JPH07273507A - サーキュレータの製造方法 - Google Patents

サーキュレータの製造方法

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JPH07273507A
JPH07273507A JP6085265A JP8526594A JPH07273507A JP H07273507 A JPH07273507 A JP H07273507A JP 6085265 A JP6085265 A JP 6085265A JP 8526594 A JP8526594 A JP 8526594A JP H07273507 A JPH07273507 A JP H07273507A
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magnetic
circulator
conductor
sheet
sheets
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Taro Miura
太郎 三浦
Makoto Furubayashi
眞 古林
Kazuaki Suzuki
和明 鈴木
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P11/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing waveguides or resonators, lines, or other devices of the waveguide type
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P1/00Auxiliary devices
    • H01P1/32Non-reciprocal transmission devices
    • H01P1/38Circulators
    • H01P1/383Junction circulators, e.g. Y-circulators
    • H01P1/387Strip line circulators

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Non-Reversible Transmitting Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 内部導体材料が蒸発して容積減少が起こるこ
と及び損失増大や断線による特性不良の発生することが
なく、小型化、広帯域化、低損失化、及び/又は低価格
化を図ることのできるサーキュレータの製造方法を提供
する。 【構成】 絶縁性磁性体材料からなるシート間にこの絶
縁性磁性体材料の焼結温度以下の温度で熱分解する材料
による所定パターンを形成し、所定パターンを形成した
シートを積層して焼成することにより連続する一体化さ
れた絶縁性磁性体ブロックを形成すると共に上述の所定
パターン部分に内部導体用空洞を形成し、この内部導体
用空洞に導体用ペーストを圧入して焼結させるか又は溶
融金属を圧入することにより絶縁性磁性体ブロック内部
に内部導体を形成して磁気回転子を製造する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波帯域等で用
いられる無線機器、例えば携帯電話のごとき移動無線機
器等に使用される集積型のサーキュレータの製造方法に
関する。
【0002】
【従来の技術】従来公知の集中定数型サーキュレータ
は、図5の分解斜視図に示すごとき基本構造を有し平面
形状が円形の組立式の磁気回転子を備えていた。同図に
おいて、50はガラス・エポキシ樹脂等からなる円形の
非磁性体基板であり、この非磁性体基板50の上下面に
は印刷等によりコイル導体(内部導体)51及び52が
形成されている。コイル導体51及び52は、非磁性体
基板50を貫通するヴィアホール53で互いに接続され
ている。コイル導体51及び52を形成したこの非磁性
体基板50を両側から挟むように、円形の磁性体部材5
4及び55が組立式で取り付けられており、コイル導体
51及び52に印加される高周波電力によってこれら磁
性体部材54及び55内に回転高周波磁束が生じるよう
に構成されている。このように、従来の磁気回転子は形
状が円形であり、しかもコイル導体を形成した非磁性体
基板50の両側に磁性体部材54及び55を単に積み重
