JPH0248428A - セラミック基板用のグレーズ組成物 - Google Patents
セラミック基板用のグレーズ組成物Info
- Publication number
- JPH0248428A JPH0248428A JP19844988A JP19844988A JPH0248428A JP H0248428 A JPH0248428 A JP H0248428A JP 19844988 A JP19844988 A JP 19844988A JP 19844988 A JP19844988 A JP 19844988A JP H0248428 A JPH0248428 A JP H0248428A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glaze
- glaze composition
- composition
- ceramic substrates
- present
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- Glass Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はサーマルプリンタヘッドに用いられるセラミッ
ク基板用のグレーズ組成物の改良に関するものである。
ク基板用のグレーズ組成物の改良に関するものである。
（従来の技術）
サーマルプリンタヘッド用の基板としては、アルミナ賞
の基板の表面にグレーズと呼ばれるガラスを施釉したグ
レーズ基板が用いられ、その表面に回路がフォトリソグ
ラフ法により形成される。
の基板の表面にグレーズと呼ばれるガラスを施釉したグ
レーズ基板が用いられ、その表面に回路がフォトリソグ
ラフ法により形成される。
このためのグレーズ組成物は８００’Ｃ以上の高温で導
体、抵抗体等を焼付けても回路パターンの崩れが生じな
いように十分な耐熱性を存することが求められ、またグ
レーズ基板の端部が１０〜２０ ｐ ｍの高さに盛上が
るメニスカスと呼ばれる現象を起こしにくいものである
ことが求められる。
体、抵抗体等を焼付けても回路パターンの崩れが生じな
いように十分な耐熱性を存することが求められ、またグ
レーズ基板の端部が１０〜２０ ｐ ｍの高さに盛上が
るメニスカスと呼ばれる現象を起こしにくいものである
ことが求められる。
このようなグレーズ組成物としては従来から多くのもの
が特許出願されている。例えば特公昭６０−５５４５３
号公報には、ＳｉＪ、Ｒ，Ｏ，、ＣａＯ１Ｂａｄ、 ５
ｒＯ２Ａ ／ ｚｏｚを特定の割合で含有させたグレー
ズ組成物が開示されている。しかしこのグレーズ組成物
は実質的な転移点が６９０℃であるために８００℃以上
の高温焼成を行うと回路パターンが崩れるおそれがある
。また特公昭６１−２４３４５号公報には５ｉＯｚ、Ａ
１．０３、Ｃａｂ、 ＢａＯ１Ｂ２０３、ＺｎＯを特
定の割合で含有させたグレーズ組成物が開示されており
、更に特開昭６２−９６３４４号公報にはＳｉＪ、Ａ
Ｉｌ、０．、Ｃａｂ、 Ｂａｄ、 ＳｒＯ，ｐｒｏｓを
特定の割合で含有させたグレーズ組成物が開示されてい
る。しかしこれらのグレーズ組成物は基板の端部に１０
〜２０μ鋼のグレーズ層の盛上がり（メニスカス）が生
ずるためにその部分を回路として使用できず、また回路
パターン形成時のマスク合せやフォトリソグラフの精度
が悪くなるという欠点があった・ （発明が解決しようとする課題） 本発明は上記した従来の欠点を解決して、８００℃以上
の高温焼成に耐える耐熱性を備え、またメニスカスをほ
とんどゼロとすることができるうえ、アルミナ基板と熱
膨張係数が揃ったセラミック基板用のグレーズ組成物を
提供するために完成されたものである。
が特許出願されている。例えば特公昭６０−５５４５３
号公報には、ＳｉＪ、Ｒ，Ｏ，、ＣａＯ１Ｂａｄ、 ５
ｒＯ２Ａ ／ ｚｏｚを特定の割合で含有させたグレー
ズ組成物が開示されている。しかしこのグレーズ組成物
は実質的な転移点が６９０℃であるために８００℃以上
の高温焼成を行うと回路パターンが崩れるおそれがある
。また特公昭６１−２４３４５号公報には５ｉＯｚ、Ａ
１．０３、Ｃａｂ、 ＢａＯ１Ｂ２０３、ＺｎＯを特
定の割合で含有させたグレーズ組成物が開示されており
、更に特開昭６２−９６３４４号公報にはＳｉＪ、Ａ
Ｉｌ、０．、Ｃａｂ、 Ｂａｄ、 ＳｒＯ，ｐｒｏｓを
特定の割合で含有させたグレーズ組成物が開示されてい
る。しかしこれらのグレーズ組成物は基板の端部に１０
〜２０μ鋼のグレーズ層の盛上がり（メニスカス）が生
ずるためにその部分を回路として使用できず、また回路
