JPH04255104A - 圧電部品の製造方法 - Google Patents
圧電部品の製造方法Info
- Publication number
- JPH04255104A JPH04255104A JP3797091A JP3797091A JPH04255104A JP H04255104 A JPH04255104 A JP H04255104A JP 3797091 A JP3797091 A JP 3797091A JP 3797091 A JP3797091 A JP 3797091A JP H04255104 A JPH04255104 A JP H04255104A
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- JP
- Japan
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- piezoelectric
- wax
- resin
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- Withdrawn
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 20
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 28
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 28
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims abstract description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims abstract description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 238000013016 damping Methods 0.000 abstract description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract 1
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- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、圧電部品の製造方法
、詳しくは、周波数調整用インクを塗布することにより
周波数の調整を行う圧電部品の製造方法に関する。
、詳しくは、周波数調整用インクを塗布することにより
周波数の調整を行う圧電部品の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の圧電部品の製造方法においては、
図５，図６に示すように、圧電基板１の両面に振動電極
２を設けてなる圧電共振素子３の略全面に、周波数調整
用インク４を塗布することにより周波数の調整を行って
いる。そして、この周波数調整用インク４の上にワック
ス５を塗布（図７）した後、圧電共振素子３全体をエポ
キシ樹脂などの絶縁性の外装樹脂６で被覆し、これを所
定の温度に加熱して外装樹脂６を硬化させるとともに、
ワックス５を溶融させて外装樹脂６に吸収させることに
より、外装樹脂６の内部に圧電共振素子３の振動空間７
を形成している（図８）。
図５，図６に示すように、圧電基板１の両面に振動電極
２を設けてなる圧電共振素子３の略全面に、周波数調整
用インク４を塗布することにより周波数の調整を行って
いる。そして、この周波数調整用インク４の上にワック
ス５を塗布（図７）した後、圧電共振素子３全体をエポ
キシ樹脂などの絶縁性の外装樹脂６で被覆し、これを所
定の温度に加熱して外装樹脂６を硬化させるとともに、
ワックス５を溶融させて外装樹脂６に吸収させることに
より、外装樹脂６の内部に圧電共振素子３の振動空間７
を形成している（図８）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の圧
電部品の製造方法においては、周波数調整用インク４を
圧電共振素子３の略全面に塗布しているため、周波数調
整用インク４となじみにくい（濡れ性が悪い）ワックス
５は、周波数調整用インクの全面に広がらず、その上か
ら外装樹脂６で被覆し、ワックス５を溶融除去した場合
において、形成される振動空間７の平面面積が小さく、
ほぼ振動電極２，２の対向部分２ａ（重なり部分）にの
み振動空間７が形成された状態になる。一方、圧電共振
素子３の振動部分は、上記対向部分２ａに限らずその周
囲にもある程度及ぶため、振動電極２の対向部分２ａ以
外の殆ど全面が外装樹脂により被覆されてしまうと、圧
電共振素子３の振動が外装樹脂６によって過度にダンピ
ングされ、共振特性が劣化するという問題点がある。
電部品の製造方法においては、周波数調整用インク４を
圧電共振素子３の略全面に塗布しているため、周波数調
整用インク４となじみにくい（濡れ性が悪い）ワックス
５は、周波数調整用インクの全面に広がらず、その上か
ら外装樹脂６で被覆し、ワックス５を溶融除去した場合
において、形成される振動空間７の平面面積が小さく、
ほぼ振動電極２，２の対向部分２ａ（重なり部分）にの
み振動空間７が形成された状態になる。一方、圧電共振
素子３の振動部分は、上記対向部分２ａに限らずその周
