JPH0622989Y2 - 電子部品用パッケージ - Google Patents
電子部品用パッケージInfo
- Publication number
- JPH0622989Y2 JPH0622989Y2 JP1988063854U JP6385488U JPH0622989Y2 JP H0622989 Y2 JPH0622989 Y2 JP H0622989Y2 JP 1988063854 U JP1988063854 U JP 1988063854U JP 6385488 U JP6385488 U JP 6385488U JP H0622989 Y2 JPH0622989 Y2 JP H0622989Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- package
- cavity
- mark
- step portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W70/00—Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
- H10W70/60—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers
- H10W70/67—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers characterised by their insulating layers or insulating parts
- H10W70/68—Shapes or dispositions thereof
- H10W70/682—Shapes or dispositions thereof comprising holes having chips therein
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/541—Dispositions of bond wires
- H10W72/5449—Dispositions of bond wires not being orthogonal to a side surface of the chip, e.g. fan-out arrangements
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本考案は、半導体素子等の電子部品を収納する電子部品
用パッケージに関する。
用パッケージに関する。
[従来の技術] 従来より、電子部品を収容するキャビティ内周囲に一段
または二段以上の段差部を形成し、該段差部表面に小間
隔ずつあけてワイヤをボンディングする複数の回路を放
射状などに形成したパッケージがある。
または二段以上の段差部を形成し、該段差部表面に小間
隔ずつあけてワイヤをボンディングする複数の回路を放
射状などに形成したパッケージがある。
このパッケージは、段差部内側のキャビティ内に半導体
素子等の電子部品を収容して、該電子部品の電極とキャ
ビティ内の段差部表面の回路とを、自動ボンダー等を用
いて、金線等のワイヤで電気的に接続して用いる。
素子等の電子部品を収容して、該電子部品の電極とキャ
ビティ内の段差部表面の回路とを、自動ボンダー等を用
いて、金線等のワイヤで電気的に接続して用いる。
ところで、上記キャビティ内に収容した電子部品の電極
と段差部表面の回路とをワイヤで電気的に接続する際に
は、電子部品の信号用や電源用等の電極とそれに対応す
る段差部表面の信号用や電源用等の回路とを、誤りなく
的確にワイヤで接続しなければならない。
と段差部表面の回路とをワイヤで電気的に接続する際に
は、電子部品の信号用や電源用等の電極とそれに対応す
る段差部表面の信号用や電源用等の回路とを、誤りなく
的確にワイヤで接続しなければならない。
そのため、従来の上記パッケージ1においては、第4図
ないし第10図に示したように、キャビティ2内の段差
部3表面の一部の回路4aや該回路近くの段差部3表面
に、パッケージ方向見定め用のインデックスマーク5、
またはワイヤボンディング位置出し用のターゲットマー
ク6を備え、該インデックスマーク5やターゲットマー
ク6を用いて自動ボンダーに備えたセンサ(図示せ
ず。)により上記パッケージ1の自動ボンダーに対する
方向見定めやワイヤボンディングに位置出しを行った
後、自動ボンダー等を用いて電子部品の電極7aとそれ
に対応するキャビティ2内の段差部3表面の回路4とを
ワイヤ8で電気的に接続していた。
ないし第10図に示したように、キャビティ2内の段差
