JPH0133940B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0133940B2 JPH0133940B2 JP56073528A JP7352881A JPH0133940B2 JP H0133940 B2 JPH0133940 B2 JP H0133940B2 JP 56073528 A JP56073528 A JP 56073528A JP 7352881 A JP7352881 A JP 7352881A JP H0133940 B2 JPH0133940 B2 JP H0133940B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- measurement point
- recognized
- pads
- wire bonding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体装置のワイヤボンデイングに好
適なペレツト等の被位置認識体の位置認識方法特
にその自動位置認識方法に関するものである。
適なペレツト等の被位置認識体の位置認識方法特
にその自動位置認識方法に関するものである。
半導体装置の製造工程の一つとして行なわれる
ワイヤボンデイングには現在自動位置認識ワイヤ
ボンダを使用した方法が採用されている。即ち、
この方法はワイヤボンデイングを行なうペレツト
あるいはリードフレームのリード等のリードの表
面をITVカメラにて撮影し、この撮影により視
野画面に写し出されたペレツトあるいはリード表
面像を電気的かつ光学的に検出した上でペレツト
あるいはリードの位置を算出して認識し、この認
識結果に基づいて自動ワイヤボンダによるワイヤ
ボンデイング位置の制御を行なつて適切なワイヤ
ボンデイングを行なうようにした方法である。こ
の場合、ペレツト等の位置認識は予めペレツト等
に基準となる測定点を定めておき、ペレツト等が
写し出されたときにこの測定点の画面上の位置を
検出するようにしている。
ワイヤボンデイングには現在自動位置認識ワイヤ
ボンダを使用した方法が採用されている。即ち、
この方法はワイヤボンデイングを行なうペレツト
あるいはリードフレームのリード等のリードの表
面をITVカメラにて撮影し、この撮影により視
野画面に写し出されたペレツトあるいはリード表
面像を電気的かつ光学的に検出した上でペレツト
あるいはリードの位置を算出して認識し、この認
識結果に基づいて自動ワイヤボンダによるワイヤ
ボンデイング位置の制御を行なつて適切なワイヤ
ボンデイングを行なうようにした方法である。こ
の場合、ペレツト等の位置認識は予めペレツト等
に基準となる測定点を定めておき、ペレツト等が
写し出されたときにこの測定点の画面上の位置を
検出するようにしている。
例えば、第１図はその一例を示しており、ペレ
ツト１に設けた複数個のパツドの中、対角位置に
あるパツド２と３を夫々測定点としておき、各パ
ツド２，３（正確にはパツド２，３の各角部）を
含むペレツト部位を夫々ITVの視野画面４，５
に写し出して位置認識を行なう。そして、その後
誤認識のチエツクとして、両方のパツド２，３の
距離ｌを算出し、一方のパツド３を基準としたと
きに他方のパツド２が前記距離ｌを半径とする円
周上に位置しているか否かを判定して誤認識の有
無を確認しているのである。
ツト１に設けた複数個のパツドの中、対角位置に
あるパツド２と３を夫々測定点としておき、各パ
ツド２，３（正確にはパツド２，３の各角部）を
含むペレツト部位を夫々ITVの視野画面４，５
に写し出して位置認識を行なう。そして、その後
誤認識のチエツクとして、両方のパツド２，３の
距離ｌを算出し、一方のパツド３を基準としたと
きに他方のパツド２が前記距離ｌを半径とする円
周上に位置しているか否かを判定して誤認識の有
無を確認しているのである。
しかしながら、この方法では、何等かの理由に
よつてペレツト１に回転移動が生じてペレツト１
が同図仮想線のように変動したような場合にも、
パツド２，３間の距離は一定であるからこれを良
品（所要範囲内に設置された）ペレツトとして認
識してしまうことがある。このような誤認識が生
ずると後工程におけるワイヤボンダも不良となり
製品の歩留りが悪くなるという問題が生じる。
よつてペレツト１に回転移動が生じてペレツト１
が同図仮想線のように変動したような場合にも、
パツド２，３間の距離は一定であるからこれを良
品（所要範囲内に設置された）ペレツトとして認
識してしまうことがある。このような誤認識が生
ずると後工程におけるワイヤボンダも不良となり
製品の歩留りが悪くなるという問題が生じる。
したがつて本発明の目的は測定点の一方を基準
とし、この一方の測定点のＸ方向、Ｙ方向の許容
範囲内に他方の測定点が存在しているか否かを判
定することにより、ペレツト等の被位置認識体の
位置認識を確実に行ないその誤認識を防止して歩