パターン形成時のマスク合せやフォトリソグラフの精度
が悪くなるという欠点があった・ （発明が解決しようとする課題） 本発明は上記した従来の欠点を解決して、８００℃以上
の高温焼成に耐える耐熱性を備え、またメニスカスをほ
とんどゼロとすることができるうえ、アルミナ基板と熱
膨張係数が揃ったセラミック基板用のグレーズ組成物を
提供するために完成されたものである。
（課題を解決するための手段）
本発明は重量比でＳｉ０□４５〜６０％、ＡＩ！２０．
５〜１２％、ＣａＯ５〜］、５％、ｔ（ａｏ １５〜３
０％、ＳｒＯＯ，５〜５％、Ｔｉ０ｚ Ｏ，５〜５％、
ＭｇＯ０，５〜５％を含有することを特徴とするもので
ある。
５〜１２％、ＣａＯ５〜］、５％、ｔ（ａｏ １５〜３
０％、ＳｒＯＯ，５〜５％、Ｔｉ０ｚ Ｏ，５〜５％、
ＭｇＯ０，５〜５％を含有することを特徴とするもので
ある。
本発明のグレーズ組成物は、耐熱性を増加させるために
Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏ等のアルカリ成分及びＢ２Ｏ３の含を
量をゼロとするとともに、これによる溶解性と清澄性の
低下をＣａｂ、 ＢａＯの増量により補った点に第１の
特徴がある。これによって屈伏点を７９０℃と従来品よ
りも大幅に向上させることができ、しかも従来のグレー
ズ組成物と変わりのない溶融性を維持することができる
。また本発明のグレーズ組成物はＢａＯを比較的多量に
含有させるとともに、５ｒＯ１ＴｉＯ□、ＭｇＯをバラ
ンス良く含有させることによって基板との間の表面張力
を低下させた点に第２の特徴があり、これによって基板
の端部におけるグレーズの盛上がりを従来の１０〜２０
μｍから０〜３μｍと大幅に減少させることができる。
Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏ等のアルカリ成分及びＢ２Ｏ３の含を
量をゼロとするとともに、これによる溶解性と清澄性の
低下をＣａｂ、 ＢａＯの増量により補った点に第１の
特徴がある。これによって屈伏点を７９０℃と従来品よ
りも大幅に向上させることができ、しかも従来のグレー
ズ組成物と変わりのない溶融性を維持することができる
。また本発明のグレーズ組成物はＢａＯを比較的多量に
含有させるとともに、５ｒＯ１ＴｉＯ□、ＭｇＯをバラ
ンス良く含有させることによって基板との間の表面張力
を低下させた点に第２の特徴があり、これによって基板
の端部におけるグレーズの盛上がりを従来の１０〜２０
μｍから０〜３μｍと大幅に減少させることができる。
以下に各成分の含有率の限定理由を示す。
ＳｉＯ□はガラス構造を形成するための主成分であり、
その含有率が６０％を越えると熱膨張係数が小さくなり
すぎてアルミナ基板の熱膨張係数との差が大きくなり、
逆に４５％未満ではグレーズの耐熱性が不十分となり本
発明の目的が達成できない。
その含有率が６０％を越えると熱膨張係数が小さくなり
すぎてアルミナ基板の熱膨張係数との差が大きくなり、
逆に４５％未満ではグレーズの耐熱性が不十分となり本
発明の目的が達成できない。
Ａ ｌ 、０．は、グレーズの化学的耐久性を向上させ
るとともに失透を防止してガラスの作業温度範囲を広め
る役割を持つ成分であって、１２％を越えると溶融が困
難化するとともにグレーズの焼成温度も高くなりすぎて
平滑なグレーズ面が得られず、逆に５％未満ではグレー
ズ焼成時に失透が発生し易くなる。
るとともに失透を防止してガラスの作業温度範囲を広め
る役割を持つ成分であって、１２％を越えると溶融が困
難化するとともにグレーズの焼成温度も高くなりすぎて
平滑なグレーズ面が得られず、逆に５％未満ではグレー
ズ焼成時に失透が発生し易くなる。
ＣａＯはＢａＯとともに溶融性と清澄性を向上させる効
果を持つとともに、熱膨張係数を増大させる効果を有す
るが、１５％を越えると失透し易くなり、逆に５％未満
では熱膨張係数を増大させる効果がなく、アルミナ基板
と熱膨張係数を揃えることが困難となる。
果を持つとともに、熱膨張係数を増大させる効果を有す
るが、１５％を越えると失透し易くなり、逆に５％未満
では熱膨張係数を増大させる効果がなく、アルミナ基板
と熱膨張係数を揃えることが困難となる。
ＢａＯはＣａＯと同様の効果を持つほか、アルミナ基板
との間の表面張力を低下させる効果を持つ。ＢａＯは３
０％を越えると失透が発生し易くなり、逆に１５％未満
となると表面張力を低下させる効果が小さくなってメニ
スカスが大となる。
との間の表面張力を低下させる効果を持つ。ＢａＯは３
