JPH06161137A - 電子写真用セレン感光体の製造方法 - Google Patents
電子写真用セレン感光体の製造方法Info
- Publication number
- JPH06161137A JPH06161137A JP30738692A JP30738692A JPH06161137A JP H06161137 A JPH06161137 A JP H06161137A JP 30738692 A JP30738692 A JP 30738692A JP 30738692 A JP30738692 A JP 30738692A JP H06161137 A JPH06161137 A JP H06161137A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- vapor deposition
- selenium
- photoconductor
- deposition material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】表面欠陥の少ないセレン積層感光体を安定して
製造できる方法を提供する。 【構成】ロータリーベルト１上に点線で示すようなチャ
ージパターンで粒径１．０μｍ〜１．７μｍの粒状のセ
レン系の正孔注入層用蒸着材料４，電荷発生層用蒸着材
料５，表面保護層用蒸着材料６を載置しておき、ロータ
リーベルト１を矢印Ａのように回転駆動させて、前もっ
て高温に加熱されている蒸発源３に各蒸着材料を順次供
給してフラッシュ蒸着し、基体上に通常の抵抗加熱方式
の真空蒸着で形成されている電荷輸送層上に、正孔注入
層，電荷発生層，表面保護層を順次形成する。
製造できる方法を提供する。 【構成】ロータリーベルト１上に点線で示すようなチャ
ージパターンで粒径１．０μｍ〜１．７μｍの粒状のセ
レン系の正孔注入層用蒸着材料４，電荷発生層用蒸着材
料５，表面保護層用蒸着材料６を載置しておき、ロータ
リーベルト１を矢印Ａのように回転駆動させて、前もっ
て高温に加熱されている蒸発源３に各蒸着材料を順次供
給してフラッシュ蒸着し、基体上に通常の抵抗加熱方式
の真空蒸着で形成されている電荷輸送層上に、正孔注入
層，電荷発生層，表面保護層を順次形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、電子写真用機能分離
型セレン積層感光体の製造方法に関する。
型セレン積層感光体の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子写真用感光体として従来より多用さ
れているセレン感光体は、アルミニウム合金などの導電
性材料からなる円筒状基体の外表面上にセレン系材料を
真空蒸着して成膜することにより製造される。セレン感
光体は、従来は、セレン系材料を一層に蒸着して感光体
層とする単層型感光体であったが、近年、高感度，高耐
久性の要望が強くなり、また、電子写真応用装置の多様
化により特定の波長の光に高感度の感光体が必要とされ
るようになり、感光体層を機能分離した多層膜とする積
層感光体が開発され実用化されてきている。例えば、近
年急速に普及してきている半導体レーザプリンタに用い
られる感光体は、長波長の半導体レーザ光（波長７８０
ｎｍ）に高感度で、かつ、高耐久性であることが要求さ
れるが、この要求を満たすために、例えば図２の模式的
断面図に示すように、基体１１上に純Ｓｅまたは低Ｔｅ
濃度のＳｅ／Ｔｅ合金からなる電荷輸送層１２、５重量
％〜２５重量％Ｔｅ濃度のＳｅ／Ｔｅ合金からなる正孔
注入層１３、高Ｔｅ濃度のＳｅ／Ｔｅ合金からなる電荷
発生層１４、純Ｓｅ，Ｓｅ／Ｔｅ合金，Ｓｅ／Ａｓ合金
などからなる表面保護層１５を順次積層形成した積層感
光体とされる。各層の膜厚は、その機能の面より、電荷
輸送層は数十ミクロンオーダー、正孔注入層は数ミクロ
ンオーダー以下、電荷発生層はサブミクロンオーダー、
表面保護層は数ミクロンオーダーとされる。このような
積層セレン感光体の製造に際しては、比較的厚膜の電荷
輸送層は、蒸発源に充填された蒸着材料を真空中で加熱
して蒸発させる通常の抵抗加熱蒸着法で良好に形成でき
るが、薄膜の正孔注入層，電荷発生層，表面保護層を膜
