JPH0241164Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0241164Y2 JPH0241164Y2 JP10258884U JP10258884U JPH0241164Y2 JP H0241164 Y2 JPH0241164 Y2 JP H0241164Y2 JP 10258884 U JP10258884 U JP 10258884U JP 10258884 U JP10258884 U JP 10258884U JP H0241164 Y2 JPH0241164 Y2 JP H0241164Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- vacuum
- container
- vacuum container
- exhaust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 24
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 20
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 14
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の技術分野〕
この考案は、蒸着装置に関し、特にその蒸着材
料を回収する装置の改良に関するものである。
料を回収する装置の改良に関するものである。
従来、この種の装置として第１図に示すものが
あつた。図において、１は蒸着装置本体（図示せ
ず）を収容した真空容器、３は真空容器１の排気
を行なう真空ポンプであり、これは真空容器１の
排管４の先端に取付けられている。２は上記排管
４の拡大部４ａ内に設けられた、液体窒素を収納
した材料回収容器である。
あつた。図において、１は蒸着装置本体（図示せ
ず）を収容した真空容器、３は真空容器１の排気
を行なう真空ポンプであり、これは真空容器１の
排管４の先端に取付けられている。２は上記排管
４の拡大部４ａ内に設けられた、液体窒素を収納
した材料回収容器である。
次に動作について説明する。
真空容器１内の蒸着装置本体から発生した蒸着
物質の一部は、排管４を通り真空ポンプ３の方へ
飛んで行くが、該排管４の途中に設けられた液体
窒素を入れた材料回収容器２に衝突し、これによ
り冷却されて該材料回収容器２外壁に付着し、真
空ポンプ３の方へはほとんど流入しない。
物質の一部は、排管４を通り真空ポンプ３の方へ
飛んで行くが、該排管４の途中に設けられた液体
窒素を入れた材料回収容器２に衝突し、これによ
り冷却されて該材料回収容器２外壁に付着し、真
空ポンプ３の方へはほとんど流入しない。
従来のこの種の装置では、材料回収容器２は排
管４に固定されていたので、真空容器１の排気コ
ンダクタンスは一定であり、そのため真空容器１
の排気時間が長くなるおそれがあつた。
管４に固定されていたので、真空容器１の排気コ
ンダクタンスは一定であり、そのため真空容器１
の排気時間が長くなるおそれがあつた。
この考案は、上記のような従来のものの欠点を
除去するためになされたもので、液体窒素等の冷
却媒体を入れた材料回収容器を、排気系外部より
可動できるようにすることにより、排気コンダク
タンスを可変にできる蒸着装置を提供することを
目的としている。
除去するためになされたもので、液体窒素等の冷
却媒体を入れた材料回収容器を、排気系外部より
可動できるようにすることにより、排気コンダク
タンスを可変にできる蒸着装置を提供することを
目的としている。
以下、この考案の実施例を図について説明す
る。
る。
第２図及び第３図は本考案の一実施例による蒸
着装置を示す。両図において、１は蒸着装置本体
（図示せず）を収容した真空容器、３は該真空容
器１の排気を行なう真空ポンプ、１４は該真空ポ
ンプ３と真空容器１との間に設けられた排管、１
４ａは該排管１４の拡大部、１２は液体窒素等の
冷却媒体を収納し蒸着物質を回収する４つのフイ
ン状体１２ａからなる材料回収容器であり、これ
は上記拡大部１４ａ内に外部より回動操作自在に
設けられている。即ち、第２図は該材料回収容器
１２により、真空容器１の排気コンダクタンスを
最大にした状態を、第３図はこれを小さくした状
態を示している。
着装置を示す。両図において、１は蒸着装置本体
（図示せず）を収容した真空容器、３は該真空容
器１の排気を行なう真空ポンプ、１４は該真空ポ
ンプ３と真空容器１との間に設けられた排管、１
４ａは該排管１４の拡大部、１２は液体窒素等の
冷却媒体を収納し蒸着物質を回収する４つのフイ
ン状体１２ａからなる材料回収容器であり、これ
は上記拡大部１４ａ内に外部より回動操作自在に
設けられている。即ち、第２図は該材料回収容器
１２により、真空容器１の排気コンダクタンスを
最大にした状態を、第３図はこれを小さくした状
態を示している。
次に動作について説明する。
まず、材料回収容器１２を回動し、第２図に示
す状態とすれば、真空容器１の排気コンダクタン
スを最大とすることができ、この状態で真空ポン