囲にもある程度及ぶため、振動電極２の対向部分２ａ以
外の殆ど全面が外装樹脂により被覆されてしまうと、圧
電共振素子３の振動が外装樹脂６によって過度にダンピ
ングされ、共振特性が劣化するという問題点がある。
【０００４】この発明は、上記問題点を解決するもので
あり、十分な振動空間を形成することが可能で、外装樹
脂による過度のダンピングを防止して良好な共振特性を
確保することができる圧電部品の製造方法を提供するこ
とを目的とする。
あり、十分な振動空間を形成することが可能で、外装樹
脂による過度のダンピングを防止して良好な共振特性を
確保することができる圧電部品の製造方法を提供するこ
とを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の圧電部品の製造方法は、圧電基板の両面
に振動電極を形成してなる圧電共振素子を外装樹脂で被
覆した圧電部品の製造方法において、前記圧電共振素子
の両面の振動電極の互に対向する部分にのみ周波数調整
用インクを塗布するとともに、前記周波数調整用インク
が塗布された部分を含む圧電共振素子の振動部分にワッ
クスを塗布した後、外装樹脂で全体を被覆し、これを加
熱して外装樹脂を硬化させるとともに、前記ワックスを
溶融除去して圧電共振素子の振動空間を形成することを
特徴とする。
に、この発明の圧電部品の製造方法は、圧電基板の両面
に振動電極を形成してなる圧電共振素子を外装樹脂で被
覆した圧電部品の製造方法において、前記圧電共振素子
の両面の振動電極の互に対向する部分にのみ周波数調整
用インクを塗布するとともに、前記周波数調整用インク
が塗布された部分を含む圧電共振素子の振動部分にワッ
クスを塗布した後、外装樹脂で全体を被覆し、これを加
熱して外装樹脂を硬化させるとともに、前記ワックスを
溶融除去して圧電共振素子の振動空間を形成することを
特徴とする。
【０００６】
【作用】周波数調整用インクは、圧電共振素子の両面の
振動電極の対向部分にのみ塗布されるため、該対向部分
を中心として塗布されたワックスは、該対向部分を越え
て、その周囲の振動部分（ワックスの濡れ性のよい圧電
基板上）にまで達し、圧電共振素子の外周を外装樹脂で
被覆した場合に、外装樹脂により圧電共振素子の対向部
分及びその周囲の振動部分が被覆されてしまうことを防
止する。したがって、圧電共振素子の振動部分の周囲に
は十分な振動空間が形成されて、外装樹脂による過度の
ダンピングが防止され、良好な共振特性が実現される。
振動電極の対向部分にのみ塗布されるため、該対向部分
を中心として塗布されたワックスは、該対向部分を越え
て、その周囲の振動部分（ワックスの濡れ性のよい圧電
基板上）にまで達し、圧電共振素子の外周を外装樹脂で
被覆した場合に、外装樹脂により圧電共振素子の対向部
分及びその周囲の振動部分が被覆されてしまうことを防
止する。したがって、圧電共振素子の振動部分の周囲に
は十分な振動空間が形成されて、外装樹脂による過度の
ダンピングが防止され、良好な共振特性が実現される。
【０００７】
【実施例】以下、この発明の実施例を図に基づいて説明
する。図１，図２に示すように、この実施例の圧電部品
の圧電共振素子３は、圧電基板１の両面に振動電極２を
設けて形成されており、振動電極２の先端側は、圧電基
板１を介して互に対向している。そして、この振動電極
２の対向部分２ａに、その周囲にあまりはみ出さないよ
うに、周波数調整用インク４を塗布して、周波数の調整
を行う。それから、この周波数調整用インク４の上及び
その周囲の圧電基板１の上にワックス５を塗布（図３）
する。この場合、圧電基板１は周波数調整用インク４よ
りワックス５となじみやすく、濡れ性がよいため、ワッ
クス５は対向部分２ａの周囲の振動部分にまで広がる。 その後、圧電共振素子３全体をエポキシ樹脂などの絶縁
性の外装樹脂６で被覆し、所定の温度に加熱して外装樹
脂６を硬化させるとともに、ワックス５を溶融させて外
装樹脂６に吸収させ、圧電共振素子３の振動部分の周囲
に振動空間７を形成する（図４）。
する。図１，図２に示すように、この実施例の圧電部品
の圧電共振素子３は、圧電基板１の両面に振動電極２を
設けて形成されており、振動電極２の先端側は、圧電基
板１を介して互に対向している。そして、この振動電極
２の対向部分２ａに、その周囲にあまりはみ出さないよ
うに、周波数調整用インク４を塗布して、周波数の調整
を行う。それから、この周波数調整用インク４の上及び
その周囲の圧電基板１の上にワックス５を塗布（図３）
する。この場合、圧電基板１は周波数調整用インク４よ
りワックス５となじみやすく、濡れ性がよいため、ワッ
クス５は対向部分２ａの周囲の振動部分にまで広がる。 その後、圧電共振素子３全体をエポキシ樹脂などの絶縁
性の外装樹脂６で被覆し、所定の温度に加熱して外装樹
脂６を硬化させるとともに、ワックス５を溶融させて外
装樹脂６に吸収させ、圧電共振素子３の振動部分の周囲
に振動空間７を形成する（図４）。
【０００８】このようにして製造された圧電部品は、圧
電共振素子３の振動部分の周囲に十分な振動空間７が形
成されており（図４）、外装樹脂６により被覆された部
分と振動電極２の対向部分２ａの端部との距離Ａが大き
いため、外装樹脂６による過度のダンピングが抑制され
、良好な共振特性が得られる。
電共振素子３の振動部分の周囲に十分な振動空間７が形
成されており（図４）、外装樹脂６により被覆された部
分と振動電極２の対向部分２ａの端部との距離Ａが大き
いため、外装樹脂６による過度のダンピングが抑制され