ねて接着することにより形成している。
【0003】サーキュレータ全体としては、図6の分解
斜視図に示すように、コイル導体51(52)をその上
下に形成した非磁性体基板50(図6には角形で示され
ている)の両側に、磁性体部材54及び55、接地導体
電極56及び57、励磁用永久磁石58及び59、並び
に上下に分割されており励磁用永久磁石58及び59か
らの磁束用磁路を構成する分割式の金属製ハウジング6
0及び61をこの順序でそれぞれ積み重ねて組立て固定
することによって形成される。なお、図6には示されて
いないが、磁気回転子には印加周波数と共振させるため
の共振用キャパシタが組み付けられており、さらに外部
回路との接続用の端子回路が設けられている。分布定数
型サーキュレータでは、磁気回転子とキャパシタとが一
体化されており、端子回路に動作周波数を広げるための
インピーダンス変換器が組み込まれることもある。
【0004】図示されていない1つの端子回路を介して
コイル導体51及び52に高周波電力を与えると、磁性
体部材54及び55内にコイル導体51及び52の回り
を回転する高周波磁束が発生する。この高周波磁束と直
交する直流磁界を永久磁石58及び59から印加する
と、磁性体部材54及び55は、図7に示すように、高
周波磁束の回転方向に応じて異なる透磁率μ+ 及びμ-
を示すこととなる。サーキュレータは、高周波信号の伝
播速度がこのような透磁率の違いによって回転方向によ
って異なり、その結果、磁気回転子内の打ち消し効果で
特定の端子への信号の伝播を止め得ることを利用してい
るのである。非伝播端子は、透磁率μ+ 及びμ- の性質
から、駆動端子に対する角度関係で設定される。例え
ば、ある回転方向に沿って端子A、B、Cがこの順序で
配置されているとすると、駆動端子Aに対する非伝播端
子が端子Bである場合に、駆動端子Bに対する非伝播端
子は端子Cとなる。
【0005】サーキュレータは、携帯電話のごとき移動
無線機器において増幅器間の干渉防止や電力増幅器を反
射電力から保護するための有用な素子として広く採用さ
れているが、これらの機器の普及化及び小型化に伴っ
て、サーキュレータ自体もさらに小型化、広帯域化、低
損失化、及び低価格化することが要求されている。この
ような要請に応えるためには、透磁率μ+ 及びμ- 間の
差が大きくかつ駆動回路の損失が小さいサーキュレータ
が必要となる。
【0006】しかしながら従来のサーキュレータでは、
2つの分割されている磁性体部材54及び55により駆
動線路を挟む構成とした場合にその磁路が非磁性体基板
50によって遮断されてしまう。このため、磁性体部材
54及び55と非磁性体基板50との境界面に反磁界が
発生し、その結果、透磁率がどうしても低減してしまう
から上述の要請に充分に応えることができなかった。
【0007】非磁性体基板50との境界面に発生する反
磁界を減少させてコンパクトなサーキュレータを構成す
べく、本出願人は、磁性体グリーンシート上に銀、パラ
ジウム等の導体ペーストを用いて内部導体を印刷形成
し、内部導体を印刷形成したこれら複数の磁性体グリー
ンシートを積層した後、磁性体を焼結させることにより
密接状態でこの内部導体を取り囲むように一体的に形成
された磁性体ブロックからなる磁気回転子について出願
している(未公開)。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本出願人によるこの先
行技術によると、内部導体材料として銀のように融点が
磁性体材料の焼結温度より低いものを用いた場合、焼結
過程において導体金属が蒸発してしまうことから内部導
体の容積が減少し、損失増大や断線による特性不良の発
生等の不都合がある。また、内部導体材料としてパラジ
ウムのように融点が磁性体材料の焼結温度より高い金属
を用いた場合、内部導体の抵抗値が高いため、サーキュ
レータとしての挿入損失が増大してしまうという問題が
あった。
【0009】従って本発明は、内部導体に関する上述し
た問題点を解消でき、しかもサーキュレータの小型化、
広帯域化、低損失化、及び/又は低価格化を図ることの
できる製造方法を提供するものである。
【0010】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明によれ
ば、絶縁性磁性体材料からなるシート間にこの絶縁性磁
性体材料の焼結温度以下の温度で熱分解する材料による
所定パターンを形成し、所定パターンを形成したシート
を積層して焼成することにより連続する一体化された絶
