JPH0619095Y2 - 接触センサ - Google Patents
接触センサInfo
- Publication number
- JPH0619095Y2 JPH0619095Y2 JP1988019035U JP1903588U JPH0619095Y2 JP H0619095 Y2 JPH0619095 Y2 JP H0619095Y2 JP 1988019035 U JP1988019035 U JP 1988019035U JP 1903588 U JP1903588 U JP 1903588U JP H0619095 Y2 JPH0619095 Y2 JP H0619095Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact
- leaf springs
- bolt
- contactor
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この考案は接触センサに関し、揺れが少なく、接触圧力
の調整が容易な接触センサを提供することを目的とす
る。
の調整が容易な接触センサを提供することを目的とす
る。
〈従来の技術〉 センサには種々の構成のものが有るが、その中に対象物
に直接接触させて対象物の所定の特性を検出する接触セ
ンサが知られている。
に直接接触させて対象物の所定の特性を検出する接触セ
ンサが知られている。
そして近時、液晶表示の回路の短絡等を検出するために
このような接触センサを液晶基板に接触させたまま摺動
させて回路の状態を検出する試みがなされている。
このような接触センサを液晶基板に接触させたまま摺動
させて回路の状態を検出する試みがなされている。
しかし、このように摺動接触させてセンサを用いる場
合、センサの接触圧力の調整が非常に難しい問題があっ
た。即ち、接触圧力が大きすぎると対象物に傷を付ける
上、接触子の摩耗が多くなる欠点がある。また、接触圧
力が小さいと非接触となり、検出の信頼性が悪化する欠
点がある。
合、センサの接触圧力の調整が非常に難しい問題があっ
た。即ち、接触圧力が大きすぎると対象物に傷を付ける
上、接触子の摩耗が多くなる欠点がある。また、接触圧
力が小さいと非接触となり、検出の信頼性が悪化する欠
点がある。
また、回路等は凹凸があり均一な平面ではないことか
ら、接触子を摺動させると回路部分で接触子がバウンド
する問題があり、この欠点の解決が望まれていた。
ら、接触子を摺動させると回路部分で接触子がバウンド
する問題があり、この欠点の解決が望まれていた。
〈考案の概要〉 本考案は上記した従来の接触センサの問題点を解決すべ
くなされたもので、両端と基部とを固定された少なくと
も２枚の板ばねから成る保持体と、該保持体の先端部に
装着された接触子と、該保持体を上下方向任意位置で下
から支持することにより前記２枚の板ばねを撓ませて、
該板ばねの反発力による接触子の接触圧力を調整する支
持体と、前記保持体と支持体の非接触を検出する手段と
を設けたことを基本的な特徴とするものである。
くなされたもので、両端と基部とを固定された少なくと
も２枚の板ばねから成る保持体と、該保持体の先端部に
装着された接触子と、該保持体を上下方向任意位置で下
から支持することにより前記２枚の板ばねを撓ませて、
該板ばねの反発力による接触子の接触圧力を調整する支
持体と、前記保持体と支持体の非接触を検出する手段と
を設けたことを基本的な特徴とするものである。
以上の構成において、支持体による保持体の上下方向支
持位置により、板ばねの反発力が異なり、上方位置にあ
るほど反発力は強くなる。これにより、接触子の接触圧
力の調整が行える。また、２以上の板ばねを用いること
から、重量が軽く、バウンドを抑制できる。更に支持位
置による接触子の位置及び角度変化が少ない。また検出
する手段により接触子の対象物への接触を検出すること
ができる。
持位置により、板ばねの反発力が異なり、上方位置にあ
るほど反発力は強くなる。これにより、接触子の接触圧
力の調整が行える。また、２以上の板ばねを用いること
から、重量が軽く、バウンドを抑制できる。更に支持位
置による接触子の位置及び角度変化が少ない。また検出
する手段により接触子の対象物への接触を検出すること
ができる。
