JPH05205212A

JPH05205212A - 磁気ヘッドの製造方法

Info

Publication number: JPH05205212A
Application number: JP1414592A
Authority: JP
Inventors: Michi Itou; 美知伊藤
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1992-01-29
Filing date: 1992-01-29
Publication date: 1993-08-13

Abstract

(57)【要約】【目的】ラミネート型磁気ヘッドを形成する際に副次
的にフェライト磁気ヘッドを形成し、製造コストを引き
下げ、このフェライト磁気ヘッドをモニターとして用い
ることにより、ラミネート型磁気ヘッドの磁気特性の品
質管理を容易にする。【構成】磁気ギャップを構成する金属磁性薄膜２を挟
んで磁性フェライトコア部１３が配されて成るラミネー
ト型磁気ヘッド４１〜４３を形成し、これらラミネート
型磁気ヘッド４１〜４３が複数個並置配列されたコアブ
ロック１２の、各ラミネート型磁気ヘッド４１と４２、
４２と４３の中間の磁性フェライトコア部１３を残し
て、磁性フェライトより成る磁気ギャップを有するフェ
ライト磁気ヘッド５１、５２を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッド特に例えば
いわゆるメタルテープ等の高保磁力磁気記録媒体に対す
る記録再生に好適な、磁性基板に金属磁性薄膜を積層し
て成るラミネート型構成の磁気ヘッドの製造方法に係わ
る。

【０００２】

【従来の技術】近年ＶＴＲ（ビデオテープレコーダー）
等の磁気記録再生装置において、高画質化等を目的とし
て情報信号の短波長記録化が進められており、これに伴
い磁性粉として強磁性金属粉末を用いたいわゆるメタル
テープや、ベースフィルム上に強磁性金属材料を直接被
着した蒸着テープ等の高保磁力の磁気記録媒体が使用さ
れており、この高保磁力の磁気記録媒体に用いて好適な
磁気ヘッドとして、高飽和磁束密度の金属磁性薄膜を磁
性フェライト基板で挟み込むサンドイッチ型構成の積層
型磁気ヘッドいわゆるラミネート型磁気ヘッドが提案さ
れている。

【０００３】このラミネート型磁気ヘッドの製造方法の
一例を図５及び図６の各工程図を参照して説明する。先
ず、図５に示すように、例えば短冊状の磁性フェライト
基板１に金属磁性薄膜２、または保護層、ガラス層（図
示せず）等をスパッタリング等により積層して成膜し、
その基板を重ね合わせてガラス層を溶かして融着して、
磁性フェライト基板１の積層された積層基体１０を形成
する。そしてこの積層基体１０の一表面に金属磁性薄膜
２の両側に延びるトラック幅規制溝３を形成し、更に破
線ｍで示すように、積層された金属磁性薄膜２を横切る
方向に巻き線溝４を、また後述する磁気ギャップを構成
する部分にガラス溝（図示せず）を研削等により形成す
る。そしてこの後ギャップ構成面５の鏡面加工を施した
後、例えば破線ｓで示すように、コアブロック半体１１
毎に切断する。

【０００４】次に対のコアブロック半体１１をトラック
合わせを行って対向させた状態で、図６において符号５
で示すガラス溝内に融着ガラス６を溶かし込んでガラス
融着を行い、またそのバック側即ち図６において下側に
設けたバック溝９にも図示しないが融着ガラスを溶かし
込んでコアブロック１２を形成する。そして、このコア
ブロック１２の磁気記録媒体（図示せず）と対向する摺
動面となる面、この場合図６においてその上面を、例え
ば金属磁性薄膜２の膜面に沿う方向に湾曲する曲面状に
形成し、更に各金属磁性薄膜２を挟んでその両側に、所
定の幅をもって当たり幅規制溝８を形成し、これら各当
たり幅規制溝８によって両側を挟まれた曲面を磁気記録
媒体との摺動面７とする。そしてこの後、破線ｅ、ｆ、
ｇ、ｈで示すように、各摺動面７の両側に所定の幅をも
ってその両側をバック側に向けて切断して即ち磁気ヘッ
ドチップ毎に切断し、複数のラミネート型構成の磁気ヘ
ッド４１を得ることができる。