厚均一に均質に成膜するためには通常の抵抗加熱蒸着法
では難しく、蒸着材料を細かい粒状にして高温に保たれ
た蒸発源の中に落とし各粒を瞬間的に蒸発させてしまう
フラッシュ蒸着法により成膜することが行われている。
れているセレン感光体は、アルミニウム合金などの導電
性材料からなる円筒状基体の外表面上にセレン系材料を
真空蒸着して成膜することにより製造される。セレン感
光体は、従来は、セレン系材料を一層に蒸着して感光体
層とする単層型感光体であったが、近年、高感度，高耐
久性の要望が強くなり、また、電子写真応用装置の多様
化により特定の波長の光に高感度の感光体が必要とされ
るようになり、感光体層を機能分離した多層膜とする積
層感光体が開発され実用化されてきている。例えば、近
年急速に普及してきている半導体レーザプリンタに用い
られる感光体は、長波長の半導体レーザ光（波長７８０
ｎｍ）に高感度で、かつ、高耐久性であることが要求さ
れるが、この要求を満たすために、例えば図２の模式的
断面図に示すように、基体１１上に純Ｓｅまたは低Ｔｅ
濃度のＳｅ／Ｔｅ合金からなる電荷輸送層１２、５重量
％〜２５重量％Ｔｅ濃度のＳｅ／Ｔｅ合金からなる正孔
注入層１３、高Ｔｅ濃度のＳｅ／Ｔｅ合金からなる電荷
発生層１４、純Ｓｅ，Ｓｅ／Ｔｅ合金，Ｓｅ／Ａｓ合金
などからなる表面保護層１５を順次積層形成した積層感
光体とされる。各層の膜厚は、その機能の面より、電荷
輸送層は数十ミクロンオーダー、正孔注入層は数ミクロ
ンオーダー以下、電荷発生層はサブミクロンオーダー、
表面保護層は数ミクロンオーダーとされる。このような
積層セレン感光体の製造に際しては、比較的厚膜の電荷
輸送層は、蒸発源に充填された蒸着材料を真空中で加熱
して蒸発させる通常の抵抗加熱蒸着法で良好に形成でき
るが、薄膜の正孔注入層，電荷発生層，表面保護層を膜
厚均一に均質に成膜するためには通常の抵抗加熱蒸着法
では難しく、蒸着材料を細かい粒状にして高温に保たれ
た蒸発源の中に落とし各粒を瞬間的に蒸発させてしまう
フラッシュ蒸着法により成膜することが行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、フラッシュ
蒸着法では表面欠陥のない膜を安定して成膜することは
極めて難しいという問題がある。一方、電子写真用感光
体の場合、その感光体層の表面品質により得られる画像
品質が大きく左右されるが、セレン積層感光体において
は、上述のように表面層がフラッシュ蒸着で成膜される
ために、表面欠陥の少ない層を安定して成膜することは
難しく、製造歩留りが不安定であるという問題があっ
た。
蒸着法では表面欠陥のない膜を安定して成膜することは
極めて難しいという問題がある。一方、電子写真用感光
体の場合、その感光体層の表面品質により得られる画像
品質が大きく左右されるが、セレン積層感光体において
は、上述のように表面層がフラッシュ蒸着で成膜される
ために、表面欠陥の少ない層を安定して成膜することは
難しく、製造歩留りが不安定であるという問題があっ
た。
【０００４】この発明は、上述の問題点を解消して、表
面欠陥の少ないセレン積層感光体を安定して製造するこ
とが可能な電子写真用セレン感光体の製造方法を提供す
ることを解決しようとする課題とする。
面欠陥の少ないセレン積層感光体を安定して製造するこ
とが可能な電子写真用セレン感光体の製造方法を提供す
ることを解決しようとする課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、この発明
によれば、導電性基体上にセレン系材料を多段真空蒸着
して積層された感光体層を形成する電子写真用セレン感
光体の製造方法において、前記感光体層のうちの少なく
とも表面層を粒径１．０ｍｍ以上１．７ｍｍ以下の範囲
内の粒状のセレン系蒸着材料をフラッシュ蒸着すること
により形成することによって解決される。セレン系蒸着
材料の粒径を１．２ｍｍ以上１．５ｍｍ以下の範囲内と
するとより好適である。
によれば、導電性基体上にセレン系材料を多段真空蒸着
して積層された感光体層を形成する電子写真用セレン感
光体の製造方法において、前記感光体層のうちの少なく
とも表面層を粒径１．０ｍｍ以上１．７ｍｍ以下の範囲
内の粒状のセレン系蒸着材料をフラッシュ蒸着すること
により形成することによって解決される。セレン系蒸着
材料の粒径を１．２ｍｍ以上１．５ｍｍ以下の範囲内と
するとより好適である。
【０００６】感光体層が電荷輸送層，正孔注入層，電荷
発生層，表面保護層からなる場合には、正孔注入層，電
荷発生層および表面保護層をフラッシュ蒸着により形成
すると好適である。
発生層，表面保護層からなる場合には、正孔注入層，電
荷発生層および表面保護層をフラッシュ蒸着により形成
すると好適である。
【０００７】
【作用】フラッシュ蒸着に用いるセレン系蒸着材料を粒
状としその粒径を１．０ｍｍ以上１．７ｍｍ以下の範囲
内，より望ましくは１．２ｍｍ以上１．５ｍｍ以下の範
囲内に揃えることにより、蒸発源への蒸着材料供給量の
バラツキを少なくすることができ空焚などの不具合の発
生を防ぐことがてき、また、前もって高温に加熱されて
いる蒸発源に次々と供給され瞬時に蒸発していく蒸着材
料の蒸発挙動のバラツキを少なく抑え突沸現象などの発
生を抑制することができ、膜厚均一で欠陥の少ない膜を
成膜することができる。感光体層の少なくとも表面層を
上述のように粒径を揃えた蒸着材料をフラッシュ蒸着し
て成膜することにより、表面欠陥の少ないセレン積層感
光体を安定して製造することが可能となる。
状としその粒径を１．０ｍｍ以上１．７ｍｍ以下の範囲
内，より望ましくは１．２ｍｍ以上１．５ｍｍ以下の範
囲内に揃えることにより、蒸発源への蒸着材料供給量の
バラツキを少なくすることができ空焚などの不具合の発
生を防ぐことがてき、また、前もって高温に加熱されて
いる蒸発源に次々と供給され瞬時に蒸発していく蒸着材
料の蒸発挙動のバラツキを少なく抑え突沸現象などの発
生を抑制することができ、膜厚均一で欠陥の少ない膜を
成膜することができる。感光体層の少なくとも表面層を
上述のように粒径を揃えた蒸着材料をフラッシュ蒸着し
て成膜することにより、表面欠陥の少ないセレン積層感
光体を安定して製造することが可能となる。
【０００８】
【実施例】以下、この発明の実施例を図を参照しながら
説明する。図１は、この発明の製造方法におけるフラッ
シュ蒸着法の要部説明図を示す。図１において、１は蒸
着材料を蒸発源３に供給するためのロータリーベルトで
あって、ローター２と図示はしてない他方のローターと
の間に張られており、図示はしてない駆動機構により矢
印Ａのように回転駆動する。ロータリーベルト１上に点
線で示すようなチャージパターンで正孔注入層用蒸着材
料４，電荷発生層用蒸着材料５，表面保護層用蒸着材料
６をそれぞれ載置しておき、ロータリーベルト１を矢印
Ａのように回転駆動することにより、前もって高温に加
熱されている蒸発源３に各蒸着材料が順次供給されて、
図示はしてない基体上に形成されている電荷輸送層上に
正孔注入層，電荷発生層，表面保護層が順次フラッシュ
蒸着で形成されて感光体が作製される。
説明する。図１は、この発明の製造方法におけるフラッ
シュ蒸着法の要部説明図を示す。図１において、１は蒸
着材料を蒸発源３に供給するためのロータリーベルトで
あって、ローター２と図示はしてない他方のローターと
の間に張られており、図示はしてない駆動機構により矢
印Ａのように回転駆動する。ロータリーベルト１上に点
線で示すようなチャージパターンで正孔注入層用蒸着材
料４，電荷発生層用蒸着材料５，表面保護層用蒸着材料
６をそれぞれ載置しておき、ロータリーベルト１を矢印
Ａのように回転駆動することにより、前もって高温に加
熱されている蒸発源３に各蒸着材料が順次供給されて、
図示はしてない基体上に形成されている電荷輸送層上に
正孔注入層，電荷発生層，表面保護層が順次フラッシュ
蒸着で形成されて感光体が作製される。
【０００９】アルミニウム合金からなる円筒状の基体の
外表面に、通常の抵抗加熱蒸着法で純Ｓｅを真空蒸着し
て、膜厚５０μｍの電荷輸送層を形成する。この電荷輸
送層上に、図１に示した方法で、Ｔｅ５．５重量％〜２
５重量％のＳｅ／Ｔｅ合金，Ｔｅ４５重量％のＳｅ／Ｔ
ｅ合金，Ａｓ１．５重量％のＳｅ／Ａｓ合金を順次フラ
ッシュ蒸着して、膜厚３μｍの正孔注入層，膜厚０．２
μｍの電荷発生層，膜厚膜厚３μｍの表面保護層を順次
成膜して、実施例の感光体を製作した。フラッシュ蒸着
に用いた各層の蒸着材料の粒径は１．２ｍｍ〜１．５ｍ
ｍとし、蒸発源温度は３４０℃とした。
