JPH03285871A - 粒界絶縁型半導体磁器組成物及びその製造方法 - Google Patents

粒界絶縁型半導体磁器組成物及びその製造方法

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JPH03285871A
JPH03285871A JP2085250A JP8525090A JPH03285871A JP H03285871 A JPH03285871 A JP H03285871A JP 2085250 A JP2085250 A JP 2085250A JP 8525090 A JP8525090 A JP 8525090A JP H03285871 A JPH03285871 A JP H03285871A
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semiconductor porcelain
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dielectric constant
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Yasushi Takada
高田 靖
Toshiaki Murakami
俊昭 村上
Junichi Yamagishi
淳一 山岸
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Taiyo Yuden Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 E産業上の利用分野〕 本発明は、磁器コンデンサ等に用いるための粒界絶縁型
半導体磁器組成物に関する。
[従来の技術] 従来、小型で容量の大きいコンデンサとして、粒界絶縁
型半導体磁器コンデンサが知られている。
粒界絶縁型半導体磁器コンデンサは、結晶粒界を絶縁化
することにより実効誘電率を大きくしたものである。
粒界絶縁型半導体磁器コンデンサに用いられる磁器組成
物としては、主成分に、チタン酸ストロンチウムまたは
チタン酸バリウムを用い、原子価制御用助剤として、N
bz 03 、Y203− py203等を添加し、さ
らに、焼結助剤として、MnO2、Bi2O5、CuO
、Sin□等が用いられる。
例えば、特開昭56−54026には、(Sr1−、B
a、>Tie、(x=0.30〜0.50)を主体とし
、その他にチタン酸塩、ジルコン酸塩を含んだ主成分に
対してLa、Yなどの希土類元素、Nb、Ta、Wなど
のような半導体化剤とMnを含有し、結晶粒界がMn、
Bi、Cu、Pb、BおよびSiのうちの少なくとも1
種(ただし、B、Bfのいづれか1種のみは除く)によ
り絶縁体化されてなる最大粒径が100μm以上の粒界
絶縁型半導体磁器組成物である。
近年、磁器コンデンサの小型化の要求に伴い、粒界絶縁
型半導体磁器コンデンサにおいても、より小型化、薄形
化の要求が高まっている。
[発明が解決しようとする課題] 従来の粒界絶縁型半導体磁器では、見掛は誘電率を大き
くする必要から粒径を比較的大きくしていた。しかしな
がら、近年の要求に従い、磁器組成物の層を薄くした場
合には、厚み当りの結晶粒子の数が少なくなってしまう
。そのため、単位厚さ当りの絶縁破壊電圧が小さくなり
、その結果、誘電率と絶縁破壊電圧との積が小さくなっ
てしまっていた。その結果、粒界絶縁型半導体磁器コン
デンサの薄型化、小型化が困難であった。
本発明は、最大粒径を50〜80μmに制御可能であり
、かつ、厚み当りの誘電率と絶縁破壊電圧との積が大き
い粒界絶縁型半導体磁器組成物およびその製造方法を提
供することを目的とする。
[課題を解決するための手段] 本発明は、上記目的を達成するために、以下の組成の粒
界絶縁型半導体磁器組成物を提供する。
すなわち、一般式(S rl−x Mo * M、” 
、 )(T l 1−II M2x ) s 03 +
 mM’ + nM’ (但、MOは、Ca、Ba等の
アルカリ土類金属元素のうちの少なくとも1種類、Ml
は、Nb、Ta、W、及び希土類元素のうち少なくとも
1種類、M2は、ZrまたはSn、M’は、Mn、Al
、及びSiのうち少なくとも1種類、M4は、Ge、F
eの一方又は両方〉て表され、x、y、z、N、m、n
がそれぞれ、0.0001≦x≦0.05.0.001
≦y≦0.03.0.0.0005≦z≦0.05.0
.990≦1≦1.010.0.0001≦m≦0.0
1,0.001≦n≦0.03の範囲にある半導体磁器
の結晶粒界が、Cu、Bi、Pb、B、及びSiのうち
少なくとも1種を含む化合物により絶縁された粒界絶縁
型半導体磁器組成物である。
また、一般式(S r I−x M’ * M’  )
  (T 11−s  M  2    )  1  
0 、  +mM  3  +nM’   <i旦 、
 M Oは、Ca、Ba等のアルカリ土類金属元素のう
ちの少なくとも1種類、Mlは、Nb、Ta、W、及び
希土類元素のうち少なくとも1種類、M2は、Zrまた
はSn、M3は、Mn・、Al、及びSiのうち少なく
とも1種類、M4は、Ge、Feの一方又は両方)で表
され、X、y、Z、!J、m、nがそれぞれ、0.00
01≦x≦0.05.0001≦y≦0.03.0.0
.0005≦z≦0゜05、O、’ 990≦1≦1.
010.0.0001≦m≦0.01.0.001≦n
≦0.03の範囲になるように配合した後、焼成するこ
とによって半導体磁器を得る工程と、前記工程によって
得られた半導体磁器の結晶粒界をCu、Bi、Pb、B
、及びSiのうち少なくとも1種を含む化合物を用いて
絶縁化する工程とを有する粒界絶縁型半導体磁器組成物
の製造方法である。
以下、本発明の数値範囲の限定理由について説明する。
本発明のXの範囲は、0.0001≦x≦0゜05であ
る。すなわち、0.0001未満では、原材料の精製が
困難であり実用上問題がある。また、0.05よりも大
きいと、見掛は誘電率が低下してしまい、本発明の目的
を達成することができない。
一般式中Mlとして用いられるNb、Ta、W、及び希
土類元素のうち少なくとも1種類の含有範囲を示すyの
範囲は、0.001≦y≦0.03である。0.001
未満であっても、0.03よりも大きくても、見掛は誘
電率が低下してしまし)、本発明の目的を達成すること
ができない。
−数式中M2として用いられるZrまたはSnの含有範
囲を示す2の範囲は、0.0.0005≦z≦0.05
である。0.0005未満では、誘電率を大きくするこ
とが困難であり、本発明の目的を達成することができな
い。また、0.05よりも大きくすると、誘電率が低下
してしまい、本発明の目的を達成することができない。
−数式中の1の範囲は、0.990≦ρ≦1゜010で
ある。0.990未満では、粒径80μmよりも大きい
結晶粒子が生じてしまう。また、1.010よりも大き
くなると、結晶粒子の平均粒径が50μm以下になって
しまい、十分な見掛は誘電率を得ることができなくなり
、本発明の目的を達成することができない。
一般式中M3として用いられるMn、Al、及びSiの
うち少なくとも1種類の含有範囲を示すmの範囲は、0
.0001≦m≦0.01である。
0.0001未満では、見掛は誘電率が低下してしまい
、本発明の目的を達成することができない。
また、0.01よりも大きいと、見掛は誘電率が低下し
てしまい、また、誘電体損失も悪くなり、本発明の目的
を達成することができない。
−数式中M4として用いられるGe、Feの一方又は両
方を含有させることにより、結晶粒子の制御が可能にな
る。その範囲を示すnの範囲は、0.001≦n≦0.
03である。0.001未満では、80μmよりも大き
い結晶粒子が生じ、絶縁破壊電圧が低くなる。また、0
.03よりも大きいと、80μmよりも大きい結晶粒子
が生じ、また絶縁抵抗も低くなり、本発明の目的を達成
することができない。
なお、本発明の一般式中、m及びnは、酸化物の形で含
まれる場合には、例えば−数式xa obとして示され
るものをX Ob/aの形に直したときのXの元素の量
で表される。
また、本発明に用いられている数値は、すべてモル(m
ol)で示した値である。
[実施例] 以下、実施例により本発明を具体的に説明する。
まず、第1表の試料番号1の調製方法とその電気的特性
について説明する。
SrCO3、BaCO3、zr○2、Tio□、Y2O
1、MnO2、GeO2の化合物を第1表の試料番号1
に示す組成比になるように配合し、1150℃で2時間
仮焼を行った。
これを粉砕し、アクリル系バインダを10wt%加え、
攪拌した後、50メツシユのふるいで造粒し、成形圧力
1 ton/cm2、直径12.5mm、肉厚0.3m
mの円板に成形した。
得られた円板状成形体を、窒素98vo1%、水素2V
OI%からなる還元雰囲気にて1400℃で3時間焼成
し、半導体磁器を得た。
得られた半導体磁器の表面に金属酸化物ペースト、具体
的には、Bi、Olを40 w t%、Pb、o4を4
6wt%、B20.を7 w t%、CuOを6 w 
t%、5in2を1wt%および樹脂を溶剤に添加した
ペーストを塗布し、1150℃で2時間熱拡散させ、結
晶粒界を絶縁化した。
さらに、この粒界絶縁型半導体磁器の表面に銀ペースト
を印刷することによって塗布し、800℃で1時間焼き
付けることによってコンデンサを作成した。
(以下余白) 得られたコンデンサの電気的特性を測定したところ、第