、良好な共振特性が得られる。
【０００９】なお、図１〜図４に示すように、周波数調
整用インク４は、振動電極２の対向部分２ａから僅かに
はみ出してはいるが、実質的には対向部分２ａに塗布さ
れている。この明細書において、「対向部分にのみ周波
数調整用インクを塗布する」とは、厳密に対向部分２ａ
にだけ塗布した場合の他、上記実施例のように、ほぼ対
向部分２ａに塗布され、僅かにはみ出している場合や、
あるいは対向部分の先端までは僅かに達していない場合
などをも含む概念であり、これらのいずれの場合も、ほ
ぼ同様の効果を得ることができる。
整用インク４は、振動電極２の対向部分２ａから僅かに
はみ出してはいるが、実質的には対向部分２ａに塗布さ
れている。この明細書において、「対向部分にのみ周波
数調整用インクを塗布する」とは、厳密に対向部分２ａ
にだけ塗布した場合の他、上記実施例のように、ほぼ対
向部分２ａに塗布され、僅かにはみ出している場合や、
あるいは対向部分の先端までは僅かに達していない場合
などをも含む概念であり、これらのいずれの場合も、ほ
ぼ同様の効果を得ることができる。
【００１０】なお、この発明においては、周波数調整用
インクの種類は特に限定されるものではなく、質量ダン
ピングに有効なものであればよく、レジストインクその
他種々の材料を用いることが可能である。
インクの種類は特に限定されるものではなく、質量ダン
ピングに有効なものであればよく、レジストインクその
他種々の材料を用いることが可能である。
【００１１】
【発明の効果】上述のように、この発明の圧電部品の製
造方法は、圧電共振素子上の振動電極の対向部分にのみ
周波数調整用インクを塗布するとともに、周波数調整用
インクが塗布された部分を含む圧電共振素子の振動部分
にワックスを塗布した後、外装樹脂で全体を被覆するよ
うに構成しているので、ワックスを溶融除去したあとに
十分な振動空間が形成され、圧電共振素子の振動が外装
樹脂によって過度にダンピングされることがなく、共振
特性に優れた圧電部品を製造することができる。
造方法は、圧電共振素子上の振動電極の対向部分にのみ
周波数調整用インクを塗布するとともに、周波数調整用
インクが塗布された部分を含む圧電共振素子の振動部分
にワックスを塗布した後、外装樹脂で全体を被覆するよ
うに構成しているので、ワックスを溶融除去したあとに
十分な振動空間が形成され、圧電共振素子の振動が外装
樹脂によって過度にダンピングされることがなく、共振
特性に優れた圧電部品を製造することができる。
【図１】この発明の圧電部品の製造方法の一工程を示す
断面図である。
断面図である。
【図２】この発明の圧電部品の製造方法の一工程を示す
平面図である。
平面図である。
【図３】この発明の圧電部品の製造方法の他の工程を示
す断面図である。
す断面図である。
【図４】この発明の圧電部品の製造方法により製造され
た圧電部品を示す断面図である。
た圧電部品を示す断面図である。
【図５】従来の圧電部品の製造方法の一工程を示す断面
図である。
図である。
【図６】従来の圧電部品の製造方法の一工程を示す平面
図である。
図である。
【図７】従来の圧電部品の製造方法の他の工程を示す断
面図である。
面図である。
【図８】従来の圧電部品の製造方法により製造された圧
電部品を示す断面図である。
電部品を示す断面図である。
Claims (1)
- 【請求項１】 圧電基板の両面に振動電極を形成して
なる圧電共振素子を外装樹脂で被覆した圧電部品の製造
方法において、前記圧電共振素子の両面の振動電極の互
に対向する部分にのみ周波数調整用インクを塗布すると
ともに、前記周波数調整用インクが塗布された部分を含
む圧電共振素子の振動部分にワックスを塗布した後、外
装樹脂で全体を被覆し、これを加熱して外装樹脂を硬化
させるとともに、前記ワックスを溶融除去して圧電共振
素子の振動空間を形成することを特徴とする圧電部品の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3797091A JPH04255104A (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | 圧電部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3797091A JPH04255104A (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | 圧電部品の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04255104A true JPH04255104A (ja) | 1992-09-10 |
Family
ID=12512426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3797091A Withdrawn JPH04255104A (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | 圧電部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04255104A (ja) |
-
1991
- 1991-02-06 JP JP3797091A patent/JPH04255104A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |