JPH04201073A - 機上放電ツルーイング/ドレッシング方法及びその装置 - Google Patents
機上放電ツルーイング/ドレッシング方法及びその装置Info
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- JPH04201073A JPH04201073A JP2331829A JP33182990A JPH04201073A JP H04201073 A JPH04201073 A JP H04201073A JP 2331829 A JP2331829 A JP 2331829A JP 33182990 A JP33182990 A JP 33182990A JP H04201073 A JPH04201073 A JP H04201073A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は機械研削用導電性薄刃砥石の機上放電ツルー
イング5・′ドレッシング方法及びその装置に関する。
イング5・′ドレッシング方法及びその装置に関する。
従来、砥石の放電ツルーイング方法としては、特開昭6
3−283861号に開示されているように、回転軸に
創成電極を取付け、マシニングセンタの主軸には、電極
形状創成用工具を取り付けて、一方又は両方を回転し、
該工具の先端又は外周面を創成電極の外周面に作用させ
て電極を創成し、次に、該工具をマシニングセンタから
取り外してメタルボンド砥石と交換し、前に創成した電
極を用いてメタルボンド砥石の外周面を放電ツルーイン
グする方法が示されている。しかし、この技術は、電極
を毎回創成し、メタルボンド砥石を工具と交換し、毎回
創成した電極によってツルーイングするもので、工具交
換機能が付いた研削機械(マシニングセンタ)しか適用
てきず、工具交換機能がない一般の研削盤、超精密研削
盤に適用しうるものではなかった。
3−283861号に開示されているように、回転軸に
創成電極を取付け、マシニングセンタの主軸には、電極
形状創成用工具を取り付けて、一方又は両方を回転し、
該工具の先端又は外周面を創成電極の外周面に作用させ
て電極を創成し、次に、該工具をマシニングセンタから
取り外してメタルボンド砥石と交換し、前に創成した電
極を用いてメタルボンド砥石の外周面を放電ツルーイン
グする方法が示されている。しかし、この技術は、電極
を毎回創成し、メタルボンド砥石を工具と交換し、毎回
創成した電極によってツルーイングするもので、工具交
換機能が付いた研削機械(マシニングセンタ)しか適用
てきず、工具交換機能がない一般の研削盤、超精密研削
盤に適用しうるものではなかった。
他の従来技術としては、メタルポンド砥石の機上ツルー
イング7/ドレツシング方法及び装置が紹介されてはい
るが(マシニングセンタによる硬脆材料の研削加工;鈴
木清、植松哲太部、柳瀬辰仁、中用威雄、昭和62年度
精密工学会春季大会学術講演会論文集;585−586
頁)、それは薄刃砥石に適用しうるものではなく、それ
を薄刃砥石に使用しても砥石エツジ部の形状精度が得ら
れないので、それを薄刃砥石の機上放電ツルーイング7
/ドレツシングに利用しうるちのてはなかった。従って
、従来、薄刃砥石の機上放電ツルーイング7、/ドレッ
シングは行われておらず、砥石が磨耗し、その形状が崩
れた場合は新しい砥石と交換して加工を継続するように
していた。
イング7/ドレツシング方法及び装置が紹介されてはい
るが(マシニングセンタによる硬脆材料の研削加工;鈴
木清、植松哲太部、柳瀬辰仁、中用威雄、昭和62年度
精密工学会春季大会学術講演会論文集;585−586
頁)、それは薄刃砥石に適用しうるものではなく、それ
を薄刃砥石に使用しても砥石エツジ部の形状精度が得ら
れないので、それを薄刃砥石の機上放電ツルーイング7
/ドレツシングに利用しうるちのてはなかった。従って
、従来、薄刃砥石の機上放電ツルーイング7、/ドレッ
シングは行われておらず、砥石が磨耗し、その形状が崩
れた場合は新しい砥石と交換して加工を継続するように
