JPH01125011A - 樹脂封止形共振子の空洞形成方法 - Google Patents

樹脂封止形共振子の空洞形成方法

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JPH01125011A
JPH01125011A JP28274687A JP28274687A JPH01125011A JP H01125011 A JPH01125011 A JP H01125011A JP 28274687 A JP28274687 A JP 28274687A JP 28274687 A JP28274687 A JP 28274687A JP H01125011 A JPH01125011 A JP H01125011A
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cavity forming
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piezoelectric substrate
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Takashi Yoshinaga
義永 喬士
Takamichi Kitajima
北嶋 宝道
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は圧電共握子を樹脂封止する場合に、その振動電
極の周囲に空洞を形成するための空洞形成材を塗布する
方法に関するものである。
(従来技術とその問題点〕 従来、この種の樹脂封止形共振子において、振動電極を
形成した圧電基板の周囲を樹脂封止したときに振動電極
の周囲に空洞を形成する方法として、振動電極の周囲に
予めワックスやパラフィンなどの常温では固体または半
固体で、温めると容易に軟化し、比較的低温で融解する
空洞形成材を塗布せしめ、絶縁性樹脂の封止時または封
止後に加熱し、上記空−洞形成材を融解させて絶縁性樹
脂に吸収させる方法が知られている(特公昭45−22
384号公報)。
上記のような空洞形成材を圧電基板に塗布する場合には
、まず圧電基板を表向きにして表面の振動電極上に空洞
形成材を塗布したあと、圧電基板を裏返しにして裏面の
振動電極上に空洞形成材を塗布するという2回の塗布動
作を行う必要がある。
そのため、作業性が悪く、塗布処理に時間を要するとと
もに、塗布処理を自動化しようとすると装置が大形化す
る問題があった。
〔発明の目的〕
本発明は上記問題点に鑑みてなされたもので、その目的
は、圧電基板を表裏反転させずに、1回の塗布動作で表
裏面の振動電極上に空洞形成材の被膜を形成できる、作
業性に優れた樹脂封止形共振子の空洞形成材塗布方法を
提供することにある。
〔発明の構成〕
上記目的を達成するために、本発明の空洞形成材塗布方
法は、圧電基板を鉛直方向に立てる工程と、立てた圧電
基板の上端に空洞形成材の塗布装置を近接させ、該塗布
装置から圧電基板の上端に溶融した空洞形成材の点滴を
供給する工程と、上記点滴が圧電基板の表裏面の少なく
とも上記振動電極を被う位置まで流れた状態で、点滴を
固化または半面化させる工程とを含むものである。
〔作用〕
圧電基板を鉛直方向に立てた状態で、その上端部に一定
量の空洞形成材の点滴を供給すると、点滴は重力により
圧電基板の両側面に沿って流れ、振動電極を被うことに
なる。即ち、圧電基板を反転させずに、1回の点滴動作
で表裏面の振動電極上に空洞形成材を塗布できる。そし
て、空洞形成材が振動電極を被うた状態で固化または半
面化させれば、次の樹脂封止工程へ移送する段階で空洞
形成材が他の部位へ流れることがない。
(実施例〕 第1図、第2図は本発明方法により製造された樹脂封止
形共振子を示す。
図面において、共振子lはエネルギー閉じ込め形厚み縦
振動モード構造を有し、端子10.20を接続した状態
で、その外周が絶縁性樹脂30で封止されている。
共振子lは、正方形の薄板状セラミック等からなる圧電
基板2と、その表面に設けられた電極3と、表面に上記
電極3とは180°対称位置に設けられた同一形状の電
極4とを具備している0表面側の電極3は、基板中央に
位置する円形の振動部(振動電極)3aと、基板の一側
縁部に形成された端子部3bと、両部3a、3bを接婢
する2本の引出し部3cとで構成され、裏面側の電極4
も同様に、振動部(振動電極)4a、端子部4b、引出
し部4cで構成されている。なお、振動部3a、 4a
と端子部3b、4bとを接続する引出し部3c、4cを
各々2本ずつ設けることに、より、半田喰われ現象によ
る引出し部3c、4cの断iを防止できる。また、上記
電極3゜4が同一形状でかつ基板2の表裏面の180@
対称位置に形成されているので、方向性がなく、自動機
による組み立゛てが容易となる。
2本の端子10.20は、図示しないフープ材からプレ
スにて打ち抜かれたものであり、端子10.20の上端
部は上記電極3,4の端子部3b、4bに牛用などによ
って接続されている。端子10.20の下半分が絶縁性
樹脂30から露出している。
上記絶縁性樹脂30は浸漬法またはモールドt4qどの
方法にて共振子1の全周を封止しており、特に電極3.
4の振動部3a、4aの周囲には空洞31が形成されて
いるので、振動部3a、4aの厚み縦振動。
が阻害されない。
上記構成の樹脂封止形共振子において、空洞31を形成
する方法は、前述の特公昭45− ?2384号公報に
記載の方法と同様である。即ち、共振子lに端子10.