2表の試料番号1に示す結果を得ることができた。
試料番号2以降の組成物についても、同様の条件にてコ
ンデンサを作成し、同様の条件にて電気的特性を測定し
た。
表中、見掛は誘電率(ε)、誘電体損失(tanδ)は
、温度25℃にて周波数1kHz、電圧IVγlll5
て測定した値であり、絶縁抵抗(IR>は、温度25℃
にて25Vの直流電圧を印加した15秒後の値であり、
温度特性(TC)は、温度20℃を基準とし、−25℃
〜85℃の温度範囲における最大容量変化率の値であり
、表中、上段は、最大容量増加率を示し、下段は、最大
容量減少率を示す。また、誘電率と絶縁破壊電圧との積
(εXBDV)は、1mm当りの誘電率と絶縁破壊電圧
との積を示す。
なお、表中、試料番号の右上に示される*は、本発明の
範囲外の試料、すなわち、比較例であることを示す。
第1表 第2表 本実施例の試料番号1〜4.7〜9.12−14.17
〜19.22〜24、及び27〜29に示されるように
、本発明によれば、最大粒径が50〜80μmであり、
絶縁抵抗が1500 MΩ以上であり、かつ、誘電率と
絶縁破壊電圧との積が7.0XIO’以上の粒界絶縁型
半導体磁器組成物を得ることができる。
一方、本発明の範囲外の試料番号5.6.10.11.
15.16.20.21.25.26.30においては
、本発明の目的を達成することができない。
なお、本発明者らは、表中に示される実施例の組成に限
られず、特許請求の範囲に記載された組成範囲であれば
、本発明の範囲内の他の物質であっても本発明の効果を
得ることができることがわかっている。
[効果] 本発明によれば、最大粒径を50〜80μmに制御可能
であり、かつ、厚み当りの誘電率と絶縁破壊電圧との積
が大きい粒界絶縁型半導体磁器組成物およびその製造方
法を提供することができる。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)一般式(Sr_1_−_xM^0M^1_y)(
    Ti_1_−_zM^2_z)_lO_3+mM^3+
    nM^4(但、M^0は、Ca、Ba等のアルカリ土類
    金属元素のうちの少なくとも1種類、M^1は、Nb、
    Ta、W、及び希土類元素のうち少なくとも1種類、M
    ^2は、ZrまたはSn、M^3は、Mn、Al、及び
    Siのうち少なくとも1種類、M^4は、Ge、Feの
    一方又は両方)で表され、 x、y、z、l、m、nがそれぞれ 0.0001≦x≦0.05 0.001≦y≦0.03 0.0005≦z≦0.05 0.990≦l≦1.010 0.0001≦m≦0.01 0.001≦n≦0.03 の範囲にある半導体磁器の結晶粒界が、Cu、Bi、P
    b、B、及びSiのうち少なくとも1種を含む化合物に
    より絶縁された粒界絶縁型半導体磁器組成物。 (2)一般式(Sr_1_−_xM^0_xM^1_y
    )(Ti_1_−_zM^2_z)_lO_3+mM^
    3+nM^4(但、M^0は、Ca、Ba等のアルカリ
    土類金属元素のうちの少なくとも1種類、M^1は、N
    b、Ta、W、及び希土類元素のうち少なくとも1種類
    、M^2は、ZrまたはSn、M^3は、Mn、Al、
    及びSiのうち少なくとも1種類、M^4は、Ge、F
    eの一方又は両方)で表され、 x、y、z、l、m、nがそれぞれ 0.0001≦x≦0.05 0.001≦y≦0.030 0.0005≦z≦0.05 0.990≦l≦1.010 0.0001≦m≦0.01 0.001≦n≦0.03 の範囲になるように配合した後、焼成することによって
    半導体磁器を得る工程と、 前記工程によって得られた半導体磁器の結晶粒界をCu
    、Bi、Pb、B、及びSiのうち少なくとも1種を含
    む化合物を用いて絶縁化する工程とを有する粒界絶縁型
    半導体磁器組成物の製造方法。
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