していた。
以上の説明のように、従来、薄刃砥石の機上放電ツルー
イング7/ドレッシングは開発されていなかっだので、
砥石の使用によりその形状か崩れた薄刃砥石は、再利用
されず、使い棄てられていた。
イング7/ドレッシングは開発されていなかっだので、
砥石の使用によりその形状か崩れた薄刃砥石は、再利用
されず、使い棄てられていた。
そのため、不経済であり、新しい薄刃砥石に交換するた
びにバランシングやワークとの位置合わせを行う必要が
あり、段取りに時間がかかり、薄刃砥石を研削機械に取
り付ける際に薄刃砥石の半径方向及び側面に振れが発生
するため、砥石の切れ味が劣化したり、加工物の形状が
変化したりするという課題があった。
びにバランシングやワークとの位置合わせを行う必要が
あり、段取りに時間がかかり、薄刃砥石を研削機械に取
り付ける際に薄刃砥石の半径方向及び側面に振れが発生
するため、砥石の切れ味が劣化したり、加工物の形状が
変化したりするという課題があった。
従って、この発明の課題は、薄刃砥石の研削機械上(機
上)における放電ツルーイング/・′ドレッシング(形
直し、/目立て)方法及びその装置を提供することによ
って、上記の課題を解決した高精度の放電ツルーイング
7/ドレツシング方法及びその装置を提供することであ
る。
上)における放電ツルーイング/・′ドレッシング(形
直し、/目立て)方法及びその装置を提供することによ
って、上記の課題を解決した高精度の放電ツルーイング
7/ドレツシング方法及びその装置を提供することであ
る。
この発明は、研削機械のテーブル上に放電加工用の電極
を取り付け、その研削機械に装着し使用されていた導電
性薄刃砥石を機械から取り外すことなく、機上で回転し
ながらその外周部を電極に接近させるとともに、電極の
上面と平行移動させながら電極との間で放電し薄刃砥石
の外周を整形するようにした薄刃砥石の機上放電ツルー
イング/′ドレッシング方法及びその装置を提供して従
来技術の課題を解決した。
を取り付け、その研削機械に装着し使用されていた導電
性薄刃砥石を機械から取り外すことなく、機上で回転し
ながらその外周部を電極に接近させるとともに、電極の
上面と平行移動させながら電極との間で放電し薄刃砥石
の外周を整形するようにした薄刃砥石の機上放電ツルー
イング/′ドレッシング方法及びその装置を提供して従
来技術の課題を解決した。
第1図は、本発明薄刃砥石の機上放電ツルーイング/ト
レッシング方法及びその装置を切断、溝入れ加工用の研
削盤に適用した場合の第1の実施例を示す。そこで、1
は、例えば、砥石全体が、メタルボンドによるダイヤモ
ンド砥粒層を有する外周面が平坦な導電性薄刃砥石、2
はそれを軸にして導電性薄刃砥石lを回転する主軸、3
は導電性薄刃砥石1の外周面との間で放電させる電極、
4は主軸2のセンタ一部に押し付けられ薄刃砥石に給電
するための一例を示す給電ブラン、5は電極3と砥石1
間に直流パルスを供給する直流パルス電源(パルス状の
直流電源でもよい)、6は砥石lと電極3との間に研削
液または加工液を噴出するための加工液ノズル、7は研
削盤本体から電極3を絶縁する絶縁材、8は研削盤のテ
ーブル、9は給電ブラシ4にプラス直流パルスを供給す
るプラス端子、lOは電極3にマイナス電圧を接続する
マイナス端子である。
レッシング方法及びその装置を切断、溝入れ加工用の研
削盤に適用した場合の第1の実施例を示す。そこで、1
は、例えば、砥石全体が、メタルボンドによるダイヤモ
ンド砥粒層を有する外周面が平坦な導電性薄刃砥石、2
はそれを軸にして導電性薄刃砥石lを回転する主軸、3
は導電性薄刃砥石1の外周面との間で放電させる電極、
4は主軸2のセンタ一部に押し付けられ薄刃砥石に給電
するための一例を示す給電ブラン、5は電極3と砥石1
間に直流パルスを供給する直流パルス電源(パルス状の
直流電源でもよい)、6は砥石lと電極3との間に研削
液または加工液を噴出するための加工液ノズル、7は研
削盤本体から電極3を絶縁する絶縁材、8は研削盤のテ
ーブル、9は給電ブラシ4にプラス直流パルスを供給す
