JPH0141665B2 - - Google Patents

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JPH0141665B2
JPH0141665B2 JP56188886A JP18888681A JPH0141665B2 JP H0141665 B2 JPH0141665 B2 JP H0141665B2 JP 56188886 A JP56188886 A JP 56188886A JP 18888681 A JP18888681 A JP 18888681A JP H0141665 B2 JPH0141665 B2 JP H0141665B2
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JP
Japan
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organic
paste
transparent conductive
nitrocellulose
forming
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JP56188886A
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JPS5889666A (ja
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Mitsuru Kano
Jun Nakanowatari
Yoshimi Kamijo
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Alps Alpine Co Ltd
Original Assignee
Alps Electric Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0141665B2 publication Critical patent/JPH0141665B2/ja
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D5/00—Coating compositions, e.g. paints, varnishes or lacquers, characterised by their physical nature or the effects produced; Filling pastes
    • C09D5/24—Electrically-conducting paints
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B1/00—Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
    • H01B1/06—Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors mainly consisting of other non-metallic substances
    • H01B1/08—Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors mainly consisting of other non-metallic substances oxides

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  • Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Non-Insulated Conductors (AREA)
  • Conductive Materials (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
本発明は、スクリーン印刷と焼成によりガラス
等の基板上に金属酸化物よりなる透明導電性被膜
を所望の形状に形成するための透明導電性被膜形
成用ペースト及びその製造方法に関する。 ガラス、セラミツクなどの基板上に形成した
Cd、In、Sn等の酸化物被膜は透明で良好な導電
性を示すことはよく知られており、半導体素子、
液晶表示装置に使用されたり、或は、窓ガラス等
の氷結防止用電電膜として利用されたりして近年
益々応用範囲が拡大してきている。このような金
属酸化物透明導電性被膜の形成方法としては、化
学スプレー法、真空蒸着法、スクリーン印刷法な
どがある。 化学スプレー法は、比較的大面積の形状の被膜
を得るのには有利であるが、微細で複雑な形状の
ものを得るのに、フオトエツチングなどの余分な
工程が必要となり経済的ではない。真空蒸着法
は、最近マスク蒸着法が発達しフオトエツチング
処理は必要でなくなつたが、同時に多量の蒸着が
できないので量産向きではない。スクリーン印刷
法では、かかる問題がなく、目的形状のものを印
刷焼成することができ、エツチング処理にともな
う廃液処理の必要もないという利点がある。しか
し、従来は、透明導電性被膜形成用ペースト自体
の安定性が良くないため、スクリーン印刷時の作
業性も悪く、形成された被膜の導電性の良否にも
