JPH0773457A - 磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置Info
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- JPH0773457A JPH0773457A JP21542893A JP21542893A JPH0773457A JP H0773457 A JPH0773457 A JP H0773457A JP 21542893 A JP21542893 A JP 21542893A JP 21542893 A JP21542893 A JP 21542893A JP H0773457 A JPH0773457 A JP H0773457A
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- JP
- Japan
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- thin film
- metal thin
- magnetic layer
- recording medium
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- Prior art date
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- Pending
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 製造工程が簡略化でき、コストの低廉化が図
れる磁気記録媒体の製造装置を提供することである。 【構成】 支持体上に金属薄膜型の磁性層を設け、この
磁性層上に潤滑層を設けた磁気記録媒体を製造する装置
であって、真空槽内で走行する支持体上に金属薄膜型の
磁性層を設ける金属薄膜形成手段と、この金属薄膜形成
手段で形成された金属薄膜型の磁性層に当接するよう真
空槽内において設けられた多孔質体と、この多孔質体に
潤滑剤を供給する潤滑剤供給手段とを具備する磁気記録
媒体の製造装置。
れる磁気記録媒体の製造装置を提供することである。 【構成】 支持体上に金属薄膜型の磁性層を設け、この
磁性層上に潤滑層を設けた磁気記録媒体を製造する装置
であって、真空槽内で走行する支持体上に金属薄膜型の
磁性層を設ける金属薄膜形成手段と、この金属薄膜形成
手段で形成された金属薄膜型の磁性層に当接するよう真
空槽内において設けられた多孔質体と、この多孔質体に
潤滑剤を供給する潤滑剤供給手段とを具備する磁気記録
媒体の製造装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造装
置に関するものである。
置に関するものである。
【０００２】
【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。
【０００３】このような乾式メッキ手段による磁気記録
媒体の製造装置は、図２のように構成されているものが
一般的である。尚、図２中、２１は冷却キャン、２２ａ
はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム２３
の供給側ロール、２２ｂはＰＥＴフィルム２３の巻取側
ロール、２４はルツボ、２５は磁性金属、２６は真空容
器である。そして、真空容器２６内を所定の真空度のも
のに排気した後、電子銃を作動させてルツボ２４内の磁
性金属２５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム２３に対して磁
性金属２５の蒸発粒子を堆積（蒸着）させることによっ
て磁気記録媒体が製造されている。
媒体の製造装置は、図２のように構成されているものが
一般的である。尚、図２中、２１は冷却キャン、２２ａ
はポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム２３
の供給側ロール、２２ｂはＰＥＴフィルム２３の巻取側
ロール、２４はルツボ、２５は磁性金属、２６は真空容
器である。そして、真空容器２６内を所定の真空度のも