るプラス端子、lOは電極3にマイナス電圧を接続する
マイナス端子である。
導電性薄刃砥石1は研削作業のために研削盤の主軸2に
装着されていたままで回転され、直流ノくルス電源5に
接続されているプラス端子9から給電ブラシ4を介して
プラスのパルス電圧を受電し、プラス電極として作用す
る。一方、研削盤のテーブル8上には、電気絶縁材7を
介して従来の黒鉛、銅など導電材料を含む上面が平坦な
ブロック □状の電極3が装着される。この電極3には
直流パルス電源5からのマイナス端子10が接続されて
マイナス電圧が供給される。主軸2上で回転している薄
刃砥石lを電極3に接近させ、プラス電極である薄刃砥
石lの外周面とマイナス電極3の上面との間に若干の間
隙を持たせつつ、研削に使用される研削液又は加工液を
ノズル6からその間隙に噴出させ、薄刃砥石1を第1図
の矢印で示す横軸方向に電極3の上面と平行に移動させ
る。すると、薄刃砥石lの外周面は放電により1回の通
過て数μm溶融され、導電性結合材部分が除去されて平
坦となる。更に、複数回平行移動して薄刃砥石をツルー
イング/ドレッシングすることができ、次の平行移動に
移る度に溶融により間隙が開いた分たけ再度砥石1を電
極3に接近させつつ希望する形状となるまでツルーイン
グ7/ドレツシングを続行する。この放電ツルーイング
/ドレッシングによる砥石の除去速度及び除去効率はそ
こに流れる電流値が高い程高くなる。しかし、電流値が
高くなると砥石の形状精度が悪くなる。
装着されていたままで回転され、直流ノくルス電源5に
接続されているプラス端子9から給電ブラシ4を介して
プラスのパルス電圧を受電し、プラス電極として作用す
る。一方、研削盤のテーブル8上には、電気絶縁材7を
介して従来の黒鉛、銅など導電材料を含む上面が平坦な
ブロック □状の電極3が装着される。この電極3には
直流パルス電源5からのマイナス端子10が接続されて
マイナス電圧が供給される。主軸2上で回転している薄
刃砥石lを電極3に接近させ、プラス電極である薄刃砥
石lの外周面とマイナス電極3の上面との間に若干の間
隙を持たせつつ、研削に使用される研削液又は加工液を
ノズル6からその間隙に噴出させ、薄刃砥石1を第1図
の矢印で示す横軸方向に電極3の上面と平行に移動させ
る。すると、薄刃砥石lの外周面は放電により1回の通
過て数μm溶融され、導電性結合材部分が除去されて平
坦となる。更に、複数回平行移動して薄刃砥石をツルー
イング/ドレッシングすることができ、次の平行移動に
移る度に溶融により間隙が開いた分たけ再度砥石1を電
極3に接近させつつ希望する形状となるまでツルーイン
グ7/ドレツシングを続行する。この放電ツルーイング
/ドレッシングによる砥石の除去速度及び除去効率はそ
こに流れる電流値が高い程高くなる。しかし、電流値が
高くなると砥石の形状精度が悪くなる。
使用する切断或いは溝入れ研削加工機がNC研削盤であ
る場合には、1回の切断或いはl溝加工毎に砥石の形状
を整形するか、又は複数回の切断或いは複数回の溝加工
後、連続サイクル或いは間歇サイクルでツルーイング/
ドレッシングを行う。このように、砥石の形状を整形し
て高精度な加工を持続することが可能となる。
る場合には、1回の切断或いはl溝加工毎に砥石の形状
を整形するか、又は複数回の切断或いは複数回の溝加工
後、連続サイクル或いは間歇サイクルでツルーイング/
ドレッシングを行う。このように、砥石の形状を整形し
て高精度な加工を持続することが可能となる。
第2図は、この発明の同第2の実施例であり、■形状の
溝入れ研削に使用する砥石幅1mm以下の導電性V型薄
刃砥石I Aを研削機械上てV形状付与ツルーインク或
いは〜l形状修正ツルーイングする方法を示す。この実
施例では、導電性V型薄刃砥石IAを゛ツルーイングす
るため、第2図に示すように、上面が平坦でなくV形に
成形されたV形状電極3Aを使用する。その他の点につ
いては第1図の実施例と同しである。
溝入れ研削に使用する砥石幅1mm以下の導電性V型薄
刃砥石I Aを研削機械上てV形状付与ツルーインク或
