JPH01102719A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、垂直磁気記録媒体において、特にＣｏ−Ｃｒ
合金を主体とした円板状磁気記録媒体に関する。

［開示の概要］ 本明細書及び図面は、垂直磁気記録媒体において、非磁
性基体の第１の面にＣｏ−Ｃｒを主成分とした合金膜を
形成し、第２面に圧縮応力をもつ膜層を形成することに
より、カールを相殺し、全体として薄く剛性の低い、ヘ
ッドタッチの良好な垂直磁気記録媒体を実現する技術を
開示するものである。

［従来の技術］ 垂直磁気記録方式は現行の面内磁気記録方式に比べ、記
録密度を飛躍的に向上させることが可能であり、近年Ｃ
ｏ−Ｃｒ合金を中心とした垂直磁気記録媒体の研究が活
発に行なわれている。現在の一般的な垂直磁気記録媒体
の製法は、ペースフィルム（例えばポリエステル、ポリ
イミド、ポリアミド、ポリスルホン等）にスパッタリン
グ真空蒸着等で、例えば組成比Ｃｏ　８０％、Ｏｒ　２
０％のＣｏ−Ｃｒ合金膜を生成させるものである。

しかし、このスパッタリング等による膜形成時、ベース
フィルムには多大な熱が与えられ、ベースフィルムが熱
膨張をおこす、また、Ｃｏ−Ｃｒ合金膜の磁気特性向上
のためフィルムを加熱処理することもあり、この結果、
同様にベースフィルムが熱膨張をおこす。

第３図に示すように、ベースフィルムｌの片面のみにＣ
ｏ−Ｃｒ合金膜２を生成した場合、それぞれの熱膨張係
数をαｆ　ｉ　ｌ　ｓ’＋αＣｏ−Ｃｒとすると、この
関係がαｆ　Ｉ　ｌ　ｍ＞αＣｏ−Ｃｒのときは、加熱
しながらスパッタリング等を行うのでベースフィルムは
伸張している状態でＣｏ−Ｃｒ合金膜を生成するが、冷
却時にはベースフィルムｌの縮みが大きく第４図のよう
に図中上側に湾曲する、いわゆるカール状態が発生する
。このようなカールが生じると、磁気テープのような磁
気記録媒体では走行性悪化、巻き乱れ、ヘッドタッチ不
良等の問題が生じ、また磁気シートめような記録媒体で
は全く使用できなくなるという欠点がある。そこで従来
は、第５図に示すように、高分子フィルム基体のもう一
方の面にも同材質、同厚の金属薄膜層５を形成し、この
カールを防止している。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、このように表裏両面にＣｏ−Ｃｒ合金膜
を形成すると、全厚が厚くなり剛性が高くなるため、結
果として良好なヘッドタッチがかえってとれなくなると
いう問題点を生ずる。特にベースフィルムが比較的厚い
ときにはこの傾向が顕著となる。

また、Ｃｏ−Ｃｒターゲットは高価であるので、裏面に
ダミーとしてその薄膜層を形成するのはコスト的に不利
である。従ってより薄く、かつ安価な材料で裏面に薄膜
を形成することにより同様な効果が得られれば、Ｃｏ−
Ｃｒ垂直磁気記録媒体の全体のコスト引き下げに大きく
寄与するといえる。

本発明は、上記観点に鑑みなされたもので、良好なヘッ
ドタッチが得られるＣｏ−Ｃｒ垂直磁気記録媒体を低コ
ストで提供することを目的としている。

［問題点を解決するための手段］ 本発明は、非磁性基体の第１の面にＣｏ−Ｃｒを主成分
とした合金膜を形成した磁気記録媒体で、非磁性基体の
熱膨張係数がＣｏ−Ｃｒを主成分とする合金膜の熱膨張
係数より大きい場合において、第２の面に圧縮応力をも
つ薄膜層を形成するようにしたものである。

［作　用］ 本発明を、その模式図である第１図を用いてさらに詳細
に説明する。第１図において、ｌはベースフィルム、２
はＣｏ　−Ｃｒ合金膜でアリ、３はＣｏ−Ｃｒ合金膜と
同程度以上の絶対値の圧縮応力をもつ薄膜層である。ベ
ースフィルムｌは１００　ＩＬｍ以下、２のＣｏ−Ｃｒ
合金膜の厚さは０．１　ｇｒａ以上２ル層以下が本発明
において好ましい値である。

ここで、Ｃｏ−Ｃｒ合金膜の熱膨張係数は１．１×１０
１ｃａ＋２／’Ｃであるので、ベースフィルムの熱膨張
係数がａ　ｆｉｌｍ＞　１．Ｉ　Ｘ　１Ｏ−５ｃｏ＋２
／’Ｏのとき、先に述べたカール状態を起こす。従って
、Ｃｏ−Ｃｒ合金膜と反対側にＣｏ−Ｃｒ合金膜と同程
度ないしはそれ以上の絶対値の圧縮応力を持つ薄膜層を
生成することによりカールを相殺する。この圧縮応力を
持つ８ｉ膜層は、金ＦＡノ酸化物、例えばＣｒ、　Ｔｉ
、　Ｚｒ。

Ｃｏ、旧、　Ａｉ）の酸化膜であり、　Ａｒ中に０２ガ
スを混入したいわゆる反応性スパッタでスパッタリング
すれば得られる。

この圧縮応力を持つ薄膜層３の厚さを適宜選択し、Ｃｏ
−Ｃｒ合金膜２の裏面に形成することにより、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金膜２とベースフィルム１との熱膨張係数の相違に
基づく磁気記録媒体のカールを相殺することができる。

一般に強い圧縮応力を持つ膜を用いるほど薄い膜でカー
ルを相殺できるとともに剛性低減の効果が期待でき、経
済的なメリットも大である。

また第２図に示すように、Ｃｏ−Ｃｒ合金膜とベースフ
ィルムの間にパーマロイ等の高透磁率の金居薄膜層を設
けた場合においても同様に、片面に圧縮応力を持つ膜３
を形成することにより、カールを相殺できる。

［実施例］ 以下実施例に基づいて１本発明をさらに詳しく説明する
。

実施例１ 熱膨張係数２．５　Ｘ　１０−５ｃｍ２／”Ｃの厚さ５
０ｇｍのポリイミドフィルム上に、膜厚０．５　ｇｒｍ
のＣｏ−Ｃｒ合金膜をスパッタリングにより形成した。

　Ｃｒ組成は２０％で、スパッタ方式はＲＦマグネトロ
ン式である。磁気特性はＨｔ＝　９００エルステツド、
４πＮ５＝４．５ＫＧであった０片面にＣｏ−Ｃｒ合金
膜を形成した状態ではＣｏ−Ｃｒ合金膜を外側にした極
めて大きなカールが認められた。裏面に反応性スパッタ
によりＡｐの酸化物膜を形成したところ、膜厚６００　
Ａで平坦な媒体が得られた。　Ａｉ）酸化膜厚がこれよ
り小さいとカールを十分除去するに至らず、またこれよ
り大であると過剰補正となる。　Ａｊ）酸化物をＸ線回
折で調べたところＡｉ’２Ｃｈ結晶が主体であることが
観察された。

実施例２ 実施例１と同様の、片面にＣａ−Ｃｒ合金膜を形成した
ベースフィルムの裏面に、Ｃｏの酸化膜を形成した。カ
ールがバランスする厚みは９００Ａであった。Ｘ線回折
によれば、形成された酸化膜はＣｏ　：ｌＯａ結晶であ
る。

実施例３ 熱膨張係数２．ＯＸ　１０１ｃｍ２／”０で厚み３０ｇ
ｍのポリアミドフィルム−Ｆに、Ｃｏ−Ｃｒ１１０．３
　、ｐ、ｍをスパッタリングした。その結果磁性層を外
側とするカールが発生したが、裏面にＣｒ酸化物を反応
性スパッタにより形成したところ、厚み９００Ａでカー
ルがバランスした。Ｘ線回折によれば、できた酸化膜は
Ｃｒ２Ｏ３であった。

圧縮応力をもつ膜３は、Ｃｏ−Ｃｒ合金膜２と同程度な
いしはそれ以上の圧縮応力の絶対値を有する膜であれば
上記実施例に限定されるものではない。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明は、磁気記録媒体に生ずるカ
ールを、Ｃｏ−Ｏｒ金合金同程度ないしはそれ以上の圧
縮応力の絶対値を有する膜、例えば安価な金属酸化物等
を反対側の面に薄膜として形成することにより相殺する
。従って、ダミーでＣｏ−Ｃｒ合金膜を両面に形成した
ものに比べ、全体として薄くなり、その結果媒体の剛性
を低く押えたヘッドタッチの良好な垂直磁気記録媒体を
、安価に供給できるという優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は、本発明の基本的構成の説明図、
第３図は片面にのみＣｏ−Ｃｒ合金膜を形成した直後の
説明図、第４図はＣｏ−Ｃｒ合金膜形成後、室温まで放
冷したときカールの状態の説明図、第５図は、両面にＣ
ｏ−Ｃｒ合金膜を形成した従来例を示した図である。 １・・・非磁性基体、２・・・Ｃｏ−Ｃｒ合金層、３・
・・圧縮応力をもつ薄膜層、 ４・・・高透磁率金属薄膜層、 ５・・・金属薄膜層。 爪売明の基Ａ的謂麻の説明図 第１図 第２図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）非磁性基体の第１の面にＣｏ−Ｃｒを主成分とし
   た合金膜を形成した磁気記録媒体に、非磁性基体の熱膨
   張係数が、Ｃｏ−Ｃｒを主成分とする合金の熱膨張係数
   より大きい場合において、第２の面に圧縮応力をもつ薄
   膜層を形成したことを特徴とする垂直磁気記録媒体。
2. （２）第２の面に形成する薄膜が、金属の酸化物である
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の垂直磁気
   記録媒体。
3. （３）Ｃａ−Ｃｒを主成分とする第１の面上の合金膜と
   非磁性体基体との間に下地層として、高透磁率の磁性膜
   を付加することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
   の垂直磁気記録媒体。
4. （４）第２の面に形成する薄膜が、金属の酸化物である
   ことを特徴とする特許請求の範囲第３項記載の垂直磁気
   記録媒体。