JPH032496Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は、ウエハなどの移動装置である。

ウエハは気相生長装置で処理されるが、ロード
側のウエハを気相生長装置に搬送したり、又逆に
処理済のウエハを気相生長装置からアンロード側
に搬送する移動装置は、スペースをとらない小型
のものが要求される。

従来、この種の移動装置として、パンタグラフ
にウエハチヤツクを固定し、このウエハチヤツク
でウエハを保持し、パンタグラフの開閉によりウ
エハを拡散炉に搬送するものがある。

しかし、この装置は複数個あるねじ部が、パン
タグラフの支持部となるので不安定である。従つ
て、位置決めが悪くウエハを所定の位置に正確に
移動することが困難である。

この考案の目的は、位置決めが正確でかつ、ス
ペースをとらないウエハなどの移動装置を提供す
ることである。

以下、本考案の実施例を添附図面により説明す
る。

図において１は図示しない装置本体に固定した
長方形のアウトサイドガイド１で、このアウトサ
イドガイド１には、角度θで傾斜するローラガイ
ド溝２と、ガイド１の両辺に、その長手方向に沿
つて形成した複数のインサイドガイド用ローラ３
が設けられている。

４は、長方形のインサイドガイドで、このイン
サイドガイド４には、その長手方向に沿つて両辺
に形成したレール５と、そのレール５と平行で、
かつ該レール５より短かく形成したスライダ支持
用レール６と、インサイドガイド４の前部に形成
したトグルアーム支持用穴７と、図示しないピニ
オンと噛み合うラツク（図示せず）が設けられて
いる。

８はスライダで、インサイドガイド４のレール
６とスライダ８のローラ９により支持され、その
前部にトグルアーム支持用穴１０が設けられてい
る。１１は伸縮装置でリンク結合した２本のアー
ム１２，１３は、その一端をピン１４で回動可能
に軸着され、アーム１２の他端は、トグルアーム
支持用穴７を貫通する連結軸１５の一端に固定す
ると共に、該連結軸１５の他端に連結アーム１６
の後端を接続し更に、該アーム１６の先端に、連
結棒１７を介して、ローラガイド溝２に嵌合した
ローラ１８を接続する。又、アーム１３の他端
は、トグルアーム支持用穴１０に螺合せしめたね
じ１９により回動自在にスライダ８に取り付けら
れている。

次に本実施例の作動について説明すると、イン
サイドガイド４のラツク（図示せず）をピニオン
（図示せず）で駆動すると、インサイドガイド４
は、矢印Ａ４方向に移動し、同時にローラ１８
は、ローラガイド溝２に沿つて移動する。

このローラガイド溝２は、角度θで傾斜してい
るので、ローラ１８は、斜上方から斜下方に向つ
て直線状に移動するが、その力は連結棒１７、連
結アーム１６を介して連結軸１５に回転運動を与
える。連結軸１５が回転すると、軸１５に固定さ
れているアーム１２は、時計方向に回転し、同時
にピン１４で軸着されているアーム１３を時計と
反対方向に回転せしめる。アーム１３が回転する
と、その回転力はネジ１９を介してスライダ８に
伝わり、スライダ８を矢印Ａ４方向に直線移動せ
しめる。

この様にスライダ８は、トグル動作により第３
図８Ａの状態から第１図８の状態に移行し、更に
ローラ１８を、矢印Ａ４方向に移動させ、ローラ
ガイド溝２の下端に位置せしめると、アーム１２
Ｂ，１３Ｂは一直線となりスライダを最大限に平
行移動させ、スライダを第３図８Ｂの状態にせし
めるが、この時、スライダ８は、距離ｌだけ移動
したことになる。

この状態でスライダ８に固定したウエハチヤツ
クのウエハ（図示せず）を拡散炉（図示せず）に
供給し、その後前記と逆の操作によりスライダ８
を元の位置８Ａに戻す。

本考案は、アウトサイドガイドと、このアウト
サイドガイドの長手方向に移動可能な如く設けら
れたインサイドガイドと、このインサイドガイド
の長手方向に移動可能な如く設けられたスライダ
と、このスライダおよび上記インサイドガイドを
連結する如く設けられたトグル機構と、上記イン
サイドガイドを移動させることにより上記トグル
機構を介して上記スライダに設けられるウエハを
移動させる機構とを具備したので、装置を小型に
することができ、スペースを稼ぐことができる。
又スライダは、インサイドガイドに沿つて移動す
るので、予め定めた位置に正確にウエハなどを移
動でき、位置決めが良い。

更に、インサイドガイドおよびスライダを可動
にしたのでスライダの移動距離を大きくすること
ができる。

なお、本実施例では、ウエハの搬送に限つて説
明したが、本考案は、ウエハ以外の搬送にも用い
ることができるのは勿論である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の実施例を示す平面図、第２
図は第１図の−線断面図、第３図はスライダ
の移動状態を示す図である。 １……アウトサイドガイド、２……ローラガイ
ド溝、４……インサイドガイド、８……スライ
ダ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ アウトサイドガイドと、このアウトサイドガ
   イドの長手方向に移動可能な如く設けられたイ
   ンサイドガイドと、このインサイドガイドの長
   手方向に移動可能な如く設けられたスライダ
   と、このスライダおよび上記インサイドガイド
   を連結する如く設けられたトグル機構と、この
   トグル機構の一端が上記アウトサイドガイドに
   設けられた上記スライダの移動方向に下り傾斜
   している溝に沿つて移動する機構と、上記イン
   サイドガイドを移動させることにより上記ドグ
   ル機構を介して上記スライダに設けられるウエ
   ハを移動させる機構とを具備してなることを特
   徴とするウエハ移動装置。 ２ トグル機構の一端はアウトサイドガイドに設
   けられた溝に沿つて移動する機構である実用新
   案登録請求の範囲第１項記載のウエハ移動装
   置。 ３ アウトサイドガイドに設けられる溝はスライ
   ダの最長移動方向に下り傾斜して設けられたも
   のであることを特徴とする実用新案登録請求の
   範囲第２項記載のウエハ移動装置。