いは〜l形状修正ツルーイングする方法を示す。この実
施例では、導電性V型薄刃砥石IAを゛ツルーイングす
るため、第2図に示すように、上面が平坦でなくV形に
成形されたV形状電極3Aを使用する。その他の点につ
いては第1図の実施例と同しである。
次に、動作について説明する。プラス電極のV型薄刃砥
石IAの一方の傾斜面をV形状電極3Aの対応する傾斜
面に対し若干の間隙をおいて回転しながら接近させ、そ
の間隙に加工液を噴出させながらV型薄刃砥石IAをV
形状電極3Aの傾斜面と平行に移動させる。この平行移
動の1パス毎に数μmづつ切り込みが行われる。V型薄
刃砥石IAのもう一方の傾斜面についても、■形状電極
3Aの他方の傾斜面を使用して同様に行われ、V型薄刃
砥石IAはV形状電極3Aの左右両傾斜面に対して交互
に平行移動され希望するV形状に整形される。これによ
り、V型薄刃砥石IAの高精度な機上放電ツルーイング
が可能となった。
石IAの一方の傾斜面をV形状電極3Aの対応する傾斜
面に対し若干の間隙をおいて回転しながら接近させ、そ
の間隙に加工液を噴出させながらV型薄刃砥石IAをV
形状電極3Aの傾斜面と平行に移動させる。この平行移
動の1パス毎に数μmづつ切り込みが行われる。V型薄
刃砥石IAのもう一方の傾斜面についても、■形状電極
3Aの他方の傾斜面を使用して同様に行われ、V型薄刃
砥石IAはV形状電極3Aの左右両傾斜面に対して交互
に平行移動され希望するV形状に整形される。これによ
り、V型薄刃砥石IAの高精度な機上放電ツルーイング
が可能となった。
第3図は、この発明の同第3の実施例であり、砥石幅0
.3mm以下のV形状溝入れ研削に使用する導電性V型
開薄刃砥石IBの研削機上での■ ・形状付与ツル
ーインク或いはV形状修正ツルーイングする方法を示す
。第2図の実施例では、砥石を押さえ付けているフラン
ツ11と■形状の電極とが接触してしまい、砥石の先端
をシャープにツルーイングすることは不可能であった。
.3mm以下のV形状溝入れ研削に使用する導電性V型
開薄刃砥石IBの研削機上での■ ・形状付与ツル
ーインク或いはV形状修正ツルーイングする方法を示す
。第2図の実施例では、砥石を押さえ付けているフラン
ツ11と■形状の電極とが接触してしまい、砥石の先端
をシャープにツルーイングすることは不可能であった。
そこで、本実施例では、薄い板状電極3Bを採用して上
記の問題を解決した。すなわち、この実施例の電極3B
はその先端左右両面に傾斜がある薄い板状とした。この
実施例では、導電性V型開薄刃砥石IBを回転軸2上で
回転し、その傾斜面を薄い板状電極3Bの傾斜面に接近
させ、その間に若干の間隙をおき、その間隙に加工液を
噴出させながら、薄い板状電極3Bの傾斜面に対し超薄
刃砥石IBを斜めに平行移動させてツルーイングを行な
う。
記の問題を解決した。すなわち、この実施例の電極3B
はその先端左右両面に傾斜がある薄い板状とした。この
実施例では、導電性V型開薄刃砥石IBを回転軸2上で
回転し、その傾斜面を薄い板状電極3Bの傾斜面に接近
させ、その間に若干の間隙をおき、その間隙に加工液を
噴出させながら、薄い板状電極3Bの傾斜面に対し超薄
刃砥石IBを斜めに平行移動させてツルーイングを行な
う。
この1回の平行移動で数μmの切り込みが行われる。超
薄刃砥石IBの左右両傾斜面について同様に交互にツル
ーインクが行われ、希望するV形状に整形される。板状
電極3Bが薄いのて砥石の移動量が少なくなり、砥石I
Bを押さえ付けているフランジが薄い板状電極3Bに当
たらなくなる。
薄刃砥石IBの左右両傾斜面について同様に交互にツル
ーインクが行われ、希望するV形状に整形される。板状
電極3Bが薄いのて砥石の移動量が少なくなり、砥石I
Bを押さえ付けているフランジが薄い板状電極3Bに当
たらなくなる。
このようにすれば、砥石幅0.3mm以下の超薄刃砥石
IBの先端をR20μm以下のシャープなV形状付与ツ
ルーイングを行うことができる。
IBの先端をR20μm以下のシャープなV形状付与ツ
ルーイングを行うことができる。
第4図は、この発明の第4の実施例であり、■形状の溝
