JPH0440454A - レジストパターンの形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はレジストパターンの形成方法に関し、特にプリ
ント基板作製時に使用するフォトマスクフィルムとして
透明感熱記録材料を使用するレジストパターンの形成方
法に関する。

（従来の技術） 基板上に感光性樹脂層を設け、該層上に回路パターンを
有するフォトマスクを通して露光現像及びエツチング処
理等を行うことによりプリント基板を作製する方法は良
く知られている。この場合に使用するフォトマスクを製
造する方法としては写真の原理を用いた方法が一般的で
ある。すなわち、回路パターンの原画を形成し、この原
画をマスクの本体であるフィルムに結像させ、露光する
。

その後、露光済みのフィルムを現像し、これを定着する
という過程を経て最終的にマスクが形成される。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記フォトマスクの作製は露光現像に時
間、手間がかかる上、湿式処理である為作業環境に問題
があるのみならず、ＣＡＤ等のデジタル信号から直接パ
ターンを形成する事ができないという欠点があった。

係る欠点は加熱後の急冷又は徐冷によって夫々光透過率
が低下又は向上する熱反応部材と熱吸収率に優れた透明
な熱吸収部材を一体的に形成せしめた光マスク材料（特
開昭６３−１７７１３８号）によって解決され得るが、
係る材料は感度の点及び画像持続時間の点で難点があっ
た。

本発明者等は上記の欠点を解決すべく鋭意検討した結果
、透明性に優れた感熱記録材料がフォトマスクフィルム
の代わりになり得ること、又、それを用いることにより
、フォトマスクの作製工程をすべて乾式で行うことが可
能となる上デジタル信号を用いて直接パターンを形成す
ることができるので、レジストパターン作成工程を大巾
に改善することができ、回路の設計から最終のプリント
基板迄を一貫工程とすることもできることを見出し本発
明に到達した。

従って本発明の第１の目的は、改善されたレジストパタ
ーン形成方法を提供することにある。

本発明の第２の目的は、フォトマスク作製時の湿式処理
が不要であると共に、デジタル信号を用いて作製するこ
とのできるフォトマスクフィルムを提供することにある
。

（課題を解決するための手段） 本発明の上記の諸口的はプリント基板用基板上に感光性
樹脂層を形成せしめた後、該樹脂層上にフォトマスクフ
ィルムを載置して露光、現像するレジストパターンの形
成方法において、前記フォトマスクフィルムが加熱によ
り発色画像を形成せしめた透明感熱記録材料であること
を特徴とするレジストパターンの形成方法によって達成
された。

本発明で使用する透明感熱記録材料は、透明支持体上に
加熱により発色する透明感熱層を有する記録材料である
。

本発明においては、加熱により発色する発色剤として電
子供与性染料前駆体と顕色剤の組合せ又はジアゾ化合物
とカプラーの組合せを使用することができる。

本発明で使用する電子供与性染料前駆体としては、電子
を供与して、又は酸等のプロトンを受容して発色する公
知の化合物の中から無色又は淡色のものを適宜選択する
。このような化合物は、ラクトン、ラクタム、サルトン
、スピロピラン、エステル、アミド等の部分骨格を有し
、顕色剤と接触してこれらの部分骨格が開環若しくは開
裂するものであり、好ましい化合物としては、例えばト
リアリールメタン系化合物、ジフェニルメタン系化合物
、キサンチン系化合物、チアジン系化合物、スピロピラ
ン系化合物等を挙げることができる。

特に好ましい化合物は、次の一般式で表わされる化合物
である。

式中、Ｒ１は炭素原子数１〜８のアルキル基、Ｒ２は炭
素原子数４〜Ｉ８のアルキル基又はアルコキシル基若し
くはテトラヒドロフルフリル基、Ｒ３は水素原子又は炭
素原子数１〜１５のアルキル基若しくはハロゲン原子、
Ｒ４は炭素数６〜２０の置換又は無置換のアリール基を
表わす。Ｒ４の置換基としては、炭素原子数１〜５のア
ルキル基、アルコキシ基、ハロゲン化アルキル基及びハ
ロゲン原子が好ましい。