〈実施例〉 以下本考案の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図において２、３はそれぞれ板ばねであり、互いに
平行になっている。板ばね２、３はこの実施例では厚さ
０．１mm程度の鋼製のものを用いている。この板ばね
２、３の両端は当板２０、ボルト２１により固定されて
いる。すなわち、その先端部においては板ばね２、３の
間にホルダ１０を挟み、外側に当板２０、２０を当てボ
ルト２１、２１により締結した構造になっている。一方
基部においては延出腕２３を間に挟み、同様に当板２
０、２０を当てボルト２１、２１により締結した構造に
なっている。板ばね２、３の固定の構造はこれに限定さ
れるものではなく、例えば溶接等により固着する等種々
の構造を採用することが出来る。
平行になっている。板ばね２、３はこの実施例では厚さ
０．１mm程度の鋼製のものを用いている。この板ばね
２、３の両端は当板２０、ボルト２１により固定されて
いる。すなわち、その先端部においては板ばね２、３の
間にホルダ１０を挟み、外側に当板２０、２０を当てボ
ルト２１、２１により締結した構造になっている。一方
基部においては延出腕２３を間に挟み、同様に当板２
０、２０を当てボルト２１、２１により締結した構造に
なっている。板ばね２、３の固定の構造はこれに限定さ
れるものではなく、例えば溶接等により固着する等種々
の構造を採用することが出来る。
ホルダ１０には接触子１を嵌挿するための斜孔が所定の
角度で設けられており、ここに接触子１が嵌挿してい
る。この接触子１はその下方向への突出長さを変えるこ
とが可能なように、ボルト１１により締結する構成にな
っている。
角度で設けられており、ここに接触子１が嵌挿してい
る。この接触子１はその下方向への突出長さを変えるこ
とが可能なように、ボルト１１により締結する構成にな
っている。
板ばね２、３の基部の当板２０、ボルト２１の間には電
極２２が介装され、ここから接触子１の検出信号を外部
に導くようになっている。
極２２が介装され、ここから接触子１の検出信号を外部
に導くようになっている。
延出腕２３は側面クランク形状をなし、その先端部は前
記したように板ばね２、３間に固着し、その基部はボル
ト２４、２４により水平可動基台５に固定されている。
記したように板ばね２、３間に固着し、その基部はボル
ト２４、２４により水平可動基台５に固定されている。
水平可動基台５の先端部にはボルト４１により支持腕４
０が水平方向に延出して装着されている。この支持腕４
０から垂直可動板４２が下方向に垂下している。この垂
直可動板４２には長孔４４が形成され、ここで止めネジ
４３により上下方向位置調整可能に支持腕４０に固定さ
れている。垂直可動板４２の下端には更に水平方向に延
びる水平腕４５がボルト４７、４７により固着されてい
る。水平腕４５の先端部には当接突起４６が設けられて
おり、該当接突起４６が板ばね２、３の先端部の下側に
位置し、板ばね２、３を下から支持して、板ばね２、３
の上下方向位置を調整するように構成されている。上記
各部材により支持体４が構成されている。
０が水平方向に延出して装着されている。この支持腕４
０から垂直可動板４２が下方向に垂下している。この垂
直可動板４２には長孔４４が形成され、ここで止めネジ
４３により上下方向位置調整可能に支持腕４０に固定さ
れている。垂直可動板４２の下端には更に水平方向に延
びる水平腕４５がボルト４７、４７により固着されてい
る。水平腕４５の先端部には当接突起４６が設けられて
おり、該当接突起４６が板ばね２、３の先端部の下側に
位置し、板ばね２、３を下から支持して、板ばね２、３
の上下方向位置を調整するように構成されている。上記
各部材により支持体４が構成されている。
なお、当接突起４６と水平腕４５との間には電極４８が
介装され、当接突起４６と板ばね２、３の下側の当板２
０との接触、非接触を検出するようになっている。
介装され、当接突起４６と板ばね２、３の下側の当板２
０との接触、非接触を検出するようになっている。
水平可動基台５はＬ字型の垂直可動基台６の水平部下側
にあり溝５０を介して水平方向移動可能に装着されてい
る。垂直可動基台６の水平部先端と水平可動基台５の上
部の間にはバネ５１が介装され、またボルト５２が水平
可動基台５から垂直可動基台６に掛けて装着されてい
る。ボルト５２は垂直可動基台６の水平部先端に螺合
し、このボルト５２を回すことにより水平可動基台５を