部3表面の一部の回路4aや該回路近くの段差部3表面
に、パッケージ方向見定め用のインデックスマーク5、
またはワイヤボンディング位置出し用のターゲットマー
ク6を備え、該インデックスマーク5やターゲットマー
ク6を用いて自動ボンダーに備えたセンサ(図示せ
ず。)により上記パッケージ1の自動ボンダーに対する
方向見定めやワイヤボンディングに位置出しを行った
後、自動ボンダー等を用いて電子部品の電極7aとそれ
に対応するキャビティ2内の段差部3表面の回路4とを
ワイヤ8で電気的に接続していた。
このパッケージ方向見定め用のインデックスマーク5や
ワイヤボンディング位置出し用のターゲットマーク6に
は、従来、第4図に示したようなキャビティ2内の段差
部3表面の回路4aをその先端を後退させて他の同じ段
差部3表面の回路4に比べて短く形成したもの、第5図
に示したような上記短く形成した回路4a先方の段差部
3表面にメタライズ層等からなる円形マーク9を形成し
たもの、第6図に示したようなキャビティ2内の段差部
3表面に回路4a中途部に一連に連続するメタライズ層
等からなる十字状マーク10を形成したもの、第7図に
示したようなキャビティ2内の段差部3表面の一部の回
路4aを同じ段差部3表面の他の回路4に比べて幅広に
形成したもの、第8図と第9図に示したようなキャビテ
ィ2内の段差部3表面の一部の回路4aを上記のように
幅広に形成してその一部を幅挟に切り欠いたもの、第1
0図に示したようなキャビティ2内の段差部3表面の一
部の回路4a先端を幅広くT字状マーク11に形成した
ものなどがある。
ワイヤボンディング位置出し用のターゲットマーク6に
は、従来、第4図に示したようなキャビティ2内の段差
部3表面の回路4aをその先端を後退させて他の同じ段
差部3表面の回路4に比べて短く形成したもの、第5図
に示したような上記短く形成した回路4a先方の段差部
3表面にメタライズ層等からなる円形マーク9を形成し
たもの、第6図に示したようなキャビティ2内の段差部
3表面に回路4a中途部に一連に連続するメタライズ層
等からなる十字状マーク10を形成したもの、第7図に
示したようなキャビティ2内の段差部3表面の一部の回
路4aを同じ段差部3表面の他の回路4に比べて幅広に
形成したもの、第8図と第9図に示したようなキャビテ
ィ2内の段差部3表面の一部の回路4aを上記のように
幅広に形成してその一部を幅挟に切り欠いたもの、第1
0図に示したようなキャビティ2内の段差部3表面の一
部の回路4a先端を幅広くT字状マーク11に形成した
ものなどがある。
[考案が解決しようとする問題点] しかしながら、上記第4図や第5図に示したような先端
が短い回路や先端が短い回路とその先方に設けた円形マ
ーク9からなるインデックスマーク5やターゲットマー
ク6を段差部3表面の一部の回路4aや該回路先方の段
差部3表面に形成した場合は、キャビティ2内の段差部
3表面の上記回路4aが段差部3内側縁から遠く離れる
こととなって、段差部3内側のキャビティ2内に収容し
た電子部品の電極7aと段差部3表面の上記回路4aと
を電気的に接続するワイヤ8が長くなるため、該ワイヤ
8がたわんで隣合うワイヤ8と接触することがあった。
が短い回路や先端が短い回路とその先方に設けた円形マ
ーク9からなるインデックスマーク5やターゲットマー
ク6を段差部3表面の一部の回路4aや該回路先方の段
差部3表面に形成した場合は、キャビティ2内の段差部
3表面の上記回路4aが段差部3内側縁から遠く離れる
こととなって、段差部3内側のキャビティ2内に収容し
た電子部品の電極7aと段差部3表面の上記回路4aと
を電気的に接続するワイヤ8が長くなるため、該ワイヤ
8がたわんで隣合うワイヤ8と接触することがあった。
また、上記第6図ないし第10図に示したような回路に
一連に連続する十字状マーク10やT字状マーク11ま
たは幅広な回路や一部を切り欠いた幅広な回路からなる
インデックスマーク5やターゲットマーク6をキャビテ
ィ2内の段差部3表面の一部の回路4aや該回路近くの
段差部3表面に形成した場合は、段差部3表面の回路に
一連に連続する上記十字状マーク10やT字状マーク1
1または幅広な回路4aや一部を切り欠いた幅広な回路
4aが、インデックスマーク5やターゲットマーク6用
に形成した上記一部の回路4aとそれに隣合う回路4と
の間隔を広げるととなって、上記段差部3表面に形成す
る回路4の高密度化を妨げ、上記パッケージ1を用いた
電子装置の高密度実装化を困難にしていた。
一連に連続する十字状マーク10やT字状マーク11ま
たは幅広な回路や一部を切り欠いた幅広な回路からなる
インデックスマーク5やターゲットマーク6をキャビテ
ィ2内の段差部3表面の一部の回路4aや該回路近くの
