JPH01102721A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、垂直磁気記録媒体において、特にＧｏ−Ｃｒ
合金を主体とした円板状磁気記録媒体に関する。

［開示の概要］ 本明細書及び図面は、垂直磁気記録媒体において、非磁
性基体の第１の面にＧｏ−Ｃｒを主成分とした合金膜を
形成し、第２面に引っばり応力をもつ膜層を形成するこ
とにより、カールを相殺し、全体として薄く剛性の低い
、ヘッドタッチの良好な垂直磁気記録媒体を実現する技
術を開示するものである。

［従来の技術］ 垂直磁気記録方式は現行の面内磁気記録方式に比べ、記
録密度を飛躍的に向上させることが可能であり、近年Ｃ
ｏ−Ｃｒ合金を中心とした垂直磁気記録媒体の研究が活
発に行なわれている。現在の一般的な垂直磁気記録媒体
の製法は、ベースフィルム（例えばポリエステル、ポリ
イミド、ポリアミド、ポリスルホン等）にスパッタリン
グ、真空蒸着等で、例えば組成比ｃｏ８′０％、Ｃｒ２
Ｏ％のＧｏ−Ｃａｒ合金膜を生成させるものである。

しかし、このスパッタリング等による膜形成時、ベース
フィルムには多大な熱が与えられ、ベースフィルムが熱
膨張をおこす。また、Ｇｏ−Ｃｒ合金膜の磁気特性向上
のためフィルムを加熱処理することもあり、この結果、
同様にベースフィルムが熱膨張をおこす。

第３図に示すように、ベースフィルム１の片面のみにＣ
ｏ−Ｃｒ合金膜２を生成した場合、それぞれの熱膨張係
数をαｆｉｌＩｌ＋αＣｏ−Ｃｒとすると、この関係が
αｆｉ１ｍ＜αＣｏ−Ｃｒのときは、加熱しながらスパ
ッタリング等を行いＧｏ−Ｃｒ合金膜を生成し、その後
冷却すると、Ｃｏ−Ｃｒ合金層の縮みが大きく、第４図
のように図中上側に湾曲する、いわゆるカール状態とな
る。このようなカールが生じると、磁気テープのような
磁気記録媒体では走行性悪化、巻き乱れ、ヘッドタッチ
不良等の問題が生じ、また磁気シートのような記録媒体
では全く使用できなくなるという欠点がある。そこで従
来は、第５図に示すように、高分子フィルム基体のもう
一方の面にも同材質、同厚の全屈薄膜層５を形成し、こ
のカールを防止している。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、このように表裏両面にＣｏ−Ｃｒ合金膜
を形成すると、全厚が厚くなり剛性が高くなるため、結
果として良好なヘッドタッチがかえってとれなくなると
いう問題点を生ずる。特にベースフィルムが比較的厚い
ときにはこの傾向がＷＪ著となる。

また、　Ｇｏ−Ｃｒターゲットは高価であるので、裏面
にダミーとしてその薄膜層を形成するのはコスト的に不
利である。従ってより薄く、かつ安価な材料で裏面に薄
膜を形成することにより同様な効果が得られれば、Ｃｏ
−Ｃｒ垂直磁気記録媒体の全体のコスト引き下げに大き
く寄与するといえる。

本発明は、上記観点に鑑みなされたもので、良好なヘッ
ドタッチが得られるＣｏ−Ｃｒ垂直磁気記録媒体を低コ
ストで提供することを目的としている。

［問題点を解決するための手段］ 本発明は、非磁性基体の第１の面にＣｏ−Ｃｒを主成分
とした合金膜を形成した磁気記録媒体に、非磁性基体の
熱膨張係数がＣｏ−Ｃｒを主成分とする合金膜の熱膨張
係数より小さい場合において、第２の面に引っばり応力
をもつ薄膜層を形成するようにしたものである。

［作　用］ 本発明を、その模式図である第１図を用いてさらに詳細
に説明する。第１図において、ｌはベースフィルム、２
はＧｏ−Ｃｒ合金膜であり、３はＧｏ−Ｃｒ合金膜と同
程度以上の絶対値の引っばり応力をもつ薄膜層である。

ベースフィルムｌは１００　ｇｒａ以下、２のＧｏ−Ｃ
ｒ合金膜の厚さは０．１　ｇｍ以上２ＩＬｍ以下が本発
明において好ましい値である。

ここで、Ｃｏ−Ｃｒ合金膜の熱膨張係数は１．１×１Ｏ
−５ｃａ＋２／’Ｃであるので、ベースフィルムの熱膨
張係数がａ　ｆｉｌ、＜　１．Ｉ　Ｘ　１０−５ｃｍ２
／’Ｏのとき、先に述べたカール状態を起こす。従って
、Ｇｏ−Ｃｒ合金膜と反対側にＧｏ−Ｃｒ合金膜と同程
度ないしはそれ以上の絶対値の引っばり応力を持つ薄膜
層を生成することによりカールを相殺する。この引っば
り応力を持つ薄膜層は、例えばＡρ、　Ｓｎ、　Ｃｕ、
　Ｚｎ等の全屈、及びそれらを主成分とする合金のほか
、Ｓｅ。

