JPH0321708U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0321708U JPH0321708U JP8261589U JP8261589U JPH0321708U JP H0321708 U JPH0321708 U JP H0321708U JP 8261589 U JP8261589 U JP 8261589U JP 8261589 U JP8261589 U JP 8261589U JP H0321708 U JPH0321708 U JP H0321708U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- code plate
- rotary
- angle
- electron beam
- rotates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Description
第１図は本考案に係る角度測定装置を示す構成
図、第２図および第３図は第１図装置の動作を説
明するための図である。 １……電子ビーム光学系、２……ロータリース
テツパ、３……回転テーブル、４……回転コード
板、５……二次電子、６……二次電子検出器、１
１……電子ビーム、４１……スリツト。
図、第２図および第３図は第１図装置の動作を説
明するための図である。 １……電子ビーム光学系、２……ロータリース
テツパ、３……回転テーブル、４……回転コード
板、５……二次電子、６……二次電子検出器、１
１……電子ビーム、４１……スリツト。
Claims (1)
- 回転コード板のスリツト角度を測定する角度測
定装置において、回転コード板を一定の角度で回
転させるロータリーステツパと、前記回転コード
板に電子ビームを走査して照射する電子ビーム光
学系と、前記回転コード板から発生する二次電子
を検出する二次電子検出器とを備え、ロータリー
ステツパが回転コード板をスリツトのピツチに対
応する間隔でステツプ状に回転し各位置において
二次電子検出器から出力される信号に基づいてス
リツト角度を測定するように構成したことを特徴
とする角度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8261589U JPH0612488Y2 (ja) | 1989-07-13 | 1989-07-13 | 角度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8261589U JPH0612488Y2 (ja) | 1989-07-13 | 1989-07-13 | 角度測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0321708U true JPH0321708U (ja) | 1991-03-05 |
| JPH0612488Y2 JPH0612488Y2 (ja) | 1994-03-30 |
Family
ID=31629591
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8261589U Expired - Lifetime JPH0612488Y2 (ja) | 1989-07-13 | 1989-07-13 | 角度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0612488Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-07-13 JP JP8261589U patent/JPH0612488Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0612488Y2 (ja) | 1994-03-30 |
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