【０００５】このようなラミネート型磁気ヘッドの製造
方法においては、上述した図５における磁性フェライト
基板１の厚さを、この上に成膜する金属磁性薄膜２によ
って生じる応力を緩和するために、最終的に得る磁気ヘ
ッド４１の磁気コア部として必要な厚さの２倍以上とし
て構成している。

【０００６】このため、磁気ヘッドを最終的に切断して
得る際に、図６において破線ｅと破線ｆとの間と、破線
ｇと破線ｈとの間の部分、即ちラミネート型磁気ヘッド
４１を構成する部分以外の磁性フェライト基板１は利用
されずにそのまま破棄されることとなり、磁気ヘッドの
コスト高を招来する一因となっている。

【０００７】更に、このようにして得るラミネート型構
成の磁気ヘッド４１の品質管理を行う際には、このラミ
ネート型磁気ヘッドの特性の変動が、磁性フェライト基
板１上にスパッタリング等により成膜した金属磁性薄膜
２の特性の変動に起因するものか、或いは製造工程上の
パラメータ、例えばガラス融着の際の位置合わせ精度等
の変動によるものかを明確に識別する手段がなく、特性
の変動の原因を把握する手段を得ることが望まれてい
た。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述したよ
うな従来のラミネート型構成の磁気ヘッドの製造工程に
おいて破棄されていた磁性フェライト基板の部材から、
このラミネート型磁気ヘッドの製造工程において副次的
に構成し得るフェライト磁気ヘッドを得て、製造コスト
を引き下げることと、ラミネート型磁気ヘッドの磁気特
性の変動を、金属磁性薄膜の特性の変動によるものか、
製造工程上の条件の変動によるものかを明確に区別し得
る手段を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明による磁気ヘッド
の製造方法は、その一例の一製造工程図を図１に示すよ
うに、磁気ギャップを構成する金属磁性薄膜２を挟んで
磁性フェライトコア部１３が配されて成るラミネート型
磁気ヘッド４１〜４３を形成し、これらラミネート型磁
気ヘッド４１〜４３が複数個並置配列されたコアブロッ
ク１２の、各ラミネート型磁気ヘッド４１と４２、又は
ラミネート型磁気ヘッド４２と４３の中間の磁性フェラ
イトコア部１３が残されて、磁性フェライトより成る磁
気ギャップを有するフェライト磁気ヘッド５１、５２を
構成する。

【００１０】

【作用】上述したように、本発明磁気ヘッドの製造方法
においては、金属磁性薄膜２を磁性基板１上に積層構成
して成るラミネート型磁気ヘッド４１、４２及び４３を
形成する製造工程において、副次的にこれら磁気ヘッド
４１と４２との間、４２と４３との間に、磁性フェライ
トコア部１３を残してこの磁性フェライトより成る磁気
ギャップを有するフェライト磁気ヘッド５１及び５２を
形成するものであり、従来破棄されていた、各ラミネー
ト型磁気ヘッド４１、４２、４３の間の磁性フェライト
基板部材を利用した磁気ヘッド５１と５２とを副次的に
得ることができて、製造コストの低減化をはかることが
できる。

【００１１】更に、本発明製造方法では、同一基板材料
から、同一工程をもって、ラミネート型磁気ヘッド４１
〜４３と磁気ヘッド５１及び５２とを形成することか
ら、この磁気ヘッド５１及び５２の磁気特性を検討する
ことによって、ラミネート型磁気ヘッド４１〜４３の特
性の変動が、磁性基板１上にスパッタリング等により成
膜した金属磁性薄膜２の特性の変動に起因するものか、
製造工程上のパラメータ、例えばガラス融着の際の位置
合わせ精度等の変動によるものかを明確に識別すること
ができて、その品質管理を行い易くすることができる。

