JPH01105318A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH01105318A JPH01105318A JP62262135A JP26213587A JPH01105318A JP H01105318 A JPH01105318 A JP H01105318A JP 62262135 A JP62262135 A JP 62262135A JP 26213587 A JP26213587 A JP 26213587A JP H01105318 A JPH01105318 A JP H01105318A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- layer
- magnetic recording
- recording medium
- hard carbon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を磁気
記録層とする磁気記録媒体に関するものである。
記録層とする磁気記録媒体に関するものである。
従来の技術
近年の磁気記録密度向上のだめの技術の進展は著しいも
のがある。強磁性微粒子を樹脂中に分散させ、厚さ２〜
３μｍの高分子フィルム上に塗布固定した磁気記録媒体
には原理的な限界がみえてきていることから、強磁性金
属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体が注目され、開
発が盛んにな２ ヘ−ジ ってきている〔例えば外国論文誌：アイイーイーイー
トランザクションズ オン マグネティクス（Ｉ Ｋ
ＨＲＴｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ ｏｎ Ｍａｇｎｅｔｉ
ｃｓ）Ｖｏｌ、ＭＡＧ−２１、Ｎｏ−３，１２１７〜１
２２０（１９８５））。
のがある。強磁性微粒子を樹脂中に分散させ、厚さ２〜
３μｍの高分子フィルム上に塗布固定した磁気記録媒体
には原理的な限界がみえてきていることから、強磁性金
属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体が注目され、開
発が盛んにな２ ヘ−ジ ってきている〔例えば外国論文誌：アイイーイーイー
トランザクションズ オン マグネティクス（Ｉ Ｋ
ＨＲＴｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ ｏｎ Ｍａｇｎｅｔｉ
ｃｓ）Ｖｏｌ、ＭＡＧ−２１、Ｎｏ−３，１２１７〜１
２２０（１９８５））。
強磁性金属薄膜を実用化するには、優れた電磁変換特性
を保ちながら、磁気ヘッドとの高速摺動に対する持久性
を向上させることが必要である。これらに関する多くの
提案もなされている〔例えば特開昭５３−８８７０４号
公報、特開昭６９−１２１６３１号公報、特開昭５９−
１７１０２６号公報〕。これまでの提案に基づいて磁気
テープ磁気ディスクを試作し、評価したとき、フェライ
トヘッドによる記録再生であれば実用水準の確保が可能
であるが、合金系の複合ヘッドにおいては十分とはいえ
ず、磁気記録層表面に微小突起を多数配する等の新しい
提案もみられる〔アイイーイーイー トランザクション
ズ オン マグネティクス（ＩＩＣＥＩＣＴｒａｎｓ＋
ａｃｔｉｏｎｓ ｏｎ Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ）Ｖｏｌ、
ＭＡＧ−２１、ＮＯ５，１５２４〜１５２６（１９８５
）ｌ。
を保ちながら、磁気ヘッドとの高速摺動に対する持久性
を向上させることが必要である。これらに関する多くの
提案もなされている〔例えば特開昭５３−８８７０４号
公報、特開昭６９−１２１６３１号公報、特開昭５９−
１７１０２６号公報〕。これまでの提案に基づいて磁気
テープ磁気ディスクを試作し、評価したとき、フェライ
トヘッドによる記録再生であれば実用水準の確保が可能
であるが、合金系の複合ヘッドにおいては十分とはいえ
ず、磁気記録層表面に微小突起を多数配する等の新しい
提案もみられる〔アイイーイーイー トランザクション
ズ オン マグネティクス（ＩＩＣＥＩＣＴｒａｎｓ＋
ａｃｔｉｏｎｓ ｏｎ Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ）Ｖｏｌ、
ＭＡＧ−２１、ＮＯ５，１５２４〜１５２６（１９８５
）ｌ。
発明が解決しようとする問題点
３、＝。
しかしながらかかる構成の磁気記録媒体では、高密度デ
ィジタル記録でのエラー率が大きくなることがあり改善
が望まれてりた。
ィジタル記録でのエラー率が大きくなることがあり改善
が望まれてりた。
本発明は上記した事情に鑑みなされたもので高密度ディ
ジタル記録でのエラー率の良好な磁気記録媒体を提供す
ることを目的とするものである。
ジタル記録でのエラー率の良好な磁気記録媒体を提供す
ることを目的とするものである。
問題点を解決するだめの手段
上記問題点を解決するため本発明の磁気記録媒体は、部
分酸化強磁性金属薄膜の表面酸化層がＣｏ３Ｏ４ から
成り、且つこの表面酸化層上に硬質炭素薄膜を保護層と
