶片尺寸封裝」）佔據等於或僅稍微大於併入於該封裝 中之裝置之面積之電路板之一面積。此係有利的，此乃因 其減小總成之總大小且准許基板上之各種裝置之間的短互 連之錢，此繼而限制裝置之間的信號傳播時間且因此促 進以高速度之總成之操作。 經封裝半導體晶片通常經提供呈「堆疊式」g己置，其中 一個封裝（舉例而言）係提供於一電路板上，且另一封裝係 女裝於第一封裝之頂部上。此等配置可允許將若干個不同 晶片安裝於一電路板上之一單個佔用面積内且可進一步藉 由提供封裝之間的-短互連而促進高速操作。通常，此^ 連距離係僅稍微大於晶片自身之厚度。為在一晶片封裝堆 164130.doc 201250979 疊内達成互連，需要在每一封裝（最頂部封裝除外）之兩個 側上提供機械及電連接之結構。舉例而言，此已藉由在安 裝有晶片之基板之兩個側上提供接觸襯墊或平台（該等襯 墊係藉由導電通孔或諸如此類透過基板連接）完成。已使 用焊料球或諸如此類來橋接一下部基板之頂部上之觸點與 下一較高基板之底部上之觸點之間的間隙。焊料球必須高 於晶片之高度以便連接觸點。美國專利申請案第 2010/0232129號（「’129公開案」）中提供堆疊式晶片配置 及互接合構之實例，該美國專利申請案之揭示内容以全文 引用方式併入本文中。 呈細長支柱或接針形式之微觸點元件可用於將微電子封 裝連接至電路板及用於微電子封裝中之其他連接。在某些 例項中’微觸點已藉由蝕刻包含一或多個金屬層之一金屬 結構以形成微觸點來形成。蝕刻製程限制微觸點之大小。 習用蝕刻製程通常不能形成具有一大的高與最大寬度之比 率（在本文中稱作「縱橫比」）之微觸點。難以或不可能形 成具有可觀高度及毗鄰微觸點之間的極小間距或間隔之微 觸點陣列。此外’藉由習用蝕刻製程形成之微觸點之組態 受限》 儘管所有以上所闡述在此項技術中進步，但將期望製作 及測試微電子封裝之更進一步改良。 【發明内容】 本發明之一實施例係關於一種微電子封裝。該微電子封 裝包含一基板，該基板具有一第一區及一第二區以及一第 164130.doc -6- 201250979 一表面及遠離該第一表面之一第二表面。至少一個微電子 元件在該第一區内上覆該第一表面上。導電元件在該第二 區内曝露於該基板之該第一表面及該第二表面中之至少一 者處，且該等導電元件中之至少某些導電元件冑連接至該 至少-個微電子元件。該微電子封裝進一步線接合，該等 線接合具有結合至該等導電元件中之各別者之基底及遠離 該基板且遠離該等基底之端表面，每一線接合界定在其該 基底與該端表面之間延伸的一邊緣表面。 自該第-表面或該第二表面中之至少一者延伸且填=層等 線接合之間的空間以使得該等線接合藉由該囊封層彼此分 離。該囊封層上覆該基板之至少該第二區上，且該等線接 合之未經囊封部分係由不被該囊封層覆蓋之該等線接合之 該等-端表面之至少部分界定。該基板可係一引線框架且該 等導電7G件可係該引線框架之該等引線。 該等線接合之該等未經囊封部分可係由該等線接合之該 等端表面及眺鄰不被該囊封層覆蓋之該等端表面之該等邊 ㈣界定1包含接觸該等線接合之該等未經囊 盆Ρ刀中之至少某些未經囊封部分之—氧化保護層。此鄰 其该端表面之該等線接合中 曾者之至少一部分係實 ::直於該囊封層之一表面。該等導電元件可係第一導 電疋件，且該微電子封裝可進一 電連接至該等線接 之該等未經囊封部分之複數個第二導電㈣。在此 施例中，該等第二導電元件 元件。該等不接觸該等第一導電 至該等第一線接合中 164I30.doc 201250979 之至y某些第一線接合之該等端表面之複數個柱形凸塊。 該等線接合中之至少一者可在其該基底與該未經囊封部 分之間沿著-實質上筆直線延伸，且該實質上筆直線可相 對於S亥基板之該第一表面形成小於9〇。之一角度。另外戋 另一選擇係，該等線接合中之至少一者之該邊緣表面可具 有毗鄰該端表面之一第一部分及藉由該第一 面分離之-第二部分，且該第-部分可沿遠離該第二= 延伸之一方向之一方向延伸。 本發明之另一實施例係關於一種替代微電子封裝。此一 微電子封裝包含-餘，該基板具有一第一區及一第二 區，以及一第一表面及遠離該第一表面之一第二表面。至 少-個微電子元件在該第一區内上覆該第一表面上。導電 元件在該第二區内曝露於該基板之該第一表面及該第二表 面中之至少-者處，且該等導電元件中之至少某些導電元 件電連接至該至少-個微電子元件。該微電子封裝進一步 包含具有結合至該等導電元件中之各別者之基底及遠離該 基板且遠離該等基底之端表面之複數個線接合。每一線接 合界定在其該基底與該端表面之間延伸的—邊緣表面… 電介質囊封層自該第-表面或該第二表面中之至少一者延 伸且填充線接合之間的空間以使得該等線接合藉由該囊封 層彼此分離。該囊封層上覆該基板之至少該第二區上，且 該等線接合之未經囊封部分係由眺鄰不被該囊封層覆蓋之 該等線接合之料端表面之料邊緣表面之至少部分 定0 164130.doc -8 - 201250979 該囊封層可係藉由在形成該等線接合之後將一電介質材 料沈積至該第-基板上且然後固化該所沈積電介質材料而 形成於該基板上之一單體層。該單體式囊封層之形成可包 含模製該電介質材料。 該等未經囊封部分之至少—者可進__步由不被該囊封層 覆蓋之該端表面之至少一部分界定。不被該囊封層覆蓋之 該邊緣表面之該部分可具有沿實質上平行於該囊封層之表 面之一方向延伸之-最長尺寸。不被該囊封層覆蓋且實質 上平行於該囊封層之該表面延伸之該邊緣表面之該部分之 該長度可係大於該線接合之一剖面寬度。 ::述實施例中之任一項中，該基板之該第一表面可沿 第仏向方向及第二橫向方向延伸，每一橫向方向係橫切 於該第-表.面與該第二表面之.間的該基板之一厚度之一方 向該等線接合中之至少_者之該未經囊封部分可進__步 $沿該等橫向方向中之至少—者自該至少—個線接合所結 。之该導電元件位移。該等線接合中之至少一者可包含位 於其該基底與該端表面之間的一實質上彎曲部分。該至少 個線接合之該未經囊封部分可上覆該微電子元件之一主 表面上。 接2述實施例中之任一項中，一谭料球可結合至該等線 σ中之至少一者之未經囊封部分。 小料’在前述實施例中之任一項中，該囊封層可包含至 I個表面，且該等線接合中之該等未經囊封部分可在該 夕-個表面中之一者處不被該囊封層覆蓋。該至少一個 164130.doc 201250979 表面可包含實質上平行於該基板之該第一表面之一主表 面，且該等線接合中之至少一者之該未經囊封部分可在該 主表面處不被該囊封層覆蓋。至少一個線接合之未經囊封 部分可與該主表面實質上齊平。另一選擇為，至少一個線 接合之該未經囊封部分可延伸超過該主表面。該至少一個 表面可包含在距該基板之該第一表面之一第一距離處之一 主表面及在小於該第一距離之距該基板之第一表面之一第 二距離處之一凹入表面，且該等線接合中之至少一者之該 未經囊封部分在該凹入表面處不被該囊封層覆蓋。該至少 -個表面可進一步包含遠離該基板之該第一表面與其成一 實質角而延伸之_側表面，且至少一個線接合之該未經囊 封部分可在該側表面處不被該囊封層覆蓋。該囊封層可具 有自》亥囊封層《纟面朝向該基板延伸之形成於其中之一 腔’且該等線接合中之一者之該未經囊封部分可係安置於 該腔内》 此外’在前述實施例中之任—射，該等線接合可基本 上由選自由銅、金、銘及焊料組成之群組之至少一種材料 組成。該等線接合中之至少一者可沿著其一長度界定一縱 向軸’且每一線接合可包含沿著該縱向轴延伸之一第一材 料之-内層及遠離該縱向抽且具有沿此線接合之一縱長方 向延伸之-長度之一第二材料之一外層。在此一實施例 中’該第-材料係銅、金、鎳及結中之一者且該第二材 料係銅、金、鎳、鋁及焊料中之—者。 在前述實施例中之任一項中，該複數個線接合可係第一 164130.doc •10· 201250979 線接合’且該微電子封裝可進一步包括具有結合至該微電 子元件上之一觸點及其遠離該觸點之一端表面之一基底之 至少-個第二線接合。該至少一個第二線接合可界定在該 基底與該端表面之間延伸的一邊緣表面，且該至少一個第 一線接合之一未經囊封部分可係由不被該囊封層覆蓋之此 第二線接合之該端表面或其該邊緣表面中之至少一者之一 部分界定。該至少一個微電子元件可係一第一微電子元 件，且該微電子封裝可進一步包括至少部分地上覆該第一 微電子元件之至少一個第二微電子元件上。在此一實施例 中，該等線接合可係第一線接合，且該微電子封裝可具有 結合至該μ電子元件上之—觸點及遠離該觸點之—端表面 之-基底。該至少一個第二線接合可界定在該基底與該端 表面之間的一邊緣表面，且該第二線接合之一未經囊封部 分可係由不被該囊封層覆蓋之此第二線接合之該端表面或 其該邊緣表面中之一部分之至少一者界定。 在以上實施例中之任一項中，該等線接合中之一第一者 可經調適以用於攜載一第一信號電位且該等線接合中之一 第二者可經調適以用於同時攜載不同於該第一信號電位之 一第二電位。 以上實施例中之任一項可進一步包含沿著該囊封層之該 表面延伸之-重新分佈磨。該重新分佈層可包含具有础鄰 該囊封層之-主表面之-第—表面之—重新分佈基板，且 該重新分佈層可進-步包含：_第二表面，其遠離該第一 表面；第一導電襯墊，其等曝露於該重新分佈基板之該第 164130.doc •11· 201250979 -表面上且與該等線接合之各別纟經囊封部分對準且機械 連接至該等各別未經囊封部分；及第二導電㈣，其等曝 露於電連接至該等第—導電襯墊之該基板之該第二表面 上0 在又貫施例中，一微電子總成可包含根據以上實施例 中之任項之一第一微電子封裝。該總成可進一步包含具 有一基板之一第二微電子封裝，該基板具有一第一表面及 第一表面。一第二微電子元件可安裝至該第一表面，且 接觸襯塾可曝露於該第二表面處且可電連接至該第二微電 子元件。S亥第二微電子封裝可安裝至該第一微電子封裝以 使得該第二微電子封裝之該第二表面上覆該電介質囊封層 之表面之至少一部分上且以使得該等接觸襯墊中之至少某 些接觸襯墊電及機械連接至該等線接合之該等未經囊封部 分中之至少某些未經囊封部分。 本發明之另一實施例可係關於一種微電子封裝，其包含 一基板，δ亥基板具有一第一區及一第二區以及一第一表面 及遠離該第一表面且沿橫向方向延伸之一第二表面。一微 電子元件在該第一區内上覆該第一表面上且具有遠離該基 板之一主表面《導電元件在該第二區内曝露於該基板之該 第一表面處’其中該等導電元件中之至少某些導電元件電 連接至該微電子元件。該微電子封裝進一步包含線接合， 該等線接合具有結合至該等第一導電元件中之各別者之基 底及遠離該基板且遠離該等基底之端表面β每一線接八界 定在其該基底與該端表面之間延伸的一邊緣表面。一電介 164130.doc -12- 201250979 、自該第一表面或該第二表面中之至少一者延 伸且填充該等線接人 °間的二間以使得該等線接合藉由該 電”質層彼此分離。哕壸 _ 该囊封層上覆該基板之至少該第二區 上，且該等線接合之未經囊封部分係由不被該囊封層覆蓋 之_接合之該等端表面之至少部分界定。至少一個線 接。之該未μ囊封部分係往沿著該第—表面之至少一個橫 °向自該至；-個線接合所結合之該導電元件位移以使 得其該未經囊封部分上覆該微電子元件之該主表面上。 該等導電元件可係配置成一第一預定組態之一第一陣 列’且該等線接合之該等未經囊封部分可係配置成不同於 該第一預定組態t 一第二預定組態之一第二陣列。該第一 預定組態之特徵可在於一第一間距且該第二組態之特徵可 在於細於該第.一間_距之一第二間距。一絕緣層可在該微電 子兀件之至少一表面上方延伸。