段差部3表面に形成した場合は、段差部3表面の回路に
一連に連続する上記十字状マーク10やT字状マーク1
1または幅広な回路4aや一部を切り欠いた幅広な回路
4aが、インデックスマーク5やターゲットマーク6用
に形成した上記一部の回路4aとそれに隣合う回路4と
の間隔を広げるととなって、上記段差部3表面に形成す
る回路4の高密度化を妨げ、上記パッケージ1を用いた
電子装置の高密度実装化を困難にしていた。
本考案は、このような難点を除去した、キャビティ内の
段差部表面の一部の回路にインデックスマークやターゲ
ットマークを形成したパッケージを提供することを目的
とする。
段差部表面の一部の回路にインデックスマークやターゲ
ットマークを形成したパッケージを提供することを目的
とする。
[問題点を解決するための手段] 上記目的を達成するために、本考案の電子部品用パッケ
ージ100は、第1図ないし第3図にその構成例を示し
たように、キャビティ2内の段差部3表面に複数の回路
4を形成したパッケージにおいて、上記段差部3表面の
一部の回路4aの中途部を分断するとともに、該分断し
た回路4aの中途部間を上記パッケージ1内部に形成し
た内部回路12で電気的に接続してなることを特徴とす
る。
ージ100は、第1図ないし第3図にその構成例を示し
たように、キャビティ2内の段差部3表面に複数の回路
4を形成したパッケージにおいて、上記段差部3表面の
一部の回路4aの中途部を分断するとともに、該分断し
た回路4aの中途部間を上記パッケージ1内部に形成し
た内部回路12で電気的に接続してなることを特徴とす
る。
[作用] 本考案の上記構成の電子部品用パッケージ100におい
ては、キャビティ2内の段差部3表面の一部の回路4a
の中途部を所定幅に亙って分断してあり、該中途部を分
断した回路4aを、自動ボンダーに備えたセンサ等を用
いてパッケージ100の方向を見定めたりワイヤボンデ
ィングの位置出しを行う、インデックスマーク5やター
ゲットマーク6とすることができる。
ては、キャビティ2内の段差部3表面の一部の回路4a
の中途部を所定幅に亙って分断してあり、該中途部を分
断した回路4aを、自動ボンダーに備えたセンサ等を用
いてパッケージ100の方向を見定めたりワイヤボンデ
ィングの位置出しを行う、インデックスマーク5やター
ゲットマーク6とすることができる。
また、段差部3内側のキャビティ2内に収容した電子部
品の電極7aと上記段差部3表面の中途部を分断した回
路4aの段差部2内側縁近傍の先方回路40aとをワイ
ヤ8で電気的に接続することにより、電子部品の電極7
aと上記先方回路40aに対応するパッケージ内部の回
路4に一連に連続する上記中途部を分断した回路4aの
後方回路40bとをパッケージ1内部の内部回路12を
介して電気的に接続することができ、キャビティ2内に
収容した電子部品の電極7aと段差部3表面の上記中途
部を分断した回路4aとを短いワイヤ8で電気的に接続
できる。
品の電極7aと上記段差部3表面の中途部を分断した回
路4aの段差部2内側縁近傍の先方回路40aとをワイ
ヤ8で電気的に接続することにより、電子部品の電極7
aと上記先方回路40aに対応するパッケージ内部の回
路4に一連に連続する上記中途部を分断した回路4aの
後方回路40bとをパッケージ1内部の内部回路12を
介して電気的に接続することができ、キャビティ2内に
収容した電子部品の電極7aと段差部3表面の上記中途
部を分断した回路4aとを短いワイヤ8で電気的に接続
できる。
[実施例] 次に、本考案の実施例を図面に従い説明する。
第1図ないし第3図は本考案の電子部品用パッケージの
好適な実施例を示し、第1図は該パッケージの一部省略
平面図、第2図は第1図のパッケージのインデックスマ
ークやターゲットマークを形成した回路周辺の拡大平面
図、第3図は第2図のパッケージのA−A断面図であ
る。以下、上記図中の実施例を説明する。
好適な実施例を示し、第1図は該パッケージの一部省略
平面図、第2図は第1図のパッケージのインデックスマ
ークやターゲットマークを形成した回路周辺の拡大平面
図、第3図は第2図のパッケージのA−A断面図であ
る。以下、上記図中の実施例を説明する。
図において、100は、上方に開口した方形状をしたキ
ャビティ2を持つ電子部品を収納するセラミック製等の
パッケージである。
ャビティ2を持つ電子部品を収納するセラミック製等の
パッケージである。
このパッケージ100のキャビティ2内の4方周囲に、
1段または2段以上からなる階段状をした段差部(図で
は1段とした。)3を形成してある。
1段または2段以上からなる階段状をした段差部(図で
は1段とした。)3を形成してある。
