JPH0272402A - ディジタル制御装置の誤出力防止方法 - Google Patents
ディジタル制御装置の誤出力防止方法Info
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- JPH0272402A JPH0272402A JP22362188A JP22362188A JPH0272402A JP H0272402 A JPH0272402 A JP H0272402A JP 22362188 A JP22362188 A JP 22362188A JP 22362188 A JP22362188 A JP 22362188A JP H0272402 A JPH0272402 A JP H0272402A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、プログラマブルロジックコントローラ等の
ディジタル制御装置に係り、−層詳細には、前記プログ
ラマブルロジックコントローラの異常修復後の再スター
ト時におけるディジクル制御装置の誤出力防止方法に関
する。
ディジタル制御装置に係り、−層詳細には、前記プログ
ラマブルロジックコントローラの異常修復後の再スター
ト時におけるディジクル制御装置の誤出力防止方法に関
する。
一般に、プログラマブルロジックコントローラ（以下Ｐ
ＬＯと称する）の基本的構成は、プロセッサ部と入出力
部とからなっており、プロセッサ部は制御対象である機
械や設備に対し予め設定された一定の順序で制御するた
めのシーケンスプログラムをメモリから逐次読出すと共
にこれを解読し、入出力信号のオン・オフ状態を調べて
演算処理結果を出力するよう動作し、入出力部はリミッ
トスイッチや押しボタンなど人力装置からの入力信号お
よび電磁開閉器、ランプ、ソレノイドバルブなどの出力
装置への出力信号と、プロセッサ部内を転送される信号
との相互変換を行うインタフェースとしての機能を有す
る。そして、この他に電源部が設けられ、この電源部に
は、プロセッサ部が半導体回路から構成されているため
に直流安定化電源が使用される。
ＬＯと称する）の基本的構成は、プロセッサ部と入出力
部とからなっており、プロセッサ部は制御対象である機
械や設備に対し予め設定された一定の順序で制御するた
めのシーケンスプログラムをメモリから逐次読出すと共
にこれを解読し、入出力信号のオン・オフ状態を調べて
演算処理結果を出力するよう動作し、入出力部はリミッ
トスイッチや押しボタンなど人力装置からの入力信号お
よび電磁開閉器、ランプ、ソレノイドバルブなどの出力
装置への出力信号と、プロセッサ部内を転送される信号
との相互変換を行うインタフェースとしての機能を有す
る。そして、この他に電源部が設けられ、この電源部に
は、プロセッサ部が半導体回路から構成されているため
に直流安定化電源が使用される。
このように構成されるＰＬＯには、さらに規定の電源電
圧が印加されているかを判定する電源の正常判定、ウオ
ッチドグタイマによる演算制御部の正常判定、ディジタ
ル入出カリ−ドアフタライトチエツクによる入出力処理
部の正常判定等を行うことができる自己診断機能を通常
備えている。この自己診断機能により、ＰＬＯの各部の
正常動作状態をＰＬＣ自身で常に監視し、異常発生時に
はディジタル制御出力を強制的にオフ状態にして制御対
象に対し安全方向へ動作するように慟（。次いで、異常
修復後の再、、。
圧が印加されているかを判定する電源の正常判定、ウオ
ッチドグタイマによる演算制御部の正常判定、ディジタ
ル入出カリ−ドアフタライトチエツクによる入出力処理
部の正常判定等を行うことができる自己診断機能を通常
備えている。この自己診断機能により、ＰＬＯの各部の
正常動作状態をＰＬＣ自身で常に監視し、異常発生時に
はディジタル制御出力を強制的にオフ状態にして制御対
象に対し安全方向へ動作するように慟（。次いで、異常
修復後の再、、。
スタート時には、ハードウェアのリセットを行って自己
診断機能によるディジタル制御出力の強制的オフ動作を
解除し、ＰＬＣを正常動作に復旧させる。
診断機能によるディジタル制御出力の強制的オフ動作を
解除し、ＰＬＣを正常動作に復旧させる。
しかしながら、前述したＰＬＣによれば、異常修復後の
再スタートに際し、誤出力が出力される可能性があった