本発明で使用するところの電子供与性染料前駆体との熱
溶融において発色反応を起こす顕色剤は公知のものの中
から適宜使用することができる。

例えば、ロイコ染料に対する顕色剤としては、フェノー
ル化合物、トリフェニルメタン系化合物、含硫フェノー
ル系化合物、カルボン酸系化合物、スルホン系化合物、
尿素系又はチオ尿素系化合物等が挙げられ、その詳細は
、例えば、紙バルブ技術タイムス（１９８５年）４９−
５４頁及び６５７０頁に記載されている。これらの中で
も、特に融点が５０℃〜２５０℃の物が好ましく、中で
も６０℃〜２００°Ｃの、水に難溶性のフェノール及び
有機酸が望ましい。顕色剤を２種以上併用した場合には
溶解性が増加するので好ましい。

顕色剤の使用量は通常電子供与性染料前駆体１重量部に
対して０．　３〜１６０重量部、好ましくは０．３〜８
０重量部である。

本発明で使用する顕色剤のうち特に好ましいものは、下
記一般式（１３〜（ＩＶ）で表される。

Ｒ１はアルキル基、アリール基又はアラルキル基であり
特にメチル基、エチル基及びブチル基が好ましい。

ｍ＝０〜２、ｎ＝２〜１１ （ＩＩ） Ｒ２はアルキル基であり、特にブチル基、ペンチル基、
ヘプチル基及びオクチル基が好ましい。

（ＩＶ） Ｒ３はアルキル基又はアラルキル基である。

本発明に係る感熱発色素材の他の組合せに使用するジア
ゾ化合物とは、後述するカプラーと反応して所望の色相
に発色するものであり、特に、反応前に特定の波長の光
を受けると分解し、もはやカプラーが作用しても発色能
力を持たなくなる光分解性のジアゾ化合物を使用するこ
とが光定着が可能となるので好ましい。この発色系にお
ける色相は、主としてジアゾ化合物とカプラーが反応し
て生成したジアゾ色素により決定される。従って良く知
られているように、ジアゾ化合物の化学構造を変更する
か、カプラーの化学構造を変更すれば容易に発色色相を
変えることができ、組み合わせ次第で略任意の発色色相
を得ることができる。

本発明で言う光分解性のジアゾ化合物とは主として芳香
族ジアゾ化合物を意味する。具体的には芳香族ジアゾニ
ウム塩、ジアゾスルホネート化合物、ジアゾアミノ化合
物等を指す。

本発明に用いられるジアゾ化合物と組み合わせて用いら
れるカプラーは、ジアゾ化合物（ジアゾニウム塩）とカ
ップリングして色素を形成する化合物である。

その具体例としては、例えば、２−ヒドロキシ３−ナフ
トエ酸アニリドの他、レゾルシンを初めとし特開昭６２
−１４６６７８号に記載されているものを挙げることが
できる。

更にこれらのカプラーを２種以上併用することによって
任意の色調の画像を得ることができる。

これらのジアゾ化合物とカプラーとのカップリング反応
は塩基性雰囲気下で起こり易い為、層内に塩基性物質を
添加してもよい。

塩基性物質としては、水難溶性ないしは水不溶性の塩基
性物質や加熱によりアルカリを発生する物質が用いられ
る。それらの例としては無機及び有機アンモニウム塩、
有機アミン、アミド、尿素やチオ尿素及びその誘導体、
チアゾール類、ピロール類、ピリミジン類、ピペラジン
類、グアニジン類、インドール類、イミダゾール類、イ
ミダシリン類、トリアゾール類、モルホリン類、ピペリ
ジン類、アミジン類、フォルムアジン類、ピリジン類等
の含窒素化合物が挙げられる。これらの具体例は、例え
ば特開昭６１−２９１１８３号に記載されている。

塩基性物質は２種以上併用してもよい。

本発明においては、発色に関与する素材の常温での接触
を防止するといった生保存性の観点（カブリ防止）、及
び希望の印加熱エネルギーで発色させるというような発
色感度の制御の観点等から、発色に必須な成分の一部を
カプセル化して用いることが好ましい。