縁性磁性体ブロックを形成すると共に上述の所定パター
ン部分に内部導体用空洞を形成し、この内部導体用空洞
に導体用ペーストを圧入して焼結させるか又は溶融金属
を圧入することにより絶縁性磁性体ブロック内部に内部
導体を形成して磁気回転子を製造するサーキュレータの
製造方法が提供される。
【0011】このように、磁性体の焼結後、その内部導
体用空洞に導体金属材料を圧入するようにしているの
で、銀のように融点が磁性体材料の焼結温度より低い金
属を内部導体として用いた場合にも、これが蒸発して容
積減少が起こる恐れが皆無となり、損失増大や断線によ
る特性不良が発生することもなくなる。従って、内部導
体の抵抗が小さく損失の少ないサーキュレータを提供す
ることができる。もちろん、絶縁性磁性体が密接状態で
内部導体を取り囲むように一体的に焼成されているの
で、磁性体内に不連続部が存在しないから、磁気回転子
内において高周波磁束が連続する閉ループとなるから反
磁界が発生しない。
【0012】本発明によれば、上述のようにして形成さ
れた磁気回転子の側面に内部導体の一端に電気的に接続
する複数の端子電極を形成し、形成した端子電極に回路
素子を結合し、磁気回転子の上下にこの磁気回転子に直
流磁界を印加するための励磁用永久磁石を取り付けられ
る。
【0013】回路素子として印加周波数と共振させるた
めの複数のキャパシタを端子電極に電気的に結合するこ
とが好ましい。
【0014】その後、連続する磁路を有する金属製ハウ
ジングを励磁用永久磁石に密着固定することが好まし
い。このように、励磁用磁路が切れ目なく連続するよう
に構成することにより、磁気抵抗が非常に小さくなり特
性の大幅な向上を図ることができる。
【0015】
【実施例】以下実施例により本発明を詳細に説明する。
【0016】図1は本発明の一実施例として3端子サー
キュレータの特に磁気回転子の製造工程の一部を概略的
に示す一部破断斜視図であり、図2は図1の磁気回転子
に永久磁石及びキャパシタを取り付けた状態を示す分解
斜視図である。
【0017】これらの図に示すように、本実施例で製造
されるサーキュレータは3端子型であり、従ってその磁
気回転子は平面形状が正六角形となるように形成されて
いる。しかしながら、均等な回転磁界が発生できる構造
であれば、形状はかならずしもこのような正六角形でな
くともよく、六角形又はその他の多角形であってもよ
い。磁気回転子の平面形状をこのように多角形とするこ
とにより、その側面に共振用キャパシタ等の回路素子を
外付けした場合に、空いているスペースを有効に利用す
ることができ、全体の寸法を小型に保つことが可能とな
る。
【0018】まず、図1の(A)に示すように、同一絶
縁性磁性体材料による上部シート10、中間シート1
1、及び下部シート12を用意する。絶縁性磁性体材料
としては、イットリウム鉄ガーネット(以下YIGと称
する)を用い、これを次のような成分比を有するシート
に形成する。ただし、上部シート10及び下部シート1
2はシート厚が約1mmであり、通常は100〜200
μm(好ましくは160μm)のシートを積層して用い
る。中間シート11はシート厚が約160μmである。 YIG粉末 61.8 重量% バインダー 5.9 重量% 溶剤 32.3 重量%
【0019】中間シート11の所定位置には、このシー
トを貫通するヴィアホール13a、13b及び13cが
形成される。
【0020】中間シート11及び下部シート12の上面
には、所定の内部導体パターンがカーボンペーストを印
刷又は転写することによってそれぞれ形成される。内部
導体パターンは、磁性体の焼結温度以下の温度で膨張す
ることなく熱分解するペーストであれば、カーボンペー
ストの他に例えば酢酸基を備えた化合物のペーストや、
昇華し易いナフタリンペースト又は樟脳ペースト等を用
いてもよい。図1の例では、内部導体パターンとして、
各組が同一放射方向(六角形の少なくとも1つの辺に垂
直な放射方向)にヴィアホール部分を避けて伸長する2
本のストリップからなる3組のパターンを用いている。
しかしながらこの内部導体パターンは、図1の例に限定
されることなく、3端子サーキュレータとして3回対称
性を維持できるパターンであればいかなるものであって
もよい。例えば、単数又は複数の直線状ストリップによ
るパターン、直線状ストリップと上述の形状のストリッ
プとを組み合わせたパターン、又はヴィアホールを有さ
ないパターン等であってもよい。
【0021】図1の(A)において、14a、14b及