そして、上記キャビティ2内周囲の段差部3表面に、ワ
イヤ8をボンディングする回路4を小間隔ずつあけて複
数放射状に形成してある。そして、上記段差部3表面に
形成した回路4の後部が、パッケージ100内部に形成
したパッケージ100の内外を電気的に接続する回路4
に一連に連続している。
イヤ8をボンディングする回路4を小間隔ずつあけて複
数放射状に形成してある。そして、上記段差部3表面に
形成した回路4の後部が、パッケージ100内部に形成
したパッケージ100の内外を電気的に接続する回路4
に一連に連続している。
以上は、従来のパッケージと同様であるが、本考案のパ
ッケージ100においては、例えば第1図に示したよう
に、対角線上に位置するキャビティ2内2隅部の段差部
3表面の一部の回路4aの中途部を、段差部3内側縁と
平行な方向に向けて所定幅に亙って分断してある。
ッケージ100においては、例えば第1図に示したよう
に、対角線上に位置するキャビティ2内2隅部の段差部
3表面の一部の回路4aの中途部を、段差部3内側縁と
平行な方向に向けて所定幅に亙って分断してある。
またそれとともに、上記分断した回路4aの中途部間
を、第3図に示したように、パッケージ100内部に形
成した内部回路12で電気的に接続してある。
を、第3図に示したように、パッケージ100内部に形
成した内部回路12で電気的に接続してある。
この内部回路12を詳述すると、上記中途部を分断した
回路4aの互いに対向する端部直下のパッケージ100
内部に上記回路4aに電気的に導通するメタライズ導体
等の導体を充填した一対のヴィアホール12aを垂直方
向に向けて形成してある。そして、上記導体を充填した
一対のヴィアホール12a間を、パッケージ100内部
に形成した水平方向を向くメタライズ層等からなる回路
12bで電気的に接続してある。
回路4aの互いに対向する端部直下のパッケージ100
内部に上記回路4aに電気的に導通するメタライズ導体
等の導体を充填した一対のヴィアホール12aを垂直方
向に向けて形成してある。そして、上記導体を充填した
一対のヴィアホール12a間を、パッケージ100内部
に形成した水平方向を向くメタライズ層等からなる回路
12bで電気的に接続してある。
第1図ないし第3図に示した電子部品用パッケージは、
以上のように構成してある。
以上のように構成してある。
このパッケージ100の使用に際しては、第1図等に示
したように、段差部3内側のキャビティ2内に半導体素
子等の電子部品7を収容する。そして、電子部品の電極
7aとそれに対応する該電極に近いキャビティ2内周囲
の段差部3表面の回路4とを、自動ボンダー等を用い
て、金線等のワイヤ8で電気的に接続する。そしてその
際、キャビティ2内の段差部3表面の中途部を分断した
回路4aを自動ボンダーに備えたセンサ等で検知して上
記パッケージ100の方向見定めやワイヤボンディング
の位置出しを行い、電子部品の電極7aとそれに対応す
るキャビティ2内の段差部3表面の回路4とを誤りなく
的確に自動ボンダー等を用いてワイヤ8で電気的に接続
する。またその際、段差部3表面の上記中途部を分断し
た回路4aにおいては、該回路4aの段差部3内側縁近
傍の先方回路40aと電子部品の電極7aとを、ワイヤ
8で電気的に接続する。
したように、段差部3内側のキャビティ2内に半導体素
子等の電子部品7を収容する。そして、電子部品の電極
7aとそれに対応する該電極に近いキャビティ2内周囲
の段差部3表面の回路4とを、自動ボンダー等を用い
て、金線等のワイヤ8で電気的に接続する。そしてその
際、キャビティ2内の段差部3表面の中途部を分断した
回路4aを自動ボンダーに備えたセンサ等で検知して上
記パッケージ100の方向見定めやワイヤボンディング
の位置出しを行い、電子部品の電極7aとそれに対応す
るキャビティ2内の段差部3表面の回路4とを誤りなく
的確に自動ボンダー等を用いてワイヤ8で電気的に接続
する。またその際、段差部3表面の上記中途部を分断し
た回路4aにおいては、該回路4aの段差部3内側縁近
傍の先方回路40aと電子部品の電極7aとを、ワイヤ
8で電気的に接続する。
すると、段差部3表面の上記中途部を分断した回路4a
をインデックスマーク5やターゲットマーク6として、
パッケージ100の方向見定めやワイヤボンディングの
位置出しを行うことができる。
をインデックスマーク5やターゲットマーク6として、
パッケージ100の方向見定めやワイヤボンディングの
位置出しを行うことができる。
またそれとともに、段差部3表面の上記中途部を分断し
た回路4aのパッケージ100内部の回路4に一連に連
続する後方回路40bと電子部品の電極7aとを、段差
部3表面の他の回路4の場合と同様に、短いワイヤ8を