水平移動出来るようになっている。垂直可動基台６の水
平部には長孔６３が形成され、ここにボルト５３が貫通
し、水平可動基台５に螺合している。このボルト５３に
より所定の位置に水平可動基台５を固定できるようにな
っている。
にあり溝５０を介して水平方向移動可能に装着されてい
る。垂直可動基台６の水平部先端と水平可動基台５の上
部の間にはバネ５１が介装され、またボルト５２が水平
可動基台５から垂直可動基台６に掛けて装着されてい
る。ボルト５２は垂直可動基台６の水平部先端に螺合
し、このボルト５２を回すことにより水平可動基台５を
水平移動出来るようになっている。垂直可動基台６の水
平部には長孔６３が形成され、ここにボルト５３が貫通
し、水平可動基台５に螺合している。このボルト５３に
より所定の位置に水平可動基台５を固定できるようにな
っている。
垂直可動基台６の垂直部は同様にあり溝６０を介して基
台７に垂直方向移動可能に装着されている。そして基台
７との間にバネ６１が介装され、ボルト６２により上下
方向移動可能になっている。また、この垂直部には長孔
６４が設けられ、ここにボルト６５が貫通し、基台７に
螺合している。このボルト６５により垂直可動基台６は
上下方向所定の位置に固定されるようになっている。
台７に垂直方向移動可能に装着されている。そして基台
７との間にバネ６１が介装され、ボルト６２により上下
方向移動可能になっている。また、この垂直部には長孔
６４が設けられ、ここにボルト６５が貫通し、基台７に
螺合している。このボルト６５により垂直可動基台６は
上下方向所定の位置に固定されるようになっている。
なお基台７にはこの実施例では上記した構造が２セット
（目的に応じて更に、セット数を増しても良い）装着さ
れており、２本の接触子１により検査を行うように構成
されている。他のセットも構成は上記と全く同じである
から説明は省略する。
（目的に応じて更に、セット数を増しても良い）装着さ
れており、２本の接触子１により検査を行うように構成
されている。他のセットも構成は上記と全く同じである
から説明は省略する。
次に使用方法を説明する。
まず垂直可動板４２を動かし、板ばね２、３の上下位置
を調整して、接触子１の接触圧を決定する。すなわち、
板ばね２、３の先端部を当接突起４６により上方向に持
ち上げれば、板ばね２、３は撓んで、その反発力により
接触子１の接触圧が得られる。この時、本考案では少な
くとも２枚の板ばね２、３を用い、しかもその両端を固
定してあるため、接触子１は上下移動だけで水平方向の
移動は殆ど生じない。これを第２図に一枚の板ばねＳを
用いた場合と対比して、模式的に示す。（Ａ）が本考案
の場合、（Ｂ）が一枚の板ばねＳを用いた場合を示す。
（Ａ）では板ばね２、３を持ち上げると板ばね２と３の
伸びを均衡させるためにＳ字形状を描く。そのため、接
触子１は上下方向に移動するだけで、角度が変わること
はない。一方一枚の板ばねＳを用いた場合（Ｂ）に示す
ように接触子１は回動してその角度を変え、その先端部
が大きく移動する。
を調整して、接触子１の接触圧を決定する。すなわち、
板ばね２、３の先端部を当接突起４６により上方向に持
ち上げれば、板ばね２、３は撓んで、その反発力により
接触子１の接触圧が得られる。この時、本考案では少な
くとも２枚の板ばね２、３を用い、しかもその両端を固
定してあるため、接触子１は上下移動だけで水平方向の
移動は殆ど生じない。これを第２図に一枚の板ばねＳを
用いた場合と対比して、模式的に示す。（Ａ）が本考案
の場合、（Ｂ）が一枚の板ばねＳを用いた場合を示す。
（Ａ）では板ばね２、３を持ち上げると板ばね２と３の
伸びを均衡させるためにＳ字形状を描く。そのため、接
触子１は上下方向に移動するだけで、角度が変わること
はない。一方一枚の板ばねＳを用いた場合（Ｂ）に示す
ように接触子１は回動してその角度を変え、その先端部
が大きく移動する。
以上により接触圧を設定したら、垂直可動基台６を上下
に動かし、接触子１の先端を対象物に接触させる。
に動かし、接触子１の先端を対象物に接触させる。
接触子１が対象物に接触すると、当接突起４６と板ばね
２、３の下側の当板２０が僅かに離れ、当接突起４６、
当板２０間が非導通になり、これが電極４８から検出さ
れる。当接突起４６と当板２０の非導通が検出された
ら、その位置より０．３mm程度追い込みその位置で垂直