。すなわち、再スタートはハードウェアのり七ソ］・を
行うと共にＰＬＣの自己診断機能による制御出力の強制
的オフ動作も解除することにより行われるために、再ス
タート時の異常修復が不完全であった場合には、ＰＬＣ
が制御出力の出力開始後、再び自己診断機能によって異
常発生を検出してその制御出力を強制的にオフ状態にす
るまでの間に、誤出力が出力されてしまうという問題点
がある。
再スタートに際し、誤出力が出力される可能性があった
。すなわち、再スタートはハードウェアのり七ソ］・を
行うと共にＰＬＣの自己診断機能による制御出力の強制
的オフ動作も解除することにより行われるために、再ス
タート時の異常修復が不完全であった場合には、ＰＬＣ
が制御出力の出力開始後、再び自己診断機能によって異
常発生を検出してその制御出力を強制的にオフ状態にす
るまでの間に、誤出力が出力されてしまうという問題点
がある。
これは、ウオッチドグタイマやリードアフタライトチエ
ツクなどの自己診断機能は、ＰＬＣが稼動した後に検出
できる機能であるために、再スタートして異常が検出さ
れるまでの間は、ＰＬＣの制御出力が異常であってもそ
のまま出力されてしまうことが原因している。
ツクなどの自己診断機能は、ＰＬＣが稼動した後に検出
できる機能であるために、再スタートして異常が検出さ
れるまでの間は、ＰＬＣの制御出力が異常であってもそ
のまま出力されてしまうことが原因している。
そこで、本発明の目的は、異常修復後のＰＬＣ再スター
ト時において、異常修復が不完全な場合であっても、誤
出力することのない安全な制御動作を簡単な構成でしか
も確実に達成することができるディジタル制御装置の誤
出力防止方法を提供するにある。
ト時において、異常修復が不完全な場合であっても、誤
出力することのない安全な制御動作を簡単な構成でしか
も確実に達成することができるディジタル制御装置の誤
出力防止方法を提供するにある。
本発明に係るディジタル制御装置の誤出力防止方法は、
ディジタル入出力部と制御演算部とを備え、入力された
プログラムに従って制御対象のシーケンス制御を行うと
共に、界雷発生時に制御対象への制御出力を強制的にオ
フ状態とする自己診断機能を有するディジタル制御装置
において、 自己診断機能により制御出力が強制的にオフ状態となっ
た後に異常修復して再出力動作するに際し、初期稼動の
一定時間内は制御出力を強制的にオフ状態にし、一定時
間経過後はリセットスイッチによるマニュアル投入操作
で制御出力を制御対象へ出力することを特徴とする。
ディジタル入出力部と制御演算部とを備え、入力された
プログラムに従って制御対象のシーケンス制御を行うと
共に、界雷発生時に制御対象への制御出力を強制的にオ
フ状態とする自己診断機能を有するディジタル制御装置
において、 自己診断機能により制御出力が強制的にオフ状態となっ
た後に異常修復して再出力動作するに際し、初期稼動の
一定時間内は制御出力を強制的にオフ状態にし、一定時
間経過後はリセットスイッチによるマニュアル投入操作
で制御出力を制御対象へ出力することを特徴とする。
本発明に係るディジタル制御装置の誤出力防止方法によ
れば、異常修復後の再スタート時に初期稼動の一定時間
内はシステム異常と見做し、ディジクル制御装置の制御
出力を強制的にオフ状態にする。これにより、従来方法
では初期稼動後自己診断機能が回復されるまでの間に出
力される恐れのあった誤出力を防止できる。さらに、初
期稼動後一定時間経過しても、外部保護回路のリセット
スイッチのマニュアルによる投入操作が行われない限り
、ディジタル制御装置の制御出力が外部装置へ出力され
ないようにしたため、異常修復が不完全な状態での誤出
力を確実に防止することができる。
れば、異常修復後の再スタート時に初期稼動の一定時間
内はシステム異常と見做し、ディジクル制御装置の制御
出力を強制的にオフ状態にする。これにより、従来方法
では初期稼動後自己診断機能が回復されるまでの間に出
力される恐れのあった誤出力を防止できる。さらに、初
期稼動後一定時間経過しても、外部保護回路のリセット
スイッチのマニュアルによる投入操作が行われない限り
、ディジタル制御装置の制御出力が外部装置へ出力され
ないようにしたため、異常修復が不完全な状態での誤出
力を確実に防止することができる。
（実施例）
次に、本発明に係るディジタル制御装置の誤出力防止方
法の実施例につき、添付図面を参照しながら以下詳細に
