JPH04323853A - 固体撮像装置の製造方法 - Google Patents
固体撮像装置の製造方法Info
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- JPH04323853A JPH04323853A JP3092344A JP9234491A JPH04323853A JP H04323853 A JPH04323853 A JP H04323853A JP 3092344 A JP3092344 A JP 3092344A JP 9234491 A JP9234491 A JP 9234491A JP H04323853 A JPH04323853 A JP H04323853A
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- Japan
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- solid
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- cavity surface
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は固体撮像装置の製造方法
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に固体撮像装置はシリコン等の半導
体材料からなる固体撮像素子を、セラミック等の材料か
らなるパッケージ内に接着剤を介して接着することによ
り構成される。
体材料からなる固体撮像素子を、セラミック等の材料か
らなるパッケージ内に接着剤を介して接着することによ
り構成される。
【０００３】第２図は従来の固体撮像装置の断面構成を
示す図である。同図によればパッケージ１の表面に形成
された空洞内で固体撮像素子４が貼着される面（以下キ
ャビティ面という）に接着剤３を介して固体撮像素子４
を固着させた構造となっている。
示す図である。同図によればパッケージ１の表面に形成
された空洞内で固体撮像素子４が貼着される面（以下キ
ャビティ面という）に接着剤３を介して固体撮像素子４
を固着させた構造となっている。
【０００４】このような固体撮像装置の製造にあたって
は、キャビティ面２上に接着剤３を塗布した後、固体撮
像素子４をその上に載置する。ついで接着剤の種類に応
じた所定温度での加熱を必要に応じて施すことにより、
接着剤を硬化させ、キャビティ面に固体撮像素子４を固
着させる。
は、キャビティ面２上に接着剤３を塗布した後、固体撮
像素子４をその上に載置する。ついで接着剤の種類に応
じた所定温度での加熱を必要に応じて施すことにより、
接着剤を硬化させ、キャビティ面に固体撮像素子４を固
着させる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
製造方法では、キャビティ面２に直接接着剤３を塗布し
て固体撮像素子４を固着する方法を採用していたため、
第２図に示すようにキャビティ面に機械加工等に伴う反
りがあった場合、接着剤３を介して貼着された固体撮像
素子４が接着後にキャビティ面２の反りに応じて反って
しまうという問題点があった。
製造方法では、キャビティ面２に直接接着剤３を塗布し
て固体撮像素子４を固着する方法を採用していたため、
第２図に示すようにキャビティ面に機械加工等に伴う反
りがあった場合、接着剤３を介して貼着された固体撮像
素子４が接着後にキャビティ面２の反りに応じて反って
しまうという問題点があった。
【０００６】この反りは近年のように固体撮像素子４の
面積が大面積化し、しかもその厚さが薄くなってくると
一層その影響が大きくなる。この反りの影響は目視で確
認できる程度には大きくはないが、完成した高集積化固
体撮像装置においてはわずかな光学面の反りがあっても
これを複写機や他の応用機械に使用した場合、光学的な
位置調整に多大な影響を与えることとなる。
面積が大面積化し、しかもその厚さが薄くなってくると
一層その影響が大きくなる。この反りの影響は目視で確
認できる程度には大きくはないが、完成した高集積化固
体撮像装置においてはわずかな光学面の反りがあっても
これを複写機や他の応用機械に使用した場合、光学的な
位置調整に多大な影響を与えることとなる。
【０００７】したがって本発明は上述した問題点を解消
するためになされたもので、たとえパッケージのキャビ
ティ面が反っていたとしても、固体撮像装置の光学面に
何ら影響の及ぶことのない固体撮像装置の製造方法を提
供することを目的とする。
するためになされたもので、たとえパッケージのキャビ
ティ面が反っていたとしても、固体撮像装置の光学面に
何ら影響の及ぶことのない固体撮像装置の製造方法を提
供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の固体撮像装置の
製造方法では、適正粘度を有する平坦化剤をキャビティ
面に流し込んで固化させ、あらかじめキャビティ面を平
坦化させたのち、この平坦化されたキャビティ面に接着
剤を介して固体撮像素子を固着させるようにしている。
製造方法では、適正粘度を有する平坦化剤をキャビティ
面に流し込んで固化させ、あらかじめキャビティ面を平
坦化させたのち、この平坦化されたキャビティ面に接着
剤を介して固体撮像素子を固着させるようにしている。
【０００９】
【作用】本発明ではあらかじめキャビティ面を平坦化さ
せておき、この平坦化されたキャビティ面上に固体撮像
素子を貼着するようにしているため、固体撮像素子には
キャビティ面の反りの影響が及ばず、完成された固体撮
像装置の光学面は平坦となり、良好な光学的特性が得ら
れることになる。
せておき、この平坦化されたキャビティ面上に固体撮像
素子を貼着するようにしているため、固体撮像素子には
キャビティ面の反りの影響が及ばず、完成された固体撮
像装置の光学面は平坦となり、良好な光学的特性が得ら
れることになる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。第１図は本発明の方法の一実施例に基づい
て製造された固体撮像装置の断面構造を示す断面図であ
る。
に説明する。第１図は本発明の方法の一実施例に基づい