この場合に使用するマイクロカプセルの種類は特に限定
されるものではないが、特に本発明において好ましいマ
イクロカプセルは、常温ではマイクロカプセル壁の物質
隔離作用によりカプセル内外の物質の接触を妨げ、ある
温度以上に加熱されている間にのみ物質の透過性が上が
るものが好ましい。この場合、カプセル壁材、カプセル
芯物質、添加剤等を適宜選ぶことにより、その透過開始
温度を自由にコントロールすることができる。この場合
の透過開始温度はカプセル壁のガラス転移温度に相当す
るものである（例；特開昭５９−９１４３８号）。

カプセル壁固有のガラス転移点を制御するにはカプセル
壁形成剤の種類を変えることが必要であマイクロカプセ
ルの壁材料としては、ポリウレタン、ポリウレア、ポリ
エステル、ポリカーボネート、尿素−ホルムアルデヒド
樹脂、メラミン樹脂、ポリスチレン、スチレンメタクリ
レート共重合体、スチレン−アクリレート共重合体、ゼ
ラチン、ポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール
等が挙げられ、これらの高分子物質を２種以上併用する
こともできる。

本発明においては、上記の高分子物質のうちポリウレタ
ン、ポリウレア、ポリアミド、ポリエステル、ポリカー
ボネート等が好ましく、特にポリウレタン及びポリウレ
アが好ましい。

本発明で使用するマイクロカプセルは、発色反応に直接
関与する成分（以下発色剤と総称する）の一方を含有し
た芯物質を乳化した後、その油滴の周囲に高分子物質の
壁を形成してマイクロカプセル化することが好ましく、
この場合高分子物質を形成するリアクタントを油滴の内
部及び／又は油滴の外部に添加する。

ここで、油滴を形成するための有機溶剤は、般に高沸点
オイルの中から適宜選択することができるが、特に、発
色剤に対する溶解性が優れた有機溶剤を使用した場合に
は、熱印字の際の発色濃度と発色速度を増大せしめ、又
、カブリも少なくすることができるので好ましい。

マイクロカプセルを作る時、マイクロカプセル化すべき
成分を０．２重量％以上含有した乳化液から作ることが
できる。

ジアゾ化合物１重量部に対してカプラーは０゜１〜１０
重量部、塩基性物質は０．　１〜２０重量部の割合で使
用することが好ましい。一方、電子供与性染料前駆体１
重量部に対しては、顕色剤を０．３〜１６０重量部、好
ましくは０．３〜８０重量部使用することが好ましい。

上記の如く製造される好ましいマイクロカプセルを使用
した場合には、マイクロカプセルの芯及び外に含有され
ている反応性物質は加熱印字時にのみマイクロカプセル
壁を透過して反応し染料を形成することができる。

本発明では発色助剤を用いることも可能である。

本発明で用いることのできる発色助剤とは、加熱印字時
の発色濃度を高くする、もしくは最低発色温度を低くす
る物質であり、塩基性物質や発色剤の融点を下げたり、
カプセル壁の軟化点を低下せしめる作用により、ジアゾ
化合物、塩基性物質、カプラー、電子供与性染料前駆体
、顕色剤等が反応し易い状況を作るためのものである。

発色助剤としては、フェノール化合物、アルコール性化
合物、アミド化合物ζスルホンアミド化合物等があり、
具体例としては、ｐ　−ｔａｒｔ−オクチルフェノール
、ｐ−ベンジルオキシフェノール、ｐ−オキシ安息香酸
フェニル、カルバニル酸ベンジル、カルバニル酸フェネ
チル、ハイドロキノン、ジヒドロキシエチルエーテル、
キシリレンジオール、Ｎ−ヒドロキシエチル−メタンス
ルホン酸アミド、Ｎ−フェニル−メタンスルホン酸アミ
ド等の化合物を挙げることができる。これらは、芯物質
中に含有させてもよいし、分散物としてマイクロカプセ
ル外に添加してもよい。

本発明では、以上の素材の他に酸安定剤としてクエン酸
、酒石酸、シュウ酸、ホウ酸、リン酸、ピロリン酸等を
添加することができる。

本発明においては、感熱記録層を透明にするために顕色
剤又はカプラーを水に難溶又は不溶性の有機溶剤に溶解
せしめた後、これを界面活性剤を含有し水溶性高分子を
保護コロイドとして有する水相と混合して乳化分散した
分散物を使用する（例えば特開昭６３−９２４８９号）
。