び14cは上部内部導体用パターンを示し、15a、1
5b及び15cは下部内部導体用パターンを示してい
る。このように形成した上部シート10、中間シート1
1、及び下部シート12は順次重ね合わせられ、加温加
圧工程でスタックされた後、個々の磁気回転子に切断分
離される。この状態が、図1の(B)に示されている。
なお、同図(A)では、上部シート10、中間シート1
1、及び下部シート12をそれぞれ正六角形に分離した
状態で説明しているが、実際には、多数の磁気回転子に
係る内部導体パターンを印刷配列したシートをスタック
した状態で各磁気回転子毎に切断する。
【0022】このようにスタックされ、個々の磁気回転
子毎に切断分離された上部シート10、中間シート1
1、及び下部シート12は、YIGの焼結温度、例えば
1450℃で焼成される。焼成は1回であってもよい
し、複数回行ってもよい。この焼結によって、上部シー
ト10、中間シート11、及び下部シート12を構成す
る磁性体が連続状態となり図1の(C)に示すように、
一体的な磁性体ブロック16となるが、さらに、内部導
体パターンを構成するペーストが熱分解して蒸発してガ
スとなり外部へ逃げるのでそのパターンが形成されてい
た部分が内部導体用空洞17となって磁性体ブロック1
6の内部に残る。また、この磁性体ブロック16の側面
には、内部導体用空洞17の端部17a、17b及び1
7cが開口している。もちろん、ヴィアホール13a、
13b及び13cの部分も空洞として磁性体ブロック1
6の内部に残る。
【0023】以上の説明では、シートを個々の磁気回転
子毎に切断分離後に焼結を行っているが、内部導体パタ
ーンを構成するペーストを熱分解したガスが外部へ逃げ
る開口が得られるのであれば、切断分離前に焼結を行う
ようにしてもよい。
【0024】このように形成した磁性体ブロック16内
の内部導体用空洞17及びヴィアホール13a、13b
及び13c内に導体を注入する方法として、次の2つの
方法がある。
【0025】導体ペーストを注入して焼結させる方法 (1)まず、純銀粉とバインダーと溶剤とを混合して適
当な粘度に調整された導体ペーストを作成する。次い
で、この導体ペーストを圧入用シリンダ内に充填する。 (2)この圧入用シリンダの吐出口を磁性体ブロック1
6の側面に開口した端部17a、17b及び17cに押
し当て、内部導体用空洞17及びヴィアホール空洞13
a、13b及び13c内に導体ペーストを圧入する。 (3)導体ペーストを圧入した磁性体ブロック16を1
50℃程度に加熱乾燥させ溶剤を蒸発させる。 (4)脱溶剤後の磁性体ブロック16を900℃程度の
温度で約1時間焼成し、導体を焼結させる。
【0026】溶融金属を圧入させる方法 (1)容器内に銀を溶融する。 (2)この溶融銀内に磁性体ブロック16を浸漬し、外
部から溶融銀に圧力を印加して内部導体用空洞17及び
ヴィアホール空洞13a、13b及び13c内に溶融銀
を圧入する。
【0027】後者の方法は、誘電体共振器の中心導体と
して溶融金属(鉛又は半田)を圧入する技術として、本
出願人によって提案され既に公知となっている(特開平
4−245804号公報)。
【0028】以上の導体圧入工程によって、図1の
(D)に示すように、上部内部導体18及び下部内部導
体、並びにヴィアホール導体が磁性体ブロック16内に
形成され、上部内部導体の一端と下部内部導体の一端と
がヴィアホール導体を介して電気的にそれぞれ接続され
ることとなる。その結果、磁性体ブロック16内に3回
対称のパターンを有するコイル導体が形成されることと
なり、その対称性から3端子サーキュレータの端子間の
伝播特性が互いに一致せしめられる。
【0029】その後、図1の(E)に示すように、磁性
体ブロック16の1つおきの側面に端子電極19を、そ
の上面及び下面並びに磁性体ブロック16の端子電極1
9を設けない各側面に接地導体20を焼き付けて形成す
る。これにより、上部内部導体の磁性体ブロック16側
面に露出している他端が各端子電極(19)に電気的に
接続されることとなり、下部内部導体の磁性体ブロック
16側面に露出している他端が各側面の接地導体(2
0)に電気的に接続されることとなる。なお、導体ペー
ストを注入して焼結させる方法によって内部導体等を形
成する場合は、導体ペーストの焼結と同時に端子電極1
9及び接地導体20の形成を行ってもよい。
【0030】このようにして完成した磁気回転子は、直
径4mmの円に内接する正六角形の平面形状を有し、そ
の厚さが1mmである。図2に示すように、この磁気回
