JPH0414355U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0414355U JPH0414355U JP5490890U JP5490890U JPH0414355U JP H0414355 U JPH0414355 U JP H0414355U JP 5490890 U JP5490890 U JP 5490890U JP 5490890 U JP5490890 U JP 5490890U JP H0414355 U JPH0414355 U JP H0414355U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support member
- rod
- exchange rod
- tip
- convex portion
- Prior art date
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- Pending
Links
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 2
- 244000144985 peep Species 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示した移動機構の
概略図を示したもの、第２図は本考案を説明する
為に示した図、第３図、第４図、及び第５図は従
来の材料の移送を説明する為に示したものである
。 １……ウエハ収納室、２……収納ケース、３…
…排気室、４……イオンビーム処理用ホルダ、５
……イオンビーム処理室、６……ステージ、７，
８……仕切り弁、９……排気室壁、１０……第１
移送機構、１１……ホルダ交換棒、１２……スラ
スト軸受、１３，１３′，１３Ａ，１３Ｂ……ベ
ローズ、１４……支持部材、１５……握り、１６
……覗き窓、１７……爪、１９……ホルダ交換棒
、１９Ａ……雄ネジ、２０……クランプ、２０Ａ
……雌ネジ、２０Ｂ……つば部、２１……支持部
材、２１ｂ……フツク部、Ｐ，Ｐ′……ピン、Ｏ
……孔、Ｗ……ウエハホルダ、ＷＥ……ウエハホ
ルダの端部、Ｚ……ホルダ載置台、Ａ……球面軸
受。
概略図を示したもの、第２図は本考案を説明する
為に示した図、第３図、第４図、及び第５図は従
来の材料の移送を説明する為に示したものである
。 １……ウエハ収納室、２……収納ケース、３…
…排気室、４……イオンビーム処理用ホルダ、５
……イオンビーム処理室、６……ステージ、７，
８……仕切り弁、９……排気室壁、１０……第１
移送機構、１１……ホルダ交換棒、１２……スラ
スト軸受、１３，１３′，１３Ａ，１３Ｂ……ベ
ローズ、１４……支持部材、１５……握り、１６
……覗き窓、１７……爪、１９……ホルダ交換棒
、１９Ａ……雄ネジ、２０……クランプ、２０Ａ
……雌ネジ、２０Ｂ……つば部、２１……支持部
材、２１ｂ……フツク部、Ｐ，Ｐ′……ピン、Ｏ
……孔、Ｗ……ウエハホルダ、ＷＥ……ウエハホ
ルダの端部、Ｚ……ホルダ載置台、Ａ……球面軸
受。
Claims (1)
- ベローズにより大気側に対し気密を維持して排
気室壁に軸心の周りに回転可能に取り付けられた
交換棒、該交換棒の先端部に設けられ、材料ホル
ダの端部に設けられた孔に挿入可能な凸部を有す
る支持部材、該交換棒の先端部に設けられ、該交
換棒を回転させる事により軸心方向に前記支持部
材の凸部との間を移動可能な爪を備えた材料移送
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5490890U JPH0414355U (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5490890U JPH0414355U (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0414355U true JPH0414355U (ja) | 1992-02-05 |
Family
ID=31577390
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5490890U Pending JPH0414355U (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0414355U (ja) |
-
1990
- 1990-05-25 JP JP5490890U patent/JPH0414355U/ja active Pending
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