可動基台６を固定する。他方の接触子１も同様に調整し
た上、これら２個の接触子１をそれぞれの水平可動基台
５を水平方向に移動し、前後方向の位置調整を行い、そ
の位置で各水平可動基台を固定する。そして対象物を移
動するか、或は基台７を移動させ接触子１を対象物に摺
動接触させて対象物の検査を行う。接触子１の検出信号
は電極２２から得られる。
２、３の下側の当板２０が僅かに離れ、当接突起４６、
当板２０間が非導通になり、これが電極４８から検出さ
れる。当接突起４６と当板２０の非導通が検出された
ら、その位置より０．３mm程度追い込みその位置で垂直
可動基台６を固定する。他方の接触子１も同様に調整し
た上、これら２個の接触子１をそれぞれの水平可動基台
５を水平方向に移動し、前後方向の位置調整を行い、そ
の位置で各水平可動基台を固定する。そして対象物を移
動するか、或は基台７を移動させ接触子１を対象物に摺
動接触させて対象物の検査を行う。接触子１の検出信号
は電極２２から得られる。
摺動中、対象物が液晶回路のように凹凸が有るものであ
ってもバウンドを生じることがなく、接触子１の対象物
への接触は維持される。これは板ばね２、３が２枚の板
ばねから構成されるために、非常に軽量であるためであ
る。また第２図の（Ａ）で説明したようにＳ字型に曲が
ろうとするためにバウンドを抑制するためであると考え
られる。
ってもバウンドを生じることがなく、接触子１の対象物
への接触は維持される。これは板ばね２、３が２枚の板
ばねから構成されるために、非常に軽量であるためであ
る。また第２図の（Ａ）で説明したようにＳ字型に曲が
ろうとするためにバウンドを抑制するためであると考え
られる。
以上説明したように上記構造においては、支持体４の上
下位置を調整するだけで、簡単に接触子１の接触圧を調
整することが出来る。しかも、接触子１の角度変化が全
くなく、また対象物に凹凸があってもバウンドすること
なく、安定した接触を得ることが出来る。そのため、液
晶の回路チェック等に適用した場合、安定した検出が可
能であり、しかも液晶面を傷つける等の危険がなく、こ
れらの分野に好適なセンサである。
下位置を調整するだけで、簡単に接触子１の接触圧を調
整することが出来る。しかも、接触子１の角度変化が全
くなく、また対象物に凹凸があってもバウンドすること
なく、安定した接触を得ることが出来る。そのため、液
晶の回路チェック等に適用した場合、安定した検出が可
能であり、しかも液晶面を傷つける等の危険がなく、こ
れらの分野に好適なセンサである。
〈考案の効果〉 以上説明したように、本考案の接触センサは両端と基部
とを固定された少なくとも２枚の板ばねから成る保持体
と、該保持体の先端部に装着された接触子と、該保持体
を上下方向任意位置で下から支持することにより前記２
枚の板ばねを撓ませて、該板ばねの反発力による接触子
の接触圧力を調整する支持体と、前記保持体と支持体の
非接触を検出する手段とを設けた構成になっているた
め、簡単に接触子の接触圧を調整することが可能であ
り、また接触子の対象物との接触を検出することができ
る。更に接触センサの欠点であったバウンドも抑制でき
る効果がある。
とを固定された少なくとも２枚の板ばねから成る保持体
と、該保持体の先端部に装着された接触子と、該保持体
を上下方向任意位置で下から支持することにより前記２
枚の板ばねを撓ませて、該板ばねの反発力による接触子
の接触圧力を調整する支持体と、前記保持体と支持体の
非接触を検出する手段とを設けた構成になっているた
め、簡単に接触子の接触圧を調整することが可能であ
り、また接触子の対象物との接触を検出することができ
る。更に接触センサの欠点であったバウンドも抑制でき
る効果がある。
第１図は本考案の一実施例の側面図、第２図は動作説明
のための模式図である。 １：接触子，２：板ばね，３：板ばね，４：支持体，
５：水平可動基台，６：垂直可動基台，７：基台，１
０：ホルダ，１１：ボルト，２０：当板，２１：ボル
ト，２２：電極，２３：延出腕，２４：ボルト，４０：
支持腕，４１：ボルト，４２：垂直可動板，４３：止め
ネジ，４４：長孔，４５：水平腕，４６：当接突起，４
７：ボルト，４８：電極，５０：あり溝，５１：バネ，
５２：ボルト，５３：ボルト，６０：あり溝，６１：バ
ネ，６２：ボルト，６３：長孔，６４：長孔，６５：ボ
ルト。
