JPH02120834U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02120834U JPH02120834U JP2849689U JP2849689U JPH02120834U JP H02120834 U JPH02120834 U JP H02120834U JP 2849689 U JP2849689 U JP 2849689U JP 2849689 U JP2849689 U JP 2849689U JP H02120834 U JPH02120834 U JP H02120834U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drying
- carrier
- semiconductor wafer
- supporting part
- cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 10
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims 11
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 9
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 3
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 claims 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
第１図は本考案の第１実施例を示す全体斜視図
、第２図は第１図の正面断面図、第３図は本考案
の第２実施例を示す要部拡大平面図、第４図は本
考案の第３実施例を示す全体斜視図、第５図は第
４図の支持部の詳細正面図、第６図は第５図の平
面図、第７図は従来例を示す斜視図、第８図は第
７図の部分拡大平面図である。 図中、１はキヤリア本体、３は半導体ウエハ、
５，７，１２は支持部である。
、第２図は第１図の正面断面図、第３図は本考案
の第２実施例を示す要部拡大平面図、第４図は本
考案の第３実施例を示す全体斜視図、第５図は第
４図の支持部の詳細正面図、第６図は第５図の平
面図、第７図は従来例を示す斜視図、第８図は第
７図の部分拡大平面図である。 図中、１はキヤリア本体、３は半導体ウエハ、
５，７，１２は支持部である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ キヤリア本体内に支持部を設け、その支持部
に半導体ウエハを立て掛けて支持し、これを洗浄
・乾燥するための乾燥用キヤリアにおいて、上記
支持部を海綿体などの多孔質体で形成したことを
特徴とする半導体ウエハの乾燥用キヤリア。 ２ 箱型のキヤリア本体内に支持部を設け、その
支持部に半導体ウエハを立て掛けて支持し、これ
を洗浄・乾燥するための乾燥用キヤリアにおいて
、支持部を、鋸歯状の支持体で形成すると共にそ
の支持体をキヤリア本体の上端両側及び底部に設
け、かつその支持体に多数の孔を穿設したことを
特徴とする半導体ウエハの乾燥用キヤリア。 ３ キヤリア本体内に支持部を設け、その支持部
に半導体ウエハを立て掛けて支持し、これを洗浄
乾燥するための乾燥用キヤリアにおいて、上記支
持部を円弧状の溝で形成し、その溝に水抜き用の
孔を設けたことを特徴とする半導体ウエハの乾燥
用キヤリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2849689U JPH02120834U (ja) | 1989-03-15 | 1989-03-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2849689U JPH02120834U (ja) | 1989-03-15 | 1989-03-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02120834U true JPH02120834U (ja) | 1990-09-28 |
Family
ID=31251910
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2849689U Pending JPH02120834U (ja) | 1989-03-15 | 1989-03-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02120834U (ja) |
-
1989
- 1989-03-15 JP JP2849689U patent/JPH02120834U/ja active Pending