JPH037143B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、ICリードフレームに対して金、銀
等の貴金属を部分メツキするのに用いる噴射メツ
キ装置に関する。

従来のこの種の噴射メツキ装置としては、例え
ば第１図及び第２図に示すようなものがある。図
中１が「スパージヤー」と称されるメツキボツク
スで、マスク体となる上蓋兼用のマスク板２を備
えている。そして該マスク板２にメツキ対象物で
あるICリードフレーム３を押圧板４の進退動を
利用して当接させ、マスク板２に設けたメツキ液
噴射開口５目掛けてメツキ液Ａを図中矢示方向で
ノズル６より噴射し、メツキ液噴射開口５に露呈
しているICリードフレーム３の半導体素子マウ
ント用のアイランド部７と、これに近接するリー
ドピン部分８の先端部分で、メツキ液噴射開口５
によつて最外周縁を区画されたメツキ対象部８
ａにメツキ液Ａを施すようになつている。尚、図
中９はアイランド部支持用の支持ピンである。
又、ノズル６にはアノード１０が設けてあり、
ICリードフレーム３は噴射メツキに際してカソ
ード化自在とされている。

ところで、近時このような従来の噴射メツキ装
置にあつては、金、銀等の貴金属の価格が高騰し
ていること、又貴金属類の省資源を計ることから
必要最小限の部位にのみメツキを施すようにした
いとの要望があり、特にメツキ対象物としての
ICリードフレームのサイズが大きくなり、それ
につれてメツキ対象部の面積も大きくなれば、こ
の要望は強いものとなる。

そこで、ICリードフレーム３へ半導体素子を
ボンデイングするにはリードピン部分８の先端部
にあるメツキ対象部８ａにのみメツキを施せば本
来的には足りること、及び従来アイランド部７に
貴金属メツキを施し、例えば金一シリコン共晶を
形成させDIEボンドさせていたが、アイランド部
７にはメツキを施さずとも導電性を有する接着材
にて代替し得ること、の２点に着目して案出され
たものが、第３図に示すような、マスク体となる
上蓋兼用のマスク板２ヘアイランド部７に対応す
るアイランドマスク部１１を一体的に設けたもの
である（例えば実開昭57−48265）。この従来技術
によれば、アイランド部７へのメツキ液Ａ付着を
防げるので、貴金属の節約要求に対しては一応の
効果を挙げ得るものの、一般にICリードフレー
ム３の形状が一定でなく、極めて多種類存在し、
アイランド部７の大きさが夫々異なる場合が多い
ためすべての形状に相応させてアイランドマスク
部１１を形成した多数のマスク板２を用意しなけ
ればならないことや、マスク板２への開孔処理に
際して、ICリードフレーム３の形状に応じてア
イランドマスク部１１の支持部１２の形状を種々
選択決定しなければならず（例えば断面図を三角
形、菱形、半円形等々）面倒な加工を要求される
こともある等の問題点があつた。

更には、近時アイランド部７とリードピン部分
８とが同一平面上に無いものがあり（具体的には
マスク板２へICリードフレーム３を載置した際
アイランド部７が押圧板４側へ若干出張るもので
ある）。従来の例ではアイランド部７をマスクす
ることは出来ない、という問題点も生じていた。

本発明は上述の如き種々の問題に着目してなさ
れたもので、メツキ液噴射開口を備えた第１マス
ク体に加えて、メツキ液を噴射するノズルの先端
に、ICリードフレームのアイランド部に対応す
る第２マスク体を交換自在に備えるようにした噴
射メツキ装置を提供することにより、上記従来の
問題点を解決せんとするものである。

以下、本発明の詳細を図面に基づいて説明す
る。尚、以下の説明に於いては、従来と共通の部
分には共通の符号を付して重複する説明は省略す
る。

第４図及び第５図は、本発明の一実施例を示す
図である。まず構成を説明すると、２０がノズル
で、その先端２１には、第１マスク体であるマス
ク板２に設けられたメツキ液噴射開口５内にて
ICリードフレーム３のアイランド部７へ当接せ
しめる第２マスク体２２を備えてマスク板２と組
合せてある。