説明する。
法の実施例につき、添付図面を参照しながら以下詳細に
説明する。
第１図は、本発明の方法による誤出力防止回路を備えた
ＰＬＯシステムの一実施例を示す要部系統図である。第
１図において、参照符号１０はＰＬＣであり、ＰＬＣＩ
Ｏはディジタル入力部１２、プロセッサ部１４およびデ
ィジタル出力部１６とから構成される。ディジタル入力
部１２は、多数の入力接点４０からの信号を、それぞれ
フォトカプラ２８を介して入力することにより、電気的
に絶縁された状態でプロセンナ部１４へ伝送する。この
ディジタル入力部１２は、外部信号レベルをＰＬＣ内部
の制御演算部１８等の信号レベルに合せるレベルシフト
動作も行う。プロセッサＢＩＮ４は、主としてシーケン
スプログラムに従う逐次演算処理を行う制御演算部１８
と、制御演算の開始を指令するスタート部２０と、制御
演算出力をオフ状態にする停止部２２と、自己診断部２
６とからなる。スタート部２０および自己診断部２６は
、リセットスイッチ２４によって制御演算と自己診断動
作とを再スタートさせることができる。自己診断部２６
の出力信号は、停止部２２へ送られると共にＰＬＣＩＯ
外部の誤出力防止回路６０へも送られろ。
ＰＬＯシステムの一実施例を示す要部系統図である。第
１図において、参照符号１０はＰＬＣであり、ＰＬＣＩ
Ｏはディジタル入力部１２、プロセッサ部１４およびデ
ィジタル出力部１６とから構成される。ディジタル入力
部１２は、多数の入力接点４０からの信号を、それぞれ
フォトカプラ２８を介して入力することにより、電気的
に絶縁された状態でプロセンナ部１４へ伝送する。この
ディジタル入力部１２は、外部信号レベルをＰＬＣ内部
の制御演算部１８等の信号レベルに合せるレベルシフト
動作も行う。プロセッサＢＩＮ４は、主としてシーケン
スプログラムに従う逐次演算処理を行う制御演算部１８
と、制御演算の開始を指令するスタート部２０と、制御
演算出力をオフ状態にする停止部２２と、自己診断部２
６とからなる。スタート部２０および自己診断部２６は
、リセットスイッチ２４によって制御演算と自己診断動
作とを再スタートさせることができる。自己診断部２６
の出力信号は、停止部２２へ送られると共にＰＬＣＩＯ
外部の誤出力防止回路６０へも送られろ。
ディジタル出力部１６は、制御演算結果の出力に基づい
て負荷の出力リレー４２やソレノイドバルブ（図示せず
）等を直接駆動できる多数のトランジスタ３０から構成
され、各トランジスタ３０のコレクタは外部の正電源ラ
インＰを接点４６と出力リレー４２とを介して接続し、
エミツタは接地ラインまたは負電源ラインＮへ接続する
。従って、ディジタル出力部１６のトランジスタ３０に
は、外部電源電圧に応じた耐圧を有するものを使用する
。
て負荷の出力リレー４２やソレノイドバルブ（図示せず
）等を直接駆動できる多数のトランジスタ３０から構成
され、各トランジスタ３０のコレクタは外部の正電源ラ
インＰを接点４６と出力リレー４２とを介して接続し、
エミツタは接地ラインまたは負電源ラインＮへ接続する
。従って、ディジタル出力部１６のトランジスタ３０に
は、外部電源電圧に応じた耐圧を有するものを使用する
。
各出力リレー４２には、このＰＬＣシステムの制御対象
である機器や生産設備といった外部装置５０が接続され
、出力リレー４２のオン・オフ動作によって外部装置５
０を制御する。
である機器や生産設備といった外部装置５０が接続され
、出力リレー４２のオン・オフ動作によって外部装置５
０を制御する。
誤出力防止回路６０は、自己診断部２６からの信号を入
力とするＮＯＴ素子６４とタイマ素子６６の直列回路を
一方の入力とし、リセットスイッチ６２からの信号を他
方の入力とするＡＮＤ素子６８と、このＡＮＤ素子６８
の出力をリセット入力とすると共に自己診断部２６から
の信号をセット入力とするＲ−Ｓフリップフロップ７０
とから構成される。そして、誤出力防止回路６０の出力
信号により、接点４４のオン・オフ動作を制御する。
力とするＮＯＴ素子６４とタイマ素子６６の直列回路を
一方の入力とし、リセットスイッチ６２からの信号を他
方の入力とするＡＮＤ素子６８と、このＡＮＤ素子６８
の出力をリセット入力とすると共に自己診断部２６から
の信号をセット入力とするＲ−Ｓフリップフロップ７０
とから構成される。そして、誤出力防止回路６０の出力
