JPH0242426U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0242426U JPH0242426U JP12165588U JP12165588U JPH0242426U JP H0242426 U JPH0242426 U JP H0242426U JP 12165588 U JP12165588 U JP 12165588U JP 12165588 U JP12165588 U JP 12165588U JP H0242426 U JPH0242426 U JP H0242426U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface plate
- wafer
- swinging surface
- aligner
- sor
- Prior art date
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- 230000005469 synchrotron radiation Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000011017 operating method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す斜視図、第２
図ａ，ｂは第１図の実施例の動作方法を説明した
説明図である。 １……揺動定盤、２……ウエハ、３……ＸＹス
テージ、４……回転軸、５……アクチユエータ、
６……取り付け部材、７……固定部、８……真空
吸着パツド、９……マスク、１０……ウエハ微動
装置。
図ａ，ｂは第１図の実施例の動作方法を説明した
説明図である。 １……揺動定盤、２……ウエハ、３……ＸＹス
テージ、４……回転軸、５……アクチユエータ、
６……取り付け部材、７……固定部、８……真空
吸着パツド、９……マスク、１０……ウエハ微動
装置。
Claims (1)
- ウエハを露光するためのシンクロトロン放射光
源、及び鉛直に近い平面内でウエハを走査するた
めのＸＹステージから成るＳＯＲアライナにおい
て、前記ＸＹステージを搭載し、しかも水平な回
転軸を中心として揺動運動が可能なように支持さ
れた揺動定盤、及び前記揺動定盤を所定の位置に
固定するロツク機構を具備したことを特徴とする
ＳＯＲアライナ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12165588U JPH0242426U (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12165588U JPH0242426U (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0242426U true JPH0242426U (ja) | 1990-03-23 |
Family
ID=31368861
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12165588U Pending JPH0242426U (ja) | 1988-09-19 | 1988-09-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0242426U (ja) |
-
1988
- 1988-09-19 JP JP12165588U patent/JPH0242426U/ja active Pending
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