【００１２】

【実施例】以下本発明磁気ヘッドの製造方法の一例を、
図１〜図４の製造工程図を参照して詳細に説明する。

【００１３】先ず、例えば厚さ２ｍｍ、幅１ｍｍ、長さ
３０ｍｍの短冊状の磁性フェライト基板１の表面に、接
着性を改善するために例えばＣｒ層を被着した後、Ｓｉ
Ｏ₂等の下地層を被着して、これの上に例えばセンダス
ト等より成る厚さ約６μｍの磁性層と、厚さ例えば０．
２μｍのＳｉＯ₂等より成る絶縁層とを交互に４層ずつ
スパッタリング等により被着して、この上にＳｉＯ₂等
より成る保護層を厚さ例えば０．１５μｍとして被着
し、更にガラス融着用のガラス層を０．１μｍスパッタ
リング等により被着して金属磁性薄膜２を積層構成し
た。

【００１４】次にこの基板１を複数枚持ち来して、金属
磁性薄膜２を対向させて重ね合わせ、上述のガラス層を
溶かして融着し、図２に示すように、複数の磁性フェラ
イト基板１が積層されて成る積層基体１０を形成する。
そしてこの表面をバーティカル研削等により研磨して平
面処理を行った後、トラック幅規制溝２０（２１〜２
４）を形成する。このトラック幅規制溝２０は、例えば
各金属磁性薄膜２の中間部に、この金属磁性薄膜２と平
行に延長するギャップ構成部２５を残すように、各金属
磁性薄膜２の両側が削られてそれぞれ形成される。各ト
ラック幅規制溝２１と２２、又は２３と２４に挟まれた
金属磁性薄膜２の表面は、最終的に得るラミネート型磁
気ヘッドのギャップ構成面５となる。

【００１５】そしてこの後、図３に示すように、上述の
トラック幅規制溝２０を横切る方向に巻き線溝４を形成
する。このとき、図示しないが、後述する磁気ギャップ
を構成する部分にガラス溝（図示せず）を同様に形成す
る。そしてこの後ギャップ構成面５と、上述のトラック
幅規制溝２２と２３との間のギャップ構成部２５とに、
鏡面加工を施す。そしてこの後、例えば破線ｉで示すよ
うに、コアブロック半体１１毎に切断する。

【００１６】次に、図４に示すように、対のコアブロッ
ク半体１１を、そのギャップ構成面５及びギャップ構成
部２５とを矢印ｊで示すように突き合わせて、対向させ
る。

【００１７】この状態でトラック位置合わせを行い、図
１に示すように、ガラス溝５内に融着ガラス６を溶かし
込み、またバック側のバック溝９内にも、図示しないが
融着ガラスを溶かし込んでガラス融着を行い、一対のコ
アブロック半体１１より成るコアブロック１２を構成す
る。そして、このコアブロック１２の磁気記録媒体（図
示せず）と対向する面、この場合図１においてその上面
を、例えば金属磁性薄膜２の膜面に沿う方向に湾曲する
曲面状に形成する。

【００１８】そしてこの後、各金属磁性薄膜２の中間部
に磁性フェライトコア部１３を残して各金属磁性薄膜２
の両側に、この薄膜２の膜面に沿う方向に延長して連通
するように、所定の幅をもって当たり幅規制溝３０（３
１〜３６）を設け、これにより各当たり幅規制溝３１〜
３６に挟まれて、その延長方向に湾曲する摺動面７０
（７１〜７５）が構成される。

【００１９】この場合、金属磁性薄膜２を挟んで磁性フ
ェライトコア部１３により構成される摺動面７１、７３
及び７５と、磁性フェライトコア部１３のみにより構成
される摺動面７２及び７４とが形成される。即ち、磁気
ギャップを構成する金属磁性薄膜２を挟んで磁性フェラ
イトコア部１３が配されて成るラミネート型磁気ヘッド
４１〜４３が形成され、これらラミネート型磁気ヘッド
４１〜４３が複数個並置配列されたコアブロック１２
の、各ラミネート型磁気ヘッド４１と４２、ラミネート
型磁気ヘッド４２と４３の中間の磁性フェライトコア部
１３が残されて、磁性フェライトより成る磁気ギャップ
を有するフェライト磁気ヘッド５１、５２が構成される
こととなる。

【００２０】そしてこの後、破線ａ、ｂ、ｃ、ｄで示す
ように、各摺動面７０（７１〜７５）の両側に所定の幅
をもってその両側を切断し、即ち磁気ヘッドチップ毎に
切断して、複数のラミネート型構成の磁気ヘッド４１〜
４３と、フェライト磁気ヘッド５１及び５２とを得るこ
とができる。