信号により、接点４４のオン・オフ動作を制御する。
次に、このように構成されたＰＬＣシステムの誤出力防
止方法について説明する。
止方法について説明する。
まず、ＰＬｃｌｏが稼動中に自己診断部２６によって異
常を検出した場合、自己診１析部２６は停止部２２へ信
号を送出して、制御演算結果の出力を強制的にオフ状態
にするよう安全側へ動作する。また、誤出力防止回路６
０は、自己診断部２６からの人力信号によりＲ−Ｓフリ
ップフロップ７０がセット状態となっているので、これ
に応答した出力で接点４４をオフ状態に制御する。
常を検出した場合、自己診１析部２６は停止部２２へ信
号を送出して、制御演算結果の出力を強制的にオフ状態
にするよう安全側へ動作する。また、誤出力防止回路６
０は、自己診断部２６からの人力信号によりＲ−Ｓフリ
ップフロップ７０がセット状態となっているので、これ
に応答した出力で接点４４をオフ状態に制御する。
異常原因が取り除かれ、異常修復後の再スタートをする
場合には、リセットスイッチ２４によりハードウェアの
リセットが行われ制御演算を開始する。同時に自己診断
部２６も動作を開始するが、自己診断機能のうちウオッ
チドグタイマやり−ドアフクライトチェソクなどはＰＬ
Ｏ稼動後に検出できる機能であるため、これらの機能が
働くまでの間にディジタル制御出力部１６は誤出力を発
生する可能性がある。しかし、誤出力防止回路６０によ
って、再スタートとしても初期稼動一定時間内は接点４
４の強制的なオフ状態を維持するよう動作するため、外
部装置５０に対して誤出力による制御を行うことはない
。すなわち、再スタート時に自己診断部２６から誤出力
防止回路６０への入力信号が変っても、タイマ素子６６
によって一定時間内はＡＮＤ素子６８へ入力される信号
は前の状態を保つので、たとえリセットスイッチ６２が
押されたとしても、ＡＮＤ素子６８の出力は変化せず、
Ｒ−Ｓフリップフロップ７０へのりセント入力は行われ
ないこととなるから、接点４４はオフ状態を保持するこ
とができる。
場合には、リセットスイッチ２４によりハードウェアの
リセットが行われ制御演算を開始する。同時に自己診断
部２６も動作を開始するが、自己診断機能のうちウオッ
チドグタイマやり−ドアフクライトチェソクなどはＰＬ
Ｏ稼動後に検出できる機能であるため、これらの機能が
働くまでの間にディジタル制御出力部１６は誤出力を発
生する可能性がある。しかし、誤出力防止回路６０によ
って、再スタートとしても初期稼動一定時間内は接点４
４の強制的なオフ状態を維持するよう動作するため、外
部装置５０に対して誤出力による制御を行うことはない
。すなわち、再スタート時に自己診断部２６から誤出力
防止回路６０への入力信号が変っても、タイマ素子６６
によって一定時間内はＡＮＤ素子６８へ入力される信号
は前の状態を保つので、たとえリセットスイッチ６２が
押されたとしても、ＡＮＤ素子６８の出力は変化せず、
Ｒ−Ｓフリップフロップ７０へのりセント入力は行われ
ないこととなるから、接点４４はオフ状態を保持するこ
とができる。
ＰＬＯ稼動後一定時間が経過した場合、つまりタイマ素
子６６によって設定された時間の経過後は、Ｒ−Ｓフリ
ップフロップ７０へのＡＮＤ素子６８の出力がリセット
スイッチ６２からの信号に依有することになる。すなわ
ち、Ｒ−Ｓフリップフロップ７０へのりセント入力を可
能な状態とするリセット許可が成立した状態となる。
子６６によって設定された時間の経過後は、Ｒ−Ｓフリ
ップフロップ７０へのＡＮＤ素子６８の出力がリセット
スイッチ６２からの信号に依有することになる。すなわ
ち、Ｒ−Ｓフリップフロップ７０へのりセント入力を可
能な状態とするリセット許可が成立した状態となる。
従って、ＰＬＣシステムの周囲状況を確認し、異常修復
が完全に行われたことが判明してから、誤出力防止回路
６０のリセットスイッチ６２をマニュアルで投入操作す
れば、Ｒ−Ｓフリップフロップ７０へのリセット入力が
行われ、これＧこ応答する出力が接点４４をオフ状態と
し、これによりＰＬＣのディジタル出力部１６からの外
部装置５０への慎作指令等の出力が行われるため、確実
に誤出力を防止できる。なお、ここでタイマ素子６６に
よって設定される一定時間は、ウオッチドグタイマやり
−ドアフタライトチェソク等の自己診断機能が十分動作
可能となる時間に設定すれば良いことは明らかである。
