JPH02106949A - 半導体装置の封止方法 - Google Patents
半導体装置の封止方法Info
- Publication number
- JPH02106949A JPH02106949A JP63261811A JP26181188A JPH02106949A JP H02106949 A JPH02106949 A JP H02106949A JP 63261811 A JP63261811 A JP 63261811A JP 26181188 A JP26181188 A JP 26181188A JP H02106949 A JPH02106949 A JP H02106949A
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- JP
- Japan
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- cap
- stem
- stems
- welded
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
- H01M50/00—Constructional details or processes of manufacture of the non-active parts of electrochemical cells other than fuel cells, e.g. hybrid cells
- H01M50/10—Primary casings; Jackets or wrappings
- H01M50/183—Sealing members
- H01M50/186—Sealing members characterised by the disposition of the sealing members
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はハツト型キャンケースタイプのシグナルトラン
ジスタ、FET、サイリスタ等の組立工程におけるシス
テムとキャップの封止方法の改善に関するものである。
ジスタ、FET、サイリスタ等の組立工程におけるシス
テムとキャップの封止方法の改善に関するものである。
従来、この種のハツト型キャンケース半導体装置では第
1図においてハツト型に成形された鉄系金属薄板1の内
部に複数の断面円形金属リード3a、3b、3cがハツ
ト内部に埋められた溶着ガラス2によりこの金属薄板l
と電気的に絶縁された構造のステム4の頂面に半導体素
子5が鑞接され、半導体素子5の電極とリード3a、3
bけAu、A6等よりなる金属細線6a、6bにて超音
波溶接等でポンディング後、中空ハツト型キャップ7を
かぶせ、高導電性溶接電極8,9に挟まれて直流又は交
流溶接機プラテン10a、10bにより加圧され通電後
抵抗溶接される。しかるに、第3図は溶接部の拡大図で
あるが、下部電極8の内径D2はステム7の金属薄板1
のガラスと接する内径dより小さい。
1図においてハツト型に成形された鉄系金属薄板1の内
部に複数の断面円形金属リード3a、3b、3cがハツ
ト内部に埋められた溶着ガラス2によりこの金属薄板l
と電気的に絶縁された構造のステム4の頂面に半導体素
子5が鑞接され、半導体素子5の電極とリード3a、3
bけAu、A6等よりなる金属細線6a、6bにて超音
波溶接等でポンディング後、中空ハツト型キャップ7を
かぶせ、高導電性溶接電極8,9に挟まれて直流又は交
流溶接機プラテン10a、10bにより加圧され通電後
抵抗溶接される。しかるに、第3図は溶接部の拡大図で
あるが、下部電極8の内径D2はステム7の金属薄板1
のガラスと接する内径dより小さい。
上述した従来のハツト型キャンケース半導体装置では、
抵抗溶接時の通電電流によりステムの金属薄板外縁部1
aとキャップ外縁部7aが溶融し互に溶着後、圧力が加
えられ、溶着ガラス2のステム金属薄板lとの境界部よ
りガラスクラック11が発生し易いという欠点がある。
抵抗溶接時の通電電流によりステムの金属薄板外縁部1
aとキャップ外縁部7aが溶融し互に溶着後、圧力が加
えられ、溶着ガラス2のステム金属薄板lとの境界部よ
りガラスクラック11が発生し易いという欠点がある。
本発明によるハツト型キャンケース半導体装置の封止方
法では、封止時のステム1に接する溶接電極8の内径寸
法D1がステムのガラス2と接する内径dの1.08〜
1.12倍である。
法では、封止時のステム1に接する溶接電極8の内径寸
法D1がステムのガラス2と接する内径dの1.08〜
1.12倍である。
すなわち、本発明によれば、金属薄板がハツト型に成形
され、ハツト頂面の複数の穴を通して複数の断面円形リ
ードが前記ハツト内部に埋められた溶着ガラスにより金
属薄板と電気的に絶縁された構造のステム頂面部に半導
体素子が鍛接され、半導体素子電極とリードとを金属細
線にて超音波溶接等でボンディング後、中空ハツト型キ
ャップをかぶせ、ステム及び前記キャップ外縁部を断面
リング状の金属円筒形溶接電極にて挟んで抵抗溶接する
際、ステムに接する溶接電極の内径が、ステムのガラス
と接する内径の1.08〜1.12倍であることを特徴
とする半導体装置の封止方法を得る。
され、ハツト頂面の複数の穴を通して複数の断面円形リ
ードが前記ハツト内部に埋められた溶着ガラスにより金
属薄板と電気的に絶縁された構造のステム頂面部に半導
体素子が鍛接され、半導体素子電極とリードとを金属細
線にて超音波溶接等でボンディング後、中空ハツト型キ