バラツキが大きいという欠点があつた。 本発明は、上記の欠点をなくし、低抵抗で透明
度が良い被膜が形成でき、更にペースト自体の安
定度も高く、ポツトライフが長く印刷性に優れた
透明導電性被膜形成用ペースト及びその製造方法
を提供するためになされたものである。 本発明は前述の目的を達成するため、酸素の直
接配位した有機インジウム錯体と有機スズ化合物
とを、粘度1/4〜120秒のニトロセルローズの有機
粘性剤剤及び有機溶剤中に均一に混合分散させた
ことを特徴とするものである。 さらに本発明は前述の目的を達成するため、酸
素の直接配位した有機インジウム錯体を有機溶剤
に添加する工程と、さらにアセチルアセトンを添
加し加熱溶解する工程と、さらに加熱を続けアセ
チルアセトンを取り除く工程と、アセチルアセト
ンを取り除いた溶液に粘度1/4〜120秒にニトロセ
ルローズの有機粘性剤を加え撹拌する工程と、さ
らに有機化合物を加え撹拌する工程とによつて透
明導電性被膜形成用ペーストを製造することを特
徴とするものである。 従来、この種ペーストにおいてオクチル酸
（C7H15CO2）3In等のイオン結合性の強い有機酸イ
ンジウムを主体に用いていたが、有機酸インジウ
ムは加水分解し易く、又ペーストとした場合、ペ
ーストのゲル化を促進する等比較的容易に化学変
化するという欠点を持つているため、ペースト自
体の寿命を短かくし、スクリーン印刷時の作業性
を悪くする原因となつていた。 そこで本発明では、インジウム錯体として、β
―ジケトンの代表的化合物であるアセチルアセト
ン（Hacac）の配位したトリスアセチルアセトナ
ートインジウム（）（In（acac）3）等を選びペー
スト化に成功した。Hacac及びIn（acac）3の分子
構造式は次の通りである。
【式】
【式】 In（acac）3は280℃以上で熱分解し、500℃程度
でほぼ完全に金属酸化物となるが、酸化インジウ
ムのみの膜では、低抵抗にするのが困難で、形成
された膜中に微量の酸化スズを含ませて抵抗調整
する必要ある。即ち、焼成して酸化スズとなる有
機スズ化合物を選択する必要がある。 本発明では、常温での安定性、500℃程度でほ
ぼ完全に酸化スズとなる特性等を考慮に入れてオ
クチル酸スズ、ジブチルスズジウラレート、テト
ラアセチルアセトナートスズ等が適用できる。こ
れら有機スズ化合物の中でもジブチルスズジラウ
レート、テトラアセチルアセトナートスズと粘性
剤ニトロセルローズ120秒との組合せが、特にペ
ーストの安定度を高める事が実検の結果明らかと
なつた。 次にペースト化に必要な溶媒及び粘性剤につい
て述べる。 まず、粘性剤であるが、融点の低いソーダ硝子
への適用を考慮すれば500℃以下でほぼ完全に熱
分解するものでなければならない。例えばエチル
セルローズ、ニトロセルローズ、アセチルセルロ
ーズ、ベンジルセルローズなどが適用できる。次
に溶媒であるが、有機インジウム錯体や有機スズ
化合物に対して反応性が乏しく、前記粘性剤に対
して溶解能が蒸気が常温で１mmHg以下で、沸点
180〜350℃の性質があるものでなくてはならな
い。この溶媒として、２―エチルヘキシルアルコ
ール、ベンジルアルコール、テルビネノール等の
高沸点アルコール、アセト酢酸エチル、酢酸ベン
ジル、安息香酸メチル、フタル酸ジメチル、フタ
ル酸ジエチル、フタル酸ジブチル等の高沸点エス
テル、アセトニルアセトン、イソホロン等の高沸
点ケトン、メチルカルビトール、カルビトール、
カルビトールアセテート等のカルビトール群等が
適用できる。これら溶媒は単独で、又は二種以上
混合して使用してよい。 次にペーストの製造方法を説明する。まず、In
（acac）3を秤量し、これに前記各溶剤を添加する。
次に適当量のHacacを添加し130〜180℃の温度で
加熱し、Hacacにより一度完全に溶解せしめる。
さらに同じ温度で加熱を続けHacacを完全に除去
する。Hacacが完全に除去されたか否かは溶液の
重量変化を調べることにより判明する。 Hacacを完全に除いたものは安定であり、In
（Hacac）3に対する溶解力のさほど大でない溶媒
系でも溶解状態は良好となる。次に、粘性剤であ
るニトロセルローズを添加し、50〜60℃でよく撹
拌する。最後にスズ化合物を添加し撹拌してペー
ストを完成する。このようにして作成したペース
トは、スクリーン印刷法で目的形状に印刷し、
130〜170℃で予備乾燥後、400〜600℃で焼成する
ことにより、透明で良導電性の被膜を得ることが
できる。 実施例 １ In（acac）3、ニトロセルローズ各種、酢酸ベン
ジル、ベンジルアルコール、フタル酸ジメチル、
オクチル酸スズを成分とするペーストを作成し
た。溶媒比は、酢酸ベンジル：ベンジルアルコー
ル：フタル酸ジメチル＝６：２：２とし、ペース
ト中におけるIn―Sn化合物の含有率は13重量％、
またSn／（In＋Sn）は12原子％であつた。さら
にペーストの焼成条件は、155℃で10分間予備乾
燥後、510℃で30分間焼成した。この焼成条件は、
以後の実施例においても同様である。 本実施例では、各種粘度の違うニトロセルロー
ズによる諸特性の相違を検討した。第１表にその
結果を示してある。
【表】 ○：良好、△：やや良好、×：不良
第１表から判るように、ニトロセルローズの粘
度が高くなるに従つてペーストの安定性が悪くポ
ツトライフが短かくなり、従つて印刷性も悪くな
る傾向にあるが、面積抵抗値の変化は余り認めら
れない。前記第１表から有機粘性剤として使用す
るニトロセルローズとしては、粘度が1/4〜120秒
のものは印刷性、ペースト安定性ならびに被膜状
態などがともに良く、経済性を考慮したニトロセ
ルローズ粘度120秒が実用的である。 実施例 ２ 実施例１で示したように、ニトロセルローズが
高粘度になると、ポトツライフが短く、短時間の
うちにゲル化してしまう等の問題が生じるが、そ
の原因がオクチル酸スズにあることが種々の実検
の結果から判明した。 さらに、検討を重ねたところ、ジブチルスズラ
ウレート、テトラアセチルアセトナートスズにつ
いては、ゲル化等の反応速度が極めて遅いという
事実を発見した。そこで本実施例においては、こ
の事実を考慮して、In（acac）3、ジブチルスズラ
ウレート、酢酸ベンジル、ベンジルアルコール、
フタル酸ジメチル、ニトロセルローズ120秒を成
分とするペーストを作成した。スズの含有量、In
―Sn化合物の含有量、溶媒比は、実施例１と同
一である。ニトロセルローズ粘度120秒の含有量
を変化させ諸特性の変化を調査した結果を第２表
に示す。
【表】 ○：良好、△：やや良好、×：不良
第２表から伴るように、粘性剤であるニトロセ
ルローズの添加量の変化により面積抵抗値の変化
はほとんどない。むしろ印刷性、透明度、被膜状
態などを考慮すると、ニトロセルローズの添加量
は11〜20wt％の範囲に規制する必要がある。 実施例 ３ In（acac）3、ジブチルスズジラウレート、酢酸
ベンジル、ベンジルアルコール、フタル酸ジメチ
ル、ニトロセルローズ120秒を成分とするペース
トを作成した。Snの含有率、溶媒比は実施例１、
２と同一とし、ニトロセルローズ粘度120秒の含
有量は12wt％とし、In―Sn化合物の含有量を変
化させた。その結果は第３表に示してある。
【表】
【表】 ○：良好、△：やや良好、×：不良
第３表はIn―Sn化合物の含有量と面積抵抗値
の相関関係を示すものであり、スクリーンのレジ
スト厚を変化させるか又はIn―Sn化合物の含有
量を変化させることにより、所望の面積抵抗値、
膜厚の被膜を容易に得られることができることを
示している。実施例１〜３の結果から、レジスト
厚6μのスクリーンを使用することを前提として
実用的ペースト組成は次のようになる。 In（acac）3 10.8wt％ ジブチルスズジラウレート 2.2 〃 酢酸ベンジル 44.4 〃 ベンジルアルコール 14.8 〃 フタル酸ジメチル 14.8 〃 ニトロセルローズ120秒 13.0 〃 本組成のペーストは、スクリーン印刷などの印
刷特性にすぐれ、レジスト厚6μのものを使用す
れば、膜厚2000〜2500Å、透明度良好で、面積抵
抗値1.2〜2.0KΩ／口の被膜が得られる。 実施例 ４ トリスアセチルアセトナートインジウム（）
（In（acac）3）の代わりに、酸素の直接配位したト
リス―８―キノリラトインジウム（）を使用し
て実施例１〜３と同様の実検を行なつたが、ほぼ
同様な結果が得られる。 本発明は前述のような構成になつており、ペー
ストの安定度が高く、スクリーン印刷などの印刷
特性が良好で、しかも低抵抗で透明度の高い透明
導電性被膜が得られる。 なお、本発明の明細書で記述したニトロセルロ
ーズの粘度の表わし方は、ニトロセルローズの特
性を特定する方法として通常使用されている方法
である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 酸素の直接配位した有機インジユウム錯体と
    有機スズ化合物とを、粘度1/4〜120秒のニトロセ
    ルローズの有機粘性剤及び有機溶媒中に均一に混
    合分散させたことを特徴とする透明導電性被膜形
    成用ペースト。 ２ 前記有機インジユウム錯体が、トリスアセチ
    ルアセトナートインジウムまたはトリス―８―キ
    ノリノラトインジウム（）であることを特徴と
    する特許請求の範囲第１項記載の透明導電性被膜
    形成用ペースト。 ３ 前記有機スズ化合物が、ジブチルスズラウレ
    ートまたはテトラアセチルアセトナートスズであ
    ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
    透明導電性被膜形成用ペースト。 ４ 前記有機粘性剤の含有率が、11〜20重量％の
    範囲に規制されていることを特徴とする特許請求
    の範囲第１項記載の透明導電性被膜形成用ペース
    ト。 ５ 酸素の直接配位した有機インジウム錯体を有
    機溶剤に添加する工程と、さらにアセチルアセト
    ンを添加した加熱溶解する工程と、さらに加熱を
    続けアセチルアセトンを取り除く工程と、アセチ
    ルアセトンを取り除いた溶液に粘度1/4〜120秒の
    ニトロセルローズの有機粘性剤を加え撹拌する工
    程と、さらに有機スズ化合物を加え撹拌する工程
    とよりなることを特徴とする透明導電性被膜形成
    用ペーストの製造方法。
JP56188886A 1981-11-25 1981-11-25 透明導電性被膜形成用ペ−スト及びその製造方法 Granted JPS5889666A (ja)