が完全に行われたことが判明してから、誤出力防止回路
６０のリセットスイッチ６２をマニュアルで投入操作す
れば、Ｒ−Ｓフリップフロップ７０へのリセット入力が
行われ、これＧこ応答する出力が接点４４をオフ状態と
し、これによりＰＬＣのディジタル出力部１６からの外
部装置５０への慎作指令等の出力が行われるため、確実
に誤出力を防止できる。なお、ここでタイマ素子６６に
よって設定される一定時間は、ウオッチドグタイマやり
−ドアフタライトチェソク等の自己診断機能が十分動作
可能となる時間に設定すれば良いことは明らかである。
前述した実施例から明らかなように、本発明によれば、
ＰＬＯ等のディジタル制御装置において、異常修復後の
再スタート時に初期稼動の一定時間内はりセットスイッ
チが押されてもディジクル制御出力を強制的にオフ状態
にするよう誤出力防止回路を構成することにより、自己
診断機能の異常検出時間が確保されると共に、たとえ異
常修復が不完全であったとしても、この間に誤出力によ
る外部装置への制御が行われることはない。さらに、初
期稼動の一定時間経過後は、マニュアルによるリセット
スイッチの投入操作によってのみ外部装置への操作指令
等が出力されるよう誤出力防止回路を構成するので、異
常修復が完全に成されたことを確認してからディジタル
制御出力を再開でき、容易にしかも確実に誤出力防止が
達成され、安全性向上に十分寄与する。
ＰＬＯ等のディジタル制御装置において、異常修復後の
再スタート時に初期稼動の一定時間内はりセットスイッ
チが押されてもディジクル制御出力を強制的にオフ状態
にするよう誤出力防止回路を構成することにより、自己
診断機能の異常検出時間が確保されると共に、たとえ異
常修復が不完全であったとしても、この間に誤出力によ
る外部装置への制御が行われることはない。さらに、初
期稼動の一定時間経過後は、マニュアルによるリセット
スイッチの投入操作によってのみ外部装置への操作指令
等が出力されるよう誤出力防止回路を構成するので、異
常修復が完全に成されたことを確認してからディジタル
制御出力を再開でき、容易にしかも確実に誤出力防止が
達成され、安全性向上に十分寄与する。
以上、本発明の好適な実施例について説明したが、本発
明の精神を逸脱しない範囲内において種々の設計変更を
なし得ることは勿論である。
明の精神を逸脱しない範囲内において種々の設計変更を
なし得ることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に係る誤出力防止方法を実施するＰＬＣ
システムの要部系統図である。 １０、、、プログラマプルロジソクコントローラ（ＰＬ
Ｃ） １２、、、ディジタル入力部 １４．、、プロセッサ部
１６、、、ディジタル出力部 １Ｂ、、、制御演算部２
０、、、スタート部 ２２．、、停止部２４、、、
リセットスイッチ ２６．、、自己診断部２８、、、フ
ォトカプラ ３０．、、 ）ランジスタ４０、 、
、入力接点 ４２． 、 、出力リレー４４、
、 、接点 ５０．、、外部装置６０、、
、誤出力防止回路 ６２、 、 、リセットスイッチ ６４．、、ＮＯＴ素
子６６、、、タイマ素子 ６８．、、ＡＮＤ素子７
０、、、Ｒ−Ｓフリップフロップ
システムの要部系統図である。 １０、、、プログラマプルロジソクコントローラ（ＰＬ
Ｃ） １２、、、ディジタル入力部 １４．、、プロセッサ部
１６、、、ディジタル出力部 １Ｂ、、、制御演算部２
０、、、スタート部 ２２．、、停止部２４、、、
リセットスイッチ ２６．、、自己診断部２８、、、フ
ォトカプラ ３０．、、 ）ランジスタ４０、 、
、入力接点 ４２． 、 、出力リレー４４、
、 、接点 ５０．、、外部装置６０、、
、誤出力防止回路 ６２、 、 、リセットスイッチ ６４．、、ＮＯＴ素
子６６、、、タイマ素子 ６８．、、ＡＮＤ素子７
０、、、Ｒ−Ｓフリップフロップ
Claims (1)
- （１）ディジタル入出力部と制御演算部とを備え、入力
されたプログラムに従って制御対象のシーケンス制御を
行うと共に、異常発生時に制御対象への制御出力を強制
的にオフ状態とする自己診断機能を有するディジタル制
御装置において、 自己診断機能により制御出力が強制的にオフ状態となっ
た後に異常修復して再出力動作するに際し、初期稼動の
一定時間内は制御出力を強制的にオフ状態にし、一定時
間経過後はリセットスイッチによるマニュアル投入操作