【００２１】このようにして、ラミネート型磁気ヘッド
の製造工程において、副次的に、フェライト磁気ヘッド
を得ることができ、ラミネート型磁気ヘッドの製造過程
において従来破棄されていた、磁性フェライト部材を有
効に利用することができて、コストの低減化をはかるこ
とができる。

【００２２】そしてこの場合、各ラミネート型磁気ヘッ
ドと、フェライト磁気ヘッドとが、同一の研削工程、ガ
ラス融着工程等を経て形成されて成るため、フェライト
磁気ヘッドの磁気特性を検討することによって、このフ
ェライト磁気ヘッドに不具合が生じた場合には、上述の
製造工程において、特にトラック合わせ、研削工程等に
おいて問題が生じていることがわかり、逆にフェライト
磁気ヘッドの磁気特性が良好で、ラミネート型磁気ヘッ
ドのみにその磁気特性に問題が生じた場合には、上述の
製造工程において特に磁性薄膜の成膜工程等において、
不都合が生じていることがわかる。即ちフェライト磁気
ヘッドをラミネート型磁気ヘッドの品質管理用のモニタ
ーとして用いることができる。

【００２３】また、記録再生ヘッドを同一の記録再生装
置に別体に設ける構成において、高飽和磁束密度が得ら
れるラミネート型磁気ヘッドを記録ヘッドとして用い、
通常のフェライト磁気ヘッドを再生ヘッドとして用いる
場合には、本発明製法によって、両記録再生ヘッドを同
一の製造工程において製造することができ、生産性の向
上をはかることができることとなる。

【００２４】尚、本発明磁気ヘッドの製造方法は、上述
の実施例に限ることなく、その材料構成等において種々
の変更をなし得ることは勿論である。

【００２５】

【発明の効果】上述したように、本発明磁気ヘッドの製
造方法によれば、従来ラミネート型磁気ヘッドの製造工
程において廃棄されていたフェライト部材を有効に利用
することができて、この余剰部材からフェライト磁気ヘ
ッドを形成することができ、磁気ヘッドのコストの低減
化をはかることができる。

【００２６】更に、このようにして得たフェライト磁気
ヘッドをモニターとして用いることにより、ラミネート
型磁気ヘッドの特性上の不具合が、どの製造工程に起因
するものかを明確に把握することができて、品質管理を
行い易くすることができる。

【００２７】更に、記録ヘッドとしてラミネート型磁気
ヘッドを、再生ヘッドとしてフェライト磁気ヘッドを用
いる構成とする場合は、これら記録再生ヘッドを同一の
製造工程によって形成することができて、生産性の向上
をはかることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明磁気ヘッドの製造方法の一例の一製造工
程図である。

【図２】本発明磁気ヘッドの製造方法の一例の一製造工
程図である。

【図３】本発明磁気ヘッドの製造方法の一例の一製造工
程図である。

【図４】本発明磁気ヘッドの製造方法の一例の一製造工
程図である。

【図５】従来の磁気ヘッドの製造方法の一例の一製造工
程図である。

【図６】従来の磁気ヘッドの製造方法の一例の一製造工
程図である。

【符号の説明】

１磁性フェライト基板２金属磁性薄膜３トラック幅規制溝４巻き線溝６融着ガラス７摺動面１１コアブロック半体１２コアブロック１３磁性フェライトコア部２０トラック幅規制溝３０当たり幅規制溝４１ラミネート型磁気ヘッド４２ラミネート型磁気ヘッド５１フェライト磁気ヘッド５２フェライト磁気ヘッド５３フェライト磁気ヘッド７０摺動面

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁気ギャップを構成する金属磁性薄膜を
挟んで磁性フェライトコア部が配されて成るラミネート
型磁気ヘッドを形成し、上記ラミネート型磁気ヘッドが複数個並置配列されたコ
アブロックの、上記各ラミネート型磁気ヘッドの中間の
磁性フェライトコア部が残されて、磁性フェライトより
成る磁気ギャップを有するフェライト磁気ヘッドを構成
することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。