JPH01319112A - 薄膜磁気ヘッドの選別方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、薄膜磁気ヘリドの製造方法に係シ、特に磁気
ヘッドの製品形態毎の管理を効率的かつ低コストで行う
ための磁気ヘリドのマーキングに関する。

〔従来の技術〕

薄膜磁気ヘッドは、蒸着、メツキ、スバ嘴夕等の薄膜形
成技術および工噌チングによるパターン形成技術を用い
て、磁気回路および記鎌再生用コイル（−括してトラン
スデユーサ１１と称する）を゛、シリコンあるいはセラ
ミ噌り等を素材とする基板゛１２の上に多数整列して形
成したものである。

これを所定数のトランスデ為−サを有する浮揚形の磁気
ヘッドに加工すべく、磁気ヘッドの浮揚１面側５１の同
時加工が可能となる整列単位のプロ噌・り１３に切断し
、（一般に数ヘリドないし数十ヘッド）、所定の治具１
４１／（ｒ７リクス１５で接着し九後、必要に応じ所定
の磁気へ―ド１単位に切断後、浮揚面側５１を研磨ある
いはう嗜プ等を行うことによ、−シ、コイル部１６を所
定の精度に加工している。（精１度はα２ないし１ミク
ロン。） このブロック単位での同時加工において、１）コイル部
のパターン形成における並び精度のバラつき、２）所定
治真上のブロックの基準位置合わせ精−度のバラつき、
等のため、同時加工されたプロ嗜りには、良品。不良品
のトランスデユーサが混在することになる。この状態で
所定の治具よシ接着をはがし、個々の磁気ヘ−ドとして
￥Ｉ１９出し、加工を終了する。

磁気ヘッド１は、一般に全トランスデ纂−サでなく、１
ケあるいは所定数のトランスデ瓢−サが良品ならば使用
可能であり、完成後、良品のトランスデ具−サ位置によ
り、選別分類していたにの選別に当九シ、製造過程およ
び磁気へ曖ド状態において確認された良・不良内容は、
その都度データシートに書き込み、データシートと磁気
ヘッドの対応をとるため、磁気へ曽ドを順番に並べ、管
理していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は、トランスデ為−サ単位での磁気へ噌ド
の管理の点について配慮されておらず、磁気へ噌ドはデ
ータシートに記入した順番に並べであるため、順番を間
違えると、不良品を良品とすることになり、品質管理上
問題でありＮ。

またデータシートの作成、データシートと対応。

させるための磁気ヘダドの管理には膨大な手間を要する
ため、量産化における問題があった。

本発明の目的は、磁気へ―ド製造における品質。

の向上および管理コストを削減すると共に、量産化対応
することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、ウェハよシ磁気へ曽ドを完成させるまでの
製造過程において、磁気ヘリドのトランスデ為−サの良
、不良が明確になった時点で、磁１気ヘリド自体に直接
食、不良に対応するマーキング１０１　、　１０２．　
１０５．　１０４を行うことＫよシ、達成される。具体
的なマーキング方法としては、１）インクジエート。ス
タンピングによるインク等の。

塗料を磁気へψド表面に付けるマーク、２）磁気へ。

曽ド自体に直接レーザで素材表面を溶かして書き込むレ
ーザマーク等がある。このマークの読取シは、光学的ま
たはその他の手段によυ、随時読み取ることが可能であ
り、その読み取り結果によシ、磁気へ噌ドの形態の分類
が可能になる・−〔作用〕 各製造工程では、このマーキングされたマークを読み取
るだけでその磁気ヘッドの形態（各トランスデ為−サの
良、不良）を知ることが可能になるため、データシート
が不良となり、更にデータ：シートとの対応ミスによる
良品、不良品の取シ違いが無くなる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を、第１図によシ説明する。こ
の磁気ヘッド１は、左側トランスデａ−サ４１と右側ト
ランスデ為−サ１１より成る。仮に、左側トランスデュ
ーサ４１のコイル１６が不良である。

場合、マーク１０４を打つことによシ、不良表示が可能
となる。

このマークは不良が明確になった時点でマーキングされ
ることが望ましく、基板状態では第２図１のマークＩＱ
１が、プロ、り５１状態では第５図の如くマーク１０２
が、加工途中の状態では第４図の如くマーク１０５が、
最終的形状である磁気ヘリド１では第１図の如くマーク
１０４が打たれる。

−　各工程で、各トランスデユーサの製品形態（良・。

不良）を知るには、この所定の箇所のマークを読゛み取
るだけでよい。

本実施例によれば、全加工終了後の判別は、マーク１０
４のみ確認すればよい。これによシ、データシートとの
対応が無くなる九め、良、不良を間違えることがなくな
る効果がある。

以上、本発明の実施例につき、詳細に説明し、これが本
発明の目的を達成しうることを示したが１、マークと製
品形態区分の関係、マーキング手段、マークの色、材料
、形状、構成９寸法は、本発明。

の趣旨を逸脱しない範囲で変形されてもよいことは勿論
であシ、以上の記述が本発明の範囲と限定、するもので
ないことは明らかである。

〔発明の効果〕

本発明によれば、磁気ヘッド自体にマークするため、良
品、不良品等のワーク形態の判別が、容易かつ確実にで
きるため、ウェハよシ磁気へ噌ドまでの製造過程におけ
る不良等の管理方法の簡略化と、不良品の明確化による
品質向上および量産加工に対する容易な対応、の効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例の、マーキングされた磁気
ヘッドの斜視図、第２図は、基板に形成された薄膜へ噌
ドの平面図および側面図、第３図は、薄膜へ噌ドに加工
する過程の正面図、第４図は、加工が終了し薄膜ヘッド
として取り出す＠餉の状態の正面図である。 １・・・磁気へ噌ド、１１．４１・・・トランスデ晶−
サ、１２・・・基板、１５・・・ブクヴク、１４・・・
所定の治具、１５・・・ｑ＃クス、１６・・・コイル部
、５１・・・浮揚面側、ＩＱＩ。 １０２　、　１０５　、　１０４・−・マーク・躬　＋
Ｃａ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、蒸着、スパッタ、メッキ等の薄膜形成技術とエッチ
   ングによるパターン形成技術とを用いて、シリコン、セ
   ラミック等の基板上に整列して一括形成された多数の薄
   膜磁気ヘッドの、前記基板を含むトランスデューサ部分
   を、必要単位毎に切断および成形加工して、所定数のト
   ランスデューサを含む磁気ヘッドとなすため、製造過程
   および磁気ヘッド状態において、当該磁気ヘッドにおけ
   る製品形態を区分するために、当該磁気ヘッドにマーキ
   ングを行うことを特徴とする薄膜磁気ヘッドの選別方法
   。