Ｔｅ等の半金属が使用できる。これらの薄膜層は、真空
蒸着等の方法により形成される。

この引っばり応力を持つ薄膜層３の厚さを適宜選択し、
Ｇｏ−Ｃｒ合金膜２の裏面に形成することにより、Ｇｏ
−Ｃｒ合金膜２とベースフィルム１との熱膨張係数の相
違に基づく磁気記録媒体のカールを相殺することができ
る。一般に熱膨張係数αが大である膜を用いるほど“薄
い膜でカールを相殺できるとともに剛性低減の効果が期
待でき、経済的なメリットも大である。

また第２図に示すように、Ｇｏ−Ｃｒ合金膜とベースフ
ィルムの間にパーマロイ等の高透磁率の金属薄膜層を設
けた場合においても同様に、片面に引っばり応力を持つ
膜３を形成することにより、カールを相殺できる。

［実施例］ 以下実施例に基づいて、本発明をさらに詳しく説明する
。

実施例１ 熱膨張係数０．８　Ｘ　１（１５ｃｍ２／℃の厚さ５０
ｇｍのポリイミドフィルム上に、膜厚０．５　ｐ−ｔａ
のＧｏ−Ｃｒ合金膜をスパッタリングにより形成した。

Ｃｒ組成は２０％で、スパッタ方式はＲＦマグネトロン
式である。磁気特性はＨｔ＝　９００エルステツド、４
　πＭｓ＝　４．５ＫＧであった。片面にＣｏ−Ｃｒ合
金膜を形成した状態ではＣｏ−Ｃｒ合金膜を内側にした
極めて大きなカールが認められた。表面に、Ａｉ）の金
属膜をスパッタリングしたところ膜厚０．３５ＩＬｍで
平坦な媒体が得られた。Ａβ金属膜がこれより薄いとカ
ールを十分除去するに至らず、またこれより厚いと過剰
補正となる。

実施例２ 実施例１と同様に、片面にＣｏ−Ｃｒ合金膜を形成した
ベースフィルムの裏面に、ＡＰ金金膜膜今度は真空蒸着
法により形成した。ＡＰＰ属膜が０．２２ｇｍのときカ
ールが相殺された。同材質でもスパッタリングと真空蒸
着法により形成された膜では、それぞれの膜応力が異な
り、一般に真空蒸着による方が膜応力が引っばり側に傾
く。従って、本発明の引っばり応力をもつ薄膜層の形成
には、真空蒸□若法による方が有利と言える。

実施例３ 熱膨張係数２．ＯＸ　１０−５ｃｍ２／”０で厚み３０
ＪＬｍのポリアミドフィルム上に、Ｇｏ−Ｃｒ合金膜０
．３　ｐｍをスパッタリングにより形成した。その結果
、Ｃｏ−Ｃｒ合金膜を内側とした極めて大きなカールが
発生した。裏面に、Ｓｅの金属膜を真空蒸着法により形
成したところ、厚み０．１８ｇｍでカールが相殺された
。

引っばり応力をもつ膜３は、Ｇｏ−Ｃｒ合金膜２と同程
度ないしはそれ以上の引っばり応力の絶対値を有する膜
であれば上記実施例に限定されるものではない。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明は、磁気記録媒体に生ずるカ
ールを、Ｃｏ−Ｃｒ合金と同程度ないしはそれ以上の引
っばり応力の絶対値を有する膜、例えば安価な金属等を
反対側の面に薄膜として形成することにより相殺する。

従って、ダミーでＣｏ−Ｃｒ合金膜を両面に形成したも
のに比べ、全体として薄くなり、その結果媒体の剛性を
低く押えたヘッドタッチの良好な垂直磁気記録媒体を、
安価に供給できるという優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は、本発明の基本的構成の説明図、
第３図は片面にのみＣｏ−Ｃｒ合金膜を形成した直後の
説明図、第４図はＣｏ−Ｃｒ合金膜形成後、室温まで放
冷したときカールの状態の説明図、第５図は、両面にＣ
ｏ−Ｃｒ合金膜を形成した従来例を示した図である。 ｌ・・・非磁性基体、２・・・Ｇｏ−Ｃｒ合金層、３・
・・引っばり応力をもつ薄膜層、 ４・・・高透磁率金属薄膜層、 ５・・・全屈薄膜層。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）非磁性基体の第１の面にＣｏ−Ｃｒを主成分とし
   た合金膜を形成した磁気記録媒体に、非磁性基体の熱膨
   張係数が、Ｃｏ−Ｃｒを主成分とする合金の熱膨張係数
   より小さい場合において、第２の面に引っぱり応力をも
   つ薄膜層を形成したことを特徴とする垂直磁気記録媒体
   。
2. （２）第２の面に形成する薄膜が、金属の真空蒸着膜で
   あることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の垂直
   磁気記録媒体。
3. （３）ＣｏとＣｒを主成分とする第１の面上の合金膜と
   非磁性体基体との間に下地層として、高透磁率の磁性膜
   を付加することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
   の垂直磁気記録媒体。
4. （４）第２の面に形成する薄膜が、金属の真空蒸着膜で
   あることを特徴とする特許請求の範囲第３項記載の垂直
   磁気記録媒体。