ャップをかぶせ、ステム及び前記キャップ外縁部を断面
リング状の金属円筒形溶接電極にて挟んで抵抗溶接する
際、ステムに接する溶接電極の内径が、ステムのガラス
と接する内径の1.08〜1.12倍であることを特徴
とする半導体装置の封止方法を得る。
本発明は半導体装置の構成を全く変更することなく、封
止時のステムに接する溶接電極の内径寸法を適切に選択
することによりガラスクラックが防止できる。
止時のステムに接する溶接電極の内径寸法を適切に選択
することによりガラスクラックが防止できる。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の一実施例を示すものであり、金属薄板
l、溶着ガラス2.金属リード3a、3b。
l、溶着ガラス2.金属リード3a、3b。
3cよりなるステム4と半導体素子5.金属細線6a、
6b、キャップ7より構成される半導体装置は従来と全
く同じ構成である。
6b、キャップ7より構成される半導体装置は従来と全
く同じ構成である。
しかるに、ステム4をキャップ7を抵抗溶接する際、ス
テム4を下部溶接電極8にのせキャップ7の七より上部
溶接電極9をかぶせ、溶接機(図示しない)の上、下プ
ラテン10a、10b間に配性し、プラテンを加圧して
通電後ステム4とキャップ7を抵抗溶接する。第2図は
本発明によるステム4.キャップ7及び下部電極8の封
入時の位置関係を示すものである。
テム4を下部溶接電極8にのせキャップ7の七より上部
溶接電極9をかぶせ、溶接機(図示しない)の上、下プ
ラテン10a、10b間に配性し、プラテンを加圧して
通電後ステム4とキャップ7を抵抗溶接する。第2図は
本発明によるステム4.キャップ7及び下部電極8の封
入時の位置関係を示すものである。
以上説明したように本発明によれば、ノ・ット型キャン
ケース半導体装置の組立工程における、ステムとキャッ
プを封止時にステムの溶着ガラスにクラック又はワレ等
の不具合発生を防止することができ、経済的効果が高い
。
ケース半導体装置の組立工程における、ステムとキャッ
プを封止時にステムの溶着ガラスにクラック又はワレ等
の不具合発生を防止することができ、経済的効果が高い
。
・・・金属細線、7・・・・・・キャップ、7a・・・
・・・キャップ外縁部、8・・・・・・下部溶接電極、
9・・・・・・上部溶接電極、10a、10b・・・・
・・溶接機プラテン、11・・・・・・クラック。
・・・キャップ外縁部、8・・・・・・下部溶接電極、
9・・・・・・上部溶接電極、10a、10b・・・・
・・溶接機プラテン、11・・・・・・クラック。
代理人 弁理士 内 原 晋
第1図は本発明の一実施例を示す断面図、第2図は第1
図の溶接部の拡大断面図、第3図は従来実施例の溶接部
拡大断面図である。
図の溶接部の拡大断面図、第3図は従来実施例の溶接部
拡大断面図である。
Claims (1)
- 金属薄板がハット型に成形され、ハット頂面の複数の穴
を通して複数のリードが前記ハット内部に埋められた溶
着ガラスにより前記金属薄板と電気的に絶縁された構造
のステム頂面部に半導体素子が鑞接され、該半導体素子
電極と前記リードとを接続後、中空ハット型キャップを
かぶせ、前記ステム及び前記キャップ外縁部を断面リン
グ状の金属製円筒形溶接電極にて挟んで抵抗溶接する際
、前記ステムに接する前記溶接電極の内径が、前記ステ
ムの前記溶着ガラスの接する部分の内径の1.08〜1
.12倍であることを特徴とする半導体装置の封止方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63261811A JPH02106949A (ja) | 1988-10-17 | 1988-10-17 | 半導体装置の封止方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63261811A JPH02106949A (ja) | 1988-10-17 | 1988-10-17 | 半導体装置の封止方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02106949A true JPH02106949A (ja) | 1990-04-19 |
Family
ID=17367046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63261811A Pending JPH02106949A (ja) | 1988-10-17 | 1988-10-17 | 半導体装置の封止方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02106949A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01178750A (ja) * | 1988-01-07 | 1989-07-14 | Fujitsu Ten Ltd | 内燃機関の空燃比学習制御方法 |
-
1988
- 1988-10-17 JP JP63261811A patent/JPH02106949A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01178750A (ja) * | 1988-01-07 | 1989-07-14 | Fujitsu Ten Ltd | 内燃機関の空燃比学習制御方法 |
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