JPS6430355U - - Google Patents

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JPS6430355U
JPS6430355U JP12499387U JP12499387U JPS6430355U JP S6430355 U JPS6430355 U JP S6430355U JP 12499387 U JP12499387 U JP 12499387U JP 12499387 U JP12499387 U JP 12499387U JP S6430355 U JPS6430355 U JP S6430355U
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JP
Japan
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heating source
rotating
holder
horizontally
evaporation apparatus
Prior art date
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Pending
Application number
JP12499387U
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Publication date
Application filed filed Critical
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  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図、第２図はこの考案の一実施例による真
空蒸着装置を示す部分断面図であり、加熱源に対
して各々異なる位置での状態を示す。第３図はこ
の考案の一実施例における被蒸着物の蒸着膜厚を
示す分布図である。第４図は従来の真空蒸着装置
を示す断面図、第５図は従来の真空蒸着装置で真
空蒸着された被蒸着物の蒸着膜厚を示す分布図で
ある。 図において３は加熱源、４は蒸発物、７は被蒸
着物、８は固定板、９はホルダ本体、１６は遊星
歯車、１７は内歯大歯車、１８，２０は回転軸、
１９は軸受板である。なお各図中同一符号は同一
または相当部分を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 蒸着物の加熱源と、この加熱源の上部で直上部
    と異なる位置に配置され被蒸着物を保持しながら
    水平に回転するホルダーと、このホルダーの回転
    軸を保持し別の回転軸により水平に回転する軸受
    板とを真空チヤンバー内に設けたことを特徴とす
    る真空蒸着装置。
JP12499387U 1987-08-17 1987-08-17 Pending JPS6430355U (ja)

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JP12499387U JPS6430355U (ja) 1987-08-17 1987-08-17

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JP12499387U JPS6430355U (ja) 1987-08-17 1987-08-17

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JPS6430355U true JPS6430355U (ja) 1989-02-23

Family

ID=31375203

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JP12499387U Pending JPS6430355U (ja) 1987-08-17 1987-08-17

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JP (1) JPS6430355U (ja)

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