20を接続した状態で、その表裏面の振動部3a、4g
上にワ、ツクスまたはパラフィンなどの常温では固体ま
たは半固体で、温めると容易に軟化し、比較的低温で融
解する空洞形成材を塗布し、絶縁性樹脂30で封止した
時または封止後に加熱し、空洞形成材を多孔質の絶縁性
樹脂30に吸収させることにより、空洞31を形成する
ここで、本発明の要部であ、る空洞形成材を共振子lの
表裏面の振動部3a、4aに塗、布する方法を第3図〜
第8図についで説明する。
まず、第3図、第4図のように端子IQ、20を接続し
た共振子1を鉛直方向に立て、その上方より塗布装置の
コテ40を近づける。、コテ40の先端部には溶融状態
の空洞形成材50を溜めた楢に先端を浸漬したあと引き
上Lfることにより11、所寓量、の空洞形成材50が
付着している。卒お、コテ740は常時加□−町 熱されているので、空洞形成材50が溶融、状態で維持
される。
次に、第5図、第6図のように、コテ40の先端を共振
子1の上端に接触または近接させ、空洞形成材50の点
滴を共振子1上に乗り移らせる。この時、空洞形成材5
0が共振子1の表裏面にほぼ均等に供給されるように、
コテ40を共振子1の上端部の中央に位置させる必要が
ある。
次に、第7図、第8図のように、コテ40を共振子1の
上端から離すと、空洞形成材50は重力により下方に流
れ、電極3,4の振動部3a、4aを被う位置へ至る。
コテ40を離れた空洞形成材50は外気温度によって固
化または半面化し始め、振動部3a。
4aまで流れた時点で固化または半面化がほぼ完了する
。したがって、空洞形成材50の塗布工程から樹脂封止
工程まで移送する間で多少時間が経過したり振動が加わ
っても、空洞形成材50が共振子1から流れ落ちるおそ
れがない。
なお、上記方法では共振子1に供給された空洞形成材5
0の点滴が自然冷却により固化または半面化する場合を
示したが、冷風を吹き掛けることにより、固化または半
面化を促進させてもよい。
上記のように表裏両面に空洞形成材50を塗布した後、
共振子1を浸漬法、モールド法などの手法により絶縁性
樹脂30で封止し、空洞形成材5oを絶縁性樹脂30に
吸収させることにより、空洞31が形成される。
なお、上記空洞31は電極3,4の振動部3a、4aお
よびその近傍範囲のみに形成すれば、絶縁性樹脂30の
ダンピング機能により不要振動(スプリアス)を効果的
に除去できるので、良質の圧電共振子が得られる。その
ため、空洞形成材50が丁度振動部3a、 4a上で固
化または半面化するように、空洞形成材50の点滴量、
粘度、温度等を選択することが望ましい。
また、上記実施例では塗布装置としてコテ40の例を示
したが、これに限らず、例えばノズルから空洞形成材の
点滴を共振子の上端に供給するようにしてもよい。
〔発明の効果〕
以上の説明で明らかなように、本発明によれば圧電基板
を鉛直方向に立てた状態で、その上端部に一定量の空洞
形成材の点滴を供給することにより、圧電基板の表裏面
の振動電極上に空洞形成材の被膜を同時に形成できるよ
うにしたので、圧電基板を反転させずに、1回の点滴動
作で塗布作業を完了できる。したがって、作業性が極め
て良く、塗布処理時間を大幅に短縮できる。
また、塗布処理を自動化する場合においても、共振子の
位置を変えずに塗布でき、しかも1個の共振子に対し1
回の塗布動作で済むので、装置を小型化できる利点があ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明にかかる樹脂封止形共振子の正面図、第
2図は第1図の■−■線断面図、第3図は本発明方法の
第1工程の正面図、第4図は第3図のIV−TV線断面
図、第5図は第2工程の正面図、第6図は第5図の■−
■線断面図、第7図は第3工程の正面図、第8図は第7
図の■−■線断面図である。 1・・・共振子、2・・・圧電基板、3,4・・・電極
、3a。 4a・・・振動部(振動電極)、30・・・絶縁性樹脂
、31・・・空洞、40・・・コテ、50・・・空洞形
成材。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】  圧電基板の表裏面に形成された振動電極に空洞形成材
    からなる被膜を形成した状態で、圧電基板の周囲を絶縁
    性樹脂にて封止し、該封止時または封止後に加熱して上
    記一空洞形成材を絶縁性樹脂に吸収せしめることにより
    、振動電極の周囲に空洞を形成するようにした樹脂封止
    形共振子において、上記圧電基板を鉛直方向に立てる工
    程と、 立てた圧電基板の上端に空洞形成材の塗布装置を近接さ
    せ、該塗布装置から圧電基板の上端に溶融した空洞形成
    材の点滴を供給する工程と、上記点滴が圧電基板の表裏
    面の少なくとも上記振動電極を被う位置まで流れた状態
    で、点滴を固化または半面化させる工程と、 を含む樹脂封止形共振子の空洞形成材塗布方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH033841U (ja) * 1989-06-02 1991-01-16

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6016711A (ja) * 1983-07-08 1985-01-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd セラミツク共振子の製造方法

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