して配するものである。
分酸化強磁性金属薄膜の表面酸化層がＣｏ３Ｏ４ から
成り、且つこの表面酸化層上に硬質炭素薄膜を保護層と
して配するものである。
作用
上記構成により、強磁性金属薄膜の表面酸化層が酸化層
として硬度が大なるＣｏ ３０４ から成り、その上に
更に硬度の高い硬質炭素薄膜が配されることで、応力分
散が均一化するため、微小部分の破壊によるディジタル
記録時のエラー率が極めて良好となるものとなる。
として硬度が大なるＣｏ ３０４ から成り、その上に
更に硬度の高い硬質炭素薄膜が配されることで、応力分
散が均一化するため、微小部分の破壊によるディジタル
記録時のエラー率が極めて良好となるものとなる。
実施例
以下１図面を参照しながら本発明の一実施例について説
明する。図は本発明の一実施例の磁気記録媒体の拡大断
面図である。図において、１はポリエチレンテレフタレ
ート、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンナフ
タレート、ポリイミド等からなる高分子フィルム、２は
Ａ、／２０３ 、ＣａＯ。
明する。図は本発明の一実施例の磁気記録媒体の拡大断
面図である。図において、１はポリエチレンテレフタレ
ート、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンナフ
タレート、ポリイミド等からなる高分子フィルム、２は
Ａ、／２０３ 、ＣａＯ。
ＣａＣ０３、Ｅｕ ２０３ 等の微粒子をポリエステル
樹脂。
樹脂。
ポリイミド樹脂等によシ固定した微粒子塗布層、３はＧ
ｏ −０、Ｃｏ −Ｎｉ −０、Ｇｏ−Ｃｒ −０、Ｃ
ｏ−Ｔｉ−０、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｒ−０等の部分酸化強磁
性金属薄膜で、その表面酸化層は、Ｃｏ３Ｏ４から成る
もので、その厚みは３０人から１５０八までが好ましい
。また表面層をＣｏ３Ｏ４とするには、グロー放電処理
によるか、製膜時に酸素を導入しながらグロー放電中蒸
着により形成することができ、適宜最適な条件を見出し
制御すればよい。４は硬質炭素薄膜で・グラファイトを
ターゲットとし、Ｈ２を含む放電ガスでグロー放電を発
生させスパッタリングすることで形成したシ、メタンガ
ス等の炭化水素ガスのプラズマを加速し形成する等の方
法によシ形成される膜厚３０人から３００人の保護５、
、−ノ 膜である。必要なら更にその上に脂肪酸やパーフルオロ
アルキルスルフォン酸等の潤滑剤層５を配してもよい。
ｏ −０、Ｃｏ −Ｎｉ −０、Ｇｏ−Ｃｒ −０、Ｃ
ｏ−Ｔｉ−０、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｒ−０等の部分酸化強磁
性金属薄膜で、その表面酸化層は、Ｃｏ３Ｏ４から成る
もので、その厚みは３０人から１５０八までが好ましい
。また表面層をＣｏ３Ｏ４とするには、グロー放電処理
によるか、製膜時に酸素を導入しながらグロー放電中蒸
着により形成することができ、適宜最適な条件を見出し
制御すればよい。４は硬質炭素薄膜で・グラファイトを
ターゲットとし、Ｈ２を含む放電ガスでグロー放電を発
生させスパッタリングすることで形成したシ、メタンガ
ス等の炭化水素ガスのプラズマを加速し形成する等の方
法によシ形成される膜厚３０人から３００人の保護５、
、−ノ 膜である。必要なら更にその上に脂肪酸やパーフルオロ
アルキルスルフォン酸等の潤滑剤層５を配してもよい。
以下、更に具体的に本発明の一実施例について比較例と
の対比で説明する。厚み１０μｍのポリエチレンテレフ
タレートフィルム上に直径１ｏｏ人の５ｉ０２Ｇ粒子を
１０／（μｍ ） ２配して基材を構成し、この基材を
直径１ｍの円筒キャンに沿わせて、最小入射角４３度、
６Ｘ１０ ’（Ｔｏｒｒ）の酸素雰囲気中でＣｏ−Ｍｉ
（Ｃｏ 、 ａｏｖｒｔ％ ）を０．１２１１ｍの厚さ
だけ電子ビーム蒸着し、あらかじめ１×１０〜６（’ｒ
ｏｒｒ）に排気したのち、１ｘ １ｏ ’（Ｔｏｒｒ）
にＨ２Ｏを導入し、１３．５６（ＭＨ２）ｅｏｏ（Ｗ）
のグロー放電処理を２秒間行って表面処理し、次に０２
分圧４Ｘ１０ ’（Ｔｏｒｒ）で１３．５６（Ｍ）１
２）。
の対比で説明する。厚み１０μｍのポリエチレンテレフ
タレートフィルム上に直径１ｏｏ人の５ｉ０２Ｇ粒子を
１０／（μｍ ） ２配して基材を構成し、この基材を
直径１ｍの円筒キャンに沿わせて、最小入射角４３度、
６Ｘ１０ ’（Ｔｏｒｒ）の酸素雰囲気中でＣｏ−Ｍｉ
（Ｃｏ 、 ａｏｖｒｔ％ ）を０．１２１１ｍの厚さ
だけ電子ビーム蒸着し、あらかじめ１×１０〜６（’ｒ
ｏｒｒ）に排気したのち、１ｘ １ｏ ’（Ｔｏｒｒ）
にＨ２Ｏを導入し、１３．５６（ＭＨ２）ｅｏｏ（Ｗ）
のグロー放電処理を２秒間行って表面処理し、次に０２
分圧４Ｘ１０ ’（Ｔｏｒｒ）で１３．５６（Ｍ）１
２）。
８ｏｏ（Ｗ）のグロー放電処理を３秒間行い表面から１
ｏｏ人の厚さＣｏ３Ｏ４膜で構成した。次にグラファイ
トをターゲットにし、ムｒ−４−Ｈ２＝４ Ｘ１ｏ
’ （Ｔｏｒｒ ） ムｒ：Ｈ２＝１：４の放電ガス
を用い、１３．５６（ＭＨ７）、１．ｅ（ＫＷ）のグロ