０％を越えると失透が発生し易くなり、逆に１５％未満
となると表面張力を低下させる効果が小さくなってメニ
スカスが大となる。
５ｒＯ１ＴｉＯ□、ＭｇＯは上記の主成分に添加するこ
とによって表面張力を低下させるための成分であり、０
．５％未満ではメニスカスを減少させる効果が不十分で
あり、逆に数値限定の上限値以上に添加すると失透の発
生を促進してしまう。
とによって表面張力を低下させるための成分であり、０
．５％未満ではメニスカスを減少させる効果が不十分で
あり、逆に数値限定の上限値以上に添加すると失透の発
生を促進してしまう。
（作用）
上記のような組成を持つ本発明のグレーズ組成物は、耐
熱性が高く後述する実施例のデータにも示されるように
屈伏点が８１０℃に達する。従って厚膜タイプのサーマ
ルプリンタヘッドに使用される場合には回路形成のため
の高温焼成時においても下地のグレーズ層の耐熱性が高
く、回路パターンの変形が生じない。また薄膜タイプの
サーマルプリンタヘッドに使用される場合には下地のグ
レーズ層の耐熱性が高いために高温で抵抗体をアニリン
グができ、完成品の寿命を長くすることができる。 次
に本発明のグレーズ組成物はアルミナ基板との間の表面
張力が小さく濡れ性が良好であるため、グレーズ端部の
盛上がり（メニスカス）を０〜３μｍと極めて小さくす
ることができる。
熱性が高く後述する実施例のデータにも示されるように
屈伏点が８１０℃に達する。従って厚膜タイプのサーマ
ルプリンタヘッドに使用される場合には回路形成のため
の高温焼成時においても下地のグレーズ層の耐熱性が高
く、回路パターンの変形が生じない。また薄膜タイプの
サーマルプリンタヘッドに使用される場合には下地のグ
レーズ層の耐熱性が高いために高温で抵抗体をアニリン
グができ、完成品の寿命を長くすることができる。 次
に本発明のグレーズ組成物はアルミナ基板との間の表面
張力が小さく濡れ性が良好であるため、グレーズ端部の
盛上がり（メニスカス）を０〜３μｍと極めて小さくす
ることができる。
このようにグレーズ層の膜厚の均一部分が大きくなるた
めパターン形成面積を大きく使用することができるうえ
、パターン形成のフォトリソグラフ工程においてマスク
とグレーズ表面とを密着させることができ、精度を上げ
ることができる。
めパターン形成面積を大きく使用することができるうえ
、パターン形成のフォトリソグラフ工程においてマスク
とグレーズ表面とを密着させることができ、精度を上げ
ることができる。
以下に本発明の実施例を示す。
（実施例）
次頁の表に示した酸化物組成となるように原料を調合し
、高純度のるつぼに入れて１４００〜１６００℃で溶融
し、急冷して得られたガラスをアルミナ製ボールミルで
微粉砕した。このようにして得られたガラスの微粉末を
エチルセルロースとα−チルピノール等の混合物である
ビヒクルと混合し、ペースト状とした。このペーストを
スクリーン印刷法でアルミナ基板上に印刷して所望の厚
みの膜を形成し、１２００〜１３００℃で焼成すること
によりグレーズ基板とした。
、高純度のるつぼに入れて１４００〜１６００℃で溶融
し、急冷して得られたガラスをアルミナ製ボールミルで
微粉砕した。このようにして得られたガラスの微粉末を
エチルセルロースとα−チルピノール等の混合物である
ビヒクルと混合し、ペースト状とした。このペーストを
スクリーン印刷法でアルミナ基板上に印刷して所望の厚
みの膜を形成し、１２００〜１３００℃で焼成すること
によりグレーズ基板とした。
表中の１ｌｈｌと患２は本発明の実施例であり、阻３は
出願人会社が以前に開発したグレーズ組成物である。ま
た隘４と阻５も従来他社から市販されているグレーズ組
成物である。各グレーズ組成物の熱膨張係数、転移点、
屈伏点、メニスカスを測定した結果を表中に記入した。
出願人会社が以前に開発したグレーズ組成物である。ま
た隘４と阻５も従来他社から市販されているグレーズ組
成物である。各グレーズ組成物の熱膨張係数、転移点、
屈伏点、メニスカスを測定した結果を表中に記入した。
表中の組成の単位はＭ量％、熱膨張係数の単位は１０−
．／℃である。
．／℃である。
（発明の効果）
以上に説明したとおり、本発明は従来にない新規な組成
とすることによって、アルミナ基板と熱膨張係数がほぼ
等しく、また耐熱型に優れるうえにメニスカスをほとん
どなくすることができるもので、このグレーズ組成物を
用いれば８００℃以上の高温焼成を行っても回路の崩れ
がなく、またフォトリソグラフによる回路形成の精度を
著しく向上させることができ、高性能のサーマルプリン
タヘッドを製造することが可能となる。よって本発明は
従来の問題点を一掃したセラミック基板用のグレーズ組
成物として、産業の発展に寄与するところは極めて大で
ある。
とすることによって、アルミナ基板と熱膨張係数がほぼ
等しく、また耐熱型に優れるうえにメニスカスをほとん
どなくすることができるもので、このグレーズ組成物を
用いれば８００℃以上の高温焼成を行っても回路の崩れ
がなく、またフォトリソグラフによる回路形成の精度を
著しく向上させることができ、高性能のサーマルプリン
タヘッドを製造することが可能となる。よって本発明は
従来の問題点を一掃したセラミック基板用のグレーズ組
成物として、産業の発展に寄与するところは極めて大で
ある。
Claims (1)
- 重量比でＳｉＯ＿２４５〜６０％、Ａｌ＿２Ｏ＿３１５
〜１２％、ＣａＯ５〜１５％、ＢａＯ１５〜３０％、Ｓ
ｒＯ０．５〜５％、ＴｉＯ＿２０．５〜５％、ＭｇＯ０
．５〜５％を含有することを特徴とするセラミック基板
用のグレーズ組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19844988A JPH0248428A (ja) | 1988-08-09 | 1988-08-09 | セラミック基板用のグレーズ組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19844988A JPH0248428A (ja) | 1988-08-09 | 1988-08-09 | セラミック基板用のグレーズ組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0248428A true JPH0248428A (ja) | 1990-02-19 |
| JPH0471857B2 JPH0471857B2 (ja) | 1992-11-16 |
Family
ID=16391285
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19844988A Granted JPH0248428A (ja) | 1988-08-09 | 1988-08-09 | セラミック基板用のグレーズ組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0248428A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010500738A (ja) * | 2006-04-14 | 2010-01-07 | レイセオン カンパニー | 表面マスキングによる原子価変換を用いて空間的に調整された活性イオン濃度を備えた固体レーザ及び方法 |
| WO2012108345A1 (ja) * | 2011-02-08 | 2012-08-16 | 旭硝子株式会社 | ガラス組成物およびガラス組成物を用いた太陽電池用ガラス基板、並びにディスプレイパネル用ガラス基板 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS598638A (ja) * | 1982-07-06 | 1984-01-17 | Ngk Spark Plug Co Ltd | グレ−ズ組成物 |
-
1988
- 1988-08-09 JP JP19844988A patent/JPH0248428A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS598638A (ja) * | 1982-07-06 | 1984-01-17 | Ngk Spark Plug Co Ltd | グレ−ズ組成物 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010500738A (ja) * | 2006-04-14 | 2010-01-07 | レイセオン カンパニー | 表面マスキングによる原子価変換を用いて空間的に調整された活性イオン濃度を備えた固体レーザ及び方法 |
| WO2012108345A1 (ja) * | 2011-02-08 | 2012-08-16 | 旭硝子株式会社 | ガラス組成物およびガラス組成物を用いた太陽電池用ガラス基板、並びにディスプレイパネル用ガラス基板 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0471857B2 (ja) | 1992-11-16 |
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