JPH0282564A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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Publication number
JPH0282564A
JPH0282564A JP63235513A JP23551388A JPH0282564A JP H0282564 A JPH0282564 A JP H0282564A JP 63235513 A JP63235513 A JP 63235513A JP 23551388 A JP23551388 A JP 23551388A JP H0282564 A JPH0282564 A JP H0282564A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pellet
pad
pads
back side
circuit
Prior art date
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Pending
Application number
JP63235513A
Other languages
English (en)
Inventor
Jun Koike
純 小池
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP63235513A priority Critical patent/JPH0282564A/ja
Publication of JPH0282564A publication Critical patent/JPH0282564A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/10Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
    • H05K2201/10431Details of mounted components
    • H05K2201/10507Involving several components
    • H05K2201/10515Stacked components

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はICペレットのポンディング方法に関し、特に
ICペレット間を3次元立体的にポンディングする方法
に関する。
〔従来の技術〕
従来、ICペレットはそのシリコン表面に回路を形成す
るか、更に表面上部に立体的に3次元構造で回路を形成
するようになっており、ポンディングはその表面におい
てのみ行なわれる。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述した従来のICペレットではシリコン表面のみで裏
面使用は考慮されていないので、ICペレットをケース
にマウントする際は2次元的に並べ、ポンディングはシ
リコン表面に対してのみ行なわれ、シリコン裏面への使
用はできないという欠点がある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明のICペレットのポンディング方法は、表面に意
味のある回路が形成されたICペレットの裏面に導電性
のパッドを有し、該パッドが表面の回路と電気的に接続
され、該ICペレットの裏に配置された第2のICベレ
、トの表面のパッドと第1のICペレットの裏面のパッ
ドとをバンプにより電気的に接続する手段を有している
したがって、ICペレットの裏面を有効利用し、表面の
回路の電位を裏面のパッドに出せるようにした為に、I
Cペレット間を立体構造で直接ポンディングしてゆける
〔実施例〕
本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の第1の実施例の概略図である。
■は、第1のICペレット表面を表わし、2は、第1.
第2のICペレット表面のパッド。3は、第1のICペ
レット裏面を表わす、4は、第2のICペレット表面の
パッド2の上に置くバンプ。
5は第2のICペレットの表面を表わす。6は、第1の
ICペレット裏面のパッド。7は、第1のICペレット
の表面のパッド2と裏面のパッド6とを電気的につなぐ
導体。
第1図に於て、キーポイントは、第1のICペレ、トの
裏面に形成されたパッドと、表面に形成されているパッ
ド2とを電気的に結ぶ導体7の形成についてである。7
の導体は、まず表裏のパッド間にレーザでICペレット
を貫通する穴を開け、ハンダをその穴に溶融させ流し込
み形成することが考えられる。ハンダでなくとも金、銀
、銅が考えられる0次に第2のICペレット上のパッド
の上にバンプ4を置いて第1のICペレットを第2のI
Cペレットの上にかぶせるように置く。パッド6のレイ
アウト位置に対し、第2のICペレット表面のパッド2
のレイアウト位置が考慮され、ペレット同志を合わせた
時にこれらのパッド間がバンプ4によって電気的につな
がれば、第1のICと第2のICとは電気的にバ、ド間
で結ばれ、ポンディングが行なわれたことになる。
第2図は、本発明の第2の実施例の概略図である。
第1の実施例との差異は7の2と6のパッド間をつなぐ
導体を、ペレットのシリコン内部に置くのでなく、図の
ように外部を廻すように配置する点にある。7の導体材
料はハンダ等が考えられる。
他は全て第1の実施例と同様なので説明は省略する。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、表面に意味のある回路が
形成されたICペレットの裏面に導電性のパッドを有し
、該パッドが表面の回路と電気的に接続され、該ICペ
レットの裏に配置された第2のICペレットの表面のパ
ッドと第1のICペレットの裏面のパッドとをバンプに
より電気的に接続することにより、第1のICと第2の
ICを電気的にパッド間で結ぶことができる。このこと
により、異なる機能を有するICペレットを何段にも積
み重ねて、立体構造のICとすることができ、よりコン
パクトで空間あたりの実装密度を飛躍的に高める効果が
ある。
面のパッド、7・・・・・・2と6のパッド間をつなぐ
導体。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 表面に意味のある回路が形成されたICペレットの裏面
    に導電性のパッドを有し、該パッドが表面の回路と電気
    的に接続され、該ICペレットの裏に配置された第2の
    ICペレットの表面のパッドと第1のICペレットの裏
    面のパッドとをバンプにより電気的に接続したことを特
    徴とする半導体装置。
JP63235513A 1988-09-19 1988-09-19 半導体装置 Pending JPH0282564A (ja)

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