JPH0482840U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0482840U JPH0482840U JP12559290U JP12559290U JPH0482840U JP H0482840 U JPH0482840 U JP H0482840U JP 12559290 U JP12559290 U JP 12559290U JP 12559290 U JP12559290 U JP 12559290U JP H0482840 U JPH0482840 U JP H0482840U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- vertical
- support jig
- insertion position
- placement surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 9
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本実施例に係るウエハの縦型支持治具
を一部破断して示す側面図、第２図は本実施例に
係る支柱とウエハの位置関係を示す説明図、第３
図は本実施例に係るウエハの縦型支持治具の使用
例を示す説明図、第４図及び第５図は本実施例の
他の例を一部省略して示す側面図、第６図は縦型
酸化拡散炉を示す概略構成図、第７図は従来例に
係るウエハの縦型支持治具を一部省略して示す斜
視図、第８図はその一部破断側面図、第９図は他
の従来例を示す一部破断側面図である。 Ａは縦型支持治具、１は基台、２ａ及び２ｂは
前方の支柱、２ｃ及び２ｄは後方の支柱、３はウ
エハ、４及び５は溝、４ａ及び５ａは底部、４ｂ
及び５ｂは上面、４ｃ及び５ｃはウエハ載置面、
Ｂはウエハ移載治具である。
を一部破断して示す側面図、第２図は本実施例に
係る支柱とウエハの位置関係を示す説明図、第３
図は本実施例に係るウエハの縦型支持治具の使用
例を示す説明図、第４図及び第５図は本実施例の
他の例を一部省略して示す側面図、第６図は縦型
酸化拡散炉を示す概略構成図、第７図は従来例に
係るウエハの縦型支持治具を一部省略して示す斜
視図、第８図はその一部破断側面図、第９図は他
の従来例を示す一部破断側面図である。 Ａは縦型支持治具、１は基台、２ａ及び２ｂは
前方の支柱、２ｃ及び２ｄは後方の支柱、３はウ
エハ、４及び５は溝、４ａ及び５ａは底部、４ｂ
及び５ｂは上面、４ｃ及び５ｃはウエハ載置面、
Ｂはウエハ移載治具である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 上下方向に並列して形成された複数のウエハ支
持溝に半導体ウエハを載置し、該ウエハを積層支
持するウエハの縦型支持治具において、 上記複数のウエハ支持溝のウエハ載置面中、上
記ウエハの挿入位置から遠い部分の上記ウエハ載
置面が、上記ウエハの挿入位置から近い部分の上
記ウエハ載置面より下方に形成されたことを特徴
とするウエハの縦型支持治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12559290U JPH0482840U (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12559290U JPH0482840U (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0482840U true JPH0482840U (ja) | 1992-07-20 |
Family
ID=31873184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12559290U Pending JPH0482840U (ja) | 1990-11-28 | 1990-11-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0482840U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014060403A (ja) * | 2013-09-24 | 2014-04-03 | Kokusai Electric Semiconductor Service Inc | 基板保持具及びウェーハ支持方法 |
-
1990
- 1990-11-28 JP JP12559290U patent/JPH0482840U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014060403A (ja) * | 2013-09-24 | 2014-04-03 | Kokusai Electric Semiconductor Service Inc | 基板保持具及びウェーハ支持方法 |