JPH04123530U - 現像装置 - Google Patents

現像装置

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Publication number
JPH04123530U
JPH04123530U JP2764591U JP2764591U JPH04123530U JP H04123530 U JPH04123530 U JP H04123530U JP 2764591 U JP2764591 U JP 2764591U JP 2764591 U JP2764591 U JP 2764591U JP H04123530 U JPH04123530 U JP H04123530U
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JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
rotates
disc table
wall
developed
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Pending
Application number
JP2764591U
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English (en)
Inventor
清 冨田
Original Assignee
茨城日本電気株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 被現像物を搭載し外周に設けたパッキンがチ
ャンバーの内壁と接触したときに回転する複数個のチャ
ックテーブルと、この複数個のチャックテーブルを同一
円周上に水平に配置して回転する円板テーブルとを備え
る。 【効果】 円板テーブルの回転によってその外周に設け
たパッキンがチャンバー内壁と接触したときに自転する
ため、円板テーブルの回転によってワークに作用する遠
心力が、ワークの各部に対して均等に働き、現像される
部分に偏りがないようにする。従ってワークに均一なパ
ターンを形成することができる。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本考案は、圧膜回路基板の回路パターンの形成やレジストパターンの形成のた めに使用し、現像液を噴霧することによってアスペクト比の大きい被現像物を現 像するための回転式の現像装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図２は、従来の現像装置の一例を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）はＹ−Ｙ 断面図である。
【０００３】 圧膜回路基板の回路パターンの形成やレジストパターンの形成のために使用し 、現像液を噴霧することによってアスペクト比の大きい被現像物を現像するため の回転式の従来の現像装置は、図２に示すように、複数個の被現像物（ワーク） ３を円板テーブル１２の同一円周上に水平に配置して固定し、円板テーブル１２ を回転軸１１を中心として回転させ、回転速度が一定となったときにスプレーノ ズル（図示省略）から現像液を噴霧し、ワーク３の現像が完了した時点でエアノ ズル（図示省略）から乾燥空気を吹き付けて現像を停止させる構成となっている 。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】
上述したように、従来の現像装置は、複数個のワークを円板テーブル上に固定 して回転させる方式となっているため、円板テーブルの回転による遠心力がワー クに働き、ワークの現像される部分が遠心力の方向に偏るという欠点を有してい る。これは、現像するパターンの幅と深さの比（アスペクト比）が大きい程顕著 に現れる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本考案の現像装置は、被現像物を搭載し外周に設けたパッキンがチャンバーの 内壁と接触したときに回転する複数個のチャックテーブルと、前記複数個のチャ ックテーブルを同一円周上に水平に配置して回転する円板テーブルとを備えてい る。
【０００６】
【実施例】
次に、本考案の実施例について図面を参照して説明する。
【０００７】 図１は本考案の一実施例を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）はＸ−Ｘ断面図 でである。
【０００８】 図１において、複数個のチャックテーブル５は、それぞれその上にワーク３を 搭載して固定し、円板テーブル２の回転によってその外周に設けたパッキン７が チャンバー内壁４と接触したときにそれぞれ個別に回転する。チャックテーブル ５と円板テーブル２との間には、チャックテーブル５の回転を円滑にするために ボールベアリング６が装備されている。
【０００９】 円板テーブル２は、複数個のチャックテーブル５を同一円周上に水平に配置し て、回転軸１を中心として回転する。
【００１０】 このように構成した現像装置は、各チャックテーブル５上にそれぞれワーク３ を搭載して固定し、円板テーブル２を回転させる。回転速度が一定となったとき 、スプレーノズル（図示省略）から現像液を噴霧し、ワーク３の現像が完了した 時点でエアノズル（図示省略）から乾燥空気を吹き付けて現像を停止させる。チ ャックテーブル５は、円板テーブル２の回転によってその外周に設けたパッキン ７がチャンバー内壁４と接触したときに自転するため、円板テーブル２の回転に よってワーク３に作用する遠心力が、ワーク３の各部に対して均等に働き、現像 される部分に偏りがないようにする。従ってワーク３に均一なパターンを形成す ることができる。
【００１１】
【考案の効果】
以上説明したように、本考案の現像装置は、被現像物を搭載し外周に設けたパ ッキンがチャンバーの内壁と接触したとき回転する複数個のチャックテーブルと 、この複数個のチャックテーブルを同一円周上に水平に配置して回転する円板テ ーブルとを備えることにより、円板テーブルの回転によってその外周に設けたパ ッキンがチャンバー内壁と接触したときに自転するため、円板テーブルの回転に よってワークに作用する遠心力が、ワークの各部に対して均等に働き、現像され る部分に偏りがないようにするという効果がある。従ってワークに均一なパター ンを形成することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本考案の一実施例を示す図で、（ａ）は平面
図、（ｂ）はＸ−Ｘ断面図でである。
【図２】従来の現像装置の一例を示す図で、（ａ）は平
面図、（ｂ）はＹ−Ｙ断面図である。
【符号の説明】
１ 回転軸 ２ 円板テーブル ３ ワーク ４ チャンバー内壁 ５ チャックテーブル ６ ボールベアリング ７ パッキン １１ 回転軸 １２ 円板テーブル

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 被現像物を搭載し外周に設けたパッキン
    がチャンバーの内壁と接触したときに回転する複数個の
    チャックテーブルと、前記複数個のチャックテーブルを
    同一円周上に水平に配置して回転する円板テーブルとを
    備えることを特徴とする現像装置。
JP2764591U 1991-04-23 1991-04-23 現像装置 Pending JPH04123530U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2764591U JPH04123530U (ja) 1991-04-23 1991-04-23 現像装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2764591U JPH04123530U (ja) 1991-04-23 1991-04-23 現像装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04123530U true JPH04123530U (ja) 1992-11-09

Family

ID=31911891

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2764591U Pending JPH04123530U (ja) 1991-04-23 1991-04-23 現像装置

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