プ３にて真空容器１内を大気から10-4Torr以下
の高真空に排気する。この場合この排気は短時間
に行なうことができる。
す状態とすれば、真空容器１の排気コンダクタン
スを最大とすることができ、この状態で真空ポン
プ３にて真空容器１内を大気から10-4Torr以下
の高真空に排気する。この場合この排気は短時間
に行なうことができる。
次に、真空容器１内が所定の真空度になり、蒸
着装置本体が蒸着物質を発生しはじめたら、材料
回収容器１２を回動し、第３図に示す状態とすれ
ば、真空容器１内の排気コンダクタンスが小さく
なり、真空ポンプ３の方へ流入してくる蒸着材料
を材料回収容器１２に効率よく付着させることが
できる。なお、このとき、真空容器１内の真空度
が、所定の真空度より悪くならないよう、排気コ
ンダクタンスを調整する。
着装置本体が蒸着物質を発生しはじめたら、材料
回収容器１２を回動し、第３図に示す状態とすれ
ば、真空容器１内の排気コンダクタンスが小さく
なり、真空ポンプ３の方へ流入してくる蒸着材料
を材料回収容器１２に効率よく付着させることが
できる。なお、このとき、真空容器１内の真空度
が、所定の真空度より悪くならないよう、排気コ
ンダクタンスを調整する。
材料回収容器１２に付着した蒸着材料は、材料
回収容器１２を取り出して、回収する。
回収容器１２を取り出して、回収する。
このように本実施例の蒸着装置によれば、材料
回収容器１２を排管１４の拡大部１４ａに回動自
在に設け、真空容器１内の排気コンダクタンスを
可変できるようにしたので、排気時間を長くする
ことなく真空容器１内を排気できるともに、蒸着
物質の一部を効率よく回収することが可能とな
る。
回収容器１２を排管１４の拡大部１４ａに回動自
在に設け、真空容器１内の排気コンダクタンスを
可変できるようにしたので、排気時間を長くする
ことなく真空容器１内を排気できるともに、蒸着
物質の一部を効率よく回収することが可能とな
る。
以上のように、この考案に係る蒸着装置によれ
ば、材料回収容器を排管中に回動自在に設け、排
気コンダクタンスを可変できるようにしたので、
真空容器内を短時間で排気できるとともに、蒸着
材料を効率よく回収することができる効果があ
る。
ば、材料回収容器を排管中に回動自在に設け、排
気コンダクタンスを可変できるようにしたので、
真空容器内を短時間で排気できるとともに、蒸着
材料を効率よく回収することができる効果があ
る。
第１図は従来の蒸着装置の断面図、第２図はこ
の考案の一実施例による蒸着装置のある動作状態
の断面図、第３図は上記実施例装置による他の動
作状態の断面図である。 １……真空容器、１２……蒸着材料回収装置、
３……真空ポンプ、１４……排管。なお図中、同
一付号は同一又は相当部分を示す。
の考案の一実施例による蒸着装置のある動作状態
の断面図、第３図は上記実施例装置による他の動
作状態の断面図である。 １……真空容器、１２……蒸着材料回収装置、
３……真空ポンプ、１４……排管。なお図中、同
一付号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 蒸着物質を発生する蒸着装置本体を収納する真
空容器と、該真空容器を真空に吸引するための真
空ポンプと、該真空ポンプと上記真空容器との間
の排管中に排気コンダクタンスを可変できるよう
回動自在に設けられ上記蒸着物質を回収する蒸着
材料回収装置とを備えたことを特徴とする蒸着装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10258884U JPS6120557U (ja) | 1984-07-05 | 1984-07-05 | 蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10258884U JPS6120557U (ja) | 1984-07-05 | 1984-07-05 | 蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6120557U JPS6120557U (ja) | 1986-02-06 |
| JPH0241164Y2 true JPH0241164Y2 (ja) | 1990-11-01 |
Family
ID=30661984
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10258884U Granted JPS6120557U (ja) | 1984-07-05 | 1984-07-05 | 蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6120557U (ja) |
-
1984
- 1984-07-05 JP JP10258884U patent/JPS6120557U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6120557U (ja) | 1986-02-06 |
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