JPH0511308U - 電子顕微鏡用試料ホルダ - Google Patents

電子顕微鏡用試料ホルダ

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Publication number
JPH0511308U
JPH0511308U JP6642591U JP6642591U JPH0511308U JP H0511308 U JPH0511308 U JP H0511308U JP 6642591 U JP6642591 U JP 6642591U JP 6642591 U JP6642591 U JP 6642591U JP H0511308 U JPH0511308 U JP H0511308U
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JP
Japan
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sample
sample holder
ring
holder body
electron microscope
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Pending
Application number
JP6642591U
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English (en)
Inventor
勇 山田
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Jeol Ltd
Original Assignee
Jeol Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 薄くて、試料の固定が簡単で、且つ、試料の
破損を防止する電子顕微鏡用試料ホルダを提供するこ
と。 【構成】 試料８を試料ホルダ本体６の試料載置部７に
載置する。そして、Ｃリング９をホットプレートの上に
置いて１００〜２００℃に加熱し、縮ませた後に、加熱
されたピンセットで挟んで試料８の上に載置する。試料
上に載置されたＣリング９は常温になると径が大きくな
り、溝Ｏと接触する。この為、試料８はＣリング９によ
り試料ホルダ本体６に固定される。また、試料８を試料
ホルダ本体６から取り出す場合は、先ず試料ホルダ本体
６にホットエアーを吹き付けてＣリング９を縮ませ、Ｃ
リング９を取り除いた後に試料８を取り出す。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】 本考案は電子顕微鏡用試料ホルダに関する。
【０００２】
【従来の技術】 図４はネジ止めにより電子顕微鏡用試料を試料ホルダに固定し た状態を示したものである。試料ホルダ本体１の試料載置部２に載置された試料 ３は、ざ金４を介してネジ５により試料ホルダ本体１に固定されている。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】 ところで、電子顕微鏡の対物レンズのポール ピースを構成する上磁極片と下磁極片のギャップは分解能を向上させるために狭 いほうが良い。この為、このギャップに挿入する試料ホルダを薄くしなければな らない。前記図４に示した試料ホルダを更に薄くする場合、ネジ５の山を少なく しなければならない。例えば、ネジ５の山を２山にすれば良いが、同じ力でネジ を捩じ込んだ場合、ネジ山の少ないネジはネジ山の多いネジに比べて破損しやす い。また、ネジを試料ホルダに捩じ込む作業は光学顕微鏡を使って行うが、この 様な作業は非常に厄介で時間もかかる。また、ネジを必要以上に捩じ込むと試料 が破損してしまう。
【０００４】 本考案はこのような問題を解決する新規な電子顕微鏡用試料ホルダを提供する ことを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】 この目的を達成する本考案の電子顕微鏡用試料 ホルダは、試料載置用のテーパ状の溝を有する試料ホルダ本体と、該溝に載置さ れる試料と、該試料の上に載置される試料押さえ用の部材を備え、該部材は電子 線通過部を有すると共に非磁性体の形状記憶合金で形成されており、常温時に大 きくなって前記溝のテーパ面に接触して試料を試料ホルダ本体に固定する。
【０００６】
【実施例】 図１は本考案の電子顕微鏡用試料ホルダの一実施例を示したもので ある。図において、６は試料ホルダ本体で、この試料ホルダ本体６にはテーパ状 の溝Ｏおよび試料を透過した電子線が通過する開口Ｐが形成されている。７は試 料載置部、８は試料、９は非磁性体の形状記憶合金で作製されたＣリングである 。Ｃリング９は、常温では図２（ａ）に示すような形状であるが、１００〜２０ ０℃に加熱すると、図２（ｂ）に示すように、常温時より径が小さくなる。尚、 非磁性体のＣリングとしたのは、試料の磁化を防ぐためである。
【０００７】 以下に、試料ホルダ本体６への試料８のセットについて説明する。
【０００８】 先ず、試料８を試料ホルダ本体６の試料載置部７に載置する。そして、Ｃリン グ９をホットプレートの上に置いて１００〜２００℃に加熱した後に、加熱した ピンセットでそのＣリング９を挟んで試料８の上に載置する（図３参照）。試料 上に載置されたＣリング９は常温になると径が大きくなり、図１に示すように、 溝Ｏと接触する。この為、試料８はＣリング９により試料ホルダ６に固定される 。 また、試料８を取り出す場合は、先ず試料ホルダ本体６にホットエアーを吹 き付けてＣリング９を縮ませ、Ｃリング９を取り除いた後に試料８を取り出す。
【０００９】 尚、Ｃリングの代わりに、非磁性体の形状記憶合金で作製されたコの字状の部 材で試料を試料ホルダ本体に固定するようにしてもよい。
【００１０】
【考案の効果】 本考案によれば、非磁性体の形状記憶合金で作製された部材で 試料を試料ホルダ本体に固定するように成したので、従来のネジ止めにより試料 を試料ホルダに固定する方式に比べ、試料ホルダを薄くできる。この結果、電子 顕微鏡の対物レンズのポールピースを構成する上磁極片と下磁極片のギャップを 狭くでき、分解能を向上させる事ができる。また、本考案はネジ止めに比べ簡単 にして試料を試料ホルダに固定でき、且つ、試料を破損させる事はない。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本考案の電子顕微鏡用試料ホルダの一実施例
を示したものである。
【図２】 本考案の電子顕微鏡用試料ホルダの要部を示
したものである。
【図３】 本考案の説明に使用したものである。
【図４】 従来の電子顕微鏡用試料ホルダを示したもの
である。
【符号の説明】
１…試料ホルダ本体、２…試料載置部、３…試料、４…
ざ金、５…ネジ、６…試料ホルダ本体、７…試料載置
部、８…試料、９…Ｃリング、１０…試料、１１…試料
ホルダ、１２…部材、Ｏ…溝、Ｐ…開口

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 【請求項１】 試料載置用のテーパ状の溝を有する試料
    ホルダ本体と、該溝に載置される試料と、該試料の上に
    載置される試料押さえ用の部材を備え、該部材は電子線
    通過部を有すると共に非磁性体の形状記憶合金で形成さ
    れており、常温時に大きくなって前記溝のテーパ面に接
    触して試料を試料ホルダ本体に固定する事を特徴とする
    電子顕微鏡用試料ホルダ。
JP6642591U 1991-07-26 1991-07-26 電子顕微鏡用試料ホルダ Pending JPH0511308U (ja)

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JPH0511308U true JPH0511308U (ja) 1993-02-12

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63285979A (ja) * 1987-05-18 1988-11-22 Fujitsu Ltd 光半導体部品の固定方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63285979A (ja) * 1987-05-18 1988-11-22 Fujitsu Ltd 光半導体部品の固定方法

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Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19970121