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US06/431,323 US4456549A (en) 1981-11-25 1982-09-30 Paste for formation of transparent electroconductive coating film and process for preparation of said paste

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JPS5889666A JPS5889666A (ja) 1983-05-28
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5926942A (ja) * 1982-08-02 1984-02-13 Nippon Sheet Glass Co Ltd 金属酸化物被覆ガラスの製造方法
JPS604552A (ja) * 1983-06-23 1985-01-11 Mitsubishi Gas Chem Co Inc 導電性組成物
JPS60137818A (ja) * 1983-12-22 1985-07-22 Sumitomo Chem Co Ltd 透明導電膜形成用組成物
JPS6126679A (ja) * 1984-07-16 1986-02-05 Alps Electric Co Ltd 透明導電性被膜形成液
US4797325A (en) * 1984-12-13 1989-01-10 United Kingdom Atomic Energy Authority Spacecraft materials
US4687567A (en) * 1986-04-09 1987-08-18 Phillips Petroleum Company Antifoulants for thermal cracking processes
US4962071A (en) * 1989-05-01 1990-10-09 Tektronix, Inc. Method of fabricating a sintered body of indium tin oxide
DE4407774C1 (de) * 1994-03-09 1995-04-20 Leybold Materials Gmbh Target für die Kathodenzerstäubung zur Herstellung transparenter, leitfähiger Schichten und Verfahren zu seiner Herstellung
US6248680B1 (en) 1999-06-01 2001-06-19 Alliedsignal, Inc. Low temperature burnout screen printing frit vehicles and pastes
DE102009053688A1 (de) * 2009-11-19 2011-05-26 Ferro Gmbh Siebdruckfähige Zusammensetzung und Verfahren zur Herstellung einer leitfähigen und transparenten Schicht

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4147556A (en) * 1972-01-12 1979-04-03 Ppg Industries, Inc. Nonflammable beta diketonate composition
JPS5473818A (en) * 1977-11-24 1979-06-13 Tokyo Denshi Kagaku Kk Coating solution for forming transparent electric conductive layer and method of coating same
US4391743A (en) * 1981-11-30 1983-07-05 Nippon Soda Company Limited Composition for depositing metallic oxide film coatings

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JPS5889666A (ja) 1983-05-28

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