留りのよいワイヤボンデイングを行なうことがで
きる位置認識方法を提供することにある。
とし、この一方の測定点のＸ方向、Ｙ方向の許容
範囲内に他方の測定点が存在しているか否かを判
定することにより、ペレツト等の被位置認識体の
位置認識を確実に行ないその誤認識を防止して歩
留りのよいワイヤボンデイングを行なうことがで
きる位置認識方法を提供することにある。
以下、本発明を図面に基づいて説明する。
第２図は本発明方法を実施するための装置の構
成図であり、ペレツト１をボンデイングしたパツ
ケージ６は基台７上にセツトされ、その対角部位
をITVカメラ８にて夫々撮影される。前記ペレ
ツト１は、第３図に示すように複数個のパツドの
中の対角位置に配置したパツド２，３の角部を測
定点としており、各パツド２，３はITVカメラ
８にて撮影されてITVモニタ画面４に映し出さ
れ、光学的方法と演算部１０での演算によつて
各々の位置が認識される。演算部１０は制御部１
１に測定点の位置信号を出力し、この制御部１１
はワイヤボンダ１２のＸ、Ｙテーブル１３を作動
してワイヤボンダのシール位置を定めるようにな
つている。
成図であり、ペレツト１をボンデイングしたパツ
ケージ６は基台７上にセツトされ、その対角部位
をITVカメラ８にて夫々撮影される。前記ペレ
ツト１は、第３図に示すように複数個のパツドの
中の対角位置に配置したパツド２，３の角部を測
定点としており、各パツド２，３はITVカメラ
８にて撮影されてITVモニタ画面４に映し出さ
れ、光学的方法と演算部１０での演算によつて
各々の位置が認識される。演算部１０は制御部１
１に測定点の位置信号を出力し、この制御部１１
はワイヤボンダ１２のＸ、Ｙテーブル１３を作動
してワイヤボンダのシール位置を定めるようにな
つている。
前記演算部１０と制御部１１との間には、誤認
識チエツク部１４を跨設しており、演算部１０の
出力を利用して測定点２ａ，３ａの相対的な位置
認識を行なう。即ち、一方の測定点３ａの位置を
基準とし、この基準位置３ａに対してＸ方向、Ｙ
方向に所定距離隔てた許容範囲XaとYaを設定
し、他方の測定点２ａがこれら許容範囲XaとYa
のいずれの範囲にも存在するか否かを比較するよ
うにしているのである。
識チエツク部１４を跨設しており、演算部１０の
出力を利用して測定点２ａ，３ａの相対的な位置
認識を行なう。即ち、一方の測定点３ａの位置を
基準とし、この基準位置３ａに対してＸ方向、Ｙ
方向に所定距離隔てた許容範囲XaとYaを設定
し、他方の測定点２ａがこれら許容範囲XaとYa
のいずれの範囲にも存在するか否かを比較するよ
うにしているのである。
したがつて前記装置を使用した本発明のペレツ
トの等の被位置認識体の位置認識方法は、先ず
ITVカメラ４にて測定点２ａ，３ａを夫々含む
ペレツト部位を撮影し、ITVモニタ画面４にお
いて光学的方法により測定点２ａ，３ａ（パツド
２，３）を検出し、演算部１０において各測定点
２ａ，３ａを認識する。これと略同時に、誤認識
チエツク部１４では一方の測定点３ａを基準とし
て他方の測定点２ａがＸ方向、Ｙ方向の所要の範
囲内（前記許容範囲Xa，Ya）に存在するか否か
を判定する。そして、他方の測定点３ａが許容範
囲内に存在するときには制御部１１へ確認信号を
出力し、ペレツトをボンデイングしたパツケージ
の良判定を行なう。この場合、直ちにワイヤボン
ダ１２を作動させてワイヤボンデイングを行なう
こともあるいは良判定を記憶して後のワイヤボン
デイングに供することもできる。一方、他方の測
定点２ａが許容範囲内に存在していないときに
は、ペレツト位置認識が誤認識であつたことにな
り、このペレツトを以後の工程から除外してワイ
ヤボンデイングの対象から外す。場合によつて
は、ペレツト位置の再認識を行なつて再度誤認識
チエツクを行なうことになる。
トの等の被位置認識体の位置認識方法は、先ず
ITVカメラ４にて測定点２ａ，３ａを夫々含む
ペレツト部位を撮影し、ITVモニタ画面４にお
いて光学的方法により測定点２ａ，３ａ（パツド
２，３）を検出し、演算部１０において各測定点
２ａ，３ａを認識する。これと略同時に、誤認識
チエツク部１４では一方の測定点３ａを基準とし
て他方の測定点２ａがＸ方向、Ｙ方向の所要の範
囲内（前記許容範囲Xa，Ya）に存在するか否か
を判定する。そして、他方の測定点３ａが許容範
囲内に存在するときには制御部１１へ確認信号を
出力し、ペレツトをボンデイングしたパツケージ
の良判定を行なう。この場合、直ちにワイヤボン
ダ１２を作動させてワイヤボンデイングを行なう
こともあるいは良判定を記憶して後のワイヤボン
デイングに供することもできる。一方、他方の測
定点２ａが許容範囲内に存在していないときに
は、ペレツト位置認識が誤認識であつたことにな
り、このペレツトを以後の工程から除外してワイ
ヤボンデイングの対象から外す。場合によつて
は、ペレツト位置の再認識を行なつて再度誤認識