て製造された固体撮像装置の断面構造を示す断面図であ
る。
【００１１】本発明の方法が適用される固体撮像装置は
、キャビティを従来と同様に溝構造としたものとする。 このような溝構造とするにはパッケージ基板上の適当な
位置に樹脂を盛上げるようにすればよい。このように溝
構造となったキャビティ内に適正な粘度の平坦化剤を流
し込み固化させる。
、キャビティを従来と同様に溝構造としたものとする。 このような溝構造とするにはパッケージ基板上の適当な
位置に樹脂を盛上げるようにすればよい。このように溝
構造となったキャビティ内に適正な粘度の平坦化剤を流
し込み固化させる。
【００１２】ここで平坦化剤としては種々の物質が考え
られるが、例えば銀パラジウムを用いると、固化前は流
動性が良好で適正な平坦度を持った表面が得られる。こ
の平坦化剤は常温において適正な粘度を持ち、キャビテ
ィ面２の凹部に流れ込んでその表面が平坦化するだけの
流動性が必要である。その後、平坦化剤の種類に応じて
平坦化のために適正な温度を加えて固化させることが必
要となる。
られるが、例えば銀パラジウムを用いると、固化前は流
動性が良好で適正な平坦度を持った表面が得られる。こ
の平坦化剤は常温において適正な粘度を持ち、キャビテ
ィ面２の凹部に流れ込んでその表面が平坦化するだけの
流動性が必要である。その後、平坦化剤の種類に応じて
平坦化のために適正な温度を加えて固化させることが必
要となる。
【００１３】このようにして第１段階でキャビティ面は
平坦化剤５により平坦化されているため、続く第２段階
として平坦化されたキャビティ面に接着剤３を塗布し、
これを介して固体撮像素子４を接着し固定する。接着剤
３を用いて固体撮像素子４とキャビティ２とを接着させ
る方法は従来の方法と同様でよい。
平坦化剤５により平坦化されているため、続く第２段階
として平坦化されたキャビティ面に接着剤３を塗布し、
これを介して固体撮像素子４を接着し固定する。接着剤
３を用いて固体撮像素子４とキャビティ２とを接着させ
る方法は従来の方法と同様でよい。
【００１４】以上の実施例では平坦化剤として銀パラジ
ウムを用いたが、硬化前に流動性が良くて良好な平面を
作りやすく、かつ硬化後には十分な強度を有するもので
あれば他の材料でも使用できる。
ウムを用いたが、硬化前に流動性が良くて良好な平面を
作りやすく、かつ硬化後には十分な強度を有するもので
あれば他の材料でも使用できる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明ではキャビテ
ィ面に平坦化剤を用いてその表面を平坦化された上で接
着剤を介して固体撮像素子をキャビティ面上に貼着する
ようにしているため、たとえパッケージキャビティ面が
反っていたり凹凸があったとしても固体撮像素子が接触
する面は平坦となり、結果的に光学的にフラットな固体
撮像素子面を得ることができる。したがって、本発明の
製造方法により製造された固体撮像装置を用いれば、光
学位置調整が容易となり、応用分野もさらに広がるとい
う利点がある。
ィ面に平坦化剤を用いてその表面を平坦化された上で接
着剤を介して固体撮像素子をキャビティ面上に貼着する
ようにしているため、たとえパッケージキャビティ面が
反っていたり凹凸があったとしても固体撮像素子が接触
する面は平坦となり、結果的に光学的にフラットな固体
撮像素子面を得ることができる。したがって、本発明の
製造方法により製造された固体撮像装置を用いれば、光
学位置調整が容易となり、応用分野もさらに広がるとい
う利点がある。
【図１】本発明の製造方法を適用した固体撮像素子の断
面構造を示す断面図。
面構造を示す断面図。
【図２】従来の製造方法により製造された固体撮像素子
の断面構造を示す断面図。
の断面構造を示す断面図。
１ パッケージ
２ キャビティ面
３ 接着剤
４ 固体撮像素子
５ 平坦化剤
Claims (1)
- 【請求項１】適正粘度を有する平坦化剤をパッケージの
キャビティ面に流し込んで固化させ、前記キャビティ面
を平坦化させる第１の工程と、これにより平坦化された
前記キャビティ面上に接着剤を介して前記固体撮像素子
を固着させる第２の工程とを有することを特徴とする固
体撮像装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3092344A JPH04323853A (ja) | 1991-04-23 | 1991-04-23 | 固体撮像装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3092344A JPH04323853A (ja) | 1991-04-23 | 1991-04-23 | 固体撮像装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04323853A true JPH04323853A (ja) | 1992-11-13 |
Family
ID=14051784
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3092344A Pending JPH04323853A (ja) | 1991-04-23 | 1991-04-23 | 固体撮像装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04323853A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021034665A (ja) * | 2019-08-28 | 2021-03-01 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
-
1991
- 1991-04-23 JP JP3092344A patent/JPH04323853A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021034665A (ja) * | 2019-08-28 | 2021-03-01 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
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