該絕緣層可係安置於該微 電子70件之該表面與具有上覆該微電子元件之該主表面上 之一未經囊封部分之該至少一個線接合之間。該等線接合 中之各別者之複數個該等未經囊封部分可上覆該微電子元 件之該主表面上。 根據本發明之一實施例之一微電子總成可包含根據以上 闡述之一第一微電子封裝。該總成可進一步包含一第二微 電子封裝’該第二微電子封裝包含：一基板，其具有一第 一表面及一第二表面；一微電子元件，其附加於該第一表 面上；及接觸襯墊，其等曝露於該第二表面上且電連接至 該微電子元件。該第二微電子封裝可係附加於該第一微電 164130.doc •13- 201250979 子封裝上以使得該第二封裝之該第二表面上覆該電介質層 之表面之至乂邛分上且以使得該等接觸襯势中之至少某 些接觸襯塾電及機械連接至該等線接合之該等未經囊封部 分中之至少某些未經囊封部分。 該第-微電子封裝之導電㈣可係配置成—第—預定組 態之-第-陣列，錢第二微電子封裝之該等接觸概塾可 係配置成不同於該第—預定㈣之—第m態之一第 -陣列。該第-微電子封裝之該等線接合之該等未經囊封 部分中之至少某些未經囊封部分可係配置成對應於該第二 預定組態之-第三陣列。該第—預定組態之特徵可在於一 ’距且°亥第一組態之特徵可在於細於該第一間距之 一第二間距。 本發明之又一實施例可係關於一種製作一微電子封裝之 該方法包含纟一製冑中單&上形成一冑介質囊封 層。該製程中單元包含：一基板，其具有一第一表面及遠 離其之帛—表面；—微電子元件，其安裝至該基板之該 第表面，及複數個導電元件，其等曝露於該第一表面處 I等導電7L件中之至少某些導電元件電連#至該微電子元 件。該製程中單元進-步包含具有結合至該等導電元件之 基底及遠離該等基底之端表面之線接合。每-線接合界定 在該基底與該端表面之間延伸的—邊緣表面。該囊封層經 :成以便至少冑分地覆蓋該第一表面及該等線接合之部 刀4以使得該等線接合之未經囊封部分係由不被該囊封層 覆蓋之其該端表面或該邊緣表面中之至少—者之—部分界 I64130.doc 201250979 定。製程中單元之該基板可係一引線框架且該等導電元件 可係該引線框架之引線。可在該等線接合中之至少一者之 該未經囊封部分上形成—柱形凸^可在該等線接合中之 至少一者之該未經囊封部分上沈積一焊料球。 形成該囊封層之步驟可包含在該[表面及實質上所有 該等線接合之上方沈積一電介質材料塊且移除該電介質材 料塊之-部分以顯露該線接合之部分以界定其該等未經囊 封部分。在-變化形式中’該等線接合中之至少一者可沿 結合至該等導電元件中之至少兩者中之每—者之—環路延 伸。該電介質材料塊可然後經沈積以便至少部分地覆蓋該 第-表面及該至少一個線接合環路’且移除該電介質材料 塊之。h可進-步包含移除該至少—個線接合環路之— 部刀’-以便將.其隔斷—成.具有不被該囊封層覆蓋以形成其該 等未經囊封部分之各別自由端之第—線接合及第二線接 合。可藉由以下步驟形成該環路：將一線之一第一端結合 至S亥導電元件，沿镇離命笛 . 遏離該第一表面之—方向拉伸該線，然 後往沿著該第一表面之至少_橫線方向拉伸該線，且缺後 將該線拉伸至該第二導電元件且將該線結合至該第二導電 元件。 电 可藉由以下步驟在該製程中單元上形成該囊封層：自遠 離絲板之一位置於該線接合上方按塵-電介質材料塊且 使其與該基板之該第-表面接觸以使得該等線接合中之該 少者穿透該電介質材料塊。該等線接合可係由基本上 由金、銅、紹或焊料組成之線製作。該等第-線接合可包 164130.doc •15· 201250979 含鋁，且該等線接合可係藉由楔接合結合至該導電元件。 另外或另一選擇係，形成該囊封層之該步驟可包含形成自 S亥囊封層之一主表面朝向該基板延伸之至少一個腔該至 少一個腔包圍該等線接合中之一者之該未經囊封部分。可 在將-電介質囊封材才斗沈積至該基板上之後藉由濕式钮 刻、乾式蝕刻或雷射蝕刻該囊封材料中之至少一者來形成 該至少-個腔。可藉由在將一電介質囊封材料沈積至該基 板及6玄至少一個線接合上之後自該等線接合中之至少一者 之預疋位置移除一犧牲材料塊之至少一部分來進一步形 成該至；一個腔。形成該囊封層之該步驟可經實施以使得 該犧牲材料塊之—部分曝露於該囊封層之—主表面上，該 犧牲材料塊之該曝露部分包圍接近其該自由端之該線接^ 之一部分且將職㈣之-部分與其間隔開H線接合 Α至夕者可/。著其一長度界定_縱向軸，且每一線接 合可包含沿著該縱⑲延伸之—第—材料之―内層及由遠 離該縱向軸且具有沿此線接合之一縱長方向延伸之一長度 之犧牲材料塊形成之-外層。該犧牲材料塊之一第一部分 可經移除以形成該腔中該犧牲材料塊之—第二部分保 持毗鄰該基底。 該基板之該第-表面可沿橫向方向延伸，且料線接合 :至少—者之該未經囊封部分可經形成以使得其該端表 係沿該等橫向方向中之至少-者自該至少—個線接合所 ::之該導電元件位移。以，該製程令單元可形成， 匕3以下一步驟：形成該等線接合以使得該等線接合中之 164 丨 30.doc 201250979 一個線接合之該 區及一第二區， 至少一者包含定位於該導電元件與該至少 端表面之間的一實質上彎曲段。 在又一變化形式中’基板可包含一第— 且該微電子元件可上覆該第—區上且可具有遠離該基板之 -主表面。該第一導電元件可係安置於該第二區内，且該 製程中單元可經形成，包含以下一步驟：形成該等線接合 以使得該等線接合中之至少—者之至少—部分在該微電子 元件之該主表面上方延伸。 該等線接合可沿著其-長度界定—縱向轴，且該等線接 合可包含沿著該縱向軸延伸之一第一材料之一内層及遠離 該縱向軸且沿著該線接合之該長度延伸之一第二材料之一 外層。在此一變化形式中，該第一材料係銅且該第二材料 係焊料。在·形成該囊.封層·之—該步驟之後移除該第二材料之 一部分以形成自該電介質層之一表面延伸之一腔以顯露該 線接合之該内層之該邊緣表面之一部分。 本發明之又一實施例係關於一種微電子封裝’其包含一 基板，S亥基板具有一第一區及一第二區，該基板具有一第 一表面及遠離該第一表面之一第二表面。至少一個微電子 元件在該第一區内上覆該第一表面上，且導電元件在該第 二區内曝露於該基板之該第一表面處，其中該等導電元件 中之至少某些導電元件電連接至該至少一個微電子元件。 複數個接合元件，每一接合元件具有一第一基底、一第二 基底及在該等基底之間延伸的一邊緣表面，該第一基底 結合至該等導電元件中之一者。該邊緣表面包含遠離該接 164130.doc •17· 201250979 觸襯墊延伸至遠離該基板之該邊緣表面之一頂端之一第一 部分。該邊緣表面進一步包含自該頂端延伸至該第二基底 之-第二部分’該第二基底結合至該基板之一特徵。一電 介質囊封層自該第-表面或該第二表面中之至少_者延伸 且填充該等接合元件之該第一部分與該第二部分之間及複 數個接合元件之間的空間以使得該等接合元件藉由該囊封 層彼此分離。該囊封層上覆該基板之至少該第二區上。該 等接合元件之未經囊封部分係由不被該囊封層覆蓋之包圍 其頂端之該等接合元件之該等邊緣表面之至少部分界定。 在以上實施例之一變化形式中，該等接合元件係線接 合。在此-變化形式中，該基板之該第二基底所結合之該 基板之該特徵可係該第一基底所結合之該導電元件。另一 選擇係’該第二基底所結合之該基板之該特徵可不同於該 第一基底所結合之該導電元件之一各別導電元件。該第二 基底所結合之此一導電元件可不電連接至該微電子元件。 在一替代變化形式中，該接合元件可係一接合帶。在此一 變化形式令，該第-基底之—部分可沿著該各別接觸概塾 之一部分延伸，且該第二基底所結合之該特徵可係沿該各 別接觸襯墊之一部分延伸之該第一基底之長度。 在該實施例巾，該基板之該第一纟面可沿第一橫向方向 及第二橫向方向延伸，每一橫向方向係橫切於該第一表面 與該第二表面之間的該基板之一厚度之一方向。該等線接 合中之至少一者之該未經囊封部分可係沿該等橫向方向中 之至少一者自該至少一個線接合所結合之該導電元件位 •18· 164130.doc ⑧ 201250979 移。此外，該至少一個線接合之該未經囊封部分可上覆該 微電子元件之一主表面上。 本發明之又一貫施例可係關於一種製作一微電子總成之 方法。此實施例之方法可包含將根據以上實施例所製作之 一第一微電子封裝與一第二微電子封裝結合在一起，該第 二微電子封裝可包含一基板，該基板具有一第一表面及曝 露於該基板之該第一表面處之複數個觸點，且將該第一微 電子封裝與該第二微電子封裝結合在一起可包含電及機械 連接該第一微電子封裝之該等線接合之該等未經囊封部分 與該第二微電子封裝之該等觸點。 本發明之又一實施例可係關於製作一微電子封裝之替代 方法。此實施例之方法包含：在一製程中單元上方定位一 電介質材料塊，該製程中單元包含：一基板，其具有一第 一表面及遠離其之一第二表面；複數個薄導電元件，其等 曝露於該第一表面處；及線接合，其等具有結合至該等薄 導電兀件中之各別纟之基纟，及冑離該基板且遠離該等基 底之端表H線接合界定在其該基底與該端表面之間 延伸的一邊緣表面。該方法亦包含藉由於該線接合上方按 壓該電介質材料塊以與該基板之該第—表面接觸以使得該 等線接合穿透該電介質材料塊而在該製程中單元上形成— 囊封層。該囊封層因此填充該等線接合之間的空間以使得 該等線接合係藉由該囊封層彼此分離，其中該囊封層上覆 該基板之至少該第二區上。藉由使該等線接合延伸穿過該 囊封層之-部分以使得該等第—線接合之部分不被該㈣ 164130.doc •19· 201250979 層覆蓋來形成該等第一線接合之未經囊封部分。 本發明之又一實施例係關於一種製作一微電子封裝之替 代方法》此實施例之方法包含在—製程中單元上形成一電 介質囊封層，該製程中單元包含：一基板，其具有一第一 表面及遠離其之—第二表面；複數個薄導電元件，其等曝 露於該第-表面處；及線環路，#等在—等—基底及一第 二基底處結合至該等薄導電元件中之至少兩者中之各別 者。囊封經形成以便至少部分地覆蓋該第—表面及該至少 -個線環路。該方法進—步包含移除該囊封層之—部分及 該等線環路之-部分以便將該等線環路中之每—者隔斷成 對應於該第-基底及該第：基底中之—各別者之單獨線接 合。因此，該等線接合具有端表面遠離該基板且遠離該等 基底之端表面’且每-線接合界定在其該基底與該端表面 之間延伸的-邊緣表自。該冑封層土真充該等線接合之間的 空間以使得該等線接合藉由該囊封層而彼此分離。該等線 接合具有由至少部分地不被該囊封層覆蓋之其自由端形成 之未經囊封部分。 本發明之另一實施例係關於包含根據以上所論述之其實 施例中之一者之一微電子封裝或總成以及電連接至該微電 子封裝之一或多個其他電子組件之系統。該系統可進一步 包含一殼體，該微電子總成及該等其他電子組件可安裝於 其中。 【實施方式】 現在轉至圖，其中類似元件符號用於指示類似特徵，圖 164130.doc 20 ⑧ 201250979 1中展示根據本發明之一實施例之一微電子總成1〇。圖丄之 貫施例係呈一經封裝微電子元件之形式之一微電子總成， 諸如用於電腦或其他電子應用中之一半導體晶片總成。 圖1之微電子總成10包含具有一第一表面14及一第二表 面16之一基板12。基板12通常係呈一電介質元件（其係實 質上扁平）之形式。該電介質元件可係薄片狀且可係薄 的。在特定實施例中，電介質元件可包含一或多個諸如 (但不限於）以下材料之有機電介質材料或複合電介質材料 層：聚醯亞胺、聚四氟乙烯（「PTFE」）、環氧樹脂、環氧 玻璃' FR-4、BT樹脂、熱塑性材料或熱固性塑膠材料。 第一表面14及第二表面16係較佳地實質上彼此平行且以界 定基板12之厚度之垂直於表面14、16之一距離間隔開。基 板12之厚.度較佳地在本申請案太體可接受厚度之一範圍 内。在一實施例中，第一表面14與第二表面16之間的距離 係在約25 μπι與500 μηι之間。出於本論述之目的，第一表 面14可經闡述為經定位與第二表面16相對或遠離第二表面 16。此一闡述，以及參考此等元件之一垂直或水平位置之 本文中所使用之元件之相對位置之任何其他闡述係僅出於 說明性目的而進行以符合圖内之元件之位置，且非限制 性。 在一較佳實施例中，將基板12視為經劃分成一第一區18 及一第二區20»第一區18位於第二區2〇内且包含基板12之 一中心部分且自其向外延伸。第二區2〇實質上包圍第一區 18且自其向外延伸至基板12之外部邊緣。在此實施例中， 164130.doc •21- 201250979 基板自身不存在實體劃分兩個區之特定特性；然而，本文 中出於論述之目的’將該等區相對於應用於其或含於其中 之處理或特徵而加以區分。 一微電子元件22可安裝至基板12之第一表面14在第一區 18内。微電子元件22可係一半導體晶片或另一相當裝置。 在圖1之實施例中，微電子元件22係以稱作一習用或「面 向上」方式之方式安裝至第一表面14。在此一實施例中， 線引線24可用於將微電子元件22電連接至曝露於第一表面 14處之複數個導電元件28中之某些導電元件。線引線24亦 可結合至基板12内之繼而連接至導電元件28之跡線（未展 示）或其他導電特徵。 導電元件28包含曝露於基板12之第一表面14處之各別 「觸點」或襯墊30。如本闡述中所使用，當一導電元件經 闡述為「曝露於」具有電介質結構之另一元件之表面時， 心不該導電7L件結構可用於與沿垂直於㈣介質結構之該 表面之：¾'向自該電介質結構之外部朝向該電介質結構之 該表面移動之-理論點接觸。因此，曝露於—電介質結構 之一表面處之"'端子或其導電結構可自此表面凸出；可與 此表面齊平；或可相對於此表面凹入且透過電介質中之一 孔或凹部曝露。導電元件28可係其中襯墊3叫露於基板12 之第-表面U處之扁平' 薄元件。在一項實施例中，導電 元件28可係實質上圓形且可彼此間互連或藉由跡線（未展 示)互連至微電子元件22。導電元件28可經形成至少在基 板12之第二區2〇内。另外，在某些實施例中，導電元件28 164130.doc -22· 201250979 亦可形成於第一區18内。此一配置當將微電子元件122 (圖 3)以稱作一「覆晶」組態之組態安裝至基板112時係特別 有用的，其中微電子元件122上之觸點可藉由定位於微電 子元件122下方之焊料凸塊126或諸如此類連接至第一區 U8内之導電元件128。在如圖22中所示之另一組態中，微 電子元件622係面向下安裝於基板612上且藉由在基板612 之一面向外表面（諸如表面616)上方延伸之線引線624電連 接至晶片上之一導電特徵。在所示之實施例中，線引線 625通過基板612中之一開口 625且可藉由一包覆成型保護 套699囊封。 在一實施例中’導電元件28係由一固態金屬材料形成， 諸如銅、金、鎳或此一應用可接受之其他材料，包含各種 合金(包含錮、-金，鎳或其組合中之一或多者 導電元件28中之至少某些導電元件可互連至對應曝露於 基板12之第二表面16處之第二導電元件4〇’諸如導電襯 塾。可使用形成於基板12中可以可係由與導電元件28或40 相同之材料構成之導電金屬加襯或填充之通孔41來完成此 一互連。視情況，導電元件40可藉由基板12上之跡線進一 步互連。 微電子總成10進一步包含諸如在該微電子總成之襯墊3〇 上結合至導電元件28中之至少某些導電元件之複數個線接 合32。線接合32係在其一基底34處結合至導電元件28且可 延伸至遠離各別基底34且遠離基板12之一自由端36。線接 合32之端36表徵為係自由的，此乃因其不電連接或以其他 164130.doc -23- 201250979 方式結合至微電子元件2 2或微電子總成丨〇内之繼而連接至 微電子元件22之任何其他導電結構。換言之，自由端％可 用於直接地或間接地（如本文中所論述透過一焊料球或其 他特徵）至總成10外部之一導電特徵之電子連接。端％藉 由（舉例而言）囊封層42保持於一預定位置中或以其他方式 結合或電連接至另一導電特徵之事實並不意味著其非如本 文中所閣述之「自由」，只要㈣此特徵不電連接至微電 子元件22即了 <»相反地，基底μ係不自由的，此乃因其直 接地或間接地電連接至微電子元件22，如本文中所闡述。 如圖1中所示，基底34可係自基底34與端36之間所界定之 線接合32之一邊緣表面37向外延伸之實質上圓形形狀。基 底34之特定大小及形狀可根據以下因素變化：用於形成線 接合32之材料之類型，線接合32與導電元件28之間的連接 之所期望強度或用於形成線接合32之特定製程。用於製作 線接合28之例示性方法闡述於〇tremba之美國專利第 7,391，121號及美國專利申請公開案第2〇〇5/〇〇95835號（闡 述可視為線接合之一形式之一楔接合步驟）中，該等美國 專利之揭示内容皆以全文引用方式併入本文中。替代實施 例係可行的，其中另外或另一選擇係，線接合32結合至曝 露於基板12之第二表面16上之導電元件4〇，從而遠離其延 伸。 線接合32可係由諸如銅、金、鎳、焊料、鋁或諸如此類 之一導電材料製作。另外，線接合32可係由材料組合製 作，諸如由諸如鋼或鋁之一導電材料之一核心製作（舉例 164130.doc 24 ⑧ 201250979 而言，藉助應用於該核心上方之一塗層）。該塗層可係由 諸如鋁、鎳或諸如此類之一第二導電材料構成。另一選擇 為，該塗層可係由諸如一絕緣套之一絕緣材料構成。在一 實施例中，用於形成線接合32之線可具有在約15 ^瓜與15〇 μηι之間的一厚度，亦即，橫切於線之長度之一尺寸。在 包含其中使用楔接合之彼等線接合之其他實施例_，線接 。32可具有尚達約500只爪之一厚度。一般而言，一線接合 係使用此項技術中所習知<專門設備而形成於一導電元件 上（諸如導電元件28)、一襯墊、跡線或諸如此類。一線段 之一引線端經加熱並壓抵線段所接合之接納表面，從而通 爷形成結合至導電凡件28之表面之一球或球狀基底％。自 接合工具拉延用以形成線接合之所期望長度之線段，該接 合工具可然後在所期望長度處切斷該線接合。舉例而言， 可用於形成鋁線接合之楔接合係其中跨越接納表面拖曳線 之絰加熱部分以形成大體平行於該表面之一楔之一製程。 該經楔接合之線接合可然後向上彎曲（視需要），且在切斷 之則延伸至所期望長度或位置。在一特定實施例中，用於 形成-線接合之線之剖面可係圓柱形。另夕卜，自工具饋送 以形成一線接合或經楔接合之線接合之線可具有一多邊形 剖面，諸如例如矩形或梯形。 、線接合32之自由端36具有一端表面38。端表面38可在由 複數個線接合32之各別端表面38形成之-陣列中形成一觸 :之至少-部分。圖2展示藉由端表面38形成之觸點之此 陣列之-例不性圖案。此一陣列可形成為一面陣列組 164130.doc •25· 201250979 態’可使用本文中所闡述之結構實施該組態之變化形式。 此一陣列可用於將微電子總成10電及機械連接至另一微電 子結構，諸如至一印刷電路板（「PCB」），或至其他經封 裝微電子元件（圖6中展示其一實例）。在此一堆疊式配置 中’線接合32及導電元件28及40可攜載通過其之多個電子 信號，每一電子信號具有一不同信號電位以允許一單個堆 疊中之不同微電子元件處理不同信號。焊料塊52可用於互 連此一堆疊中之微電子總成，諸如藉由將端表面38電子及 機械地附接至導電元件40。 微電子總成10進一步包含由一電介質材料形成之一囊封 層42。在圖1之實施例中，囊封層42係形成於不被微電子 元件22或導電元件28以其他方式覆蓋或佔據之基板12之第 一表面14之部分上方。類似地，囊封層42係形成於不被線 接合32以其他方式覆蓋之導電元件28 (包含其襯墊3〇)之部 分上方。囊封層42亦可實質上覆蓋微電子元件22、線接合 32 (包含基底34及其邊緣表面37之至少一部分）。線接合32 之一部分可保持不被囊封層42覆蓋’該部分亦可稱作未經 囊封，藉此使線接合可用於電連接至位於囊封層42之外部 之一特徵或元件。在一實施例中，線接合32之端表面38保 持在囊封層42之主表面44内不被囊封層42覆蓋。除了使端 表面38保持不被囊封層42覆蓋以外或作為其一替代方案， 其中邊緣表面37之一部分不被囊封層42覆蓋之其他實施例 亦係可行的《換言之，囊封層42可覆蓋自第一表面14及往 上之微電子總成10之全部’惟除線接合36之一部分（諸如 164130.doc 26 ⑧ 201250979 端表面38、邊緣表面37或該兩者之組合）。在圖中所示之 實施例中’囊封層42之一表面（諸如主表面44)可與基板12 之第一表面14間隔開達足夠大以覆蓋微電子元件22之一距 離。因此’其中線接合32之端38與表面44齊平之微電子總 成10之實施例將包含高於微電子元件22之線接合32，及用 於覆晶連接之任何下伏焊料凸塊。然而，囊封層42之其他 組態係可行的。舉例而言，囊封層可具有帶有變化高度之 多個表面。在此一組態中，端3 8定位於其内之表面44可係 高於或低於微電子元件22位於其下面之一面向上表面。 囊封層42用於保護微電子總成10内之其他元件，特定而 言線接合32。此允許較不可能被其測試或在運輸或組裝至 其他微電子結構損害之一較穩健結構。囊封層42可係由具 有絕緣性質之一電介質材料（諸如美國專利申請公開案第 2010/0232129號中所闡述之彼材料）形成，將該美國專利申 請公開案以全文引用方式併入本文中。 圖3展示具有帶有非直接定位於線接合之各別基底34上 面之端136之線接合132之微電子總成11〇之一實施例。亦 即，將基板112之第一表面114視為沿兩個橫向方向延伸， 以便貫質上界定一平面，使端136或線接合132中之至少一 者沿此等橫向方向中至少一者自基底134之一對應橫向位 置位移。如圖3中所示，線接合132可沿著其縱向軸係實質 上筆直（如在圖1之實施例中），其中縱向軸係相對於基板 112之第一表面114以一角146成角。儘管圖3之剖面圖僅透 過垂直於第一表面114之一第一平面展示角146，但線接合 164130.doc -27- 201250979 132亦可在垂直於彼第一平面及第一表面114兩者之另一平 面中相對於第一表面Π4成角。此一角可實質上等於或不 同於角146。亦即，端136相對於基底134之位移可係沿兩 個橫向方向且可係以沿彼等方向中之每一者之相同或一不 同距離。 在一實施例中，線接合132中之各種者可沿不同方向位 移且在總成110中位移不同量。此一配置允許總成〗具有 與在基板12之層級上相比在表面144之層級上經不同組態 之一陣列。舉例而言’與基板112之第一表面114處之彼陣 列相比較，一陣列在表面144上可比在第一表面U4層級處 覆蓋一較小總面積或具有一較小間距β此外，某些線接合 132可具有定位於微電子元件122上面以適應不同大小之經 封裝微電子元件之一堆疊式配置之端138。在圖19中所示 之另一實例中’線接合13 2可經組態以使得一個線接合 132Α之端136Α係實質上定位於另一線接合134Β之基底 134Β上面’彼線接合Π4Β之端132Β係定位於別處。此一 配置可稱作與第二表面116上之一對應觸點陣列之位置相 比較改變一觸點陣列内之一觸點端表面136之相對位置。 在此一陣列内’取決於微電子總成之應用或其他要求，觸 點端表面之相對位置可視需要改變或變化。 圖4展示具有帶有位於相對於基底234橫向位移之位置中 之端236之線接合232之一微電子子總成210之又一實施 例《在圖4之實施例中，線接合132藉由其中包含一彎曲部 分248而達成此橫向位移。彎曲部分248可在線接合形成程 I64130.doc 28 201250979 序期間在一額外步驟中形成且可（舉例而言）在線部分經拉 延至所期望長度時發生。可使用可用線接合設備來實施此 步驟，此可包含一單機之使用。 彎曲部分248可視需要呈現各種形狀以達成線接合232之 端236之所期望位置。舉例而言，彎曲部分248可經形成為 各種形狀中之S曲線（諸如圖4中所示），或一較平滑形式之 S曲線（諸如圖5中所示）。另外，彎曲部分248可經定位而 更靠近於基底234而非端236或反之亦然。彎曲部分248亦 可係一螺旋或環圈形式，或可係複合的（包含沿多個方向 或不同形狀或特性之曲線）。 圖5展示具有導致基底334與端336之間的各種相對橫向 位移之各種形狀之線接合332之一組合之一微電子封裝31〇 之又一例示性實施例。線接合332A中之某些線接合係實質 上筆直的，其中端336A定位於其各別基底334A上面，而 其他線接合332B包含導致端336B與拳底334B之間的一稍 微相對橫向位移之一略微彎曲部分348B。此外，某些線接 合332C包含具有一呈彎曲狀的形狀之彎曲部分348C，該 等彎曲部分產生自相對基底334C橫向位移達大於端334B 之距離之一距離之端33 6C。圖5亦展示具有定位於一基板 層級陣列之相同列中之基底334Ci&334(：ii及定位於一對應 表面層級陣列之不同列中之端336ci及336Cii之一例示性此 等線接合332Ci及332Cii對。 一線接合332D之又一變化形式經展示其經組態以在囊封 層342之一側表面47上不被囊封層342覆蓋。在所示實施例 164130.doc •29· 201250979 中，自由端336D不被覆蓋，然而，邊緣表面337D之一部 分可（另外或另一選擇係）不被囊封層342覆蓋。此一組態可 用於微電子總成10之接地（藉由電連接至一適當特徵）或用 於機械或電連接至橫向安置至微電子總成31〇之其他特 徵。另外，圖5展示已經蝕刻掉、模製或以其他方式形成 以界定經定位而較靠近於基板12而非主表面342之一凹入 表面345之一囊封層342區域。一或多個線接合（諸如線接 合332A)可在沿著凹入表面345之一區域内不被覆蓋。在圖 5中所不之例示性實施例中，端表面338A及邊緣表面337八 之一部分不被囊封層342覆蓋。此一組態可藉由除結合至 端表面338外亦允許焊料沿著邊緣表面337A芯吸且結合至 其而提供至另一導電元件之一連接（諸如藉由一焊料球或 諸如此類）。一線接合之一部分可沿著凹入表面345不被囊 封層342覆蓋之其他組態係可行的，包含其中端表面係與 凹入表面345實質上齊平之組態或本文中所示之關於囊封 層342之任何其他表面之其他組態。類似地，線接合332D 之一部分沿著側表面347不被囊封層342覆蓋之其他組態可 類似於本文中別處所論述之關於囊封層之主表面之變化形 式之彼等組態》 圖5進一步展示具有呈其中微電子元件35〇係面向上堆疊 於微電子元件322上之一例示性配置之兩個微電子元件322 及350之一微電子總成310。在此配置中，使用引線324來 將微電子元件322電連接至基板312上之導電特徵。使用各 種引線來將微電子元件350電子連接至微電子總成310之各 164130.doc 201250979 種其他特徵。舉例而言，引線380將微電子元件35〇電連接 至基板312之導電特徵，且引線382將微電子元件35〇電連 接至微電子元件322。此外，可在結構上類似於線接合332 之各種結構之線接合384用於在電連接至微電子元件35〇之 囊封層342之表面344上形成一接觸表面386。此可用於將 另一微電子總成之一特徵自囊封層342上方直接電連接至 微電子元件350 〇亦可包含連接至微電子元件322之此一引 線，包含當在無附加於其上之一第二微電子元件35〇之情 況下存在此一微電子元件。一開口（未展示）可形成於囊封 層342中，該開口自囊封層之表面344延伸至沿著（舉例而 言）引線380之一點，藉此提供對引線38〇之接達以用於藉 由定位於表面344外側之一元件至其之電連接。一類似開 口可形成於其他引線或線接合332中之任何者上方諸如 在遠離其端336C之一點處之線接合332C上方。在此一實 施例中，端336C可定位於表面344下方，其中開口提供唯 一接達以用於至其之電連接。 圖6展示微電子總成410及488之一堆疊式封裝。在此— 配置中，烊料塊52將總成41〇之端表面438電且機械地連接 至總成488之導電元件440 »堆疊式封裝可包含額外總成且 可最終附接至一 PCB 490上之觸點492或供用於一電子裝置 中之諸如此類。在此一堆疊式配置中，線接合432及導電 元件430可攜載通過其之多個電子信號，每一信號具有一 不同仏號電位以允許一單個堆疊中之不同微電子元件（諸 如，微電子元件422或微電子元件489)處理不同信號。 164130.doc -31 - 201250979 在圖6中之例示性組態中，線接合432經組態具有一彎曲 部分448以使得線接合432之端436之至少某些端延伸至上 覆微電子元件422之一主表面424上之一區。此一區可係藉 由微電子元件422之外周部界定且自其向上延伸。根據面 朝向圖18中之基板412之第一表面414之一視圖展示此一組 態之一實例，其中線接合432上覆微電子元件422之一後主 表面上’微電子元件422係在其一前面425覆晶接合至基板 412 ^在另一組態中（圖5) ’微電子元件422可面向上安裝至 基板312’其中前面325背對基板312且至少一個線接合336 上覆微電子元件322之前面上。在一項實施例中，此線接 合336不與微電子元件322電連接。接合至基板3 12之一線 接合336亦可上覆微電子元件350之前面或後面上。圖18中 所示之微電子總成410之實施例使得導電元件428配置成形 成其中導電元件428包圍微電子元件422配置成列及行之一 第一陣列之一圖案且可具有個別導電元件428之間的一預 定間距。線接合432結合至導電元件428以使得其各別基底 434沿循如藉由導電元件428所陳述之第一陣列之圖案。然 而，線接合432經組態以使得其各別端436可根據一第二陣 列組態配置成一不同圖案。在所示之實施例中，第二陣列 之間距可不同於（且在某些情形下細於）第一陣列之間距。 然而，其中第二陣列之間距大於第一陣列或其中導電元件 428未定位於一預定陣列中但線接合432之端436係定位於 該預定陣列中之其他實施例係可行的。此外，導電元件 428可經組態呈貫穿基板412定位之陣列組且線接合a〗可 164,3〇d〇C -32- ⑧ 201250979 經組態以使得端436係在不同陣列組中或在—單個陣列 中。 圖ό進一步展示沿著微電子元件422之一表面延伸之一絕 緣層421。絕緣層421可在形成線接合之前由一電介質或其 他電絕緣材料形成。絕緣層42〖可保護微電子元件免於與 在其上方延伸之線接合423中之任何者接觸。特定而言， 絕緣層421可避免線接合之間的電短路及一線接合與微電 子元件422之間的短路。以此方式，絕緣層421可幫助避免 由於一線接合432與微電子元件422之間的非意欲電接觸所 致之故障或可能損害。 在其中微電子總成488及微電子元件422之（舉例而言）相 對大小原本不准許之某些例項中，圖6及圖丨8中所示之線 接合组態可允許微電子總_成41 〇連接_至另一微電子卷成（諸 如，微電子總成488)。在圖6之實施例中，微電子總成488 經定大小以使得接觸襯墊44〇中之某些襯墊係在小於微電 子元件422之刖表面424或後表面42 6之區域之一區域内呈 一陣列。在具有替代線接合432之實質上垂直導電特徵（諸 如柱）之一微電子總成中，導電元件428與襯墊44〇之間的 直接連接將不可行。然而，如圖6中所示，具有經適當組 態f曲部分448之線接合432可使端43 6位於適當位置中以 進行微電子總成4 10與微電子總成之間必需電子連接。 此配置可用於製作一堆疊式封裝，其中微電子總成418 (舉例而言）係具有一預定襯墊陣列之一 DRAM晶片或諸如 此類，且其中微電子元件422係經組態以控制DraM晶片 !64130*doc -33· 201250979 之一邏輯晶片。此可允許一單個類型之DRAM晶片與不同 大小之數種不同邏輯晶片（包含大於Dram晶片之彼等晶 片）一起使用，此乃因線接合432可使端436定位於需要與 DRAM晶片進行所期望連接之任何處。在一替代實施例 中’微電子封裝41〇可安裝於印刷電路板49〇上呈另一組 態’其中線接合432之未經囊封表面436電連接至電路板 490之概塾492。此外，在此一實施例中，另一微電子封裝 (諸如封裝488之一修改版本）可藉由結合至襯墊44〇之焊料 球452安裝於封裝41 〇上。 圖7展示具有沿著囊封層42之表面44延伸之一重新分佈 層54之圖1中所示類型之一微電子總成1〇。如圖7中所示， 跡線58電連接至内部接觸襯墊61 (其電連接至線接合“之 4表面3 8)且延伸穿過重新分佈層54之基板56至曝露於基 板56之表面62之接觸襯墊6(^ 一額外微電子總成可然後藉 由焊料塊或諸如此類連接至接觸襯墊6〇。類似於重新分佈 層54之一結構可沿著基板12之第二表面16延伸於稱作一扇 出層（fan-out layer)之層中。一扇出層可允許微電子總成1〇 連接至不同於導電元件4〇陣列原本准許之一組態之一陣 列。 圖8A至圖8E展示可實施於類似於圖j至圖7之一結構中 之線接合32之端36之結構中或接近其之各種組態。.圖8八展 示其中一腔64形成於囊封層42之一部分中以使得線接合32 之一端36在腔64處之囊封層之一小表面43上面凸出之一結 構。在所示之實施例中，端表面38定位於囊封層42之主表 164130.doc ⑧ • 34 · 201250979 面44下面，且腔64經結構化以在表面44處曝露端表面38以 允許一電子結構連接至其。其中端表面38實質上甚至具有 表面44或在表面44上面間隔開之其他實施例係可行的。此 外’腔64可經組態以使得線接合32之接近其端36之邊緣表 面37之一部分可不被腔64内之囊封層42覆蓋。此可允許自 端表面38及接近端36之邊緣表面37之未經覆蓋部分兩者進 行來自總成10之外部之至線接合32之一連接，諸如—焊料 連接。此一連接展示於圖8B中且可使用一焊料塊52提供至 一第二基板94之一較穩健連接。在一實施例中，腔64可在 表面4 4之下面具有約1 〇 μ m與5 0 jx m之間的^深度且可且有 約100 μιη與300 μιη之間的一寬度。圖8B展示具有類似於圖 8Α之彼結構但具有錐形化侧壁65之之一結構之一腔。此 外，-圖8展示藉由_在_曝露於其一基板98之一表面處之一接 觸襯墊96處藉由一焊料塊52電及機械連接至線接合32之一 第二微電子總成94。 腔64可係藉由在腔64之所期望區域中移除囊封層42之一 部分來形成。此可藉由習知製程（包含雷射蝕刻、濕式钮 刻、研光或諸如此類）來完成。另一選擇係，在其中囊封 層42係藉由注射模製形成之一實施例中，腔64可係藉由在 模具中包含一對應特徵來形成。此一製程論述於美國專利 申請公開案第2010/0232129號中，特此將該美國專利申請 公開案以全文引用方式併入本文中。圖8Β中所示之腔64之 錐形化形狀可係其形成中所使用之一特定蝕刻製程之結 果0 164130.doc •35· 201250979 圖8C及圖8E展示在線接合32上包含一實質上圓形端部 分70之端結構。圓形端部分7〇經組態以具有寬於基底34與 端36之間的線接合32之部分之剖面之一剖面。此外，圓形 端部分70包含在其間之轉變處自線接合32之邊緣表面37向 外延伸之一邊緣表面71。一圓形邊緣部分7〇之併入可用於 藉由提供一錨固特徵而將線接合32固定於囊封層42内，其 中沿表面71之方向之改變賦予囊封層42在三個側上包圍端 70之一位置。此可幫助防止線接合32變得自基板12上之導 電το件28卸離，從而導致一失敗電連接。另外，圓形端部 刀70可提供在可進行一電子連接之表面44内不被囊封層42 覆蓋之增加表面面積。如圓8E中所示，圓形端部分7〇可延 伸超過表面44。另-選擇係’如圖8C中所示，圓形端部分 70可進一步接地或以其他方式經平坦化以提供實質上與表 面44齊平之一表面且可具有大於線接合32之剖面之一面 積。 一圓形端部分70可係藉由在用於進行線接合32之線之端 處以火焰或一火花形式應用局部加熱而形成。胃知線接 合機器可經修改以實施此步驟，該步驟可在切斷線之後立 即進打。在此製程中’熱在該線之端處熔化該線。液態金 屬之此局部部分可藉由其表面張力變圓且當金屬冷卻時存 留。 圖8D展示微電子總成1〇之一組態，其中線接合U之端％ 包含在囊封層42之主表面44上面間隔之一表面38。此一組 態可呈現類似於以上相對於腔64所論述之彼益處(特定而 164130.doc • 36 - 201250979 言’藉由藉助沿著在表面44上面不被囊封層42覆蓋之邊緣 表面37之部分芯吸之一焊料塊68提供一較穩健連接）之益 處。在一實施例中，端表面38可在表面42上面間隔開達約 1〇 μιη與50 μιη之間的一距離。另外，在圖8D之實施例及 其中邊緣表面37之一部分在囊封層42之一表面上面不被囊 封層42覆蓋之其他實施例中之任何實施例中，端可包含形 成於其上之一保護層。此一層可包含一氧化保護層，包含 由金、一氧化塗層或一 〇SP製作之彼等氧化保護層。 圖9展示具有形成於線接合32之端表面38上一柱形凸塊 72之微電子總成10之一實施例。柱形凸塊72可係在製作微 電子總成10之後藉由在端表面44之頂部應用另一經修改線 接合且視情況沿著表面44之一部分延伸而形成。在不拉延 線之一長度之情況下，讓經修改線接合係在接近其基底處 切斷或以其他方式隔斷《含有某些金屬之柱形凸塊72可直 接應用於端38而無需首先應用諸如一 ubM之一接合層，因 此提供形成至不可藉由焊料直接熔濕之接合襯墊之導電互 連之方式。此可在線接合32係由一不可熔濕之金屬製作時 係有用的。一般而言，可以此方式應用基本上由銅、鎳' 銀、链及金中之一或多者組成之柱形凸塊。圖9展示形成 於柱形凸塊72上方之一焊料塊68以供用於電子或機械連接 至一額外微電子總成。 圖10A至圖10D展示包含一彎曲形狀之線接合32之端％ 之組態。在母一實施例中，線接合3 2之端3 6經弯曲以使得 其一部分74實質上平行於囊封層42之表面44延伸以使得邊 164130.doc •37· 201250979 緣表面76之至少-部分不被（舉例而言）主表面44覆蓋。邊 緣表面37之此部分可向上延伸在表面44之外部或可接地或 以其他方式經平坦化以便實質上與表面44齊平延伸。圖 10A之實施例包含在平行於表面44之端刊之部分74處之線 接合32中之_錢_曲且終止於實f上#直於表面料之一 端表面38。圖10B展示除圖ι〇Α中所示之平行於表面料之 端36之部分74外亦在接近其處.具有一較逐漸彎曲之一端 36»其他組態係可行的，包含其中根據圖3、圖4或圖5中 所不之彼等之一線接合之一部分包含具有其一部分實質上 平行於表面44且使其邊緣表面之一部分不被表面44内之一 位置處之囊封層42覆蓋之一端之彼等組態。另外，圖1〇Β 之實施例包含位於其端部上之一鉤狀部分75，該鉤狀部分 75將端表面38定位於囊封層42内之表面44下面。此可為端 36提供較不可能自囊封層42變位之一較穩健結構。圖i〇c 及圖10D展示分別類似於圖1〇A及圖1〇B中所示之彼等結構 但在藉由形成於囊封層42中之腔64沿著表面44之一位置處 不被囊封層42覆蓋之結構。此等腔在結構上可類似於以上 相對於圖8A及圖8B所論述之彼等結構。包含平行於表面 44延伸之其一部分74之端3 6之包含可提供用於藉由細長不 被覆蓋邊緣表面75與其連接之增加表面面積.^此一部分74 之長度可大於用於形成線接合32之線之剖面之寬度。 圖11至圖15展示在其一製作方法之各種步驟中之一微電 子總成10»圖11展示在其中微電子元件22已電且機械連接 至基板12在其第一表面丨4上且在其第一區18内之一步驟處 164130.doc ⑧ -38 _ 201250979 之微電子總成10’。微電子元件22在圖U中經展示為藉由焊 料塊26安裝於基板12上成一覆晶配置。另一選擇係，可使 用面向上接合替代，如以上在圖丨中所見。在圖u中所示 之方法步驟之實施例，一電介質底填充層66可提供於微電 子元件22與基板12之間。 圖12展示具有應用於曝露於基板12之第一表面14上之導 電元件28之襯墊30上之線接合32之微電子總成1〇，，。如所 論述，可藉由加熱一線段之一端以軟化該端以使得當按壓 至導電元件28時其形成至導電元件28之一沈積接合從而形 成基底34來應用線接合32 ^然後將線拉延遠離導電元件28 且在經切斷或以其他方式隔斷之前經操縱（若期望）成一特 定形狀以形成線接合32之端36及端表面38。另一選擇係， 線接合32可係藉由楔接合由（舉例而言）一鋁線形成。楔接 合係藉由加熱毗鄰其端之線之一部分且藉助應用至其之壓 力沿著導電元件28拖曳其而形成。此一製程進一步闡述於 美國專利第7,391，121號中，特此將美國專利之揭示内容以 全文引用方式併入本文中。 在圖13中，已藉由以下步驟將囊封層42添加至微電子總 成10 .將其應用於基板之第一表面14上方，自該第一表 面向上且石著線接合32之邊緣表面37延伸。囊封層42亦覆 蓋底填充層66 »囊封層42可係藉由在圖12中所示之微電子 總成1〇’上方沈積一樹脂而形成。此可係藉由將總成1〇,置 於可接納總成1 〇’之具有呈囊封層42之所期望形狀之—腔之 一經適當組態之模具中完成。此一模具及藉助其形成一囊 164130.doc 39- 201250979 封層之方法可如美國專利申請公開案第2010/0232129號中 所展示及闡述’該美國專利申請公開案之揭示内容以全文 引用方式併入本文中。另一選擇係，囊封層42可係由一至 少部分順應材料預製作成所期望形狀。在此組態中，電介 質材料之順應性質允許將囊封層42按壓至線接合32及微電 子元件22上方之位置中。在此一步驟中，線接合32穿透至 該順應材料中從而在其中形成各別孔，沿著該等孔囊封層 42接觸邊緣表面37。此外，微電子元件22可使順應材料變 形以使得其可被接納於其中。順應電介質材料可經壓縮以 在外表面44上曝露端表面38。另一選擇係，可移除任何過 量順應電介質材料自囊封層以形成在其上線接合32之端表 面38不被覆蓋或可形成在表面63内之一位置處顯露端表面 38之腔64之一表面44。 在圖13中所示之實施例中，囊封層經形成以使得初始其 表面44在線接合32之端表面38上面間隔開。為曝露端表面 38 ’可移除囊封層42在端表面38上面之部分，從而曝露實 質上與端表面42齊平之一新表面44,，如圖14中所示。另一 選擇係，腔64 (諸如圖8A及圖8B中所示之彼等）可經形 成’其中端表面38不被囊封層42覆蓋。在又一替代方案 中，囊封層42可經形成以使得表面44已實質上與端表面48 齊平或以使得表面44係定位於端表面48下面，如圖8D中所 示。囊封層42之一部分之移除（視需要）可藉由研磨、乾式 名虫刻、雷射钱刻、濕式餘刻、研光或諸如此類達成。若期 望，線接合32之端36之一部分亦可以相同或一額外步驟移 164130.doc -40- 201250979

封裝，如圖6中所示）中。 除以達成實質上與表面44齊平之實質上平面端表面以。 期望’腔64亦可在此一冉跑—从w丄、 ^ . 在圖15中所示之一替代實施例中，線接合32初始形成為 對作為一線環路86之部分32，。在此實施例中，環路％係以 一線接合之形式製作， 如以上所論述。將線段向上拉伸， 然後沿使其至少一組件沿基板13之第一表面14之方向之一 方向彎曲及拉伸且至實質上上覆一毗鄰導電元件28上之一 位置。然後將線在切斷或以其他方式隔斷之前實質上向下 拉伸至接近毗鄰導電元件28之一位置。然後加熱線且將其 藉由沈積接-合或-諸如此類連接至此鄰導電元件28.以形成環 路86。然後形成囊封層42以便實質上覆蓋環路86。然後藉 由研磨、蝕刻或諸如此類藉由亦移除環路86之一部分以使 得該環路經隔斷且經劃分成其兩部分32'之一製程來移除囊 封層42之一部分，藉此形成具有在沿著形成於囊封層42上 之表面44之一位置處不被囊封層42覆蓋之端表面38之線接 合32。然後可將隨後完成步驟應用於總成10，如上文所論 述0 圖16A至圖16C展示在一替代實施例中用於製作（如以上 所論述）包圍線接合32之端36之腔64之步驟。圖16A展示以 上相對於圖1至圖6所論述之一般類型之一線接合32。線接 合32具有應用於其端36上之一犧牲材料塊78。犧牲材料塊 164130.doc •41 - 201250979 78可係實質上球形形狀，其可在其形成期間由材料之表面 張力所致’或係熟習此項技術者將理解之其他所期望形 狀。可藉由將線接合32之端36浸潰於焊料膏中以塗佈其端 而形成犧牲材料塊78。在浸潰之前可調整焊料膏之黏度以 控制芯吸之焊料塊之量及致使黏合至端36之表面張力。因 此，此可影響應用於端36上之塊78之大小。另一選擇係， 塊78可藉由將一可溶材料沈積至線接合32之端％上而形 成。其他可行塊78可係個別焊料球或端上或藉由其他構件 使用微電子組件製作中所使用之稍後可移除之其他材料 (諸如銅或金閃鍍）之其他塊。 在圖16Β中，一電介質層42經展示已添加至總成1〇，包 含沿著線接合32之邊緣表面37向上。電介質層亦沿著犧牲 材料塊78之表面之一部分延伸，以使得其藉此與線接合32 之端36隔離開。隨後，移除犧牲材料塊78，諸如藉由在一 溶劑中清洗或沖洗、熔化、化學蝕刻或其他技術，從而在 移除塊78之前在電介質層42中留下腔68實質上在塊78之負 形中’且曝露接近線接合32之端36之邊緣表面37之一部 分。 另一選擇係，犧牲材料塊78可經形成以藉由沿著線接合 32之邊緣表面37延伸而實質上塗佈所有線接合32。此配置 展不於圖17Α中。此一塗層可在形成於總成10上之後應用 於線接合32上方（如以上所論述），或可作為一塗層應用於 用於製作線接合32之線。此將基本上係一塗佈線或一個兩 部分線之形式，舉例而言，具有一銅内核及一焊料塗層。 I64130.doc •42· 201250979 圖17B展示電介質層42應用於線接合32及犧牲塊78上方以 便沿著犧牲塊78之邊緣表面79延伸，藉此將電介質層42與 實質上沿著線接合32之長度與線接合32間隔開。 圖17C展示由移除犧牲材料塊78之一部分以形成圍繞端 3 6之腔64及曝露邊緣表面37之一部分所致之結構。在此一 實施例中，大多數犧牲材料塊78或其至少一部分可留在電 介質層42與線接合32之間的適當位置中。圖17C進一步展 示將線接合32電及機械連接至另一微電子結構1〇A之一接 觸襯塾40A之一焊料塊52。 圖20及圖2 1展示其中線接合532係形成於一引線框架結 構中之一微電子總成5 10之又一實施例。引線框架結構之 實例係展示且闡述於美國專利第7，丨76,5〇6號及第6，？65,287 號中，該等美國專利之揭示内容特此以引用方式併入本文 言，一引線框架係由一導電金屬薄片（諸如銅）

中。一般而言， 形成之一結構， 164130.doc •43· 201250979 組裝元成（其可包含於其上形成一囊封層）時，可自引線及 引線框架之銲盤移除框架之臨時元件，以便形成個別引 線°出於本發明之目的，將個別引線5丨3及銲盤5〗5視為共 同形成一基板512之分段部分，該基板512在與其整體形成 之部分中包含導電元件528。此外，在此實施例中，將銲 盤515視為在基板512之第一區518内，且將引線513視為在 第二區520内。線接合524 (亦展示於圖21之立面圖中）將承 載於銲盤515上之微電子元件22連接至引線515之導電元件 528 °線接合532可進一步在其基底534處結合至引線515上 之額外導電元件528。囊封層542係形成至總成510上從而 使線接合532之端538在表面544内之位置處不被覆蓋。線 接合532可使其額外或替代部分在對應於相對於本文中其 他實施例所闡述之彼等結構之結構中不被囊封層542覆 蓋。 圖24至圖26展示具有閉環線接合832之一微電子封裝810 之又一替代實施例。此實施例之線接合832包含可結合至 毗鄰導電元件828a及828b之兩個基底834a及834b，如圖24 中所示。另一選擇係，基底834a、834b可皆結合於一共同 導電元件828上’如圖25及26中所示。在此一實施例中， 線接合832界定在一環路中之兩個基底834a、834b之間延 伸的一邊緣表面837以使得邊緣表面837自該等基底至在基 板812上面之囊封層842之一表面844處之一頂端839在各別 部分837a及837b中向上延伸。囊封層842沿著邊緣表面部 分837a、83 7b之至少某些延伸，從而使各別部分彼此分 164130.doc .44- ⑧ 201250979 離，以及與封裝810中之其他線接合832分離。在頂端839 處，邊緣表面837之至少一部分不被囊封層842覆蓋以使得 線接合832可用於與另一組件（其可係另一微電子組件或其 他組件（例如，諸如一電容器或感應器之一離散元件））之電 互連。如圖24至圖26中所示，線接合832經形成以使得頂 端839跨越基板812之表面沿至少一個橫向方向自導電元件 828偏移。在一項實例中，頂端839可上覆微電子元件82〇 之一主表面上或以其他方式上覆基板812之微電子元件82〇 與其對準之一第一區上。線接合832之其他組態係可行 的，包含其中頂端839經定位於其他實施例十所論述之線 接合之端表面之位置中之任何位置中之組態。此外，頂端 839 了在一孔中不被覆蓋’諸如圖8A中所示。仍進一步， 頂端839可係細長的且可於在其一長度範圍内延伸之表面 844上不被覆蓋，如圖1〇A至圖1〇D中相對於邊緣表面所 示。藉由以未經覆蓋邊緣表面837包圍由在兩個基底 83 4a、834b之間（而非一個）延伸的一線接合832支撐之頂端 839之形式提供一連接特徵’可達成沿由主表面844所界定 之方向之連接特徵之較準確放置。 圖27及圖28展示圖24至圖26中之實施例之一變化形式， 其中使用接合帶934替代線接合834。接合帶可係一大體扁 平之導電材料件（諸如先前針對線接合之形成所論述之材 料中之任何者）。與一線接合（其剖面可係大體圓形）相比而 言’一接合帶結構可係比其厚度寬。如圖27中所示，接合 帶934各自包含可經接合而沿著導電元件928之一部分延伸 164130.doc •45- 201250979 之一第一基底934a。帶接合932之一第二基底934b可結合 至第一基底934a之一部分◦邊緣表面937在基底93牦與 934b之間沿兩個對應部分937a& 937b延伸至頂端93^邊 緣表面在頂端939之區域中之一部分沿著囊封942之主表面 944之一部分不被囊封942覆蓋。其他變化形式係可行的， 諸如相對於本文中所揭示之其他實施例中所使用之線接合 所闡述之彼等變化形式。 以上所論述之結構可用於不同電子系統之構造。舉例而 吕，根據本發明之又一實施例之一系統71丨包含微電子總 成710 (如以上所闡述）結合其他電子組件713及715 ^在所 繪示之實例中，組件713係一半導體晶片而組件715係一顯 示螢幕，但可使用任何其他組件。當然，儘管為圖解說明 之清晰起見’圖23中僅繪示兩個額外組件，但系統可包含 任何數目個此等組件。如以上所闡述之微電子總成7丨〇可 係（舉例而言）以上結合圖1所論述之一微電子總成，或如參 考圖6所論述併入有複數個微電子總成之一結構。總成71〇 可進一步包含圖2至圖22中所論述之實施例中之任一者。 在又一變化形式中，可提供多個變化形式，且可使用任何 數目個此等結構。 微電子總成710以及組件713及715係安裝於一共同殼體 719 (以虛線示意性繪示）中，且必要時彼此電互連以形成 所期望電路。在所示之例示性系統中，系統包含諸如一撓 性印刷電路板之一電路面板717，且該電路面板包含彼此 互連組件之眾多導體721 (圖23中僅繪示其中一者）。然 ，64,3〇doc -46- 201250979 而，此僅係、例示性；可使用適於進行電連接之任何社構。 殼體m經繪示為（舉例而言）可用於一蜂巢式電^個 人數位助理中之類型之一可樓式殼體，且螢幕715曝露於 該殼體之表面處。在微電子總成71〇包含諸如—成像晶片 之一光敏感元件之情況下，_透鏡723或其他光裝置亦可 提供用於將光路由至該結構。同#，圖23中所示之簡化系 統僅係例示性；可使用以上所論述之結構製作其他系統 (包含通常視為固定結構之系統），諸如桌上型電腦路由 器及諸如此類。 儘管本文中已參考特定實施例闡述本發明，但應理解， 此等實施例僅圖解說明本發明之原理及應用。因此，應理 解，可在不背離如由隨附申請專利範圍所界定之本發明之 精神及範嘴之情況下對說明性實施例進行眾多修改並可設 想出其他配置。 【圖式簡單說明】 圖1展示根據本發明之一實施例之一微電子封裝； 圖2展示圖1之微電子封裝之一俯視立面圖； 圖3展示根據本發明之一替代實施例之一微電子封裝： 圖4展示根據本發明之一替代實施例之一微電子封裝； 圖5展示根據本發明之一替代實施例之一微電子封裝； 圖6展示根據本發明之一實施例之包含一微電子封裝之 一堆疊式微電子總成； 圖7展示根據本發明之一替代實施例之一微電子封裝； 圖8A至圖8E展示根據本發明之各種實施例之一微電子 164130.doc •47- 201250979 封裝之一部分之一詳圖； 圖9展示根據本發明之一替代實施例之一微電子封裝之 一部分之一詳圖； 圖10A至圖10D展示根據本發明之各種實施例之一微電 子封裝之一部分之一詳圖； 圖11至圖14展示根據本發明之一實施例之在其製作之各 種步驟期間之一微電子封裝； 圖15展示根據本發明之一替代實施例之在一製作步驟期 間之一微電子封裝； 圖16A至圖16C展示根據本發明之一實施例之在其製作 之各種步驟期間之一微電子封裝之一部分之一詳圖； 圖17A至圖1 7C展示根據本發明之一替代實施例之在其 製作之各種步驟期間之一微電子封裝之一部分之一詳圖； 圖18展示根據本發明之一替代實施例之一微電子封裝之 一俯視立面圖； 圖19展示根據本發明之一替代實施例之一微電子封裝之 一部分之一俯視立面圖； 圖20展示根據本發明之又一替代實施例之一微電子封裝 之一俯視圖； 圖21展示技術方案2〇之微電子封裝之一前立面圖； 圖22展示根據本發明之又一替代實施例之一微電子封裝 之一前立面圖； 圖23展示根據本發明之又一實施例之一系統； 圖24展示根據本發明之又一替代實施例之一微電子封裝 164130.doc •48· 201250979 之一前立面圓； 圖25展示根據本發明之又一替代實施例之〆微電子封裝 之一前立面圖； 圖26展示根據圖25之實施例之一變化形式之一微電子封 裝之一俯視圖； 圖27展示根據本發明之又一替代實施例之〆微電子封裝 之一前立面圖；且 圖28展示根據圖27之實施例之一變化形式之一微電子封 裝之一俯視圖。 【主要元件符號說明】 10 微電子總成 10, 微電子總成 10" 微電子總成 10'" 微電子總成 12 基板 14 第一表面 16 第二表面 18 第一區 20 第二區 22 微電子元件 24 線引線 26 焊料塊 28 導電元件 30 襯墊 164130.doc -49· 線接合 線環路86之部分 基底 端/自由端 邊緣表面 端表面/端 第二導電元件/導電元件 通孔 囊封層/端表面 小表面 主表面/表面 焊料塊 重新分佈層 基板 跡線 接觸襯墊 内部接觸襯墊 表面 腔 電介質底填充層 圓形端部分 邊緣表面 柱形凸塊 端36之一部分 -50- 201250979 75 鉤狀部分 76 邊緣表面 78 犧牲材料塊/塊 94 第二基板/第二 96 接觸襯墊 98 基板 110 微電子總成 112 基板 114 第一表面 116 第二表面 118 第一區 122 微電子元件 126 焊料.凸塊 128 導電元件 132 線接合 132A 線接合 132B 端 134 基底 134B 線接合 136 端 138 端 144 表面 146 角/第一平面展 210 微電子子總成 164130.doc 51 201250979 232 線接合 234 基底 236 端 248 彎曲部分 310 微電子總成 312 基板 322 微電子元件 324 引線 332Α 線接合 332Β 線接合 332Ci 線接合 332Cii 線接合 332D 線接合 334A 基底 334B 基底 334Ci 基底 334Cii 基底 336 端 336B 端 336Ci 端 336Cii 端 336D 自由端 337A 邊緣表面 337D 邊緣表面 164130.doc ·52· ⑧ 201250979 338 端表面 342 囊封層/主表面 344 表面 345 凹入表面 348C 彎曲部分 350 微電子元件 382 引線 384 線接合 386 接觸表面 410 微電子總成 412 基板 421 絕緣層 422 微-電子元件 426 後表面 428 導電元件 432 線接合 434 基底 436 端/未經囊封表面 438 端表面 440 導電元件/接觸襯墊 448 彎曲部分 452 焊料球 488 微電子總成/總成/封裝 489 微電子元件 164130.doc .53. 201250979 490 印刷電路板 492 觸點/襯墊 512 基板 513 引線 515 銲盤 518 第一區 520 第二區 524 線接合 528 導電元件 532 線接合 534 基底 538 端 612 基板 616 表面 622 微電子元件 624 線引線 625 線引線 699 包覆成型保護套 710 微電子總成 711 系統 713 電子組件 715 電子組件 717 電路面板 719 殼體 164130.doc -54- ⑧ 201250979 721 導體 723 透鏡 810 微電子封裝/封裝 812 基板 820 微電子元件 828 導電元件 828a 導電元件 828b 導電元件 832 線接合 834a 基底 834b 基底 837a 邊緣表面部分 837b 邊緣表面部分 839 頂端 844 表面 928 導電元件 934a 第一基底 934b 第二基底 937a 邊緣表面部分 937b 邊緣表面部分 939 頂端 944 主表面 164130.doc •55-