チエツクを行なうことになる。
このようにしてペレツト１に設けた測定点２
ａ，３ａの他方が一方を基準としたＸ方向、Ｙ方
向の許容範囲内に存在するか否かによりペレツト
の位置の確認を行なうことにより、誤認識が生ず
ることは全くなく確実な位置認識を行なうことが
できるのである。
ａ，３ａの他方が一方を基準としたＸ方向、Ｙ方
向の許容範囲内に存在するか否かによりペレツト
の位置の確認を行なうことにより、誤認識が生ず
ることは全くなく確実な位置認識を行なうことが
できるのである。
被位置認識体としてはペレツト、パツケージ、
パツケージに組み込まれているリードなど種々の
態様のものがある。
パツケージに組み込まれているリードなど種々の
態様のものがある。
以上のように本発明のペレツト等の位置認識方
法によれば、ペレツト等に設けた少なくとも２個
の測定点の一方を基準とし、この一方の測定点に
対するＸ方向、Ｙ方向の所定の許容範囲内に他方
の測定点が存在しているか否かを判定することに
よりペレツト位置認識の確認を行なつているの
で、従来の二点間の距離を利用した方法に対して
誤認識が生じることは殆んどなく、確実な位置認
識を行なうことができるという効果を奏する。
法によれば、ペレツト等に設けた少なくとも２個
の測定点の一方を基準とし、この一方の測定点に
対するＸ方向、Ｙ方向の所定の許容範囲内に他方
の測定点が存在しているか否かを判定することに
よりペレツト位置認識の確認を行なつているの
で、従来の二点間の距離を利用した方法に対して
誤認識が生じることは殆んどなく、確実な位置認
識を行なうことができるという効果を奏する。
第１図は従来方法の説明図、第２図は本発明方
法を実施する装置の構成図、第３図は本発明方法
の説明図である。 １……ペレツト、２，３……パツド、２ａ，３
ａ……測定点、４……ITV視野画面、８……
ITVカメラ、１０……演算部、１１……制御部、
１４……誤認識チエツク部。
法を実施する装置の構成図、第３図は本発明方法
の説明図である。 １……ペレツト、２，３……パツド、２ａ，３
ａ……測定点、４……ITV視野画面、８……
ITVカメラ、１０……演算部、１１……制御部、
１４……誤認識チエツク部。
Claims (1)
- １ ペレツト等の被位置認識体に少なくとも２つ
以上の測定点を設け、一方の測定点の位置を認識
してこれを基準とし、他方の測定点が前記一方の
測定点に対するＸ方向、Ｙ方向の各許容範囲内に
存在しているか否かを判定することを特徴とする
位置認識方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56073528A JPS57188836A (en) | 1981-05-18 | 1981-05-18 | Recognizing method for position |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56073528A JPS57188836A (en) | 1981-05-18 | 1981-05-18 | Recognizing method for position |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57188836A JPS57188836A (en) | 1982-11-19 |
| JPH0133940B2 true JPH0133940B2 (ja) | 1989-07-17 |
Family
ID=13520820
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56073528A Granted JPS57188836A (en) | 1981-05-18 | 1981-05-18 | Recognizing method for position |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57188836A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60229176A (ja) * | 1984-04-26 | 1985-11-14 | Toshiba Seiki Kk | パタ−ン認識装置 |
| JP2010276581A (ja) * | 2009-06-01 | 2010-12-09 | Honda Motor Co Ltd | センシング誤判定防止方法 |
-
1981
- 1981-05-18 JP JP56073528A patent/JPS57188836A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57188836A (en) | 1982-11-19 |
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