転子21の各端子電極(19)に、共振用キャパシタ2
2a、22b及び22cを組み付けてリフロー法等によ
りはんだ付けする。その後、直流磁界を印加するための
励磁用永久磁石23及び24と磁気ヨークを兼用する金
属ハウジングとを組み付けてサーキュレータが完成す
る。
【0031】図3は、ハウジング自体の構造、並びに磁
気回転子に励磁用永久磁石及びハウジングを組み付けた
サーキュレータの構造を示す分解斜視図及び斜視図であ
る。ハウジングを組み付ける場合には、同図の(A)に
示すように、まず共振用キャパシタ(31a)をその1
つおきの側面にそれぞれ取り付けた磁気回転子30の上
下面に励磁用永久磁石32及び33をそれぞれ積み重ね
る。そして、側面から絶縁物支持体34及び35を押し
当てることにより、この磁気回転子30並びに励磁用永
久磁石32及び33を支持する。その際、絶縁物支持体
34及び35に設けられた入出力端子36aと磁気回転
子30に取り付けられた共振用キャパシタ31a(又は
取り出し端子)との間に、クリームはんだを付着させた
接続リード37aを挟んで機械的に押し止める。接続リ
ード37aは、例えば、弾性を有するU字形の薄い銅製
ストリップで構成される。また、絶縁物支持体34及び
35は、セラミック、ガラスエポキシ樹脂又はその他の
高温に耐える樹脂で成型される。
【0032】次いで、同図(B)に示すように、このよ
うに絶縁物支持体34及び35によって支持された磁気
回転子及び励磁用永久磁石の組立体38を金属ハウジン
グ39内に密着的に挿入し、かしめ用突起40を折り曲
げて固定する。これにより金属ハウジング39と励磁用
永久磁石32及び33とが密着固定されることとなる。
金属ハウジング39は、磁気ヨークとして動作可能な金
属、好ましくは鋼板で構成されており、その表面には、
ニッケルやクロム等のめっき処理が施されている。この
ハウジング39は、対向する2面が開口しその他の面が
連続している角筒形状を有している。このようにして組
み立てたものを、リフロー炉に通してはんだを溶融さ
せ、接続リード37a及び入出力端子36a間、接続リ
ード37a及び共振用キャパシタ31a(又は取り出し
端子)間の接続を行う。図3の(C)は、このようにし
て完成させたサーキュレータ41を示している。
【0033】サーキュレータの動作周波数帯域及び損失
は、ほとんどが磁気回転子の性能で決定する。即ち、透
磁率μ+ 及びμ- 間の差が大きく、磁気正接及びコイル
の抵抗が小さいほど、広帯域、低損失の磁気回転素子と
なる。本実施例のごとく、内部導体圧入法を用いて形成
した磁気回転子によれば、以下に述べるような利点が得
られる。 (1)磁性体が焼結によって連続状態となるので磁気回
転子内において高周波磁束が閉じる。その結果、反磁界
が発生しないからμ+ 及びμ- の値が大きくなり、イン
ダクタンス増加に応じた小型化が図れる。図3の(C)
に示すサーキュレータの外形寸法は、5.5mm×5.
5mm×3mmである。従来の組立式の外形寸法がおよ
そ7mm×7mm×3mmであるので大幅な小型化が図
られることとなる。 (2)磁性体が焼結によって連続状態となるので磁気回
転子内において高周波磁束が閉じる。その結果、反磁界
が発生しないからμ+ 及びμ- 間の差が大きくなり、動
作周波数帯域が広くなる。 (3)コイル導体が溶融金属又は抵抗値の低い焼結金属
により形成されるので抵抗が小さくなり、損失が小さく
なる。 (4)量産に適した構造であるため、量産効果によるコ
ストダウンの幅が大きくなる。 (5)磁気ヨークが分割されておらず一体化されて連続
する磁路を有しており励磁用永久磁石に密着固定されて
いるので、励磁用の磁路が切れ目なく連続するようにな
り、磁気抵抗が非常に小さくなり特性の大幅な向上を図
ることができる。
【0034】図4は、本実施例によるサーキュレータ
(内部導体圧入法)と従来のサーキュレータ(組立式)
との特性を比較する図であり、横軸は周波数、縦軸は非
伝播端子間挿入損失及び伝播端子間挿入損失を示してい
る。本実施例によるサーキュレータが、従来のサーキュ
レータより小型でありながら動作中心周波数が低くしか
も損失が小さいことは、同図からも明らかである。
【0035】以上述べた実施例では、磁性体材料として
YIGを用いているが、内部導体と固溶しなければ、Y
IG以外の絶縁性磁性体材料を用いることが可能であ
る。
【0036】また、上述の実施例は3端子型サーキュレ
ータに関するものであるが、本発明はそれ以上の数の端