のための模式図である。 １：接触子，２：板ばね，３：板ばね，４：支持体，
５：水平可動基台，６：垂直可動基台，７：基台，１
０：ホルダ，１１：ボルト，２０：当板，２１：ボル
ト，２２：電極，２３：延出腕，２４：ボルト，４０：
支持腕，４１：ボルト，４２：垂直可動板，４３：止め
ネジ，４４：長孔，４５：水平腕，４６：当接突起，４
７：ボルト，４８：電極，５０：あり溝，５１：バネ，
５２：ボルト，５３：ボルト，６０：あり溝，６１：バ
ネ，６２：ボルト，６３：長孔，６４：長孔，６５：ボ
ルト。
Claims (1)
- 【請求項１】両端と基部とを固定された少なくとも２枚
の板ばねから成る保持体と、 該保持体の先端部に装着された接触子と、 該保持体を上下方向任意位置で下から支持することによ
り前記２枚の板ばねを撓ませて、該板ばねの反発力によ
る接触子の接触圧力を調整する支持体と、 前記保持体と支持体の非接触を検出する手段と、 を設けたことを特徴とする接触センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988019035U JPH0619095Y2 (ja) | 1988-02-16 | 1988-02-16 | 接触センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988019035U JPH0619095Y2 (ja) | 1988-02-16 | 1988-02-16 | 接触センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01124576U JPH01124576U (ja) | 1989-08-24 |
| JPH0619095Y2 true JPH0619095Y2 (ja) | 1994-05-18 |
Family
ID=31234194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988019035U Expired - Lifetime JPH0619095Y2 (ja) | 1988-02-16 | 1988-02-16 | 接触センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0619095Y2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2531043Y2 (ja) * | 1990-09-28 | 1997-04-02 | アンリツ株式会社 | プローブヘッドの先端構造 |
| JP2531042Y2 (ja) * | 1990-09-28 | 1997-04-02 | アンリツ株式会社 | プローブヘッド |
| JP5968158B2 (ja) * | 2012-08-10 | 2016-08-10 | 株式会社日本マイクロニクス | コンタクトプローブ及びプローブカード |
| JP6584816B2 (ja) * | 2015-04-20 | 2019-10-02 | 日置電機株式会社 | プローブユニットおよびプローブユニット製造方法 |
| JP6534558B2 (ja) * | 2015-04-20 | 2019-06-26 | 日置電機株式会社 | プローブユニットおよびプローブユニット製造方法 |
| JP6651359B2 (ja) * | 2016-01-08 | 2020-02-19 | 日置電機株式会社 | プローブユニット、プロービング機構および基板検査装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6150048A (ja) * | 1984-08-20 | 1986-03-12 | Nippon Seiko Kk | プロ−ブ針昇降装置 |
| JPS62163763U (ja) * | 1986-04-08 | 1987-10-17 |
-
1988
- 1988-02-16 JP JP1988019035U patent/JPH0619095Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01124576U (ja) | 1989-08-24 |
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