JPH0397663A - 還元再酸化型半導体コンデンサ用磁器組成物 - Google Patents
還元再酸化型半導体コンデンサ用磁器組成物Info
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- JPH0397663A JPH0397663A JP1233122A JP23312289A JPH0397663A JP H0397663 A JPH0397663 A JP H0397663A JP 1233122 A JP1233122 A JP 1233122A JP 23312289 A JP23312289 A JP 23312289A JP H0397663 A JPH0397663 A JP H0397663A
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- type semiconductor
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- semiconductor capacitor
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 title claims abstract description 14
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 12
- 238000010405 reoxidation reaction Methods 0.000 title claims abstract description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims description 10
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 title abstract description 4
- 229910001404 rare earth metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 abstract description 16
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract description 3
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 abstract description 3
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- PLDDOISOJJCEMH-UHFFFAOYSA-N neodymium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Nd+3].[Nd+3] PLDDOISOJJCEMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 239000011656 manganese carbonate Substances 0.000 abstract 2
- 235000006748 manganese carbonate Nutrition 0.000 abstract 2
- 229910000016 manganese(II) carbonate Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 abstract 1
- LEDMRZGFZIAGGB-UHFFFAOYSA-L strontium carbonate Chemical compound [Sr+2].[O-]C([O-])=O LEDMRZGFZIAGGB-UHFFFAOYSA-L 0.000 abstract 1
- 229910000018 strontium carbonate Inorganic materials 0.000 abstract 1
- PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N tantalum pentoxide Inorganic materials O=[Ta](=O)O[Ta](=O)=O PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、還元再酸化型半導体コンデンサ用磁器組戒物
に関する。
に関する。
(従来の技術)
従来から還元再酸化型半導体コンデンサとしては、例え
ば特開昭59−217319号公報に開示されたものが
知られている。このような還元再酸化型半導体コンデン
サは、小型大容量で、破壊電圧が高いという特徴を有し
ている。
ば特開昭59−217319号公報に開示されたものが
知られている。このような還元再酸化型半導体コンデン
サは、小型大容量で、破壊電圧が高いという特徴を有し
ている。
物も提案されている。(特公昭56−40965号公報
、特公昭56−37691号公報、特開昭62−229
602号公報、特開昭63−211509号公報等参照
) (発明が解決しようとする課題) 型半導体コンデンサは、単位面積当たりの容量C/A(
nPノcd>を大きくしようとすれば、破壊電圧が低下
し、或いは容量の温度特性が悪化する等の問題があった
。
、特公昭56−37691号公報、特開昭62−229
602号公報、特開昭63−211509号公報等参照
) (発明が解決しようとする課題) 型半導体コンデンサは、単位面積当たりの容量C/A(
nPノcd>を大きくしようとすれば、破壊電圧が低下
し、或いは容量の温度特性が悪化する等の問題があった
。
本発明は、単位面積当たりの容量が大きく、破壊電圧が
高く、かつ容量の温度特性が良好なとを目的とする。
高く、かつ容量の温度特性が良好なとを目的とする。
組成物は、
BaTi03が75.0 〜97.7molLT a2
o5が0.2 〜2.[lmol%、希土類酸化物の
うち少なくとも1種類が0.1〜1.0aoH , S r CO3が0.5 〜10.0Illol%およ
びTIO2が1.0 〜12.0mol%から成る組戊
物を主成分とし、これに M n CO3を0.03 〜0.30vt%およびS
)02を0.20vt%以下 添加したことを特徴とする。
o5が0.2 〜2.[lmol%、希土類酸化物の
うち少なくとも1種類が0.1〜1.0aoH , S r CO3が0.5 〜10.0Illol%およ
びTIO2が1.0 〜12.0mol%から成る組戊
物を主成分とし、これに M n CO3を0.03 〜0.30vt%およびS
)02を0.20vt%以下 添加したことを特徴とする。
(実施N)
試料の作成にあたって、各原料を夫々表に示す組成比お
よび添加量となるように秤量し、15時間湿式混合した
。この混合物を脱水、乾燥後、バインダーを加えて混合
、整拉し、これを直径8關、厚さ0.5mI1の円形板
に成形した。得られた成形物を大気中で1300℃で2
時間焼戊した後、還元雰囲気中で950℃で1時間熱処
理を施し、更に大気中で900℃で1時間熱処理を行な
って還元再酸化型半導体コンデンサ用素地を得た。
よび添加量となるように秤量し、15時間湿式混合した
。この混合物を脱水、乾燥後、バインダーを加えて混合
、整拉し、これを直径8關、厚さ0.5mI1の円形板
に成形した。得られた成形物を大気中で1300℃で2
時間焼戊した後、還元雰囲気中で950℃で1時間熱処
理を施し、更に大気中で900℃で1時間熱処理を行な
って還元再酸化型半導体コンデンサ用素地を得た。
得られた素地にAgペーストを塗布し、これを大気中で
800℃で焼き付けてコンデンサを作製した。
800℃で焼き付けてコンデンサを作製した。
このようにして作製したコンデンサの面積容量、誘電体
損失、絶縁抵抗、破壊電圧、容量変化率を測定したとこ
ろ、表に示すような結果が得られた。
損失、絶縁抵抗、破壊電圧、容量変化率を測定したとこ
ろ、表に示すような結果が得られた。
尚、面積容量、誘電体損失の測定は周波数1KHz ,
印加電圧0.IV,温度20℃の条件下で行なった。絶
縁抵抗は直流電圧25V印加後15秒後の値を測定した
。破壊電圧は直流電圧の昇圧破壊方式により測定した。
印加電圧0.IV,温度20℃の条件下で行なった。絶
縁抵抗は直流電圧25V印加後15秒後の値を測定した
。破壊電圧は直流電圧の昇圧破壊方式により測定した。
容量の温度特性は温度20℃の値を基準とし温度−25
℃と、温度85℃における変化率を求めた。
℃と、温度85℃における変化率を求めた。
尚、表中で※印を付したものが本発明の範囲外のもので
あり、それ以外が本発明の範囲内のものである。
あり、それ以外が本発明の範囲内のものである。
表から明らかなように、本発明の還元再酸化型半導体コ
ンデンサ用磁器組成物の限定理由は次の通りである。
ンデンサ用磁器組成物の限定理由は次の通りである。
T a2 o,が0.2mol%未満では常温での面積
容量が低くなり、また2。OmoL%を超えると同様に
常温での面積容量が低下すると共に、焼結性が悪化し、
破壊電圧が低下する。
容量が低くなり、また2。OmoL%を超えると同様に
常温での面積容量が低下すると共に、焼結性が悪化し、
破壊電圧が低下する。
N d2 o3、La2 o3、Ce02等の希土類酸
化物の添加は焼結性改善に効果があるが、0.1mol
%未満ではその効果がなく、また面積容量、破壊電圧共
に低下し、1.0moL%を超えると容量の温度特性が
悪化する。
化物の添加は焼結性改善に効果があるが、0.1mol
%未満ではその効果がなく、また面積容量、破壊電圧共
に低下し、1.0moL%を超えると容量の温度特性が
悪化する。
S r CO3は容量の温度特性の改善に効果があるが
、0.5io1%未満ではその効果がな< , 10.