顕色剤又はカプラーを溶解する有機溶剤は、高沸点のオ
イルの中から適宜選択することができる。

中でも好ましいオイルとしては、エステル類の他、下記
一般式（Ｖ）〜（■）で表される化合物及びトリアリル
メタン（例えば、トリトルイルメタントルイルジフェニ
ールメタン）、ターフェニル化合物（例えば、ターフェ
ニル）、アルキル化ジフェニルエーテル（例えば、プロ
ピルジフェニルエーテル、水添ターフェニル（例えば、
ヘキサヒドロターフェニル）、ジフェニルエーテル等カ
挙Ｌｆられる。

本発明においては、これらの中でもエステル類を使用す
ることが、顕色剤の溶解性及び顕色剤の乳化分散物の乳
化安定性の観点から特に好ましい。

（Ｖ） 式中、Ｒ＋は水素又は炭素数ｌ〜ＩＢのアルキル基を、
Ｒ２は炭素数１〜１８のアルキル基を表わす。ｐｌ及び
ｑｌは１〜４の整数を表し、且つアルキル基の総和は４
個以内とする。

なお、Ｒ１及びＲｚのアルキル基は炭素数１〜８のアル
キル基であることが好ましい。

（Ｖｌ） 式中、Ｒ３は水素原子又は炭素数１〜１２のアルキル基
、Ｒ４は炭素数１〜１２のアルキル基、ｎは１又は２を
表わす。

ｐｌ及びｑ！は１〜４の整数を表わす。ｎ＝１の場合に
は、アルキル基の総和は４個以内であり、ｎ＝２のとき
アルキル基の総和は６個以内である。

（■） 式中、Ｒ５及びＲ６は水素原子又は、炭素数１〜１８の
、同種もしくは異種のアルキル基を表わす。ｍは１〜１
３の整数を表わす。ｐ３及びｑ３は１〜３の整数を表し
、かつアルキル基の総和は３個以内である。

なお、Ｒ５及びＲ６のアルキル基は炭素数２〜４のアル
キル基であることが特に好ましい。

式、（Ｖ）で表わされる化合物例としては、ジメチルナ
フタレン、ジエチルナフタレン、ジイソプロピルナフタ
レンが挙げられる。

式（Ｖｌ）で表される化合物例としては、ジメチルビフ
ェニル、ジエチルビフェニル、ジイソプロピルビフェニ
ル、ジイソブチルビフェニルが挙ケられる。

式（■）で表わされる化合物例としては、エステル−１
−ジメチルフェニル−１−フェニルメタン、１−エチル
−１−ジメチルフェニル−１フエニルメタン、１−プロ
ピル−１−ジメチルフェニル−１−フェニルメタンが挙
げられる。

エステル類としては、燐酸エステルＷＩ（例えば、燐酸
トリフェニル、燐酸トリクレジル、燐酸ブチル、燐酸オ
クチル、燐酸タレジルジフェニル）、フタル酸エステル
（フタル酸ジブチル、フタル酸２−エチルヘキシル、フ
タル酸エチル、フタル酸オクチル、フタル酸ブチルベン
ジル）テトラヒドロフタル酸ジオクチル、安息香酸エス
テル（安息香酸エチル、安息香酸プロピル、安息香酸ブ
チル、安息香酸イソペンチル、安息香酸ベンジル）、ア
ビエチン酸エステル（アビエチン酸エチル、アビエチン
酸ベンジル）、アジピン酸ジオクチル、コハク酸イソデ
シル、アゼライン酸ジオクチル、シュウ酸エステル（シ
ュウ酸ジブチル、シュウ酸ジペンチル）、マロン酸ジエ
チル、マレイン酸エステル（マレイン酸ジメチル、マレ
イン酸ジエチル、マレイン酸ジブチル）、クエン酸トリ
ブチル、ソルビン酸エステル（ソルビン酸メチル、ソル
ビン酸エチル、ソルビン酸ブチル）、セバシン酸エステ
ル（セバシン酸ジブチル、セバシン酸ジオクチル）、エ
チレングリコールエステル類（ギ酸モノエステル及びジ
エステル、酪酸モノエステル及びジエステル、ラウリン
酸モノエステル及びジエステル、パルミチン酸モノエス
テル及びジエステル、ステアリン酸モノエステル及びジ
エステル、オレイン酸モノエステル及びジエステル）、
トリアセチン、炭酸ジエチル、炭酸ジフェニル、炭酸エ
チレン、炭酸プロピレン、ホウ酸エステル（ホウ酸トリ
ブチル、ホウ酸トリペンチル）等が挙げられる。これら
の中でも、燐酸トリクレジルを単独又は混合して使用し
た場合には顕色剤又はカプラーの乳化分散安定性が特に
良好であり好ましい。

本発明においては、上記の有機溶剤に、更に、低沸点の
溶解助剤として補助溶剤を加えることもできる。このよ
うな補助溶剤として、例えば酢酸エチル、酢酸イソプロ
ピル、酢酸ブチル及びメチレンクロライド等を特に好ま
しいものとして挙げることができる。

顕色剤又はカプラーを溶解した油相と混合する水相に、
保護コロイドとして含有せしめる水溶性高分子は、公知
のアニオン性高分子、ノニオン性高分子、両性高分子の
中から適宜選択することができるが、ポリビニルアルコ
ール、ゼラチン、セルロース誘導体等が好ましい。

又、水相に含有せしめる界面活性剤としては、アニオン
性、ノニオン性又は両性の界面活性剤の中から、上記保
護コロイドと作用して沈澱や凝集を起こさないものを適
宜選択して使用することができる。好ましい界面活性剤
としては、アルキルベンゼンスルホン酸ソーダ（例えば
、ドデシルベンゼンスルホン酸ソーダ）、アルキル硫酸
ナトリウム、スルホコハク酸ジオクチルナトリウム塩、
ポリアルキレングリコール（例えば、ポリオキシエチレ
ンノニルフェニルエーテル）等を挙げることができる。

本発明における顕色剤又はカプラーの乳化分散物は、顕
色剤又はカプラーを含有する油相と保護コロイド及び界
面活性剤を含有する水相を、高速撹拌、超音波分散等、
通常の微粒子乳化に用いられる手段を使用して混合分散
せしめ容易に得ることができる。

この乳化分散物には、適宜顕色剤やカプラーの融点降下
剤を添加することもできる。このような融点降下剤の中
の一部は前記カプセル壁のガラス転移点調節剤の機能を
も有する。このような化合物としては、例えば、ヒドロ
キシ化合物、カルバミン酸エステル化合物、スルホンア
ミド化合物、芳香族メトキシ化合物等があり、それらの
詳細は、例えば特願昭５９−２４４１９０号に記載され
ている。

これらの融点降下剤は、融点を降下せしめる顕色剤１重
量部に対し０．１〜２重量部、好ましくは０．５〜１重
量部の範囲で適宜使用することができるが、融点降下剤
とそれによって融点が降下する顕色剤やカプラー等は同
一の箇所に使用することが好ましい。異なった個所に添
加する場合には、上記の添加量の１〜３倍量を添加する
ことが好ましい。

本発明の感熱記録材料は適当なバインダーを用いて塗工
することができる。

バインダーとしてはポリビニルアルコール、メチルセル
ロース、カルボキシメチルセルロース、ヒドロキシプロ
ピルセルロース、アラビヤゴム、ゼラチン、ポリビニル
ピロリドン、カゼイン、スチレン−ブタジェンラテック
ス、アクリロニトリル−フタジエンラテックス、ポリ酢
酸ビニル、ポリアクリル酸エステル、エチレン−酢酸ビ
ニル共重合体等の各種エマルジョンを用いることができ
る。使用量は固形分として０．５〜５ｇ１０ｆである。

本発明のを熱記録材料は、電子供与性染料前駆体又はジ
アゾ化合物を内包したマイクロカプセル及び少なくとも
顕色剤又はカプラーを乳化分散した分散物、バインダー
等その他の添加物を含有した塗布液を作り、透明な合成
樹脂フィルム支持体の上にバー塗布、ブレード塗布、エ
アナイフ塗布、グラビア塗布、ロールコーティング塗布
、スプレー塗布、デイツプ塗布等の塗布法により塗布乾
燥して、固形分が２．５〜２５ｇ／ｉｆの感熱層を設け
ることによって製造される。

このようにして製造した感熱材料の感熱層は、極めて良
好な透明性を有する。

本発明においては透明感熱層の上部に、更に、該感熱層
で使用した電子供与性染料前駆体又はジアゾ化合物を含
有するマイクロカプセルを含む層を設けても良い。この
場合更に顕色剤又はカプラーの乳化分散物を必要に応じ
て含有せしめることができるが、その量は該層全重量の
２０重景％以下とすることが必要である。このように顕
色剤乳化分散物の量が少ない層を設けることにより、本
感熱記録材料の接着性を低下せしめることができる上、
この層に含有されている電子供与性染料前駆体も発色に
寄与し得るのでこの層を設けることによって熱感度が低
下することはない。

本発明においては、感熱層の中に、熱ヘツドに対するス
ティッキングの防止や筆記性を改良する目的で、シリカ
、硫酸バリウム、酸化チタン、水酸化アルミニウム、酸
化亜鉛、炭酸カルシウム等の顔料や、スチレンビーズ、
尿素−メラミン樹脂等の微粉末を添加することができる
が、感熱層の透明性を維持するために、感熱層の上に主
として保存性と安全性を目的とする保護層を公知の方法
により設け、この保護層に添加することが好ましい。保
護層についての詳細は、例えばｒ紙パルプ技術タイムス
Ｊ　　（１９８５年、９月号）２〜４頁に記載されてい
る。

特に、ケイ素変性ポリビニルアルコールとコロイダルシ
リカの組合せを主成分とする保護層を使用した場合には
、保護層の透明性が極めて良好となり、ひいては感熱記
録材料の透明性を著しく改善することができるので好ま
しい。

保護層中にはスティッキング防止のためにワックス類や
金属石鹸類を添加することもできる。これらの使用量は
０．２〜７ｇ／ｎ（である。

ワックス類としては、パラフィンワックス、カルナバロ
ウワックス、マイクロクリスタリンワックス、ポリエチ
レンワックスの他、高級脂肪酸アミド、例えば、ステア
リン酸アミド、エチレンビスステアロアミド、高級脂肪
酸エステル等が挙げられる。

金属石鹸としては、高級脂肪酸多価金属塩、例えばステ
アリン酸亜鉛、ステアリン酸アルミニウム、ステアリン
酸カルシウム、オレイン酸亜鉛等が挙げられる。

又、感熱層の塗布量は３ｇ／ｒｒｒ〜２０ｇ／ボ、特に
５ｇ／ｉｆ〜１５ｇ／ｒｒｆの間にあることが好ましい
。３ｇ／ｒｄ以下では十分な感度が得られず、２０ｇ／
ｒｒｆ以上塗布しても品質の向上は見られないのでコス
ト的に不利になる。

支持体となる透明な合成樹脂フィルムは、耐摩耗性、耐
水性、耐薬品性に優れ、感熱層の塗布によってカールを
生じない程度の厚み及び／又は剛性を有し、現像過程で
の加熱等に対しても変形せず、寸法安定性を有する公知
の材料の中から任意に選択することができる。このよう
なフィルムとしてはポリエチレンテレフタレートやポリ
ブチレンテレフタレート等のポリエステルフィルム、三
ｉ［セルロースフィルム等のセルロース誘導体フィルム
、ポリスチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポ
リエチレン等のポリオレフィンフィルム等が挙げられ、
これらを単体で或いは貼り合わせて用いることができる
。

支持体の厚みとしては２０〜２００μｍのものが好まし
く、特に約５０〜１００μｍのものが好ましい。

本発明においては、プラスチックフィルムと感熱層の接
着を高めるために両層の間に下塗層を設けることができ
る。下塗層の素材としては、ゼラチンや合成高分子ラテ
ックス、ニトロセルロース等が用いられる。下塗層の塗
布量は０．１８／ｍ′〜２．０ｇ／ｍ’の範囲にあるこ
とが好ましく、特に０．２　ｇ／ｍ”　〜１．Ｏｇ／ｍ
”の範囲が好ましい。０．１ｇ／ｍ２より少ないとフィ
ルムと感熱層との接着が十分でなく、又２．Ｏｇ／ｍ２
以上にふやしてもフィルムと感熱層との接着力は飽和に
達しているのでコスト的に不利となる。

