JPH0425228U - - Google Patents

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JPH0425228U
JPH0425228U JP6777890U JP6777890U JPH0425228U JP H0425228 U JPH0425228 U JP H0425228U JP 6777890 U JP6777890 U JP 6777890U JP 6777890 U JP6777890 U JP 6777890U JP H0425228 U JPH0425228 U JP H0425228U
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transport gas
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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案による気相成長装置の一実施例
の概略断面図、第２図は本考案の気相成長装置を
使用して気相成長したＩｎＧａＡｓ層不純物濃度
の推移を示す図、第３図は従来法による気相成長
装置の概略断面図、第４図は従来の気相成長装置
を使用して気相成長したＩｎＧａＡｓ層不純物濃
度の推移を示す図である。 １１……成長炉、１２……族原料輸送ガス供
給管、１３……族原料、１４……族原料ソー
スボート、１５……Ｖ族ガス供給管、１６……基
板ホルダー、１７……基板、１８……反応管。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 一方向のみに開口部を有する族原料ソースボ
    ートを、開口部を族原料輸送ガス流上流方向に
    向けて配置し、前記ソースボートの開口部より
    族原料輸送ガス流下流方向になるに従つて孔径が
    大きくなる複数個のガス吐出孔を有する族原料
    輸送ガス供給管を挿入し、前記ガス吐出孔を族
    原料の直上域に位置させて配置することを特徴と
    する化合物半導体気相成長装置。
JP6777890U 1990-06-25 1990-06-25 Pending JPH0425228U (ja)

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JP6777890U JPH0425228U (ja) 1990-06-25 1990-06-25

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JPH0425228U true JPH0425228U (ja) 1992-02-28

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0641840U (ja) * 1992-11-09 1994-06-03 川崎重工業株式会社 衝撃式破砕機の衝突板保持装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0641840U (ja) * 1992-11-09 1994-06-03 川崎重工業株式会社 衝撃式破砕機の衝突板保持装置

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