JPH0241633Y2

JPH0241633Y2 -

Info

Publication number: JPH0241633Y2
Application number: JP12594284U
Authority: JP
Priority date: 1984-08-21
Filing date: 1984-08-21
Publication date: 1990-11-06
Also published as: JPS6141257U

Description

【考案の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕通常、プリント配線基板（以下単に基板とい
う）は、回路パターンを焼付けた基板を、現像処
理、腐食処理、剥離処理等を経て製造される。

かかる処理工程においては、高精度の回路パタ
ーンを得るため、また、処理液の外部への漏出を
防止するため、各処理室で処理の終つた基板を、
次の処理室に移送する際に、絞りローラをもつて
液切りした後、所定の処理を行なうようになつて
いる。

本考案は、この液切り部の基板搬送装置の改良
に関するものである。

［従来の技術］第３図と第４図は、従来の一般的な液切り装置
を示すもので、５１は処理室、５２は洗浄室、５
３は両室５１，５２の仕切壁で、その要所には、
横長方形の通過孔５４が切設されている。

両室５１，５２内における通過孔５４の前方と
後方に設けた、互いに等高かつ通過孔５４と平行
をなして前後に並ぶ多数のローラ軸５５には、等
径薄肉の多数の搬送用ホイール５６が嵌設され、
その周面には、Ｏリング５７が嵌設されている。

洗浄室５２内の、仕切壁５３より１列目と２列
目の搬送用ホイール５６の間には、通過孔５４と
平行をなして、互に軽く接触するスポンジ状の、
搬送用ホイール５６とほぼ等径をなす、上下１対
の絞りローラ５８が設けてある。

５９，６０は、それぞれ処理液と洗浄水の噴射
ノズルである。

上述の装置は、基板６１が、搬送用ホイール５
６に乗つて処理室５１を通過する間に、処理液噴
射ノズル５９より噴射される処理液により、所定
の処理が施され、通過孔５４を通過して、絞リロ
ーラ５８により処理液が絞り取られた後、洗浄水
に噴射ノズル６０から噴射される洗浄水により、
洗浄される。

このような装置における液切り効果を良好にす
るため、特公昭52−21463号公報に開示された装
置においては、上記絞りローラ５８を通過した直
後の基板６１の上下両面に、搬送方向と逆方向
に、スリツトより圧縮空気を噴射するようにし
た、上下１対の噴射箱が設けてある。

また、実開昭54−175554号公報に開示された装
置においては、通過孔５４に一番近い処理液噴射
ノズル５９と、洗浄水に噴射ノズル６０を、基板
６１の近くにおいて、それぞれ、その搬送方向と
逆方向および同方向に向けて、処理液および洗浄
液を噴射するようになつている。

しかし、上述の基板搬送装置は、基板６１が硬
質な材質である場合は、なんら支障がないが、近
年多用されるようになつたフレキシブルな材質の
場合には、その先端が、第３図に２点鎖線で示す
ように、基板６１の自重と、それに付着した処理
液の重量、および処理液の噴射圧により、搬送用
ホイール５６間の間隙において湾曲し、搬送用ホ
イール５６に引つ掛かつたり、搬送用ホイール５
６より落下したりすることがある。

この問題点を解決するため、従来、第５図と第
６図に示すような装置が提供されている。その構
成について簡単に説明する。

なお、上述と同一部材については、同一符号を
付して、その説明を省略する。

この装置においては、各搬送用ホイール５６を
千鳥状に配設して、各ホイール軸５５の配設ピツ
チを狭くするとともに、仕切壁５３を挟んで前後
に対向する搬送用ホイール５６を、それと等径の
プーリ６２に代えて、無端ベルト６３が掛け回さ
れ、前記した如き、基板６１の引つ掛り、落下を
防止している。

〔本考案が解決しようとする問題点〕

しかし、この装置は、処理室５１内を等速で搬
送されて来た基板６１の先端が、両絞りローラ５
８の接触部に突き当ると、先端が完全に食い込ま
れるまで若干減速される。

また、搬送用ホイール５６と絞りローラ５８と
は同径であるため、基板６１が絞りローラ５８に
食い込むと搬送用ホイール５６の外径が絞りロー
ラ５８の外径より大きくなり、その結果、絞りロ
ーラ５８による基板搬送速度が、搬送用ホイール
によるそれより遅くなる傾向があつた。

従つて、この間、基板６１を搬送中の無端ベル
ト６３の上辺には、摩擦により、弛緩した部分と
緊張した部分が生ずる。

また、搬送される基板６１の前端縁は、絞りロ
ーラ５８の軸線に対し、通常平行となつておら
ず、前後に若干傾斜しているので、前端縁の左右
いずれかの角部が先に絞りローラ５８に食い込ま
れ、ついで、その角部より、次第に前端縁が食い
込まれる。

すなわち、基板６１における減速される個所
が、次に食い込まれた一方の角部から他方の角部
に向つて、前端縁上を移動することになり、前端
縁全部が完全に食い込まれるまでは、一方の角部
とその側方部には、速度差が生じる。