Claims (1)

1. 201250979 七、申請專利範圍： 1. 一種微電子封裝，其包括： 一基板，其具有一第一區及一第二區，該基板具有一 第一表面及遠離該第一表面之一第二表面； 至少一個微電子元件，其在該第一區内上覆該第一表 面上； 第一導電兀件，其等在該第二區内曝露於該基板之該 第一表面及該第二表面中之至少一者處，該等第一導電 兀件中之至少某些第一導電元件電連接至該至少一個微 電子元件； 線接合，其等具有結合至該等第一導電元件中之各別 者之基底，及遠離該基板且遠離該等基底之端表面，每 -轉合界定在其該基底與該端表面之間延伸的一邊緣 表面，其中該等線接合中之一第一者經調適以用於攜載 —第—信號電位且該等線接合中之—第二者經調適以用 於同時攜載不同於該第一信號電位之一第二信號電位； 電介質囊封層，其自該第—表面或該第二表面中之 至少一者延伸且填充該等線接合之間的空間以使得該等 線：合藉由該囊封層彼此分離，該囊封層上覆該基板之 至少該第二區上，其中該等線接合之未經囊封部分係由 不被該囊封層覆蓋之該等線接合之該等端表面之 分界定；及 個第—導電疋件，其等電連接至該等線接合之該 等未經囊封部分，其中該等第二導電元件不接觸該等第 164130.doc 201250979 一導電元件。 2. 如請求項1之微電子封裝，其進一步包括接觸該等線接 合之該等未經囊封部分中之至少某些未經囊封部分之一 氧化保護層。 3. 如請求項1之微電子封裝，其中毗鄰其該端表面之該等 線接合中之至少一者《至少一部分係垂直於該囊封層之 一表面〇 4. 如請求項1之微電子封裝，其中該等第二導電元件包括 結合至該等第-線接纟中之至少某些第一線接合之該等 端表面之複數個柱形凸塊。 5. 如請求項丨之微電子封裝，其中該等線接合中之至少一 者在其該基底與該未經囊封部分之間沿著一實質上筆直 線延伸，且其中該實質上筆直線相對於該基板之該第一 表面形成小於90。之一角度。 6. 如請求们之微電子封裝，其中該基板之該第一表面沿 第橫向方向及第二橫向方向延伸，每一橫向方向係橫 切於該第一表面與該第二表面之間的該基板之一厚度之 一方向’且該等線接合中之至少一者之該未經囊封部分 係沿該等橫向方向中之至少一者自該至少一個線接合所 結合之該導電元件位移。 7. 如請求項6之微電子封裝’其中該等線接合中之至少一 者^ 3位於其該基底與該端表面之間的一實質上彎曲部 分。 8. 如請求項6之微電子封裝，其中該至少一個線接合之該 164130.doc 201250979 子元件之一主表面上。 ’其中該囊封層包含在距該基 距離處之一主表面及在小於該 一表面之一第二距離處之一凹 9. 未經囊封部分上覆該微電 如請求項1之微電子封裝 板之該第一表面之一第— 第一距離之距該基板之第 入表面，且其中該等線接合中 者之該未經囊封 部分在該凹入表面處不被該囊封層覆蓋。 10.如請求項1之微電子封裝，装φ π展其中5亥囊封層具有自該囊封 層之一表面朝向該基板延伸之形成於其中之一腔，且其 中該等線接合中之一者之哕去Μ备h 、 八 之該未絰囊封部分係安置於該腔 内0 η·如請求項1之微電子封裝，其t該等線接合基本上由選 自由銅H及焊料組成之群組之至少—種材料組 成。 12·如請求項1之微電子封裝’其中該等線接合中之至少一 者沿著其-長度界定一縱向軸，且其中每一線接合包含 沿著該縱向轴延伸之-第—材料之—内層及遠離該縱向 軸且具有沿此線接合之一縱長方向延伸之—一 二材料之一外層。 13.如請求項12之微電子封裝’其中該第一材料係銅、金、 鎳及銘中之一者，且其中該第二材料係銅、金、鎮、紐 及焊料中之一者。 14.如請求項丨之微電子封裝，其進一步包含沿著該囊封層 之該表面延伸之-重新分佈層，其中該重新分佈層包二 具有毗鄰該囊封層之一主表面之一第一表面之一重新分 164130.doc 201250979 佈基板’該重新分佈層進一步包含：一第二表面，其遠 離遠第-表面’第一導電襯墊，其等曝露於該重新分佈 基板之該第一表面上且與該等線接合之各別未經囊封部 刀對準且機械連接至該等各別未經囊封部分；及第二導 電襯墊’其等曝露於電連接至該等第—導電襯塾之該基 板之該第二表面上。 15. 一種微電子封裝，其包括： 一基板’其具有一第一區及一第二區，該基板具有一 第一表面及遠離該第一表面之一第二表面； 至；一個微電子元件，其在該第一區内上覆該第一表 面上； 導電70件，其等在該第二區内曝露於該基板之該第一 表面及該第二表面中之至少一者處，該等導電元件中之 至夕某些導電元件電連接至該至少一個微電子元件； 複數個線接合，其等具有結合至該等導電元件中之各 別者之基底，及遠離該基板且遠離該等基底之端表面， 每一線接合界定在其該基底與該端表面之間延伸的一邊 緣表面’其中該等線接合中之—第—者經調適以用於播 載第彳5號電位且該等線接合中之一第二者經調適以 用於同時攜載不同於該第―龍電位卜第二信號電 位；及 電介質囊封層，其自該第一表面或該第二表面中之 至少一者延伸且填充線接合之間的空間以使得該等線接 合藉由該囊封層彼此分離，該囊封層上覆該基板之至少 164130.doc 201250979 該第二區上，其中該等線接合之未經囊封 =封層覆蓋之视鄰該等線接合之該等端表面之該=皮 緣表面之至少部分界定，其中不被該㈣層覆 緣表面之該部分具有沿平行於該囊封層 = 延伸之一最長尺寸。 方向 a如請求項15之微電子封裝，其中該等未經 至少―去在士尤、士斗灰 、p刀中之 至^ ♦係由不被該囊封層覆蓋之該端 分進一步界定》 17_如請求項15之微電子封裝，其中不被該囊封層覆蓋且平 行於該囊封層之該表面延伸之該邊緣表面之該部分之長 度係大於該線接合之一刮面寬度。 18:請=之微電子封裝，其令該基板之該第-表面沿 第…方向及第二橫向方向延伸，每一橫向方向俘橫 切於該第-表面與該第二表面之間的該基板之一厚度之 ^向:且該等線接合中之至少一者之該未經囊封部分 Γγ該等^向方向中之至少—者自該至少—個線接合所 而σ之该導電元件位移。 A如請求項18之微電子封裝，其中該等線接合令之至少一 者包含位於其該基底與該端表面之間的一實質上彎曲部 分。 20.如請求項18之微電子封裝，其中該至少-個線接合之該 未經囊封部分上覆該微電子元件之一主表面上。 A如請求項15之微電子封裝，其中該囊封層包含在距該基 板之該第一表面之一第一距離處之一主表面及在小於該 164130.doc 201250979 第一距離之距該基板之第一表面之一第二距離處之一凹 入表面’且其中該等線接合中之至少一者之該未經囊封 部分在該凹入表面處不被該囊封層覆蓋。 22·如請求項15之微電子封裝，其中該囊封層具有自該囊封 層之一表面朝向該基板延伸之形成於其中之一腔，且其 中該等線接合中之-者之該未經囊封部分係安置於該腔 内。 23.如請求項15之微電子封裝，其中該等線接合基本上由選 自由銅、金、紹及焊料組成之群組之至少一種材料組 成。 24·如請求項15之微電子封裝，其中該等線接合中之至少一 者沿著其一長度界定一縱向轴， w神且其中每一線接合包含 沿著該縱向軸延伸之一第一材料 何料之一内層及遠離該縱向 轴且具有沿此線接合之一縱長方6兑乂士 抆万向延伸之一長度之一第 二材料之一外層。 25. 如請求項24之微電子封裝，其中却馆 卉肀該第一材料係銅、金、 鎳及鋁中之一者，且其中嗜筮 〒該第一材料係銅、金、鎳 '鋁 及焊料中之一者。 26. 如清求項15之微電子封裝，装推 丹進一步包含沿著該囊封層 之該表面延伸之一重新分佈層， 关〒該重新分佈層包含 具有此鄰該囊封層之一主表面 衣囬之一第一表面之一重新分 佈基板，該重新分佈層進—步白人. 义匕δ · —第二表面，其读 離該第一表面；第一導電襯塾， 、疋 其專曝露於該重新分佑 基板之該第一表面上且與該等線 線接合之各別未經囊封部 164130.doc • 6 * 201250979 刀對準且機械連接至該等各別未經囊封部分；及第二導 電襯墊，其等曝露於電連接至該等第一導電襯墊之該基 板之該第二表面上。 27. —種微電子總成，其包含： 如請求項1或15之一第一微電子封裝；及 -第二微電子封裝’其包含：―基板，其具有一第一 表面及第一表面，一第二微電子元件，其安裝至該第 一表面；及接觸襯墊，其等曝露於該第二表面處且電連 接至該第二微電子元件； 其中該第二微電子封裝係安裝至該第一冑電子封裝以 使得該第二微電子封裝之該第二表面上覆該電介質囊封 層之表面之至少一部分上且以使得該等接觸襯墊中之至 少某些接解襯墊電及機械連接至該等線接合之該等未經 囊封部分中之至少某些未經囊封部分。 28. —種微電子封裝，其包括： 基板，其具有一第一區及一第二區，該基板具有一 第表面及遠離該第一表面且沿橫向方向延伸之一第二 表面； 一微電子元件，其在該第一區内上覆該第一表面上， 該微電子元件具有遠離該基板之一主表面； 導電元件，其等在該第^區内曝露於該基板之該第一 表面處該等導電元件中之至少某些導電元件電連接至 該微電子元件； 線接口，其等具有結合至該等第一導電元件中之各別 164130.doc 201250979 者之基底，及遠離該基板且遠離該等基底之端表面，每 一線接合界定在其該基底與該端表面之間延伸的一邊緣 表面’其中該等線接合中之一第一者經調適以用於攜載 -第-信號電位且該等線接合中之一第二者經調適以用 於同時攜載不同於該第一信號電位之一第二信號電位； 及 —電介質囊封層’其自該第-表面或該第二表面中之 至少-者延伸且填充該等線接合之間的空間以使得該等 線接合藉由該囊封層彼此分離，該囊封層上覆該基板之 至^該第-區上，其中命望給4立人 兵干該專線#合之未經囊封部分係由 :破該囊封層覆蓋之該等線接合之該等端表面之至少部 分界定， 其中至少一個線接合之續去 一主 未、·生囊封部分係往沿著該第 之节=至二個橫向方向自該至少-個線接合所結合 位移以使得其該未經㈣部分 子兀件之該主表面上。 电 29. 30. 31. 如Γ項28之微電子封裝’其中該等導電元件係配置成 一第一預定組態之一第一陣列， 罝成 等未經囊封部分係配置成不同㈣第料線接合之該 二預定組態之一第二陣列。該第-預定組態之-第 如請求項29之微電子封裝，其 在於一第一門距曰苴 、^ 一預定組態之特徵 -間距之一第二間距。 特徵在於細於該第 如請求項28之微電子封裝，其 、色緣層在該微電子元 164130.doc 201250979 件之至少一表面上方延伸，該絕緣層係安置於該微電子 元件之該表面與具有上覆該微電子元件之該主表面上之 一未經囊封部分之該至少一個線接合之間。 32. 如請求項28之微電子封裝，其中該等線接合中之各別者 之複數個該等未經囊封部分上覆該微電子元件之該主表 面上。 33. —種微電子總成，其包含： 如請求項28之一第一微電子封裝；及 一第二微電子封裝，其包含：一基板，其具有一第一 表面及一第二表面；一微電子元件，其附加於該第一表 面上；接觸襯墊，其等曝露於該第二表面上且電連接至 該微電子元件； 其中該第二微電子封裝係附加於該第一微電子封裝上 以使得該第二封裝之該第二表面上覆該電介質層之表面 之至邛为上且以使得該等接觸襯塾中之至少某些接 觸襯墊電及機械連接至該等線接合之該等未經囊封部分 t之至少某些未經囊封部分。 34. 如请求項33之微電子總成，其中該第一微電子封裝之導 電元件係配置成一第一預定組態之一第一陣列，且其中 該第二微電子封裝之該等接觸襯墊係配置成不同於該第 一預疋組態之一第二預定組態之一第二陣列。 35. 如請求項33之微電子總成，其中該第一微電子封裝之該 等線接合之該等未經囊封部分中之至少某些未經囊封部 分係配置成對應於該第二預定組態之一第三陣列。 164130.doc -9- 201250979 36. 如請求項33之微電子總成，其中該第-預定組態之特徵 在於-第-間距，且其中該第二組態之特徵在於細於該 第一間距之一第二間距。 37. —種微電子封裝，其包括： 一基板，其具有一第一區及一第二區，該基板具有_ 第一表面及遠離該第一表面之一第二表面； 至少一個微電子元件，其在該第一區内上覆該第一表 面上； 導電元件，其等在該第二區内曝露於該基板之該第一 表面處，該等導電元件中之至少某些導電元件電連接至 該至少一個微電子元件； 複數個接合元件，每一接合元件具有一第一基底、_ 第二基底及在該等基底之間延伸的一邊緣表面，該第— 基底結合至該等導電元件中之一者，且該邊緣表面包含 遠離接觸襯墊延伸至遠離該基板之該邊緣表面之一頂端 之第 11卩为’ 3亥邊緣表面進一步包含自該頂端延伸至 該第二基底之一第二部分，該第二基底結合至該基板之 一特徵’其中該等線接合中之一第一者經調適以用於樓 載一第一信號電位且該等線接合中之一第二者經調適以 用於同時攜載不同於該第一信號電位之一第二信號電 位；及 一電介質囊封層’其自該第一表面或該第二表面中之 至少一者延伸且填充該等接合元件之該第一部分與該第 二部分之間及複數個接合元件之間的空間以使得該等接 164130.doc 201250979 合元件藉由該囊封層彼此分離，該囊封層上覆該基板之 至少該第二區上’其中該等接合元件之未經囊封部分係 由不被該囊封層覆蓋之包圍其頂端之該等接合元件之該 等邊緣表面之至少部分界定。 38, 39 40 41. 42. 43. 44. .如請求項37之微電子封褒，纟中該接合元件係一線接 合0 •如請求項38之微電子封裝，其中該基板之該第二基底所 結合之該基板之該特徵係該第一基底所結合之該導電元 件。 ‘如請求項38之微電子封裝，其中該基板之該第二基底所 結合之該基板之該特徵不同於該第—基 電元件之-各料電元^ ^ 如請求項4Q之微電子封裝，其㈣第：基底所結合之該 導電元件不電連接至該微電子元件。 如請求項37之微電子封褒，#中該接合元件係一接合 帶。 :請求項42之微電子封裝，其中該第一基底之一部分沿 著該各別接觸襯墊之一部分延伸，且其中該第二基底所 結合之該特徵係沿該各別接觸襯墊之一部分延伸之該第 一基底之長度。 如請，項43之微電子封裝，其中該基板之該第_表面沿 第橫向方向及第二橫向方向延伸，每一橫向方向係橫 切於該第一表面與該第二表面之間的該基板之—厚度之 一方向，且該等線接合―之至少—者之該未經囊封部分 164130.doc •11- 201250979 係沿該等橫向方向中之至少一者自該至少一個線接合所 結合之該導電元件位移。 45·如請求項44之微電子封裝，其中該至少一個線接合之該 未經囊封部分上覆該微電子元件之一主表面上。 46. —種製作一微電子封裝之方法，其包括·· 在一製程中單元上形成一電介質囊封層，該製程中單 元已3 .基板，其具有一第一表面及遠離其之一第二 表面，該基板之該第一表面沿橫向方向延伸丨一微電子 兀件，其文裝1該基板之該第一表面；複數個導電元 件’其等曝露於該第一表面處，該等導電元件中之至少 某些導電元件電連接至該微電子元件；及線接合，其等 具有結合至料導電元件之基底及遠離料基底之端表 面，每一線接合界定在該基底與該端表面之間延伸的一 邊緣表面，其中料線接合中之__第—者經調適以用於 揭載一第一信號電位且該等線接合中之一第二者經調適 以用於同時攜载不同於該第—信號電位之 r且其中該等線接合中之至少一者之該未經 .·&形成以使得其該端表面沿該等橫向方向中之至少一者 自該至少—個線接合所結合之該導電元件位移； 其*中該囊封層經形成以便至少部分地覆蓋該第一表面 亥等線接合之部分，以使得該等線接合之未經囊封部 分由不被該囊封層覆蓋之其該端表面或該邊緣表面中之 至少一者之一部分界定。 47·如。月求項46之方法其中該基板係一引線框架且其中該 I64130.doc -12· ⑧ 201250979 等導電元件係該?丨線框架之引線。 48·Γ求項46之方法，其中形成該囊封層包含在該第-表 面及實質上所有該等線接合上方沈積—電介 移除該電介質材料德 ’鬼且 界定其… 以顯露該線接合之部分以 界疋其该#未經囊封部分。 49.如請求項48之方法，苴 入至兮莖“ 、中該荨線接合中之至少-者沿結 :至=導電Μ中之至少兩者中之每—者之—環路延 中該電介質材料塊經沈積以便至少部分地覆蓋該 弟 表面及該至少一個锺μ人 、，接〇衣路，且其中移除該電介 質材枓塊之-部分進-步包含移除駐少—個線接合環 路之4分，以便將該至少一個線接合環路隔斷成具有 不被該囊封層覆蓋以形成其該等未經囊封部分之各別自 由端之第一線接合及第二線接合。 50.如吻求項49之方法，其進一步包括藉由包含以下步驟形 成該製程中單元之該環路：將一線之一第一端結合至該 導電元件：沿遠離該第一表面之_方向拉伸該線；然後 在以該第-表面之至少一橫線方向拉伸該線；然後將 該線拉伸至該第二導電元件且將該線結合至該第二導電 元件。 51·如請求項46之方法’其中藉由自遠離該基板之-位置於 該線接合上方按壓-電介質材料塊且使其與該基板之該 第一表面接觸，以使得該等線接合中之該至少一者穿透 該電介質材料塊而在該製程中單元上形成該囊封層。 52.如請求項46之方法，其中該等線接合係由基本上由金、 164130.doc -13· 201250979 銅、銘或焊料組成之線製作。 53. 如請求項46之方法’其中該等第-線接合包含!呂，且其 中該等線接合係藉由楔接合結合至該導電元件。 54, 如請求項46之方法，其中形成該製程中單元包含以下一 步驟：形成該等線接合以使得該等線接合中之至少一者 包含定位於該導電元件與該至少一個線接合之該端表面 之間的一實質上彎曲段。 55.如請求項46之方法，其中該基板包含—第—區及一第二 區，該微電子元件上覆該第一區上且具有遠離該基板之 -主表面，其中該第―導電元件係安置於該第二區内， 其_形成該製程中單元包含以下一步驟：形成該等線招 合以使得該等線接合中之至少一者之至少一部分在該德 電子元件之該主表面上方延伸。 56‘如請求項46之方法’其中形成該囊封層之該步驟包含： 形成自該囊封層之一主表面朝向該基板延伸之至少一個 腔，該至少一個腔包圍該等線接合中之一者之該未 封部分。 57. 如請求項56之方法，其中在將一電介質囊封材料沈積至 該基板上之後藉由濕式㈣、乾式㈣或雷㈣刻 封材料中之至少一者來形成該至少一個腔。 58. 如請求項56之方法’其中藉由在將—電介質囊封材料沈 積至該基板及該至少—個線接合上之後自料線接合中 之至少一者之一預定位置移除一犧牲材料塊之至少一 分來形成該至少一個腔。 • 14 · 164130.doc

   201250979 59.如„月求項58之方法，其中形成該囊封廣之該步驟經實施 以使得該犧牲材料塊之一部分曝露於該囊封層之一主表 面上，該犧牲材料塊之該曝露部分包圍接近其該自由端 =該線接合之—部分且將該囊封層之—部分與其 開0 6〇·如=求項58之方法，其中該等線接合中之至少一者沿著 其+長度界定一縱向軸’且該犧牲材料塊之一第 沿著自田比鄰古女其念 > 刀 ° 一位置延伸之該至少一個線接合之 該縱向軸延伸且在移除該犧牲材料塊之至少 步驟之後保留。 人 61.如凊求項46之方法，甘士斗站太 ，、中該專線接合沿著其一長度界 一縱向軸，且苴中哕笪妯&人^ 厌介疋 一 、^荨線接合包含沿著該縱向軸延伸之 、之一内層及遠離該縱向轴且沿著該線接合之 該長度延伸之—第二材料之一外層。 62·如请求項μ之方法 二 材料係谭料。Wi㈣鋼且其中該第 63.如請求項61之方法，t 移除該第二材料之―;八在m囊封層之該步驟之後 邛刀以形成自該電介質層之一表面 部I以顯露該線接合之該内層之該邊緣表面之一 少一者:二方：，其進-步包含在該等線接合中之至 二者之6亥未經囊封部分上形成-柱形凸塊。 05.如請求項46之方法 少-者之該未經囊封:::步包含在該等線接合中之至 屣對邛刀上沈積一焊料球。 164130.doc -15- 201250979 66. —種製作一微電子總成之方法，其包括將如請求項46之 步驟所製作之一第一微電子封裝與一第二微電子封裝結 合在一起，該第二微電子封裝包含一基板，該基板具有 一第一表面及曝露於該基板之該第一表面處之複數個觸 點，其中將該第一微電子封裝與該第二微電子封裝結合 在一起包含電及機械連接該第一微電子封裝之該等線接 合之該等未經囊封部分與該第二微電子封裝之該等觸 點。 67. —種製作一微電子封裝之方法，其包括： 在一製程中單元上方定位一電介質材料塊，該製程中 單元匕3 . —基板，其具有一第一表面及遠離其之一第 二表面；複數個薄導電元件，其等曝露於該第一表面 處；及線接合，其等具有結合至該等薄導電元件中之各 別者之基底，及遠離該基板且遠離該等基底之端表面， 每一線接合界定在其該基底與該端表面之間延伸的一邊 緣表面’其中該等線接合中之—第__者經調適以用於攜 载一第一信號電位且該等線接合中之一第二者經調適以 用於同時攜載不同於該第一信號電位之一第二信號電 位；及 藉由於該線接合上方按麼該電彳質材料塊以與該基板 之該第表面接觸以使得該等線接合穿透該電介質材料 塊而在該製程中單元上形成—囊封層，該囊封㈣充該 等線接合之間的空間以使得該等線接合係藉由該囊封層 彼此分離，該囊封層上覆該基板之至少該第二區上’其 164130.doc ⑧ -16· 201250979 中藉由使該專線接合延伸穿诉兮I 嗲翼笛始拉人 囊封層之一部分以使得 ^ ^ . + X囊封層覆蓋來形成該等第 一線接合之未經囊封部分。 68 -種製作-微電子封裝之方法，其包括·· 在一製程中單元上形成一 一 電；|質囊封層’該製程中單 疋包含：一基板，其具有— 弟—表面及遠離其之一第二 表面；複數個薄導電元件，装 s „ 其荨曝露於該第一表面處； 及線％路，其等在一等一其 ^ 基底及一第二基底處結合至該 等4導電元件中之至少兩者巾 考中之各別者，該囊封層經形 成以便至少部分地覆蓋 · 盍该第—表面及該至少一個線環 路，及 移除該囊封層之一部分及今裳 夂该萼線環路之一部分以便將 該4線環路.中之每-者隔斷 _ 鯽成對應於該第一基底及該第 土-中之各別者且具有遠離該基板^遠離該等基底 之端表面之單獨線接合，每一線接合界定在其該基底與 =表面之間延伸的—邊緣表面，該囊封層填充該等線 °之間的空間以使得該等線接合藉由該囊封層彼此分 =，該等線接合具有由至少部分地不被該囊封層覆蓋之 -自由端形成之未經囊封部分’其中該等線接合中之一 第—者經調適以用於攜載一第一信號電位且該等線接合 中之一第二者經調適以用於同時攜載不同於該第一信號 電位之一第二信號電位。 69.—種系統’其包括如請求項1及15中任一項之一微電子 封裝及電連接至該微電子總成之一或多個其他電子組 I64I30.doc 201250979 件。 70.如請求項69之系統，其進一步包括一殼體，該微電子總 成及該等其他電子組件係安裝至該殼體。 164130.doc -18 - ⑧