外表面に、通常の抵抗加熱蒸着法で純Ｓｅを真空蒸着し
て、膜厚５０μｍの電荷輸送層を形成する。この電荷輸
送層上に、図１に示した方法で、Ｔｅ５．５重量％〜２
５重量％のＳｅ／Ｔｅ合金，Ｔｅ４５重量％のＳｅ／Ｔ
ｅ合金，Ａｓ１．５重量％のＳｅ／Ａｓ合金を順次フラ
ッシュ蒸着して、膜厚３μｍの正孔注入層，膜厚０．２
μｍの電荷発生層，膜厚膜厚３μｍの表面保護層を順次
成膜して、実施例の感光体を製作した。フラッシュ蒸着
に用いた各層の蒸着材料の粒径は１．２ｍｍ〜１．５ｍ
ｍとし、蒸発源温度は３４０℃とした。
【００１０】比較のために、各層のフラッシュ蒸着に粒
径が０．２ｍｍ〜０．７ｍｍ程度の範囲でばらついてい
る従来の蒸着材料を用いたこと以外は実施例と同様にし
て比較例の感光体を作製した。このようにして得られた
実施例，比較例のそれぞれ１０製造ロットの感光体につ
いて、感光体表面凸状欠陥の発生状況を調べた。その結
果を図３の線図に示す。図３において、横軸は表面凸状
欠陥の径を示し、縦軸は各大きさの表面凸状欠陥の発生
率を比較例の感光体の場合の平均値（従来の感光体のレ
ベル，図３では一点鎖線で示す）を１００％として実施
例の感光体における発生率を示す。○印は平均値を示
し、縦の実線でばらつきを示す。
径が０．２ｍｍ〜０．７ｍｍ程度の範囲でばらついてい
る従来の蒸着材料を用いたこと以外は実施例と同様にし
て比較例の感光体を作製した。このようにして得られた
実施例，比較例のそれぞれ１０製造ロットの感光体につ
いて、感光体表面凸状欠陥の発生状況を調べた。その結
果を図３の線図に示す。図３において、横軸は表面凸状
欠陥の径を示し、縦軸は各大きさの表面凸状欠陥の発生
率を比較例の感光体の場合の平均値（従来の感光体のレ
ベル，図３では一点鎖線で示す）を１００％として実施
例の感光体における発生率を示す。○印は平均値を示
し、縦の実線でばらつきを示す。
【００１１】図３に見られるように、どの径の表面凸状
欠陥においても実施例の感光体は比較例の感光体に比し
て大幅に減少しており、画像品質への影響が大きくなる
径３ｍｍ以上の表面凸状欠陥の発生を実施例の感光体で
は比較例の感光体の４０％〜６０％に低減できることが
判る。なお、電子写真特性は両者間で差は認められなか
った。
欠陥においても実施例の感光体は比較例の感光体に比し
て大幅に減少しており、画像品質への影響が大きくなる
径３ｍｍ以上の表面凸状欠陥の発生を実施例の感光体で
は比較例の感光体の４０％〜６０％に低減できることが
判る。なお、電子写真特性は両者間で差は認められなか
った。
【００１２】上述の実施例においては、フラッシュ蒸着
に用いる各層の蒸着材料の粒径を１．２ｍｍ〜１．５ｍ
ｍとしたが、粒径の範囲を１．０ｍｍ〜１．７ｍｍ程度
と広くした場合にもほぼ同等の効果が得られた。
に用いる各層の蒸着材料の粒径を１．２ｍｍ〜１．５ｍ
ｍとしたが、粒径の範囲を１．０ｍｍ〜１．７ｍｍ程度
と広くした場合にもほぼ同等の効果が得られた。
【００１３】
【発明の効果】この発明においては、導電性基体上にセ
レン系材料を多段真空蒸着して積層された感光体層を形
成する電子写真用セレン感光体の製造方法において、前
記感光体層のうちの少なくとも表面層を粒径１．０ｍｍ
以上１．７ｍｍ以下の範囲内の粒状のセレン系蒸着材料
をフラッシュ蒸着することにより形成する。このような
製造方法により、表面欠陥の少ないセレン積層感光体を
安定して製造することが可能となる。
レン系材料を多段真空蒸着して積層された感光体層を形
成する電子写真用セレン感光体の製造方法において、前
記感光体層のうちの少なくとも表面層を粒径１．０ｍｍ
以上１．７ｍｍ以下の範囲内の粒状のセレン系蒸着材料
をフラッシュ蒸着することにより形成する。このような
製造方法により、表面欠陥の少ないセレン積層感光体を
安定して製造することが可能となる。
【図１】この発明の製造方法におけるフラッシュ蒸着法
の一例の要部説明図
の一例の要部説明図
【図２】セレン積層感光体の一例の模式的断面図
【図３】感光体の表面凸状欠陥の発生率を示す線図
１ ロータリーベルト ２ ローター ３ 蒸発源 ４ 正孔注入層用蒸着材料 ５ 電荷発生層用蒸着材料 ６ 表面保護層用蒸着材料 １１ 基体 １２ 電荷輸送層 １３ 正孔注入層 １４ 電荷発生層 １５ 表面保護層