従つて、基板６１には、先に食い込まれた角部
を中心とする回転力が発生し、基板６１を載置す
る無端ベルト６３は、搬送方向と直角の摩擦力を
受ける。

上述の２作用は、絞りローラ５８の径や回転速
度を調節しても、完全に解消することはできず、
その結果、この装置では、無端ベルト６３が外れ
る難点があつた。

特にこの現象は、硬質厚手の基板６１を搬送す
る際、下方の絞りローラ５８が、無端ベルト６３
より僅かに下方に位置していたり、基板６１の前
端面の形状により、基板６１が絞りローラ５８に
食り込まれる際、下向傾斜して、無端ベルト６３
に強く圧接すると起こり易い。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案は、基板処理装置における液切り部の基
板搬送装置を、基板を搬送するための搬送用ホイ
ールと、無端ベルトを張設するべく、該搬送用ホ
イールと同軸に設けられたプーリとで構成するこ
とにより、上述の問題点の解決を図つたものであ
る。

〔作用〕

本考案装置は、液切り部においても、搬送用ホ
イールをもつて基板を搬送し、しかも無端ベルト
は、フレキシブル基板の湾曲した端部を支持して
案内するのみであるため、プーリより外れること
はない。

〔実施例〕

第１図と第２図は、本考案装置の一実施例を示
すもので、１，２，３，４，５，６，７，８，
９，１０，１１は、それぞれ上記５１，５２，５
３，５４，５５，５６，５７，５８，５９，６
０，６１と同様の、処理室・洗浄室・仕切壁・通
過孔・ホイール軸・搬送用ホイール・Ｏリング・
絞りローラ・処理液噴射ノズル・洗浄水噴射ノズ
ル・基板であり、各搬送用ホイール６は、第３図と第４図に示す
装置と同様に、千鳥状に配設されている。

第２図に示すように、仕切壁３を挟んで近接す
る両ホイール軸５には、各搬送用ホイール６に近
接して、それより若干小径の前後対向するプーリ
１２が嵌設され、無端ベルト１３が掛け回されて
いる。

無端ベルト１３の上辺の上面は、搬送用ホイー
ル６のＯリング７の上端より若干下方に位置し、
その程度は、常時は、基板１１の先端が、無端ベ
ルト１３に触れない程度に僅かであることが望ま
しい。

本装置においては、基板１１は、搬送用ホイー
ル６と絞りローラ８により搬送され、絞りローラ
８は、基板１１が通過する時、その厚みにより若
干縮径して、搬送速度が低下するので、その分だ
け、絞りローラ８を大径にすることが望ましい。

しかし、基板１１が著しく厚い場合には、搬送
速度の低下は避けられないので、絞りローラ８前
後の搬送用ホイール６を、ホイール軸５に回転自
由に嵌装しておけば、基板１１と搬送用ホイール
６のスリツプによる基板１１表面の傷つきを防止
することができる。

また、搬送ホイール６とプーリ１２を、一体に
製作してもよい。

〔本考案の効果〕

本考案においては、無端ベルト１３は、基板１
１がフレキシブルで、先端が下方に湾曲しようと
する時、端縁を支持して搬送用ホイール６上に案
内するのみであるため、プーリ１２より外れるこ
とはなく、しかも、前後に搬送用ホイール６の間
隔の最も大きい液切り部においても、下向きに湾
曲した基板１１の先端が、搬送用ホイール６に突
き当たつたり、落下したりすることはなく、基板
１１は、搬送用ホイール６により、確実に搬送さ
れる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案装置を使用した基板処理装置
の要部の中央縦断正面図、第２図は、第１図のＡ
−Ａ線における拡大横断面図、第３図は、従来装
置を備える基板処理装置の要部の中央縦断正面
図、第４図は、第３図のＢ−Ｂ線における拡大断
面図、第５図は、改良された従来装置を備える基
板処理装置の要部の中央縦断正面図、第６図は、
第５図のＣ−Ｃ線における拡大縦断面図である。１…処理室、２…洗浄室、３…仕切壁、４…通
過孔、５…ホイール軸、６…搬送用ホイール、７
…Ｏリング、８…絞りローラ、９…処理液噴射ノ
ズル、１０…洗浄水噴射ノズル、１１…基板、１
２…プーリ、１３…無端ベルト、５１…処理室、
５２…洗浄室、５３…仕切壁、５４…通過孔、５
５…ホイール軸、５６…搬送用ホイール、５７…
Ｏリング、５８…絞りローラ、５９…処理液噴射
ノズル、６０…洗浄水噴射ノズル、６１…基板、
６２…プーリ、６３…無端ベルト。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】 (1) 多数の搬送用ホイールをもつて搬送される基
板が、基板通過孔を備える仕切壁で仕切られた
複数の処理室を通過する間に、それぞれの処理
室において、処理液をもつて所定の処理を行な
い、ついで、通過孔を通過させて、その近くに
設けた絞りローラにより処理液の液切りを行つ
た後、次の処理室において、所定の処理を行な
うようにした基板処理装置の液切り部におい
て、上記通過孔を挟んで前後に近接する搬送用ホ
イールの軸に、搬送用ホイールより若干小径の
プーリーを並設し、無端ベルトの上辺上面が、
搬送用ホイールの上端以下となるようにして、
プーリーに掛け回したことを特徴とする基板処
理装置における液切り部の基板搬送装置。 (2) 通過孔を挟んで近接する搬送用ホイールのう
ち、絞りローラに近い搬送用ホイールを、回転
自由にローラ軸に嵌装してなる実用新案登録請
求の範囲第(1)項に記載の装置。