用いて電気的に接続できる。
た回路4aのパッケージ100内部の回路4に一連に連
続する後方回路40bと電子部品の電極7aとを、段差
部3表面の他の回路4の場合と同様に、短いワイヤ8を
用いて電気的に接続できる。
なお、上述実施例において、キャビティ2内の段差部3
表面の中途部を分断するインデックスマーク5やターゲ
ットマーク6用の回路4aは、3個以上形成しても良
く、場合によっては1個のみ形成しても良く、該1個の
中途部を分断した回路4aを用いて自動ボンダーに備え
たセンサ等によりパッケージ100の方向見定めやワイ
ヤボンディングの位置出しを行うことができる。
表面の中途部を分断するインデックスマーク5やターゲ
ットマーク6用の回路4aは、3個以上形成しても良
く、場合によっては1個のみ形成しても良く、該1個の
中途部を分断した回路4aを用いて自動ボンダーに備え
たセンサ等によりパッケージ100の方向見定めやワイ
ヤボンディングの位置出しを行うことができる。
[考案の効果] 以上説明したように、本考案の電子部品用パッケージに
おいては、キャビティ内の段差部表面の一部の中途部を
分断した回路をインデックスマークやターゲットマーク
として、自動ボンダーに備えたセンサ等を用いて、パッ
ケージの方向見定めやワイヤボンディングの位置出しを
行うことができる。
おいては、キャビティ内の段差部表面の一部の中途部を
分断した回路をインデックスマークやターゲットマーク
として、自動ボンダーに備えたセンサ等を用いて、パッ
ケージの方向見定めやワイヤボンディングの位置出しを
行うことができる。
また、インデックスマークやターゲットマーク用の上記
中途部を分断した回路の段差部内側縁近傍の先方回路と
段差部内側のキャビティ内に収容した電子部品の電極と
をワイヤで電気的に接続することにより、電子部品の電
極と上記先方回路に対応するパッケージ内部の回路に一
連に連続する上記中途部を分断した回路の後方回路とを
パッケージ内部の内部回路を介して電気的に接続するこ
とができ、キャビティ内の電子部品の電極と段差部表面
のインデックスマークやターゲットマーク用に形成した
上記中途部を分断した回路とを短いワイヤで電気的に接
続できる。
中途部を分断した回路の段差部内側縁近傍の先方回路と
段差部内側のキャビティ内に収容した電子部品の電極と
をワイヤで電気的に接続することにより、電子部品の電
極と上記先方回路に対応するパッケージ内部の回路に一
連に連続する上記中途部を分断した回路の後方回路とを
パッケージ内部の内部回路を介して電気的に接続するこ
とができ、キャビティ内の電子部品の電極と段差部表面
のインデックスマークやターゲットマーク用に形成した
上記中途部を分断した回路とを短いワイヤで電気的に接
続できる。
そのため、キャビティ内の電子部品の電極とインデック
スマークやターゲットマーク用に形成した上記回路とを
電気的に接続する金線等のワイヤを、従来のインデック
スマークやターゲットマークを持つ第4図や第5図に示
したようなパッケージの場合に比べて短くできる。そし
て、電子部品の電極とインデックスマークやターゲット
マーク用に形成した上記回路とを電気的に接続するワイ
ヤがたわんで、該ワイヤが隣合う電子部品の電極と段差
部表面の回路とを電気的に接続する他のワイヤと接触す
ることを的確に防止できる。
スマークやターゲットマーク用に形成した上記回路とを
電気的に接続する金線等のワイヤを、従来のインデック
スマークやターゲットマークを持つ第4図や第5図に示
したようなパッケージの場合に比べて短くできる。そし
て、電子部品の電極とインデックスマークやターゲット
マーク用に形成した上記回路とを電気的に接続するワイ
ヤがたわんで、該ワイヤが隣合う電子部品の電極と段差
部表面の回路とを電気的に接続する他のワイヤと接触す
ることを的確に防止できる。
さらに、本考案の電子部品用パッケージにおいては、段
差部表面の一部の回路の中途部を分断して、該中途部を
分断した回路をパッケージのインデックスマークやター
ゲットマークとしたため、従来の第6図ないし第10図
に示したようなインデックスマークやターゲットマーク
に比べて、段差部表面のインデックスマークやターゲッ
トマーク用に形成する上記回路とそれに隣合う段差部表
面の他の回路との間隔を広げずに該段差部表面の一部の
回路にインデックスマークやターゲットマークを形成で
きる。
差部表面の一部の回路の中途部を分断して、該中途部を
分断した回路をパッケージのインデックスマークやター
ゲットマークとしたため、従来の第6図ないし第10図
に示したようなインデックスマークやターゲットマーク
に比べて、段差部表面のインデックスマークやターゲッ