下塗層は、感熱層がその上に塗布された時に感熱層中に
含まれる水により下塗層が膨潤することがあるので、硬
膜剤を用いて硬化させることが望ましい。

硬膜剤としては、グルタルアルデヒド、２．３ジヒドロ
キシ−１，４−ジオキサン等のジアルデヒド類及びホウ
酸が好ましい。

これらの硬膜剤の添加量は、下塗素材の重量に対して、
０．２０重重量から３．０重量％の範囲で、塗布方法や
希望の硬化度に合わせて適切な添加量を選ぶことができ
る。

又、塗布時に発生する泡を消すために、消泡剤を添加す
る事も、或いは、液のレベリングを良くして塗布筋の発
生を防止するために活性剤を添加する事も可能である。

又、必要に応じて帯電防止剤を添加することも可能であ
る。

更に、下塗層を塗布する前には、フィルムの表面を公知
の方法により活性化処理する事が望ましい。活性化処理
の方法としては、酸によるエツチング処理、ガスバーナ
ーによる火焔処理、或いはコロナ処理、グロー放電処理
等が用いられるが、コストの面或いは簡便さの点から、
米国特許第２゜７１５．０７５号、同第２，８４６，７
２７号、同第３，５４９，４０６号、同第３，５９０，
１０７号等に記載されたコロナ放電処理が最も好んで用
いられる。

本発明において、カール矯正、帯電防止、滑り性改善を
目的として支持体の裏面にバック層を設けても良い。バ
ック層の構成成分としては、保護層のものと同様の成分
を用いるのが好ましい。

本発明に係る塗布液は、一般によく知られた塗布方法、
例えばデイツプコート法、エアーナイフコート法、カー
テンコート法、ローラーコート法、ドクターコート法、
ワイヤーバーコード法、スライドコート法、グラビアコ
ート法、或いは米国特許第２，６８１，２９４号明細書
に記載のホッパーを使用するエクストルージョンコート
法等により塗布することが出来る。必要に応じて、米国
特許第２，７６１，７９１号、同第３，５０８，９４７
号、同第２，９４１，８９８号、及び同第３゜５２６．
５２８号明細書、原崎勇次著「コーティング工学」２５
３頁（１９７３年朝倉書店発行）等に記載された方法等
により２層以上に分けて、同時に塗布することも可能で
あり、塗布量、塗布速度等に応じて適切な方法を選ぶこ
とができる。

更に、塗液中に、顔料分散剤、増粘剤、流動変性剤、消
泡剤、抑泡剤、離型剤、着色剤を必要に応じて適宜配合
することができる。

本発明においては、以上の如くして得られた透明感熱記
録材料に、サーマルヘッドやレーザービーム等によって
回路パターンを形成せしめる。特に発色剤としてジアゾ
化合物とカプラーの組合せを採用している場合には、パ
ターン作成後、感熱記録材料全面に紫外線を照射して、
非画像部のジアゾ化合物を分解し、これによって回路パ
ターンを定着せしめることが好ましい。

上記の如くして得られた透明感熱記録材料の回路パター
ンをフォトマスクとして使用し、常法に従ってレジスト
パターンを作成することができる。

（発明の効果） 以上詳述した如く、本発明で使用するフォトマスクは感
熱記録材料であるので、マスクの作成はすべて乾式で行
うことができるのみならず、デジタル信号から直接パタ
ーンを作成することができる。従って、従来のフォトマ
スク作成工程における湿式作業を不要とする観点からの
みならず、フォトマスク作成を大巾に簡単化されるので
、レジストパターンの形成方法自体も大巾に改善される
。