で制御出力を制御対象へ出力することを特徴とするディ
ジタル制御装置の誤出力防止方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63223621A JP2542684B2 (ja) | 1988-09-08 | 1988-09-08 | ディジタル制御装置の誤出力防止方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63223621A JP2542684B2 (ja) | 1988-09-08 | 1988-09-08 | ディジタル制御装置の誤出力防止方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0272402A true JPH0272402A (ja) | 1990-03-12 |
| JP2542684B2 JP2542684B2 (ja) | 1996-10-09 |
Family
ID=16801076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63223621A Expired - Fee Related JP2542684B2 (ja) | 1988-09-08 | 1988-09-08 | ディジタル制御装置の誤出力防止方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2542684B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006269854A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Tokyo Electron Ltd | 被処理基板の除電方法，基板処理装置，プログラム |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55164902A (en) * | 1979-06-08 | 1980-12-23 | Aisin Seiki Co Ltd | Malfunction preventing method for automatic control unit |
| JPS5958502A (ja) * | 1982-09-28 | 1984-04-04 | Nippon Denso Co Ltd | マイコン制御装置の安全制御方法 |
| JPS611196A (ja) * | 1984-03-30 | 1986-01-07 | ジ−メンス・アクチエンゲゼルシヤフト | プログラム制御形シ−ケンス制御回路を備えた装置用回路装置 |
-
1988
- 1988-09-08 JP JP63223621A patent/JP2542684B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55164902A (en) * | 1979-06-08 | 1980-12-23 | Aisin Seiki Co Ltd | Malfunction preventing method for automatic control unit |
| JPS5958502A (ja) * | 1982-09-28 | 1984-04-04 | Nippon Denso Co Ltd | マイコン制御装置の安全制御方法 |
| JPS611196A (ja) * | 1984-03-30 | 1986-01-07 | ジ−メンス・アクチエンゲゼルシヤフト | プログラム制御形シ−ケンス制御回路を備えた装置用回路装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006269854A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Tokyo Electron Ltd | 被処理基板の除電方法，基板処理装置，プログラム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2542684B2 (ja) | 1996-10-09 |
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