JPH0631718Y2

JPH0631718Y2 - ボ−ト搬送装置

Info

Publication number: JPH0631718Y2
Application number: JP1987095718U
Authority: JP
Inventors: 健一山賀
Original assignee: 東京エレクトロン東北株式会社
Priority date: 1987-06-22
Filing date: 1987-06-22
Publication date: 1994-08-22
Anticipated expiration: 2002-06-22
Also published as: JPS64327U

Description

【考案の詳細な説明】産業上の利用分野この考案は、半導体製造に用いるボート搬送装置に関す
るものであり、特に、チューブの長手方向切欠部にウエ
ハを載置したボートを出し入れするボート搬送装置に関
するものである。

従来の技術ウエハを熱処理する場合には、拡散炉にウエハを載置し
たボートを挿入して行うが、この方法では、熱処理後ボ
ートを引き出すと、ウエハが空気中の酸素に接触し、酸
化してしまうことがある上、炉を加熱するヒータからの
不純物が石英管を透過して管内に入り込み、ウエハを汚
染してしまうおそれがある。

そこで、近年、第４図、第５図に示す様に、拡散炉のチ
ューブ１内にウエハ２を収容したチューブ（アトモスキ
ャンチューブともいう）３を挿入して該ウエハ２の熱処
理を行い、その後チューブ３内に窒素Ｎ_２を注入し、ウ
エハ２を冷却しながらチューブ３を引き出している。
（アメリカ特許第4,543,059号参照）また、チューブの長手方向切欠部にボートを載置し、炉
内に挿入する装置としては、実開昭６０−７８１３７が
ある。

考案が解決しようとする問題点従来例のボート搬送装置では、ウエハ２は、断面円弧状
ボート４に載置され、又、このボート４はチューブ３の
長手方向切欠部５にセットされるが、このセット作業を
作業者の手により行う場合には、ボート４の先端部４ａ
と切欠部の奥端面５ａとが気密に接触するように調整す
る事ができる。

しかし、このセット作業には、多くの時間と労力を必要
とするので、該装置の稼働率が良くない上、人間はウエ
ハの嫌うゴミの発生源であるので、人間の手でセット作
業を行うのは、好ましいことではない。

そこで、ボートを自動的にセットするシステムが開発さ
れている。

しかし、このシステムでは、ボート４の位置合わせが困
難で、なかなかボート４の先端面４ａと切欠部の奥端面
５ａとを気密に接触させることは難しい。

即ち、ボートの先端が、切欠部のボート５ａを越えてチ
ューブ３の内周面上に乗り上げたり又は、ボート４の先
端が、切欠部の奥壁と離れた位置で停止したりして、ボ
ート４と切欠部５との間に隙間が生じることがある。

そのため、この隙間から空気がチューブ３内に巻き込ま
れ、加熱されたウエハと接触して、ウエハを酸化させて
しまう。

この考案は、上記事情に鑑み、チューブ内に空気が巻き
込まれるのを防止することを目的とする。

なお、第４図において、６は蓋、矢印は、ガスの流れ方
向を示す。

問題点を解決するための手段この考案は、チューブの長手方向切欠部により断面円弧
状のボートを出し入れするボート搬送装置において、前
記ボートの外径を該チューブの内径より小さく形成し、
該ボートの先端部に前記チューブの内径と等しい外径の
円弧状シール板を該ボートと該シール板との境界部に隙
間が生じないように設けたことを特徴とするボート搬送
装置、により前記目的を達成しようとするものである。

作用ボートにウエハを載置し、該ボートをチューブの長手方
向切欠部に向かって挿入すると、ボートの先端部にある
シール板の外周面は、チューブの長手方向切欠部より奥
に位置する内周面と面接触し、切欠部は、完全にシール
される。

実施例この考案の実施例を添付図面により説明すると、１０
は、図示しない拡散炉に挿入されるチューブ（アトモス
キャンチューブともいう）でこのチューブ１０には、長
方形状の長手方向切欠部１１が形成されている。

１２は、外側半径、即ち、外径ｒｂの断面円弧状ボート
で、その先端部１２ｂには、外側半径、即ち、外径ｒａ
の瓦状シール板１３が設けられている。

このシール板１３とボート１２との境界部１４は、隙間
が生じないようにシールされている。

次に、この実施例の作動につき説明する。

ボート１２に複数枚、例えば、１００枚のウエハＷを載
置した後、ボートの外周面１２ａ及びシール板の外周面
１３ａが、切欠部１１の側壁１１ａと接触しないように
しながら、該ボート１２をチューブ１０の長手方向切欠
部１１に向かって挿入する。

そして、ボート１２が、切欠部１１の奥まで達した所
で、該ボート１２をチューブ１０内におろす。

この時、ボートの先端１２ｂは、切欠部の奥壁１１ｂ付
近に位置するが、シール板１３の先端部１３ｂは、切欠
部の奥壁１１ｂを越えて更に奥の方に位置しシール板の
外周面１３ａとチューブの内周面１０ａは、互いに面接
触する。

そのため、ボートの先端１２ｂと切欠部の奥壁１１ｂと
の間に生じた隙間Ｓは、シール板１３により完全にシー
ルされる。

この状態で、図示しない拡散炉にチューブ１０を挿入し
てウエハＷを熱処理し、その後、該チューブ内に窒素Ｎ
_２を注入し、ウエハＷを冷却しながらチューブ１０を拡
散炉から引き出すと共にボート１２をチューブ１０から
抜き出す。

考案の効果この考案は、以上のようにボートの先端部にあるシール
板の外周面がチューブの長手方向切欠部より奥に位置す
る内周面と面接触するため、ウエハ冷却中に空気を巻き
込むことがないので、ウエハの酸化を防止する事が出来
る。

また、この考案では、ボートとチューブとの間に隙間を
生じさせずにボートをセットできる範囲を広くできるの
で、自動でボートをセットするシステムには、好適なも
のとなる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は、この考案の実施例を示す図で、第１
図は、チューブとボートを示す斜視図、第２図は、チュ
ーブ内にボートをセットした状態を示す正面図、第３図
は、第２図のIII−III線断面図、第４図、第５図は従来
例を示す図で、第５図は第４図のIV−IV線断面図の一部
を示す図である。１０……チューブ１１……長手方向切欠部１２……ボート

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】チューブの長手方向切欠部により断面円弧
状のボートを出し入れするボート搬送装置において、前
記ボートの外径を該チューブの内径より小さく形成し、
該ボートの先端部に前記チューブの内径と等しい外径の
円弧状シール板を該ボートと該シール板との境界部に隙
間が生じないように設けたことを特徴とするボート搬送
装置。