入れ研削に使用する砥石幅0.3mm以下の導電性V型
超薄刃砥石IBの研削機械上でのV形状付与ツルーイン
グ或いはV形状修正ツルーイングの他の方法を示す。第
3図の実施例では、電極が薄い板状であって体積が小さ
いため、電極の消耗が速く、電極を頻繁に交換しなけれ
ばならなかった。そこで、この実施例ては、第4図に示
すように、電極を円盤にしてその体積を増加し、それを
回転させ増加した体積を有効に利用しうるようにした。
入れ研削に使用する砥石幅0.3mm以下の導電性V型
超薄刃砥石IBの研削機械上でのV形状付与ツルーイン
グ或いはV形状修正ツルーイングの他の方法を示す。第
3図の実施例では、電極が薄い板状であって体積が小さ
いため、電極の消耗が速く、電極を頻繁に交換しなけれ
ばならなかった。そこで、この実施例ては、第4図に示
すように、電極を円盤にしてその体積を増加し、それを
回転させ増加した体積を有効に利用しうるようにした。
第4図において、円盤電極3Cは、主軸2と平行に延び
る回転軸を有し、研削盤のテーブルに固定されている電
極回転装置12に対し、両側から絶縁材7に挟持され絶
縁されてす゛ソトて固定される。マイナス端子lOから
の電圧は絶縁材7で絶縁されている電極側給電ブラシ1
3を介して円盤電極3Cに供給される。超薄刃砥石1B
を主軸2上で回転しながらその傾斜面を、回転している
円盤電極3Cの傾斜面に接近させ、その間に若干の間隙
をおき、その間隙に加工液を噴出しつつ超薄刃砥石IB
を円盤電極3Cの傾斜面に対して平行移動させる。この
実施例ても、第2及び第3の実施例同様、薄刃砥石の1
平行移動毎に数μmづつ切り込みが行われ、左右両傾斜
面交互にこのツルーイングを行うことにより、希望する
V形状の薄刃砥石を整形することがてきる。要するに、
二の実施例では、マイナス電極を円盤状にして体積を増
加させたことにより、数mm幅の先端をR20μm以下
のシャープなV形状を形成できることに加え、1つの電
極で相当長時間使用することができるという特徴を有す
る。
る回転軸を有し、研削盤のテーブルに固定されている電
極回転装置12に対し、両側から絶縁材7に挟持され絶
縁されてす゛ソトて固定される。マイナス端子lOから
の電圧は絶縁材7で絶縁されている電極側給電ブラシ1
3を介して円盤電極3Cに供給される。超薄刃砥石1B
を主軸2上で回転しながらその傾斜面を、回転している
円盤電極3Cの傾斜面に接近させ、その間に若干の間隙
をおき、その間隙に加工液を噴出しつつ超薄刃砥石IB
を円盤電極3Cの傾斜面に対して平行移動させる。この
実施例ても、第2及び第3の実施例同様、薄刃砥石の1
平行移動毎に数μmづつ切り込みが行われ、左右両傾斜
面交互にこのツルーイングを行うことにより、希望する
V形状の薄刃砥石を整形することがてきる。要するに、
二の実施例では、マイナス電極を円盤状にして体積を増
加させたことにより、数mm幅の先端をR20μm以下
のシャープなV形状を形成できることに加え、1つの電
極で相当長時間使用することができるという特徴を有す
る。
以上説明したように、本発明により導電性薄刃砥石の機
上放電ツルーイング/ドレッシングを可能にしたため、
砥石を研削機械から外す必要がないので、砥石の再取付
けの際に生じるような振れの問題が発生せず、手数もか
からずに形状の崩れた砥石の再利用を可能にし、研削機
械の使用が安価となった。又、放電により薄刃砥石に外
力を加えずにツルーイング/ドレッシングすることがで
きるので、砥石の変形や破損等を避けることができた。
上放電ツルーイング/ドレッシングを可能にしたため、
砥石を研削機械から外す必要がないので、砥石の再取付
けの際に生じるような振れの問題が発生せず、手数もか
からずに形状の崩れた砥石の再利用を可能にし、研削機
械の使用が安価となった。又、放電により薄刃砥石に外
力を加えずにツルーイング/ドレッシングすることがで
きるので、砥石の変形や破損等を避けることができた。
その上、■形状の超薄刃砥石(例えば、0.3mm以下
)のツルーイング、/ドレッシングを行うことができ、
その先端が、例えば、R20μm以下のようなシャープ
なエツジに整形することができる。
)のツルーイング、/ドレッシングを行うことができ、
その先端が、例えば、R20μm以下のようなシャープ
なエツジに整形することができる。
第1図は、本発明の方法及び装置の第1の実施例を表し
た概略要部側面図、第2図は、本発明の同第2の実施例
を表した概略要部側面図、第3図は、本発明の同第3の
実施例を表した概略要部側面図、第4図は、本発明の同
第4の実施例を表した概略要部側面図である。 図中、 1.薄刃砥石、 IA:V型薄刃砥石、
lB・V型超薄刃砥石、 2 主軸、 3・電極、
3A:V形状電極、 3B・山形状電極、 3C
二円盤電極、4.給電ブラシ、 5:直流パルス電源
、 6.加工液ノズル、 7 絶縁材、 8:
テーブル、 9・プラス端子、 10 マイナス端
子、 11:フランジ、 12:電極回転装置、
13:電極側給電ブラシ。
た概略要部側面図、第2図は、本発明の同第2の実施例
を表した概略要部側面図、第3図は、本発明の同第3の
実施例を表した概略要部側面図、第4図は、本発明の同
第4の実施例を表した概略要部側面図である。 図中、 1.薄刃砥石、 IA:V型薄刃砥石、
lB・V型超薄刃砥石、 2 主軸、 3・電極、
3A:V形状電極、 3B・山形状電極、 3C
二円盤電極、4.給電ブラシ、 5:直流パルス電源
、 6.加工液ノズル、 7 絶縁材、 8:
テーブル、 9・プラス端子、 10 マイナス端
子、 11:フランジ、 12:電極回転装置、
13:電極側給電ブラシ。
Claims (5)
- (1)研削機械の回転軸に装着された導電性薄刃砥石を
装着のまま回転し、前記導電性薄刃砥石に対し直流パル
ス電源又はパルス状の直流電源から一方の電圧を供給し
、前記直流パルス電源又はパルス状の直流電源から前記
研削機械のテーブルに設置された電極に対して他方の電
圧を供給し、前記電極の面に対し前記回転する導電性薄
刃砥石の外周を平行移動させつつ放電により整形するよ
うにした導電性薄刃砥石の機上放電ツルーイング/ドレ
ッシング方法。 - (2)研削機械の回転軸と、前記研削機械の回転軸に装
着された導電性薄刃砥石と、前記研削機械のテーブルに
設置された電極と、該電極と前記導電性薄刃砥石との間
に接続された直流パルス電源又はパルス状の直流電源と
を含み、前記導電性薄刃砥石を前記回転軸に装着したま
ま回転し前記電極の面に対してその外周を平行移動させ
つつ放電により整形するようにした導電性薄刃砥石の機
上放電ツルーイング/ドシンレッシング装置。 - (3)前記電極はV形状の傾斜面からなる凹部を有する
V形状電極であり、前記導電性薄刃砥石は外周が山形状
をなし、回転しつつ前記傾斜面に対して平行移動させる
ことを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の機上放電
ツルーイング/ドシンレッシング装置。 - (4)前記電極は傾斜面を有する薄い板状電極としたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の機上放電ツ
ルーイング/ドレッシング装置。 - (5)前記テーブルに設置され前記主軸と平行して回転
する第2の回転軸を有する電極回転装置を含み、前記電
極は外周に山形状の傾斜面を有し前記第2の回転軸に装
着して回転する円盤電極であり、前記回転する円盤電極
の傾斜面に対し前記導電性薄刃砥石を平行移動させるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の機上放電ツ