のに排気した後、電子銃を作動させてルツボ２４内の磁
性金属２５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム２３に対して磁
性金属２５の蒸発粒子を堆積（蒸着）させることによっ
て磁気記録媒体が製造されている。
【０００４】ところで、このような装置により得られた
金属薄膜型の磁気記録媒体にあっても、走行性の観点か
ら表面に潤滑剤が塗布されている。そして、これまでに
あっては、真空容器２６内から巻取側ロール２２ｂを取
り出し、塗布型の磁気記録媒体の磁性塗料の塗布に際し
て用いられていた塗布手段と同様な手段、例えばダイ塗
工やグラビア塗工による手段が採用されて潤滑剤が塗布
されている。
金属薄膜型の磁気記録媒体にあっても、走行性の観点か
ら表面に潤滑剤が塗布されている。そして、これまでに
あっては、真空容器２６内から巻取側ロール２２ｂを取
り出し、塗布型の磁気記録媒体の磁性塗料の塗布に際し
て用いられていた塗布手段と同様な手段、例えばダイ塗
工やグラビア塗工による手段が採用されて潤滑剤が塗布
されている。
【０００５】
【発明の開示】しかしながら、上記のような潤滑剤塗布
手段は、磁性層の形成が真空槽内で行われる一方、潤滑
剤の塗布は大気中で行われているものであるから、製造
工程が複雑で、煩瑣なものとなり、コストが高く付いて
いることが次第に判って来た。このような問題点につい
ての検討が鋭意押し進められて行った結果、潤滑剤の塗
布も真空槽内で行われるようにすれば、磁性層の形成に
引き続いて潤滑剤の塗布を連続して実施できるようにな
り、製造工程をそれだけ簡略化でき、コストの低廉化が
図れるであろうとの啓示を得るに至った。
手段は、磁性層の形成が真空槽内で行われる一方、潤滑
剤の塗布は大気中で行われているものであるから、製造
工程が複雑で、煩瑣なものとなり、コストが高く付いて
いることが次第に判って来た。このような問題点につい
ての検討が鋭意押し進められて行った結果、潤滑剤の塗
布も真空槽内で行われるようにすれば、磁性層の形成に
引き続いて潤滑剤の塗布を連続して実施できるようにな
り、製造工程をそれだけ簡略化でき、コストの低廉化が
図れるであろうとの啓示を得るに至った。
【０００６】このような観点から本発明が達成されたも
のであり、本発明の目的は、製造工程が簡略化でき、コ
ストの低廉化が図れる磁気記録媒体の製造装置を提供す
ることである。この本発明の目的は、支持体上に金属薄
膜型の磁性層を設け、この磁性層上に潤滑層を設けた磁
気記録媒体を製造する装置であって、真空槽内で走行す
る支持体上に金属薄膜型の磁性層を設ける金属薄膜形成
手段と、この金属薄膜形成手段で形成された金属薄膜型
の磁性層に当接するよう真空槽内において設けられた多
孔質体と、この多孔質体に潤滑剤を供給する潤滑剤供給
手段とを具備することを特徴とする磁気記録媒体の製造
装置によって達成される。
のであり、本発明の目的は、製造工程が簡略化でき、コ
ストの低廉化が図れる磁気記録媒体の製造装置を提供す
ることである。この本発明の目的は、支持体上に金属薄
膜型の磁性層を設け、この磁性層上に潤滑層を設けた磁
気記録媒体を製造する装置であって、真空槽内で走行す
る支持体上に金属薄膜型の磁性層を設ける金属薄膜形成
手段と、この金属薄膜形成手段で形成された金属薄膜型
の磁性層に当接するよう真空槽内において設けられた多
孔質体と、この多孔質体に潤滑剤を供給する潤滑剤供給
手段とを具備することを特徴とする磁気記録媒体の製造
装置によって達成される。
【０００７】尚、この磁気記録媒体の製造装置は、真空
槽と、この真空槽内を支持体が走行するように設けられ
た支持体走行手段と、この支持体走行手段により走行す
る支持体上に金属薄膜型の磁性層を設ける金属薄膜形成
手段と、この金属薄膜形成手段で形成された金属薄膜型
の磁性層に当接するよう真空槽内において設けられた多
孔質体と、この多孔質体に潤滑剤を供給する潤滑剤供給
手段と、この潤滑剤供給手段で潤滑剤が塗布された後の
段階において設けられたスムーザーとを具備するもので
あることが好ましい。
槽と、この真空槽内を支持体が走行するように設けられ
た支持体走行手段と、この支持体走行手段により走行す
る支持体上に金属薄膜型の磁性層を設ける金属薄膜形成
手段と、この金属薄膜形成手段で形成された金属薄膜型
の磁性層に当接するよう真空槽内において設けられた多
孔質体と、この多孔質体に潤滑剤を供給する潤滑剤供給
手段と、この潤滑剤供給手段で潤滑剤が塗布された後の
段階において設けられたスムーザーとを具備するもので
あることが好ましい。
【０００８】又、金属薄膜型の磁性層を設ける金属薄膜
形成手段が設けられている真空槽が第１の真空槽であ
り、金属薄膜形成手段で形成された金属薄膜型の磁性層
に潤滑剤を塗布する多孔質体が設けられている真空槽が
第２の真空槽であるように、各々は異なる真空槽（真空
度が異なる真空槽）に配置されるようにしたものが好ま
しい。
形成手段が設けられている真空槽が第１の真空槽であ
り、金属薄膜形成手段で形成された金属薄膜型の磁性層
に潤滑剤を塗布する多孔質体が設けられている真空槽が
第２の真空槽であるように、各々は異なる真空槽（真空
度が異なる真空槽）に配置されるようにしたものが好ま
しい。
【０００９】又、金属薄膜形成手段で金属薄膜型の磁性
層が形成された時ないしは直後の時点において金属薄膜
型の磁性層面に対して略垂直に酸化性のガスをあてるノ
ズルを具備してなるものが好ましい。特に、金属薄膜形
成手段で金属薄膜型の磁性層が形成された時ないしは直
後の時点において金属薄膜型の磁性層面に対して略垂直
に酸化性のガスをあてるノズルと、酸化性のガスを加熱
する加熱手段とを具備してなるものが好ましい。
層が形成された時ないしは直後の時点において金属薄膜
型の磁性層面に対して略垂直に酸化性のガスをあてるノ
ズルを具備してなるものが好ましい。特に、金属薄膜形
成手段で金属薄膜型の磁性層が形成された時ないしは直
後の時点において金属薄膜型の磁性層面に対して略垂直
に酸化性のガスをあてるノズルと、酸化性のガスを加熱
する加熱手段とを具備してなるものが好ましい。
【００１０】以下、具体的な実施例を挙げて説明する。
【００１１】
【実施例】図１は、本発明になる磁気記録媒体の製造装
置の概略図である。同図中、１ａは磁性層（磁性薄膜）
形成用の第１の真空槽、１ｂは潤滑剤の塗布が行われる
第２の真空槽であり、これら第１の真空槽１ａと第２の
真空槽１ｂとは連絡通路１ｃを介してつながっている。
置の概略図である。同図中、１ａは磁性層（磁性薄膜）
形成用の第１の真空槽、１ｂは潤滑剤の塗布が行われる
第２の真空槽であり、これら第１の真空槽１ａと第２の
真空槽１ｂとは連絡通路１ｃを介してつながっている。
【００１２】２は第１の真空槽１ａ内に配設された冷却
キャン、３は防着板、４はルツボ、５は磁性金属、６は
酸素ガス吐出用のノズルであり、このノズル６のノズル
口６ａは冷却キャン２の中心に向かって配設されてい
る。尚、ルツボ４に充填される磁性金属５としては、例
えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合
金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金、あるいはこれらにＡｌ等の金属を含有させたも
の等が挙げられる。
キャン、３は防着板、４はルツボ、５は磁性金属、６は
酸素ガス吐出用のノズルであり、このノズル６のノズル
口６ａは冷却キャン２の中心に向かって配設されてい
る。尚、ルツボ４に充填される磁性金属５としては、例
えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合
金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃ
ｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃ
ｒ合金、あるいはこれらにＡｌ等の金属を含有させたも
の等が挙げられる。
【００１３】７ａは第１の真空槽１ａ内に配設された供
給側ロール、７ｂは第２の真空槽１ｂ内に配設された巻
取側ロールであり、供給側ロール７ａに巻回されている
非磁性の支持体８が冷却キャン２に沿って巻かれ、そし
てガイドローラーに添接案内され、連絡通路１ｃを通っ
て第２の真空槽１ｂ側に案内され、第２の真空槽１ｂ内
に配設されたキャンロール９に沿って巻かれ、巻取側ロ
ール７ｂに巻き取られて行くようになっている。
給側ロール、７ｂは第２の真空槽１ｂ内に配設された巻
取側ロールであり、供給側ロール７ａに巻回されている
非磁性の支持体８が冷却キャン２に沿って巻かれ、そし
てガイドローラーに添接案内され、連絡通路１ｃを通っ
て第２の真空槽１ｂ側に案内され、第２の真空槽１ｂ内
に配設されたキャンロール９に沿って巻かれ、巻取側ロ
ール７ｂに巻き取られて行くようになっている。
【００１４】尚、支持体８は、例えばＰＥＴ等のポリエ
ステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポ
リカーボネート、ポリプロピレン等のオレフィン系の樹
脂、セルロース系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった
高分子材料、ガラスやセラミック等の無機系材料、アル
ミニウム合金などの金属材料が用いられる。そして、支
持体８面上には、必要に応じて磁性層（磁性薄膜）の密
着性を向上させる為のアンダーコート層が設けられてい
る。すなわち、表面の粗さを適度に粗すことにより、例
えば斜め蒸着法により構成される磁性薄膜の密着性を向
上させ、さらに磁気記録媒体表面の表面粗さを適度なも
のとして走行性を改善する為、例えばＳｉＯ2 等の粒子
を含有させた厚さが０．００５〜０．１μｍの塗膜を設
けることによってアンダーコート層が構成されている。
ステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポ
リカーボネート、ポリプロピレン等のオレフィン系の樹
脂、セルロース系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった
高分子材料、ガラスやセラミック等の無機系材料、アル
ミニウム合金などの金属材料が用いられる。そして、支
持体８面上には、必要に応じて磁性層（磁性薄膜）の密
着性を向上させる為のアンダーコート層が設けられてい
る。すなわち、表面の粗さを適度に粗すことにより、例
えば斜め蒸着法により構成される磁性薄膜の密着性を向
上させ、さらに磁気記録媒体表面の表面粗さを適度なも
のとして走行性を改善する為、例えばＳｉＯ2 等の粒子
を含有させた厚さが０．００５〜０．１μｍの塗膜を設
けることによってアンダーコート層が構成されている。
【００１５】１０はキャンロール９に対向して配設され
たスポンジあるいは海面体などのような多孔質体であ
り、所定の圧力でもってキャンロール９上の支持体８に
弾接している。１１は支持体８に弾接している多孔質体
１０に潤滑剤を供給する為のタンクであり、このタンク
１１内の潤滑剤溶液がポンプ及びパイプを介して多孔質
体１０に供給されるようになっている。
たスポンジあるいは海面体などのような多孔質体であ
り、所定の圧力でもってキャンロール９上の支持体８に
弾接している。１１は支持体８に弾接している多孔質体
１０に潤滑剤を供給する為のタンクであり、このタンク
１１内の潤滑剤溶液がポンプ及びパイプを介して多孔質
体１０に供給されるようになっている。
【００１６】尚、潤滑剤溶液としては、例えば分子量２
０００〜５０００のパーフルオロポリエーテル（ＦＯＭ
ＢＬＩＮ Ｚ ＤＩＡＣ（モンテカチーニ社製）、ＦＯ
ＭＢＬＩＮ Ｚ ＤＯＬ（モンテカチーニ社製）など）
などのフッ素系の潤滑剤が、例えばフロリナート（住友
３Ｍ社製）などのフッ素系の不活性溶媒、トルエンなど
の芳香族系炭化水素溶媒、アルコール系やケトン系の溶
媒に溶かされてなるものである。勿論、これ以外のもの
であっても良い。
０００〜５０００のパーフルオロポリエーテル（ＦＯＭ
ＢＬＩＮ Ｚ ＤＩＡＣ（モンテカチーニ社製）、ＦＯ
ＭＢＬＩＮ Ｚ ＤＯＬ（モンテカチーニ社製）など）
などのフッ素系の潤滑剤が、例えばフロリナート（住友
３Ｍ社製）などのフッ素系の不活性溶媒、トルエンなど
の芳香族系炭化水素溶媒、アルコール系やケトン系の溶
媒に溶かされてなるものである。勿論、これ以外のもの
であっても良い。
【００１７】１２は潤滑剤が塗布された後の工程に設け
られたスムーザー、１３は赤外線ランプからなる乾燥手
段、１４は遮蔽板である。上記のように構成させた装置
において、第１の真空槽１ａ内を１０-4〜１０-6Ｔｏｒ
ｒ程度、例えば２×１０-5Ｔｏｒｒの真空度に排気した
後、抵抗加熱、高周波加熱、電子ビーム加熱などにより
ルツボ４内の磁性金属５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム等
の支持体８に対して０．０４〜２μｍ厚さ磁性金属５を
蒸着させて磁性薄膜を形成する。
られたスムーザー、１３は赤外線ランプからなる乾燥手
段、１４は遮蔽板である。上記のように構成させた装置
において、第１の真空槽１ａ内を１０-4〜１０-6Ｔｏｒ
ｒ程度、例えば２×１０-5Ｔｏｒｒの真空度に排気した
後、抵抗加熱、高周波加熱、電子ビーム加熱などにより
ルツボ４内の磁性金属５を蒸発させ、ＰＥＴフィルム等
の支持体８に対して０．０４〜２μｍ厚さ磁性金属５を
蒸着させて磁性薄膜を形成する。
【００１８】この磁性薄膜の形成に際しては、ノズル６
のノズル口６ａから５０℃程度に加熱された酸素ガスが
磁性金属５の蒸着部分（磁性薄膜）に約１５０ｃｃ／ｍ
ｉｎ程度の割合で吹き付けられ、磁性薄膜の表層部分が
強制酸化させられる。尚、図１からも判る通り、磁性金
属が堆積して磁性薄膜が形成された瞬間から直後の間で
ある位置において酸素ガスが吹き付けられるよう、か
つ、その吹付角度（衝突角度）が９０°であるようノズ
ル６のノズル口６ａはセッティングされている。
のノズル口６ａから５０℃程度に加熱された酸素ガスが
磁性金属５の蒸着部分（磁性薄膜）に約１５０ｃｃ／ｍ
ｉｎ程度の割合で吹き付けられ、磁性薄膜の表層部分が
強制酸化させられる。尚、図１からも判る通り、磁性金
属が堆積して磁性薄膜が形成された瞬間から直後の間で
ある位置において酸素ガスが吹き付けられるよう、か
つ、その吹付角度（衝突角度）が９０°であるようノズ
ル６のノズル口６ａはセッティングされている。
【００１９】このようにして磁性薄膜が形成され、そし
て酸化処理が施され、この後所定の経路を通って第２の
真空槽１ｂ側に案内されて行く。１〜１０-4Ｔｏｒｒ程
度、例えば５×１０-2Ｔｏｒｒの真空度に排気されてい
る第２の真空槽１ｂ側に導かれて来た支持体８はキャン
ロール９に添接される。そして、このキャンロール９に
は多孔質体１０が弾接しており、この多孔質体１０には
タンク１１内の潤滑剤溶液が供給されているから、支持
体８の走行につれて潤滑剤溶液が支持体８の磁性薄膜表
面（酸化膜の表面）に乾燥後の厚さが２０Å程度となる
よう塗布されて行く。尚、この塗布は、第２の真空槽１
ｂ内で行われているから、塗布時に磁性金属が堆積する
ことなく、かつ、蒸発する溶媒などによって第１の真空
槽１ａ内の真空度といった条件が変動を受け難く、磁性
薄膜の形成と潤滑剤の塗布とが独立的に行われるから、
各々が良好に行われる。 この潤滑剤の塗布工程の後、
スムーザー１２による平滑化処理が行われ、そして赤外
線ランプによって乾燥処理が施され、この後巻取側ロー
ル７ｂに巻き取られて行くようになっている。
て酸化処理が施され、この後所定の経路を通って第２の
真空槽１ｂ側に案内されて行く。１〜１０-4Ｔｏｒｒ程
度、例えば５×１０-2Ｔｏｒｒの真空度に排気されてい
る第２の真空槽１ｂ側に導かれて来た支持体８はキャン
ロール９に添接される。そして、このキャンロール９に
は多孔質体１０が弾接しており、この多孔質体１０には
タンク１１内の潤滑剤溶液が供給されているから、支持
体８の走行につれて潤滑剤溶液が支持体８の磁性薄膜表
面（酸化膜の表面）に乾燥後の厚さが２０Å程度となる
よう塗布されて行く。尚、この塗布は、第２の真空槽１
ｂ内で行われているから、塗布時に磁性金属が堆積する
ことなく、かつ、蒸発する溶媒などによって第１の真空
槽１ａ内の真空度といった条件が変動を受け難く、磁性
薄膜の形成と潤滑剤の塗布とが独立的に行われるから、
各々が良好に行われる。 この潤滑剤の塗布工程の後、
スムーザー１２による平滑化処理が行われ、そして赤外
線ランプによって乾燥処理が施され、この後巻取側ロー
ル７ｂに巻き取られて行くようになっている。
【００２０】この後、所定の幅にスリットし、磁気テー
プなどにする。
プなどにする。
【００２１】
【効果】本発明によれば、潤滑剤の塗布と磁性薄膜の形
成とが真空条件下で行われることから、作業性が良く、
低廉なコストで磁気記録媒体を作製できる。
成とが真空条件下で行われることから、作業性が良く、
低廉なコストで磁気記録媒体を作製できる。
【図１】本発明になる磁気記録媒体の製造装置の概略説
明図
明図
【図２】従来の磁気記録媒体の製造装置の概略説明図
１ａ 第１の真空槽 １ｂ 第２の真空槽 １ｃ 連絡通路 ２ 冷却キャン ４ ルツボ ５ 磁性金属 ６ ノズル ６ａ ノズル口 ７ａ 供給側ロール ７ｂ 巻取側ロール ８ 支持体 ９ キャンロール １０ 多孔質体 １１ タンク １２ スムーザー １３ 乾燥手段
フロントページの続き (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内
Claims (5)
- 【請求項１】 支持体上に金属薄膜型の磁性層を設け、
この磁性層上に潤滑層を設けた磁気記録媒体を製造する
装置であって、真空槽内で走行する支持体上に金属薄膜
型の磁性層を設ける金属薄膜形成手段と、この金属薄膜
形成手段で形成された金属薄膜型の磁性層に当接するよ
う真空槽内において設けられた多孔質体と、この多孔質
体に潤滑剤を供給する潤滑剤供給手段とを具備すること
を特徴とする磁気記録媒体の製造装置。 - 【請求項２】 真空槽と、この真空槽内を支持体が走行
するように設けられた支持体走行手段と、この支持体走
行手段により走行する支持体上に金属薄膜型の磁性層を
設ける金属薄膜形成手段と、この金属薄膜形成手段で形
成された金属薄膜型の磁性層に当接するよう真空槽内に
おいて設けられた多孔質体と、この多孔質体に潤滑剤を
供給する潤滑剤供給手段と、この潤滑剤供給手段で潤滑
剤が塗布された後の段階において設けられたスムーザー
とを具備することを特徴とする請求項１の磁気記録媒体
の製造装置。 - 【請求項３】 金属薄膜型の磁性層を設ける金属薄膜形
成手段が設けられている真空槽が第１の真空槽であり、
金属薄膜形成手段で形成された金属薄膜型の磁性層に潤
滑剤を塗布する多孔質体が設けられている真空槽が第２
の真空槽であることを特徴とする請求項１または請求項
２の磁気記録媒体の製造装置。 - 【請求項４】 金属薄膜形成手段で金属薄膜型の磁性層
が形成された時ないしは直後の時点において金属薄膜型
の磁性層面に対して略垂直に酸化性のガスをあてるノズ
ルを具備してなることを特徴とする請求項１または請求
項２の磁気記録媒体の製造装置。 - 【請求項５】 金属薄膜形成手段で金属薄膜型の磁性層
が形成された時ないしは直後の時点において金属薄膜型
の磁性層面に対して略垂直に酸化性のガスをあてるノズ
ルと、酸化性のガスを加熱する加熱手段とを具備してな
ることを特徴とする請求項１または請求項２の磁気記録
媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21542893A JPH0773457A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21542893A JPH0773457A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0773457A true JPH0773457A (ja) | 1995-03-17 |
Family
ID=16672179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21542893A Pending JPH0773457A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0773457A (ja) |
-
1993
- 1993-08-31 JP JP21542893A patent/JPH0773457A/ja active Pending
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