（実施例） 以下本発明を実施例によって更に詳述するが、本発明は
これによって限定されるものではない。

実施例１゜ スルホールメツキが施された銅張り積層板に感光性樹脂
フィルム（富士写真フィルム■製　ＶＡＮＸＡ４５０）
を貼り合わせ、以下の方法により作製した透明感熱フィ
ルムにＣＡＤ用コンピューターにて作成した画像をプリ
ントアウトしフォトマスクとして重ね合わせ、露光、現
像によりエツチングレジストパターンを形成し、次いで
エツチングにより回路を形成した。

得られた回路は断線、導通もな（良好な品質であった。

〔カプセル液の調製］ 下記構造式で表されるロイコ色素 タケネートＤ−１１ＯＮ（成田薬品■製カプセル壁材）
２０ｇを１−フェニル−１−キシリルエタン１２ｇと、
メチレンクロライド２０ｇの混合溶媒に添加し、溶解し
た。このロイコ染料の溶液を、ＰＶＡ２１７Ｃ（クラレ
■製）及びイオン交換水を用いた８％のポリビニルアル
コール水溶液６０ｇとイオン交換水２０ｇの水溶液に混
合し、日本精機■製のエースホモジナイザーで１０．０
１００ｙＰで５分間乳化し、更にイオン交換水１２０ｇ
を加えて、４０°Ｃで３時間反応させてカプセルサイズ
１．０μのカプセル液を製造した。

尚、上記のクラレＰＶＡ２１７Ｃはナトリウムイオン量
を低減させたものである。

〔顕色剤乳化分散物の調製〕

下記構造式で表わされる顕色剤（ａ）５　ｇ、　（ｂ）
２　ｇ及び（ｃ）８ｇを１−フェニル−１−キシリルエ
タン１ｇと酢酸エチル７ｇに溶解した。得られた顕色剤
の溶液を、ＰＶＡ２１７Ｃ及びイオン交換水を用いた８
％のポリビニルアルコール水溶液３７ｇとイオン交換水
３５ｇ１及びドデシルベンゼンスルホン酸トリエタノー
ルアミン酸（界面活性剤）０．２ｇの水溶液に混合し、
日本精機■製のエースホモジナイザーを用いて、１０．
００Ｏｒｐｍ常温で５分間乳化し、粒子サイズ１．５μ
の乳化分散物を得た。

顕色剤（ａ） 顕色剤（ロ） 顕色剤（Ｃ） 〔感熱記録材料の作製〕 上記カプセル液５．０ｇ、顕色剤乳化分散物１０、Ｏｇ
、及びイオン交換水５．０ｇを撹拌混合し、厚さ７５μ
の透明なポリエチレンテレフタレ−）　（ＰＥＴ）支持
体の片面に、固形分が６ｇ／ｍ”になるように塗布し乾
燥して感熱層を形成し、次いで下記の組成の保護層を、
イオン交換水を用いて感熱記録層の上に固形分が２．５
ｇ／ｍ”となるように塗布した。尚、カオブライトはそ
の水分散液をイオン交換樹脂アーバンライトＭＢ３（オ
ルガノ■製）によりイオン交換処理した。

ポリビニルアルコール　　　　　　　２　重１部（クラ
レ■製ＰＶＡ２１７Ｃ） カオブライト（Ｔｈｉｅｌｅ社）　　　　　　４重量部
ホウ酸　　　　　　　　　　　　０．　１重量部ステア
リン酸Ｚｎ分散物　　　　０．　２重量部（中東油脂■
製） ラウリル硫酸アンモニウム　　０．０５重量部得られた
透明感熱記録材料をマクベス透過濃度針（可視域）で測
定したところ、波長３６０ｎｍにおける透過率が９０％
であり、最大発色濃度は１．５３であった。

特許出願人　　富士写真フィルム株式会社代 理 人

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）プリント基板用基板上に感光性樹脂層を形成せしめ
   た後、該樹脂層上にフォトマスクフィルムを載置して露
   光、現像するレジストパターンの形成方法において、前
   記フォトマスクフィルムが加熱により発色画像を形成せ
   しめた透明感熱記録材料であることを特徴とするレジス
   トパターンの形成方法。 ２）透明感熱記録材料の波長３６０ｎｍにおける透過率
   が７０％以上で、最大発色濃度が１．０以上である請求
   項１に記載のレジストパターンの形成方法。