この第２マスク体２２は、先端にアイランド部
７への密着性を高めるためのシール材２３が設け
られており、ICリードフレーム３のアイランド
部７に対応する形状を有している。更にこのマス
ク体２２は、ノズル２０内を挿通させた支持部材
２４にノズル２０の先端２１近辺に取付けられて
おり、具体的には図示の如くその胴部２５の下端
に凹部２６を設けて『支持部』としての支持部材
２４の先端へ差込嵌合させることにより、交換自
在に取付けられている。

また、このような取付け構造によると、凹部２
６の底に適宜のスペーサーを介在させることによ
り第２マスク体２２の高さ位置を簡単に調整でき
る。

支持部材２４は、メツキボツクス１内へ架設さ
れたダンパ部材２７へ固設されており、ノズル２
０内を貫通している。またノズル２０は、ダンパ
部材２７と同様にメツキボツクス１内へ架設され
たベース板２８へ固定されており、又アノード化
自在とされている。

尚、図示の例では第２マスク体２２の胴部２５
がテーパ形状となつているが、ノズル２０からの
メツキ液Ａの噴射を妨げる形状でなければ良く、
図示の形状に限定されることはない。

次に作用を説明する。

ノズル２０の先端２１より噴射されたメツキ液
Ａは、第２マスク体２２の胴部２５に沿つて上昇
し、マスク板２のメツキ液噴射開口５内に於いて
マスク板２と第２マスク体２２とに覆われずに露
出しているICリードフレーム３のメツキ対象部
８ａのみに触れてそこに貴金属メツキを施す。即
ち、メツキ対象部８ａがメツキ液噴射開口５によ
つてその最外周縁ｆを区画され、且つ第２マスク
体２２によつて内側のアイランド部７からも区画
された状態であるので、メツキ液Ａはメツキ対象
部８ａ以外の個所へ触れることはない。そしてメ
ツキ対象部８ａに衝突した後メツキ液Ａはメツキ
ボツクス１内へ迅速に回収される。

第６図及び第７図は他の実施例を示す図であ
る。

この実施例に於けるノズル３０は、先端面３１
の周辺部分に複数のノズル孔３２が設けられ且つ
中心部分に『支持部』としてネジ孔３３が設けら
れている。そして第２マスク体２２の胴部２５下
端には上記ネジ孔３３へ噛合させる『螺合部』と
してのネジ３４が設けてあり、図示の如くノズル
３０は交換自在に取付けられている。

この場合には、ねじ込み量を調整することによ
り第２マスク体２２の高さ位置を自由に調整でき
る。

尚、その他の構成及び作用については先の実施
例と同様につき重複する説明は省略する。

第８図及び第９図は、上記した２つの実施例の
変形例を示す図である。

この変形例に於けるノズル４０は、先端４１よ
り若干下方位置に『支持部』としての支持部材４
２が固設されている。そして第２マスク体２２の
胴部２５下端には、支持部材４２の形状に相応さ
せた形状の凹部４３が設けたれ、第２マスク体２
２はこの凹部４３を支持部材４２へ差込嵌合させ
ることにより、交換自在に取付けられている。

またマスク板２はノズル４０のシール部材を兼
用するものとされており、その下面２ａ側にノズ
ル４０の先端４１が密着性を高めるためのシール
部材４４を介して当接せしめられており、ノズル
４０から噴射された後のメツキ液Ａがメツキボツ
クス１内へ洩れないようになつている。

４５は吸引管で、図示せぬ吸引源に接続される
と共にマスク板２の上方に位置決めされその開口
４６はマスク板２のメツキ液噴射開口５に臨ませ
られている。また、この吸引管４５の開口４６に
はICリードフレーム３のアイランド部７を上方
からマスクする略角錐形状の補助マスク体４７が
支持部材４８により備えられており、メツキ対象
部８ａへ貴金属メツキを施した後のメツキ液Ａが
全てこの吸引管４５によつて吸引され、メツキ対
象部８ａ以外には触れないようになつている。