子を有するサーキュレータについても適用可能である。
さらに、集中定数型サーキュレータ以外にも、磁気回転
子と容量回路とが一体化され端子回路に動作周波数範囲
を広げるためのインピーダンス変換器が組み込まれてい
るような分布定数型サーキュレータにも適用可能であ
る。またさらに、本発明のサーキュレータを発展させて
例えばアイソレータ等の非可逆回路素子を容易に作成で
きることも明らかである。
【0037】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明では、
絶縁性磁性体材料からなるシート間にこの絶縁性磁性体
材料の焼結温度以下の温度で熱分解する材料による所定
パターンを形成し、所定パターンを形成したシートを積
層して焼成することにより連続する一体化された絶縁性
磁性体ブロックを形成すると共に上述の所定パターン部
分に内部導体用空洞を形成し、この内部導体用空洞に導
体用ペーストを圧入して焼結させるか又は溶融金属を圧
入することにより絶縁性磁性体ブロック内部に内部導体
を形成して磁気回転子を製造している。このように、磁
性体の焼結後、その内部導体用空洞に導体金属材料を圧
入するようにしているので、銀のように融点が磁性体材
料の焼結温度より低い金属を内部導体として用いた場合
にも、これが蒸発して容積減少が起こる恐れが全くなく
なり、損失増大や断線による特性不良の発生することも
なくなる。従って、内部導体の抵抗が小さく損失の少な
いサーキュレータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例として3端子サーキュレータ
の特に磁気回転子の製造工程の一部を概略的に示す一部
破断斜視図である。
【図2】図1の実施例のサーキュレータ全体の構成を示
す分解斜視図である。
【図3】ハウジング自体の構造並びに磁気回転子に励磁
用永久磁石及びハウジングを組み付けたサーキュレータ
の構造を示す分解斜視図及び斜視図である。
【図4】図1の実施例によるサーキュレータ及び従来の
サーキュレータの特性を比較する図である。
【図5】従来の集中定数型サーキュレータにおける磁気
回転子の分解斜視図である。
【図6】従来の集中定数型サーキュレータの組立ての様
子を示す分解斜視図である。
【図7】回転高周波磁界に対する磁性体の透磁率を示す
特性図である。
【符号の説明】
10 上部シート 11 中間シート 12 下部シート 13a、13b、13c ヴィアホール 14a、14b、14c 上部内部導体用パターン 15a、15b、15c 下部内部導体用パターン 16 磁性体ブロック 17 内部導体用空洞 17a、17b、17c 空洞の端部 18 上部内部導体 19 端子電極 20 接地導体 21 磁気回転子 22a、22b、22c 共振用キャパシタ 23、24 励磁用永久磁石

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 絶縁性磁性体材料からなるシート間に該
    絶縁性磁性体材料の焼結温度以下の温度で熱分解する材
    料による所定パターンを形成し、該所定パターンを形成
    したシートを積層して焼成することにより連続する一体
    化された絶縁性磁性体ブロックを形成すると共に前記所
    定パターン部分に内部導体用空洞を形成し、該内部導体
    用空洞に導体用ペーストを圧入して焼結させるか又は溶
    融金属を圧入することにより前記絶縁性磁性体ブロック
    内部に内部導体を形成して磁気回転子を製造することを
    特徴とするサーキュレータの製造方法。
  2. 【請求項2】 前記磁気回転子の側面に前記内部導体の
    一端に電気的に接続する複数の端子電極を形成し、該形
    成した端子電極に回路素子を結合し、前記磁気回転子の
    上下に該磁気回転子に直流磁界を印加するための励磁用
    永久磁石を取り付けることを特徴とするサーキュレータ
    の製造方法。
  3. 【請求項3】 前記回路素子として印加周波数と共振さ
    せるための複数のキャパシタを前記端子電極に電気的に
    結合することを特徴とする請求項2に記載のサーキュレ
    ータの製造方法。
  4. 【請求項4】 連続する磁路を有する金属製ハウジング
    を前記励磁用永久磁石に密着固定することを特徴とする
    請求項2又は3のに記載のサーキュレータの製造方法。
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