ルーイング/ドレッシング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2331829A JPH04201073A (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 機上放電ツルーイング/ドレッシング方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2331829A JPH04201073A (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 機上放電ツルーイング/ドレッシング方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04201073A true JPH04201073A (ja) | 1992-07-22 |
Family
ID=18248113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2331829A Pending JPH04201073A (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 機上放電ツルーイング/ドレッシング方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04201073A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06114732A (ja) * | 1992-09-30 | 1994-04-26 | Nachi Fujikoshi Corp | 機上放電ツルーイング法による砥石側面整形法 |
| JP2001246561A (ja) * | 2000-03-03 | 2001-09-11 | Inst Of Physical & Chemical Res | マイクロv溝加工装置及び方法 |
| JP2002261049A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-13 | Mitsumi Electric Co Ltd | ダイシング装置及びダイシング方法 |
| JP2018047551A (ja) * | 2017-11-27 | 2018-03-29 | 株式会社新日本テック | ワーク加工装置及びワーク加工方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01121172A (ja) * | 1987-11-02 | 1989-05-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | 刃先の放電形成領域を備えた研削装置 |
-
1990
- 1990-11-29 JP JP2331829A patent/JPH04201073A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01121172A (ja) * | 1987-11-02 | 1989-05-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | 刃先の放電形成領域を備えた研削装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06114732A (ja) * | 1992-09-30 | 1994-04-26 | Nachi Fujikoshi Corp | 機上放電ツルーイング法による砥石側面整形法 |
| JP2001246561A (ja) * | 2000-03-03 | 2001-09-11 | Inst Of Physical & Chemical Res | マイクロv溝加工装置及び方法 |
| JP2002261049A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-13 | Mitsumi Electric Co Ltd | ダイシング装置及びダイシング方法 |
| JP2018047551A (ja) * | 2017-11-27 | 2018-03-29 | 株式会社新日本テック | ワーク加工装置及びワーク加工方法 |
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