ー放電６Ａ−ジ によシスバッタリングを行い、ダイアモンド状の硬質炭
素薄膜を１００人配し、更にその上にパーフルオロミリ
スチン酸を４０人配し、最終８ミリ幅の磁気テープを製
造した。一方比較例として、表面酸化層をＣｏＯにして
他の構成は本実施例と同じ８ミリ幅の磁気テープを準備
した。両者のテープを８ミリビデオデツキを改造しギャ
ップ長０．２μｍのアモルファススパッタ膜とフェライ
トの複合ヘッドを用い、１６ビツトのＰＣＭ音声を記録
再生し、エラー率を比較した。４０℃、１２４ＲＨで１
００回走行した後のエラー率は、実施例が３×１０−５
〜４Ｘ１０ ’で比較例が６Ｘ１０ ’〜２Ｘ１０
’であった。４０°ｃ、８５％ＲＨで３００回走行した
後のエラー率は実施例が４×１０−５〜４．６Ｘ１０−
５で、比較例は７，６Ｘ１０５〜５．６×１０−４であ
った。
ｏｏ人の厚さＣｏ３Ｏ４膜で構成した。次にグラファイ
トをターゲットにし、ムｒ−４−Ｈ２＝４ Ｘ１ｏ
’ （Ｔｏｒｒ ） ムｒ：Ｈ２＝１：４の放電ガス
を用い、１３．５６（ＭＨ７）、１．ｅ（ＫＷ）のグロ
ー放電６Ａ−ジ によシスバッタリングを行い、ダイアモンド状の硬質炭
素薄膜を１００人配し、更にその上にパーフルオロミリ
スチン酸を４０人配し、最終８ミリ幅の磁気テープを製
造した。一方比較例として、表面酸化層をＣｏＯにして
他の構成は本実施例と同じ８ミリ幅の磁気テープを準備
した。両者のテープを８ミリビデオデツキを改造しギャ
ップ長０．２μｍのアモルファススパッタ膜とフェライ
トの複合ヘッドを用い、１６ビツトのＰＣＭ音声を記録
再生し、エラー率を比較した。４０℃、１２４ＲＨで１
００回走行した後のエラー率は、実施例が３×１０−５
〜４Ｘ１０ ’で比較例が６Ｘ１０ ’〜２Ｘ１０
’であった。４０°ｃ、８５％ＲＨで３００回走行した
後のエラー率は実施例が４×１０−５〜４．６Ｘ１０−
５で、比較例は７，６Ｘ１０５〜５．６×１０−４であ
った。
発明の効果
本発明によれば、高密度ディジタル記録においてエラー
率の良好な磁気記録媒体が得られるといったすぐれた実
用効果がある。
率の良好な磁気記録媒体が得られるといったすぐれた実
用効果がある。
７ ／、−７
図は本発明の磁気記録媒体の一実施例を示す拡大断面図
である。 １・・・・・高分子フィルム、３・・・・・部分酸化強
磁性金属薄膜、４・・・・・硬質炭素薄膜。
である。 １・・・・・高分子フィルム、３・・・・・部分酸化強
磁性金属薄膜、４・・・・・硬質炭素薄膜。
Claims (1)
- 表面酸化層がＣｏ＿３Ｏ＿４からなる部分酸化強磁性金
属薄膜と、前記表面酸化層上に形成された硬質炭素薄膜
からなる保護層とを有することを特徴とする磁気記録媒
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62262135A JPH01105318A (ja) | 1987-10-16 | 1987-10-16 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62262135A JPH01105318A (ja) | 1987-10-16 | 1987-10-16 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01105318A true JPH01105318A (ja) | 1989-04-21 |
Family
ID=17371540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62262135A Pending JPH01105318A (ja) | 1987-10-16 | 1987-10-16 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01105318A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60179925A (ja) * | 1984-02-27 | 1985-09-13 | Hitachi Maxell Ltd | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
| JPS61117728A (ja) * | 1984-11-13 | 1986-06-05 | Anelva Corp | 磁気記録媒体 |
-
1987
- 1987-10-16 JP JP62262135A patent/JPH01105318A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60179925A (ja) * | 1984-02-27 | 1985-09-13 | Hitachi Maxell Ltd | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
| JPS61117728A (ja) * | 1984-11-13 | 1986-06-05 | Anelva Corp | 磁気記録媒体 |
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