トマーク用に形成する上記回路とそれに隣合う段差部表
面の他の回路との間隔を広げずに該段差部表面の一部の
回路にインデックスマークやターゲットマークを形成で
きる。
そのため、段差部表面に形成する回路を高密度化して、
パッケージを用いて形成する電子装置の高密度実装化を
容易に行える。
パッケージを用いて形成する電子装置の高密度実装化を
容易に行える。
また加えて、インデックスマークやターゲットマーク用
に形成した回路の分断した中途部間を、パッケージ内部
の内部回路で電気的に接続してあるため、パッケージの
段差部表面の回路にワイヤを確実に接続するため等の電
気めっきを施す場合に、上記中途部を分断した回路の先
方回路にも的確に電気めっきを施すことができる。
に形成した回路の分断した中途部間を、パッケージ内部
の内部回路で電気的に接続してあるため、パッケージの
段差部表面の回路にワイヤを確実に接続するため等の電
気めっきを施す場合に、上記中途部を分断した回路の先
方回路にも的確に電気めっきを施すことができる。
第1図は本考案の電子部品用パッケージの一部省略平面
図、第2図は第1図のパッケージの一部拡大平面図、第
3図は第2図のパッケージのA−A断面図、第4図ない
し第10図は従来の電子部品用パッケージのインデック
スマークやターゲットマークを備えた部分の拡大平面図
である。 1,100…パッケージ、2…キャビティ、 3…段差部、4,4a…回路、 5…インデックスマーク、 6…ターゲットマーク、 8…ワイヤ、12…内部回路。
図、第2図は第1図のパッケージの一部拡大平面図、第
3図は第2図のパッケージのA−A断面図、第4図ない
し第10図は従来の電子部品用パッケージのインデック
スマークやターゲットマークを備えた部分の拡大平面図
である。 1,100…パッケージ、2…キャビティ、 3…段差部、4,4a…回路、 5…インデックスマーク、 6…ターゲットマーク、 8…ワイヤ、12…内部回路。
Claims (1)
- 【請求項1】キャビティ内の段差部表面に複数の回路を
形成したパッケージにおいて、上記段差部表面の一部の
回路の中途部を分断するとともに、該分断した回路の中
途部間を上記パッケージ内部に形成した内部回路で電気
的に接続してなる電子部品用パッケージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988063854U JPH0622989Y2 (ja) | 1988-05-13 | 1988-05-13 | 電子部品用パッケージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988063854U JPH0622989Y2 (ja) | 1988-05-13 | 1988-05-13 | 電子部品用パッケージ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01167042U JPH01167042U (ja) | 1989-11-22 |
| JPH0622989Y2 true JPH0622989Y2 (ja) | 1994-06-15 |
Family
ID=31289342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988063854U Expired - Lifetime JPH0622989Y2 (ja) | 1988-05-13 | 1988-05-13 | 電子部品用パッケージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0622989Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6089481B2 (ja) * | 2012-07-30 | 2017-03-08 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品の製造方法および電子モジュールの製造方法 |
| JP7764706B2 (ja) * | 2021-09-03 | 2025-11-06 | 富士電機株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
-
1988
- 1988-05-13 JP JP1988063854U patent/JPH0622989Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01167042U (ja) | 1989-11-22 |
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