尚、その他の構成については従来と同様につき
重複する説明は省略する。

次にこの変形例の作用を説明する。

ノズル４０より噴射されたメツキ液Ａは、第２
マスク体２２の胴部２５に沿つて上昇し、マスク
板２のメツキ液噴射開口５内にマスク板２と第２
マスク体２２とによつて覆われずに露出している
ICリードフレーム３のメツキ対象部８ａのみに
触れてそこに貴金属メツキを施す。次いで、メツ
キ対象部８ａに衝突した後のメツキ液Ａは、図示
せぬ吸引源によつて補助マスク体４７に沿つて吸
引管４５内へと吸引される即ち、メツキ液Ａはメ
ツキボツクス１→ノズル４０→メツキ対象部８ａ
→吸引管４５という「一方通行」の経路を辿り、
ICリードフレーム３へのメツキ対象部８ａに触
れてそこに貴金属メツキを施し、貴金属イオンを
失つた後は直接メツキボツクス１へ戻ることはな
く、素早く排出される。

尚、図示の例（第４図〜第９図）ではメツキ液
Ａが図中下方から上方へ向かうようにしている
が、例えば左方から右方へ向かうようにしてもよ
く、メツキ液Ａの噴射方向は自由に設定できる。

この発明による噴射メツキ装置は、以上説明し
てきた如きものであり、以下のような効果があ
る。

(a) アイランドの覆い用である第２マスク体を装
着自在としたことにより、第２マスク体を第１
マスク体とは別個に簡単に交換できる。その結
果、第１マスク体と第２マスク体とを選択的に
組み合わせることにより、例えばＮ種類の第１
マスク体とｎ種類の第２マスク体とを用意して
おけば、Ｎ×ｎ種類のICリードフレームパタ
ーンに容易に対応でき、汎用性が格段に向上す
る。

(b) また、第２マスク体を高さ位置調整自在とし
ているので、アイランド部とリードピン部との
高さが異なるタイプのICリードフレームにも
簡単に対応できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来の噴射メツキ装置を示す概略断
面図、第２図は、第１図のマスク板とICリード
フレームの位置関係を示す部分拡大斜視図、第３
図は、更に従来の噴射メツキ装置に於ける第２図
相当の部分拡大斜視図、第４図は、本発明の一実
施例を示す第１図相当の概略断面図、第５図は、
第４図中のノズルへの第２マスク体の取付状態を
示す部分拡大斜視図、第６図は、本発明の他の実
施例を示す第１図相当の概略断面図、第７図は、
第６図中のノズルへの第２マスク体の取付状態を
示す部分拡大斜視図、第８図は、第４図〜第７図
に示す２つの実施例の変形例を示す概略拡大断面
図、そして第９図は、ノズルに対する第２マスク
体の取付状態を示す部分拡大斜視図である。 １……メツキボツクス、２……マスク板〔第１
マスク体〕、３……ICリードフレーム、４……押
圧板、５……メツキ液噴射開口、６，２０，３
０，４０……ノズル、７……アイランド部、８…
…リードピン部分、８ａ……メツキ対象部、ｆ…
…メツキ対象部の最外周縁、Ａ……メツキ液、２
２……第２マスク体、２３……シール材、２４…
…支持部材、４５……吸引管、４７……補助マス
ク体。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ メツキ対象物であるICリードフレームを、
   アイランド部とアイランド部の周囲に臨まされる
   リードピン部の先端部とを除いて、第１マスク体
   にて覆うと共に、アイランド部を第２マスク体に
   て覆い、メツキボツクス内に設けられているノズ
   ルよりメツキ液を第１、第２の各マスク体で覆わ
   れていない部位に噴射させるようにしてなる噴射
   メツキ装置に於いて、 第２マスク体は、下端部に凹部又は螺合部を備
   えており、メツキボツクスまたは、ノズルに固設
   された支持部に対し凹部又は螺合部を介して高さ
   位置調整自在となるようにして装着自在とされて
   いることを特徴とする噴射メツキ装置。