0mo1%を超えると面積容量、破壊電圧共に低下する
。
、0.5io1%未満ではその効果がな< , 10.
0mo1%を超えると面積容量、破壊電圧共に低下する
。
BaTiO3、T102の組成範囲は、その他の紹成範
囲によって決まるものであるが、それぞれ75.0〜9
7.7mol%、1.0 〜12.0IIol%の範囲
を外れると焼結性が悪化し、また面積容量、破壊電圧共
に低下する。
囲によって決まるものであるが、それぞれ75.0〜9
7.7mol%、1.0 〜12.0IIol%の範囲
を外れると焼結性が悪化し、また面積容量、破壊電圧共
に低下する。
M n CO3の添加は絶縁抵抗、破壊電圧を向上させ
る効果があるが、添加量が0.03vt%未満であると
絶縁抵抗、破壊電圧共に低下し、添加量がOJOvt%
を超えると面積容量が低下する。
る効果があるが、添加量が0.03vt%未満であると
絶縁抵抗、破壊電圧共に低下し、添加量がOJOvt%
を超えると面積容量が低下する。
SiO2の添加はその添加量が0.2wt%以下では本
発明の効果を奏するが、添加量が0.2vt%を超える
と焼結性が悪化し、また面積容量、破壊電圧共に低下す
る。
発明の効果を奏するが、添加量が0.2vt%を超える
と焼結性が悪化し、また面積容量、破壊電圧共に低下す
る。
以上のように、主としてBaTi03のキューリー点の
シフターとしてT a2 o,を用いることにより、単
位面積当たりの容量[C/A(nP/cd) ]が大き
く、破壊電圧が高く、かつ容量の温度特性が良好な半導
体コンデンサを得ることができる。
シフターとしてT a2 o,を用いることにより、単
位面積当たりの容量[C/A(nP/cd) ]が大き
く、破壊電圧が高く、かつ容量の温度特性が良好な半導
体コンデンサを得ることができる。
前記実施例では希土類酸化物としてNd203、t,a
2o,, Ce02を用いた例を示したが、他の希土類
酸化物を1種類、または2挿類以上を紹み合わせたもの
を用いてもよく、この場合にも、前記と同様の効果を得
ることができる。
2o,, Ce02を用いた例を示したが、他の希土類
酸化物を1種類、または2挿類以上を紹み合わせたもの
を用いてもよく、この場合にも、前記と同様の効果を得
ることができる。
(発明の効果)
このように本発明によるときは、単位面積当たりの容量
が大きく、破壊電圧が高く、かつ容量の温度特性が良好
な半導体コンデンサを得ることができる還元再酸化型半
導体コンデンサ用磁器組成物を提供することができる効
果を有する。
が大きく、破壊電圧が高く、かつ容量の温度特性が良好
な半導体コンデンサを得ることができる還元再酸化型半
導体コンデンサ用磁器組成物を提供することができる効
果を有する。
−39
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 BaTiO_3が75.0〜97.7mol%、Ta_
2O_5が0.2〜2.Omol%、希土類酸化物のう
ち少なくとも1種類が0.1〜1.0mol%、 SrCO_3が0.5〜10.0mol%およびTiO
_2が1.0〜12.0mol% から成る組成物を主成分とし、これに MnCO_3を0.03〜0.30wt%およびSiO
_2を0.20wt%以下 添加したことを特徴とする還元再酸化型半導体コンデン
サ用磁器組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1233122A JPH0397663A (ja) | 1989-09-09 | 1989-09-09 | 還元再酸化型半導体コンデンサ用磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1233122A JPH0397663A (ja) | 1989-09-09 | 1989-09-09 | 還元再酸化型半導体コンデンサ用磁器組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0397663A true JPH0397663A (ja) | 1991-04-23 |
| JPH0547507B2 JPH0547507B2 (ja) | 1993-07-16 |
Family
ID=16950103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1233122A Granted JPH0397663A (ja) | 1989-09-09 | 1989-09-09 | 還元再酸化型半導体コンデンサ用磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0397663A (ja) |
-
1989
- 1989-09-09 JP JP1233122A patent/JPH0397663A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0547507B2 (ja) | 1993-07-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |