JPH0247029U - - Google Patents

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JPH0247029U
JPH0247029U JP12564588U JP12564588U JPH0247029U JP H0247029 U JPH0247029 U JP H0247029U JP 12564588 U JP12564588 U JP 12564588U JP 12564588 U JP12564588 U JP 12564588U JP H0247029 U JPH0247029 U JP H0247029U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案に従つた、基板を支持した支
持板の斜視図である。第２図は、第１図の支持板
の断面図である。第３Ａ図は、ベルジヤー型のＣ
ＶＤ装置に縦方向に間隔をおいて配置した複数の
支持板の部分断面図である。第３Ｂ図は、ホツト
ウオール型のＣＶＤ装置に横方向に間隔をおいて
位置した複数の支持板の部分断面図である。第４
図は、支持板を利用しないで複数の基板を保持す
るベルジヤー型のＣＶＤ装置の略示断面図である
。第５図は、支持板を利用しないで複数の基板を
保持するホツトウオール型のＣＶＤ装置の略示断
面図である。 主要符号の説明、１……石英管、２……支持体
、３……基板、２１……支持板、２２……基板、
２３……開口、２４……クリツプ、２５……支持
体。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 処理すべき基板を支持する支持板であつて
    、 前記基板とほぼ同程度の大きさの開口を中央に
    有し、 前記基板を前記支持板から離して、前記開口上
    に支持するための複数の基板支持用のクリツプを
    その開口の周囲にそつて有する支持板。 (2) 処理すべき複数の基板を間隔をあけて平行
    に配置し、それら基板にＣＶＤにより薄膜を形成
    するＣＶＤ装置において、 前記基板とほぼ同程度の大きさの開口を中央に
    有し、前記基板を前記支持板から離して、前記開
    口上に支持するための複数の基板支持用のクリツ
    プをその開口の周囲にそつて有するところの複数
    の支持板、および 該複数の支持板を一定間隔を置いて保持する保
    持手段、 を含むことを特徴とするＣＶＤ装置。 (3) 請求項(2)に記載のＣＶＤ装置であつて、 前記基板上の薄膜の性質が、前記開口の大きさ
    と前記基板の大きさとの差、前記基板からそのす
    ぐ上の支持板までの距離、および前記支持板の大
    きさと前記開口の大きさとの差によつて調整され
    る、 ところのＣＶＤ装置。
JP1988125645U 1988-09-28 1988-09-28 Ｃｖｄ装置における基板支持装置 Expired - Fee Related JPH0622980Y2 (ja)

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