JPH0257955U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0257955U JPH0257955U JP13623388U JP13623388U JPH0257955U JP H0257955 U JPH0257955 U JP H0257955U JP 13623388 U JP13623388 U JP 13623388U JP 13623388 U JP13623388 U JP 13623388U JP H0257955 U JPH0257955 U JP H0257955U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum container
- drive shaft
- workpiece
- crucible
- ion plating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 4
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 claims description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図および第２図は本考案の一実施例を示す
もので、第１図は本実施例のイオンプレーテイン
グ装置の概略構成を示す正断面図、第２図は第１
図の―線矢視図である。第３図は従来のイオ
ンプレーテイング装置の概略構成を示す図である
。 １……真空容器、２……ルツボ、３……蒸発材
料、４……ワーク支持機構、５……ワーク、６…
…取付板、７……駆動軸、８……ワーク取付具、
１０……モータ（回転駆動源）。
もので、第１図は本実施例のイオンプレーテイン
グ装置の概略構成を示す正断面図、第２図は第１
図の―線矢視図である。第３図は従来のイオ
ンプレーテイング装置の概略構成を示す図である
。 １……真空容器、２……ルツボ、３……蒸発材
料、４……ワーク支持機構、５……ワーク、６…
…取付板、７……駆動軸、８……ワーク取付具、
１０……モータ（回転駆動源）。
Claims (1)
- 真空容器の内部において蒸発材料を蒸発させて
その蒸気を正イオン化するとともに、ワークに負
の電圧を印加することにより、正イオン化した蒸
気をワークの表面に付着させて薄膜を形成するイ
オンプレーテイング装置において、真空容器内の
底部に蒸発材料を蒸発させるためのルツボを配置
するとともに、その真空容器の上部に、多数のワ
ークを複数の群に分けて支持して前記ルツボの上
方に配置する複数台のワーク支持機構を対向させ
て設け、前記各ワーク支持機構は、それぞれ前記
真空容器の側壁面を貫通してその先端部が真空容
器内に挿入された駆動軸と、その駆動源を回転さ
せるための回転駆動源と、前記駆動軸の先端部周
囲に設けられて、駆動軸が回転したときにその駆
動軸を中心として公転するとともにそれら自身の
軸線を中心としてそれぞれが自転するようにされ
た複数のワーク取付具とから構成されてなること
を特徴とするイオンプレーテイング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13623388U JPH0257955U (ja) | 1988-10-19 | 1988-10-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13623388U JPH0257955U (ja) | 1988-10-19 | 1988-10-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0257955U true JPH0257955U (ja) | 1990-04-26 |
Family
ID=31396550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13623388U Pending JPH0257955U (ja) | 1988-10-19 | 1988-10-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0257955U (ja) |
-
1988
- 1988-10-19 JP JP13623388U patent/JPH0257955U/ja active Pending
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