Claims (3)
- 【請求項１】導電性基体上にセレン系材料を多段真空蒸
着して積層された感光体層を形成する電子写真用セレン
感光体の製造方法において、前記感光体層のうちの少な
くとも表面層が粒径１．０ｍｍ以上１．７ｍｍ以下の範
囲内の粒状のセレン系蒸着材料をフラッシュ蒸着するこ
とにより形成されることを特徴とする電子写真用セレン
感光体の製造方法。 - 【請求項２】セレン系蒸着材料の粒径が１．２ｍｍ以上
１．５ｍｍ以下の範囲内であることを特徴とする請求項
１記載の電子写真用セレン感光体の製造方法。 - 【請求項３】感光体層が電荷輸送層，正孔注入層，電荷
発生層，表面保護層からなり、正孔注入層，電荷発生層
および表面保護層がフラッシュ蒸着により形成されるこ
とを特徴とする請求項１または２記載の電子写真用セレ
ン感光体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30738692A JPH06161137A (ja) | 1992-11-18 | 1992-11-18 | 電子写真用セレン感光体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30738692A JPH06161137A (ja) | 1992-11-18 | 1992-11-18 | 電子写真用セレン感光体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06161137A true JPH06161137A (ja) | 1994-06-07 |
Family
ID=17968431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30738692A Pending JPH06161137A (ja) | 1992-11-18 | 1992-11-18 | 電子写真用セレン感光体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06161137A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011013626A1 (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-03 | 富士フイルム株式会社 | 有機デバイス用蒸着材料及び有機デバイスの製造方法 |
| US20220349044A1 (en) * | 2020-04-09 | 2022-11-03 | Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. | Device for vapor depositing metal |
| US11815742B2 (en) | 2017-11-05 | 2023-11-14 | Optotune Ag | Tunable non-round spectacles with immersed lens shaper |
-
1992
- 1992-11-18 JP JP30738692A patent/JPH06161137A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011013626A1 (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-03 | 富士フイルム株式会社 | 有機デバイス用蒸着材料及び有機デバイスの製造方法 |
| US11815742B2 (en) | 2017-11-05 | 2023-11-14 | Optotune Ag | Tunable non-round spectacles with immersed lens shaper |
| US20220349044A1 (en) * | 2020-04-09 | 2022-11-03 | Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. | Device for vapor depositing metal |
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